激光在精密測(cè)量中的應(yīng)用課件

1、1第第6章章 激光在精密測(cè)量中的激光在精密測(cè)量中的應(yīng)用（應(yīng)用（2）6.3 激光測(cè)距激光測(cè)距6.4 激光準(zhǔn)直及多自由度測(cè)量激光準(zhǔn)直及多自由度測(cè)量26.3 6.3 激光測(cè)距激光測(cè)距 激光測(cè)距的特點(diǎn)激光測(cè)距的特點(diǎn) 激光測(cè)距儀的分類激光測(cè)距儀的分類 脈沖測(cè)距法脈沖測(cè)距法 相位測(cè)距法相位測(cè)距法3激光測(cè)距的特點(diǎn)激光測(cè)距的特點(diǎn) 激光測(cè)距儀與其它測(cè)距儀激光測(cè)距儀與其它測(cè)距儀( (如光電測(cè)距儀等如光電測(cè)距儀等) )相比，具相比，具備的特點(diǎn)：備的特點(diǎn)： 探測(cè)距離遠(yuǎn)探測(cè)距離遠(yuǎn) 測(cè)距精度高測(cè)距精度高 抗干擾性強(qiáng)抗干擾性強(qiáng) 保密性好保密性好 體積小體積小 重量輕重量輕4激光測(cè)距儀的分類激光測(cè)距儀的分類激光測(cè)距儀的分類：

2、激光測(cè)距不同于激光測(cè)長(zhǎng)，它的測(cè)量距離要大激光測(cè)距儀的分類：激光測(cè)距不同于激光測(cè)長(zhǎng)，它的測(cè)量距離要大得多，按照測(cè)量距離可分為下述三類：得多，按照測(cè)量距離可分為下述三類：1 1、短程激光測(cè)距儀，它的測(cè)程僅在五公里以內(nèi)，適用于各種工程測(cè)量、短程激光測(cè)距儀，它的測(cè)程僅在五公里以內(nèi)，適用于各種工程測(cè)量2 2、中長(zhǎng)程激光測(cè)距儀，測(cè)程為五至幾十公里，適用于大地控制測(cè)量和、中長(zhǎng)程激光測(cè)距儀，測(cè)程為五至幾十公里，適用于大地控制測(cè)量和地震預(yù)報(bào)等地震預(yù)報(bào)等3 3、遠(yuǎn)程激光測(cè)距儀，它用于測(cè)量導(dǎo)彈、人造衛(wèi)星、月球等空間目標(biāo)的、遠(yuǎn)程激光測(cè)距儀，它用于測(cè)量導(dǎo)彈、人造衛(wèi)星、月球等空間目標(biāo)的距離距離激光測(cè)距是通過(guò)測(cè)量激光光束在

3、待測(cè)距離上往返傳播的時(shí)間來(lái)?yè)Q算激光測(cè)距是通過(guò)測(cè)量激光光束在待測(cè)距離上往返傳播的時(shí)間來(lái)?yè)Q算出距離的，其換算公式為出距離的，其換算公式為2ctd 5測(cè)距方法分類測(cè)距方法分類脈沖測(cè)距法：脈沖測(cè)距法：測(cè)距儀發(fā)出光脈沖，經(jīng)被測(cè)目標(biāo)反射后，光脈沖測(cè)距儀發(fā)出光脈沖，經(jīng)被測(cè)目標(biāo)反射后，光脈沖回到測(cè)距儀接收系統(tǒng)，測(cè)量其發(fā)射和接收光脈沖的時(shí)間間隔，回到測(cè)距儀接收系統(tǒng)，測(cè)量其發(fā)射和接收光脈沖的時(shí)間間隔，即光脈沖在待測(cè)距離上的往返傳播時(shí)間即光脈沖在待測(cè)距離上的往返傳播時(shí)間t。脈沖法測(cè)距精度大多。脈沖法測(cè)距精度大多為米的量級(jí)為米的量級(jí)相位測(cè)距法：相位測(cè)距法：它是通過(guò)測(cè)量連續(xù)調(diào)制的光波在待測(cè)距離上往返它是通過(guò)測(cè)量連續(xù)調(diào)制

