防靜電培訓(xùn)教材

1、集成電路封裝靜電防護(hù)培訓(xùn)教材集成電路封裝靜電防護(hù)培訓(xùn)教材華天科技培訓(xùn)教材xiaowei guo dec, 2002 1一、電子產(chǎn)品的防靜電技術(shù) 1、 認(rèn)識esd危害的重要性、迫切性 （1）靜電放電（esd）是一種通?？床灰姷摹撛谛缘?、后果可能非常慘重的危害。 a、 可能導(dǎo)致紡織廠、面粉廠、醫(yī)院手術(shù)室（乙醚）、彈藥庫、石化、航天飛機(jī)（1986年挑戰(zhàn)號）等物毀人亡！ b、 對電子工業(yè)的危害嚴(yán)重。八十年代國外統(tǒng)計(jì)，esd對電子工業(yè)造成的年損失在60多億美元。 （2）對esd的危害認(rèn)識不足，重視不夠。 因?yàn)椋?a、3500v以下的靜電人們不感覺 b、esd對元器件、電路的破壞90%是潛在性的 c、誤

2、認(rèn)為集成電路“有保護(hù)電路”、“損壞可恢復(fù)”等，無所謂。 d、出了問題很茫然，不知問題從何而來，如何解決 （3）微電子技術(shù)不斷發(fā)展，集成度和封裝密度越來越高，電源電壓越來越小，從15v、5v、3.3v、3.0v、降到1.5v，抗噪聲容限也隨之降低.由此單個(gè)器件或單塊pcb的成本越來越高，一旦損壞,損失巨大,器件抗esd引起的噪聲電壓容限越來越小。 （4）電子產(chǎn)品越來越多地進(jìn)入家庭、辦公室等靜電嚴(yán)重的地方,潛在的esd危害增大。 2、 靜電現(xiàn)象及靜電的產(chǎn)生 （1） 靜電：由物體在局部范圍內(nèi)正、負(fù)電荷不平衡而使物體表面產(chǎn)生過剩的靜止電荷。 （2） 靜電的產(chǎn)生方式： a、接觸、磨擦、碰撞、沖洗、電解、

3、壓電、分離、溫差、感應(yīng)等可產(chǎn)生靜電。 b、固體、液體、粉未流體都可起靜電。 c、電子工業(yè)中主要是固體的接觸、磨擦、分離、感應(yīng)起電。 （3） 靜電的強(qiáng)度 靜電強(qiáng)度與物體材料、相對運(yùn)動速度、壓力大小及環(huán)境的溫度、濕度都有密切有關(guān)，環(huán)境的相對濕度小于20%rh時(shí)，活動時(shí)的人體可攜帶20kv-30kv的靜電電壓。 3、 esd對電子器件或系統(tǒng)的危害 （1） esd引起的電子器件或系統(tǒng)的失效類型 a、 感應(yīng)性、干擾性失效 esd-電火花-電磁脈沖-干擾信號-器件、電路或設(shè)備接收-形成錯(cuò)誤信息-造成可能的兩種結(jié)果： 可恢復(fù)正?；蚧緹o影響-干擾信號小 致命性失效-接收過強(qiáng)的干擾信號 b、 esd直接接觸放

4、電電子器件或系統(tǒng)成為esd的導(dǎo)電通路。 （2） 電子器件和系統(tǒng)受esd損傷的兩種失效模式 a、 硬失效又稱“突發(fā)必性完全失效”，或“一次性損壞”，器件的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)突然劣化，失去規(guī)定的功能；表現(xiàn)為器件開路、短路或電參數(shù)嚴(yán)重漂移，多數(shù)為esd直接接觸放電時(shí)的過電壓造成介質(zhì)擊穿，反向電流增大，鋁條損傷等，過功率造成鋁條熔斷，多晶條熔斷，si片局部熔化等。 b、軟失效又稱：“潛在性失效”，或“多次損傷積累后失效”，器件受esd損傷后抗過應(yīng)力能力下降，各類參數(shù)當(dāng)時(shí)雖仍為合格，但其中部分器件在以后的使用過程中因各類過應(yīng)力的損傷積累將早期失效。 （3）esd對電子產(chǎn)品生產(chǎn)廠的影響 生產(chǎn)成本提高，b、產(chǎn)品

