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文檔簡介

1、去psg工藝作業(yè)指導書公司生產車間名稱:光伏1號文件名稱:去psg工藝作業(yè)指導書版本：a文件編號：修訂：文件類型：撰寫人：目的：1.去除磷硅玻璃（psg）； 2.制作合格的太陽能硅片，保證人生安全。適用范圍：去除硅片表面的psg職責：工藝工程師：1.設定標準參數(shù) 2.設定標準操作規(guī)程 ？主要原材料及半成品：刻蝕后的標準硅片，hf，分析純/電子級主要儀器設備及工具：去磷硅玻璃清洗設備，電阻率測試儀，花籃承載框，清洗小花籃，量杯。工藝技術要求：？操作規(guī)程：（1）配液：按處理液配方配制去磷硅玻璃處理液，處理液配方hf:h2o=1;6（體積比）。然后將處理液注入去磷硅玻璃設備的處理槽內,液面高度為離槽

2、口約80mm。 （2）開機：按去磷硅玻璃設備的操作規(guī)程啟動全自動清洗設備，使其處于正常運轉狀態(tài)（綠燈）（3）裝片：1.操作員帶上口罩和乳膠手套，將去周邊層后硅片插入硅片盒。注意裝片時保證硅片的正面朝同一個標有明顯標記方向。2.將裝滿硅片的硅片盒放入承載框,再將承載框放到進料工位上。（4）清洗：啟動進料傳送線將承載框送到清洗設備本體，由自動機械手將承載框手移依次送到各工位對硅片進行腐蝕清洗去除磷硅玻璃。經4個工位全過程處理后將硅片取出。(5)甩干：1.將裝滿硅片的硅片盒放入甩干機中，啟動設備，甩干，2.記錄甩干后合格的硅片，并通過傳遞窗流向下一道鍍膜工序。（6）自檢：檢查硅片是否有裂痕.缺角.崩

3、邊,將無法繼續(xù)生產的硅片取出，并填寫片數(shù)，記錄好流程卡。（7）關機：生產任務完成后，停止設備運行，關閉電源.清潔.維護設備。工藝衛(wèi)生要求：、1.絕對不允許直接用手接觸硅片2.物品和工具定點放置，用過的工具要放回原位，嚴禁亂放。3.代用橡膠手套和防護制服。4.確保車間衛(wèi)生清潔。5.按時清潔車間衛(wèi)生注意事項：（1）操作注意事項：1.嚴格按照去磷硅玻璃設備操作規(guī)程進行生產。2. 配制酸液時，必須按酸、堿清洗要求穿戴好相關的個人防護用品。3. 將硅片裝入片架時，磷擴散的正面要面向片架的背面4.操作員應時刻注意顯示設備運轉的指示燈，綠燈為正常運轉，黃燈為手動或其他，紅燈為異常或事故發(fā)生，立即按下急停按鈕。5.工作結束時及時關閉電源.氮氣和水源.壓縮空氣。（

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