4、的光波在待測(cè)距離上往返傳播所發(fā)生的相位變化，間接測(cè)量時(shí)間傳播所發(fā)生的相位變化，間接測(cè)量時(shí)間t。這種方法測(cè)量精度較。這種方法測(cè)量精度較高，因而在大地和工程測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用高，因而在大地和工程測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用6脈沖測(cè)距脈沖測(cè)距激光脈沖測(cè)距儀的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)如下圖所示激光脈沖測(cè)距儀的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)如下圖所示圖6-18 激光脈沖測(cè)距儀的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)7測(cè)距儀對(duì)光脈沖的要求測(cè)距儀對(duì)光脈沖的要求 光脈沖應(yīng)具有足夠的強(qiáng)度光脈沖應(yīng)具有足夠的強(qiáng)度 光脈沖的方向性要好光脈沖的方向性要好 光脈沖的單色性要好光脈沖的單色性要好 光脈沖的寬度要窄光脈沖的寬度要窄 用于激光測(cè)距的激光器：紅寶石激光器、釹玻璃激光器、用于激光測(cè)距

5、的激光器：紅寶石激光器、釹玻璃激光器、二氧化碳激光器、半導(dǎo)體激光器二氧化碳激光器、半導(dǎo)體激光器8激光巨脈沖的產(chǎn)生和計(jì)時(shí)激光巨脈沖的產(chǎn)生和計(jì)時(shí)激光巨脈沖的產(chǎn)生激光巨脈沖的產(chǎn)生-調(diào)調(diào)Q Q技術(shù)技術(shù) 測(cè)距時(shí)用的光脈沖功率是很大的，一般其峰值功率均在一兆瓦以測(cè)距時(shí)用的光脈沖功率是很大的，一般其峰值功率均在一兆瓦以上，脈沖寬度在幾十毫微秒以下。這樣的光脈沖通常叫做上，脈沖寬度在幾十毫微秒以下。這樣的光脈沖通常叫做“巨脈巨脈沖沖”。但是，一般的激光脈沖并不是巨脈沖，它的寬度較大。但是，一般的激光脈沖并不是巨脈沖，它的寬度較大 ( (約約1ms1ms左右左右) ) ，同時(shí)脈沖功率也不夠大，所以不能滿足測(cè)距需

6、求。，同時(shí)脈沖功率也不夠大，所以不能滿足測(cè)距需求。對(duì)激光器采用對(duì)激光器采用“調(diào)調(diào)Q Q技術(shù)技術(shù)”，就可使之滿足測(cè)距要求，就可使之滿足測(cè)距要求計(jì)時(shí)：計(jì)時(shí)：在脈沖測(cè)距中由于脈沖在測(cè)程上往返時(shí)間極短，所以通常在脈沖測(cè)距中由于脈沖在測(cè)程上往返時(shí)間極短，所以通常是用記錄高頻振蕩的晶體的振動(dòng)次數(shù)來(lái)進(jìn)行計(jì)時(shí)是用記錄高頻振蕩的晶體的振動(dòng)次數(shù)來(lái)進(jìn)行計(jì)時(shí)圖6-19 脈沖計(jì)數(shù)原理方框圖9相位測(cè)距原理相位測(cè)距原理相位測(cè)距相位測(cè)距: :是對(duì)發(fā)射的激光強(qiáng)度進(jìn)行連續(xù)的調(diào)制，測(cè)定它在待測(cè)距離是對(duì)發(fā)射的激光強(qiáng)度進(jìn)行連續(xù)的調(diào)制，測(cè)定它在待測(cè)距離d d上往返的相位變化，從而間接測(cè)量傳播時(shí)間上往返的相位變化，從而間接測(cè)量傳播時(shí)間t

7、t，進(jìn)而測(cè)量距離，進(jìn)而測(cè)量距離與脈沖測(cè)距的區(qū)別：與脈沖測(cè)距的區(qū)別： 調(diào)制方式不同，脈沖測(cè)距調(diào)制激光器產(chǎn)生巨脈沖，相位測(cè)距調(diào)制激光調(diào)制方式不同，脈沖測(cè)距調(diào)制激光器產(chǎn)生巨脈沖，相位測(cè)距調(diào)制激光器產(chǎn)生強(qiáng)度成余弦變化的連續(xù)波器產(chǎn)生強(qiáng)度成余弦變化的連續(xù)波 信號(hào)處理方式不同，脈沖測(cè)距用開關(guān)電路高頻脈沖計(jì)數(shù)，測(cè)量?jī)?nèi)外光信號(hào)處理方式不同，脈沖測(cè)距用開關(guān)電路高頻脈沖計(jì)數(shù)，測(cè)量?jī)?nèi)外光路產(chǎn)生的兩個(gè)脈沖之間相距的時(shí)間，相位測(cè)距比較主振信號(hào)與返回信路產(chǎn)生的兩個(gè)脈沖之間相距的時(shí)間，相位測(cè)距比較主振信號(hào)與返回信號(hào)之間相位差，來(lái)計(jì)算光線從測(cè)距儀到被測(cè)點(diǎn)傳播往返的時(shí)間號(hào)之間相位差，來(lái)計(jì)算光線從測(cè)距儀到被測(cè)點(diǎn)傳播往返的時(shí)間10相

8、位測(cè)距的測(cè)尺相位測(cè)距的測(cè)尺相位測(cè)距是對(duì)發(fā)射的激光強(qiáng)度進(jìn)行余弦型調(diào)制，相位測(cè)距是對(duì)發(fā)射的激光強(qiáng)度進(jìn)行余弦型調(diào)制，光波每傳播一個(gè)光波每傳播一個(gè)調(diào)制周期，相位就變化調(diào)制周期，相位就變化2 ，相應(yīng)的傳播距離為，相應(yīng)的傳播距離為 =cT。所以距離。所以距離d、光波往返相位差光波往返相位差 和光波調(diào)制波長(zhǎng)和光波調(diào)制波長(zhǎng) 之間的關(guān)系為之間的關(guān)系為應(yīng)當(dāng)注意到：此處的應(yīng)當(dāng)注意到：此處的 并不是光的波長(zhǎng)，而是并不是光的波長(zhǎng)，而是余弦型調(diào)制造成的余弦型調(diào)制造成的光強(qiáng)變化對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度光強(qiáng)變化對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度“光波光波”的的“波長(zhǎng)波長(zhǎng)”，該調(diào)制波長(zhǎng)實(shí)際上是，該調(diào)制波長(zhǎng)實(shí)際上是被測(cè)距離的度量單位，因此把該波長(zhǎng)的一半稱作被測(cè)距離的

9、度量單位，因此把該波長(zhǎng)的一半稱作“測(cè)尺測(cè)尺”，被測(cè)，被測(cè)距離可以用該測(cè)尺表示為距離可以用該測(cè)尺表示為22d222sLdsL11相位測(cè)量和多測(cè)尺測(cè)距相位測(cè)量和多測(cè)尺測(cè)距當(dāng)被測(cè)距離大于一個(gè)波長(zhǎng)時(shí)，相位超過(guò)當(dāng)被測(cè)距離大于一個(gè)波長(zhǎng)時(shí)，相位超過(guò) ，因此可以表示為，因此可以表示為式中式中是是不足不足2 2 的相位移的尾數(shù)，的相位移的尾數(shù)，N N為相位移的整數(shù)部分。為相位移的整數(shù)部分。任何測(cè)量交變信號(hào)相位移的比相方法都不能確定出相位移的整周期數(shù)，任何測(cè)量交變信號(hào)相位移的比相方法都不能確定出相位移的整周期數(shù)，因而當(dāng)距離因而當(dāng)距離d d大于測(cè)尺長(zhǎng)大于測(cè)尺長(zhǎng)L Ls s時(shí)，就需要更長(zhǎng)的測(cè)尺來(lái)測(cè)定距離，但是時(shí)，就需

10、要更長(zhǎng)的測(cè)尺來(lái)測(cè)定距離，但是長(zhǎng)的測(cè)尺在相位差的測(cè)量精度一定的條件下距離的分辨率也會(huì)減小，長(zhǎng)的測(cè)尺在相位差的測(cè)量精度一定的條件下距離的分辨率也會(huì)減小，因此既要保證測(cè)量精度又要擴(kuò)大測(cè)量的范圍就需要設(shè)置多個(gè)測(cè)尺，用因此既要保證測(cè)量精度又要擴(kuò)大測(cè)量的范圍就需要設(shè)置多個(gè)測(cè)尺，用大的測(cè)尺提高測(cè)量的范圍，用小的測(cè)尺提高測(cè)量精度大的測(cè)尺提高測(cè)量的范圍，用小的測(cè)尺提高測(cè)量精度2)2(NLds12分散的直接測(cè)尺測(cè)距舉例分散的直接測(cè)尺測(cè)距舉例分散的直接測(cè)尺測(cè)距方法選定的測(cè)尺頻率是直接與測(cè)尺長(zhǎng)度分散的直接測(cè)尺測(cè)距方法選定的測(cè)尺頻率是直接與測(cè)尺長(zhǎng)度L Ls s相對(duì)應(yīng)的相對(duì)應(yīng)的. .基本測(cè)尺長(zhǎng)度基本測(cè)尺長(zhǎng)度L Lsbsb

11、( (精測(cè)測(cè)尺，決定測(cè)量精度精測(cè)測(cè)尺，決定測(cè)量精度) )和若干輔助測(cè)尺長(zhǎng)度和若干輔助測(cè)尺長(zhǎng)度( (粗測(cè)粗測(cè)測(cè)尺，決定測(cè)量范圍測(cè)尺，決定測(cè)量范圍) )。 例如：選用兩把測(cè)尺例如：選用兩把測(cè)尺 和和 相應(yīng)的測(cè)尺頻率為相應(yīng)的測(cè)尺頻率為在測(cè)相精度為千分之一的情況下，在測(cè)相精度為千分之一的情況下， 測(cè)距精度為測(cè)距精度為 測(cè)距量程為測(cè)距量程為mLsl1000mLsb10MHzLcsbsb152kHzLcslsl1502cmLsb110001mLsl100013集中的間接測(cè)尺測(cè)距原理集中的間接測(cè)尺測(cè)距原理假定用兩個(gè)調(diào)制頻率為假定用兩個(gè)調(diào)制頻率為 s1和和 s2的光波分別測(cè)量同一距離的光波分別測(cè)量同一距離d由

12、上兩式可得由上兩式可得令：令：則：則：上式中上式中Ls可以認(rèn)定為一個(gè)新的測(cè)尺長(zhǎng)度，其相應(yīng)的測(cè)尺頻率可以認(rèn)定為一個(gè)新的測(cè)尺長(zhǎng)度，其相應(yīng)的測(cè)尺頻率 s是是上式中的上式中的正是用正是用 s1和和 s2的差額的差額 s s1 s2的光波測(cè)量距離的光波測(cè)量距離d時(shí)所得時(shí)所得到的相位尾數(shù)之差。通常把頻率到的相位尾數(shù)之差。通常把頻率 s1和和 s2稱為間接測(cè)尺頻率，而把差頻頻稱為間接測(cè)尺頻率，而把差頻頻率率 s s1 s2稱為相當(dāng)測(cè)尺頻率稱為相當(dāng)測(cè)尺頻率）（2111NLds）（2222NLds)22()(21211221NNLLLLdssss21211221和和NNNLLLLLsssss)2(NLds212

13、12112)11(222sssssssssssLLcLLLLcLc14集中的間接測(cè)尺舉例集中的間接測(cè)尺舉例 間接測(cè)尺頻率間接測(cè)尺頻率 相當(dāng)測(cè)尺頻率相當(dāng)測(cè)尺頻率 測(cè)尺長(zhǎng)度測(cè)尺長(zhǎng)度 精度精度 s 15MHz 15MHz 10m 1cm 1 0.9 s 1.5MHz 100m 10cm 2 0.99 s 150KHz 1Km 1m 3 0.999 s 15KHz 10Km 10m 4 0.9999 s 1.5KHz 100Km 100m集中的間接測(cè)尺的測(cè)尺頻率都集中在較為窄小的頻率范圍內(nèi)，可以使集中的間接測(cè)尺的測(cè)尺頻率都集中在較為窄小的頻率范圍內(nèi)，可以使放大器和調(diào)制器有相近的增益和相位穩(wěn)定性，而且各

14、頻率對(duì)應(yīng)的振蕩放大器和調(diào)制器有相近的增益和相位穩(wěn)定性，而且各頻率對(duì)應(yīng)的振蕩石英晶體也可以統(tǒng)一石英晶體也可以統(tǒng)一15相位差的測(cè)量相位差的測(cè)量信號(hào)頻率越低，其相位變化信號(hào)頻率越低，其相位變化2 需要的時(shí)間就越長(zhǎng)，這樣也就越便于相位需要的時(shí)間就越長(zhǎng)，這樣也就越便于相位的測(cè)量。所以中、低頻的相位測(cè)量精度總是遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于高頻信號(hào)的測(cè)相精的測(cè)量。所以中、低頻的相位測(cè)量精度總是遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于高頻信號(hào)的測(cè)相精度。因而高頻信號(hào)相位差的測(cè)量大都采用差額的方法。把高頻信號(hào)轉(zhuǎn)化度。因而高頻信號(hào)相位差的測(cè)量大都采用差額的方法。把高頻信號(hào)轉(zhuǎn)化為低頻信號(hào)進(jìn)行處理，這就是所謂的為低頻信號(hào)進(jìn)行處理，這就是所謂的“差頻測(cè)相差頻測(cè)相”差頻測(cè)

15、相的原理如右圖所示差頻測(cè)相的原理如右圖所示16差頻法測(cè)相位的數(shù)學(xué)模型差頻法測(cè)相位的數(shù)學(xué)模型設(shè)主控振蕩信號(hào)設(shè)主控振蕩信號(hào)該信號(hào)被光電接收放大后變?yōu)樵撔盘?hào)被光電接收放大后變?yōu)樵O(shè)本地振蕩信號(hào)設(shè)本地振蕩信號(hào)在混頻器的輸出端分別得到差頻參考信號(hào)在混頻器的輸出端分別得到差頻參考信號(hào)er（ 和和 混頻）和測(cè)距混頻）和測(cè)距信號(hào)信號(hào)em （ 和和 混頻）混頻） ，它們的表達(dá)示為，它們的表達(dá)示為兩者通過(guò)相位計(jì)檢測(cè)得到相位差，從而可以計(jì)算出被測(cè)距離兩者通過(guò)相位計(jì)檢測(cè)得到相位差，從而可以計(jì)算出被測(cè)距離)2cos(0tAed)2cos(0mdmStBe)2cos(tCell)()(2cos0tDeldr)()(2cos

16、0mldmtEedelelemse176.4 6.4 激光準(zhǔn)直及多自由度測(cè)量激光準(zhǔn)直及多自由度測(cè)量 激光具有極好的方向性，經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直的連續(xù)輸出的激光束可激光具有極好的方向性，經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直的連續(xù)輸出的激光束可以認(rèn)為是一條直線；以認(rèn)為是一條直線； 可以利用激光光束作為空間基準(zhǔn)線，來(lái)測(cè)量平直度、平面可以利用激光光束作為空間基準(zhǔn)線，來(lái)測(cè)量平直度、平面度、平行度、垂直度，也可以作為三維測(cè)量的基準(zhǔn)；度、平行度、垂直度，也可以作為三維測(cè)量的基準(zhǔn)； 可以廣泛用于開鑿隧道、鋪設(shè)管道、建筑造橋、修路開礦、可以廣泛用于開鑿隧道、鋪設(shè)管道、建筑造橋、修路開礦、大型設(shè)備安裝和定位等；大型設(shè)備安裝和定位等； 激光的單色性還可以

17、用于制作衍射準(zhǔn)直儀提高對(duì)準(zhǔn)精度。激光的單色性還可以用于制作衍射準(zhǔn)直儀提高對(duì)準(zhǔn)精度。18激光準(zhǔn)直儀的原理激光準(zhǔn)直儀的原理激光束橫截面上的光強(qiáng)分布是激光束橫截面上的光強(qiáng)分布是“高斯分布高斯分布”，光束的能量是大部，光束的能量是大部分集中在有效半徑為分集中在有效半徑為z0的截面內(nèi)。由于中心光強(qiáng)最大，所以光束的截面內(nèi)。由于中心光強(qiáng)最大，所以光束分布中心連線可以構(gòu)成一條理想的準(zhǔn)直基準(zhǔn)線分布中心連線可以構(gòu)成一條理想的準(zhǔn)直基準(zhǔn)線19有效截面半徑有效截面半徑 z0和遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角和遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角2 TEM00光束有效截面半徑光束有效截面半徑z0和遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角和遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角2 的表達(dá)式為的表達(dá)式為波長(zhǎng)為波長(zhǎng)為0.6328

18、m 的的He-Ne激光器輸出的激光，激光器輸出的激光， 光束腰部的截面光束腰部的截面半徑半徑0 其光束有效截面半徑按下圖方式變化其光束有效截面半徑按下圖方式變化當(dāng)當(dāng)z0較大時(shí)較大時(shí)22000)(10zz0220022000zzz）（20激光準(zhǔn)直儀的結(jié)構(gòu)框圖激光準(zhǔn)直儀的結(jié)構(gòu)框圖簡(jiǎn)單的激光準(zhǔn)直儀可以直接用目測(cè)來(lái)對(duì)準(zhǔn)，為了便于控制和提高對(duì)準(zhǔn)簡(jiǎn)單的激光準(zhǔn)直儀可以直接用目測(cè)來(lái)對(duì)準(zhǔn)，為了便于控制和提高對(duì)準(zhǔn)精度，一般的激光準(zhǔn)直儀都采用光電探測(cè)器來(lái)對(duì)準(zhǔn)。精度，一般的激光準(zhǔn)直儀都采用光電探測(cè)器來(lái)對(duì)準(zhǔn)。準(zhǔn)直儀的基本組成如圖示為準(zhǔn)直儀的基本組成如圖示為1）He-Ne激光器；激光器；2）發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)；）發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)；

19、3）光電目標(biāo)靶；）光電目標(biāo)靶；4）指示及控制系統(tǒng)）指示及控制系統(tǒng)圖6-21 激光準(zhǔn)直儀的基本組成方框圖21發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)激光準(zhǔn)直儀發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如下圖所示，由目鏡激光準(zhǔn)直儀發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如下圖所示，由目鏡L1、物鏡、物鏡L2和光和光闌闌A組成。該望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)對(duì)普通光束的傾角壓縮比為組成。該望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)對(duì)普通光束的傾角壓縮比為如果如果2 1，2 2 分別為高斯光束入射和出射該望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光束發(fā)散角的分別為高斯光束入射和出射該望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光束發(fā)散角的話，則該望遠(yuǎn)系統(tǒng)對(duì)高斯光束的發(fā)散角壓縮比為話，則該望遠(yuǎn)系統(tǒng)對(duì)高斯光束的發(fā)散角壓縮比為M和和M的關(guān)系為：的關(guān)系為：12ffM 2122M0MM

20、圖6-22 激光準(zhǔn)直儀光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖22衍射效應(yīng)的影響衍射效應(yīng)的影響由于衍射效應(yīng)，出射光束發(fā)散角還與物鏡由于衍射效應(yīng)，出射光束發(fā)散角還與物鏡L2的孔徑大小有關(guān)。根據(jù)圓的孔徑大小有關(guān)。根據(jù)圓孔的夫瑯和費(fèi)衍射理論可知，一個(gè)直徑為孔的夫瑯和費(fèi)衍射理論可知，一個(gè)直徑為D的圓孔所造成的衍射角的圓孔所造成的衍射角(即即光束發(fā)散角的一半），光束發(fā)散角的一半）， 如下圖所示為如下圖所示為通常忽略物鏡通常忽略物鏡L2的衍射效應(yīng)！的衍射效應(yīng)！D22. 1023光電目標(biāo)靶光電目標(biāo)靶激光準(zhǔn)直儀的光電目標(biāo)靶，通常用的是四象限光探測(cè)器。如下圖激光準(zhǔn)直儀的光電目標(biāo)靶，通常用的是四象限光探測(cè)器。如下圖所示，它是由上、下、

21、左、右對(duì)稱裝置的四塊硅光電池組成。所示，它是由上、下、左、右對(duì)稱裝置的四塊硅光電池組成。圖6-23 四象限光電探測(cè)器原理圖24解決光電池對(duì)稱問(wèn)題的平衡電阻方法解決光電池對(duì)稱問(wèn)題的平衡電阻方法在四象限光電探測(cè)器中，要求每片光電池的靈敏度必須嚴(yán)格一致，它們?cè)谒南笙薰怆娞綔y(cè)器中，要求每片光電池的靈敏度必須嚴(yán)格一致，它們之間的相對(duì)位置亦應(yīng)準(zhǔn)確，這在實(shí)際上是很難做到的，因?yàn)閮善怆娝g的相對(duì)位置亦應(yīng)準(zhǔn)確，這在實(shí)際上是很難做到的，因?yàn)閮善怆娝霓D(zhuǎn)換效率往往相差很遠(yuǎn)，即使是將同一塊光電池刻劃分成四塊，每塊的轉(zhuǎn)換效率往往相差很遠(yuǎn)，即使是將同一塊光電池刻劃分成四塊，每塊的轉(zhuǎn)換效率也仍然不一樣。的轉(zhuǎn)換效率也仍然不一樣。解決光電池的對(duì)稱問(wèn)題，通常采用在光電