5、質(zhì)量降低，c、耗費(fèi)時(shí)間，d、產(chǎn)品、公司信譽(yù)受損-客戶、市場方面的損失。 4、 靜電危害的控制 （1） 靜電控制中應(yīng)遵循的三條基本規(guī)則： a、 應(yīng)將靜電的產(chǎn)生減少至最少。 b、 為導(dǎo)電物體提供一條受控的放電通路 c、 防止產(chǎn)生靜電的物體引起危害-屏蔽（2） 從五個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)嵭型暾撵o電控制a、 建立合適的作業(yè)環(huán)境測試儀器、機(jī)器設(shè)備等需接地操作臺墊用接地的抗靜電導(dǎo)體用防靜電地板b、 控制進(jìn)入作業(yè)區(qū)的人體所帶靜電過入靜電區(qū)時(shí)需消靜電和測靜電（手腕帶、靜電鞋）穿防靜電鞋穿防靜電服裝c、 器材儲運(yùn)時(shí)的靜電控制配備合適的儲運(yùn)容器和工具采用摩擦不帶電的能導(dǎo)電的、能防止帶靜電的容器和包裝材料采用不受外部電場影

6、響具有靜電屏蔽性能的容器和包裝材料采用導(dǎo)電箱、袋使器件輸送和包裝期間保持同電位。d、 建立靜電的測量和監(jiān)視系統(tǒng)對工作人員進(jìn)行抗靜電意識的教育和培訓(xùn)。 近年來，工程師們陸續(xù)發(fā)現(xiàn)靜電近年來，工程師們陸續(xù)發(fā)現(xiàn)靜電能夠極大地破壞產(chǎn)品品質(zhì)和產(chǎn)額率，能夠極大地破壞產(chǎn)品品質(zhì)和產(chǎn)額率，特別是對半導(dǎo)體而言，為解決特別是對半導(dǎo)體而言，為解決esd問問題，他們每年要花費(fèi)幾百萬美元以來題，他們每年要花費(fèi)幾百萬美元以來保證產(chǎn)品品質(zhì)保證產(chǎn)品品質(zhì)。xiaowei guo dec, 2002 2 近幾年，鑒于電子行業(yè)的迅猛發(fā)展，現(xiàn)在近幾年，鑒于電子行業(yè)的迅猛發(fā)展，現(xiàn)在半導(dǎo)體元件已從晶體管延伸到今天的超大規(guī)模半導(dǎo)體元件已從晶體

7、管延伸到今天的超大規(guī)模集成電路，為減小靜電問題，外形包裝也相應(yīng)集成電路，為減小靜電問題，外形包裝也相應(yīng)變小了許多，但依舊被靜電所破壞。因此，對變小了許多，但依舊被靜電所破壞。因此，對半導(dǎo)體行業(yè)而言，為保證產(chǎn)品可靠的品質(zhì)，當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)而言，為保證產(chǎn)品可靠的品質(zhì)，當(dāng)前解決靜電問題已成為一項(xiàng)刻不容緩的課題前解決靜電問題已成為一項(xiàng)刻不容緩的課題 xiaowei guo dec, 2002 3 然而，半導(dǎo)體的靜電阻力的形式與結(jié)構(gòu)不同然而，半導(dǎo)體的靜電阻力的形式與結(jié)構(gòu)不同 于其它靜電裝置，因此它在防靜電方面并無標(biāo)準(zhǔn)于其它靜電裝置，因此它在防靜電方面并無標(biāo)準(zhǔn)可言。為此，一些有識之士便提出對其防靜電系可言。為

8、此，一些有識之士便提出對其防靜電系統(tǒng)可進(jìn)行周期性監(jiān)測和估算統(tǒng)可進(jìn)行周期性監(jiān)測和估算。xiaowei guo dec, 2002 4靜電電荷的產(chǎn)生靜電電荷的產(chǎn)生 任何兩種不帶電的物質(zhì)接觸磨擦后分開，它任何兩種不帶電的物質(zhì)接觸磨擦后分開，它們之間就產(chǎn)生了電壓，原因是它們在接觸過程中們之間就產(chǎn)生了電壓，原因是它們在接觸過程中物體表面產(chǎn)生了一些電子物體表面產(chǎn)生了一些電子“丟丟”與與“失失”的變化，的變化，這樣就產(chǎn)生了靜電電荷。這樣就產(chǎn)生了靜電電荷。 磨擦電荷數(shù)量的產(chǎn)生受物體磨擦后發(fā)離的速磨擦電荷數(shù)量的產(chǎn)生受物體磨擦后發(fā)離的速度、物體接觸面積、磨擦?xí)r周圍環(huán)境相對濕度和度、物體接觸面積、磨擦?xí)r周圍環(huán)境相對

9、濕度和物體材料種類幾方面的影響物體材料種類幾方面的影響 xiaowei guo dec, 2002 5人體電荷對照表人體電荷對照表xiaowei guo dec, 2002 6人體電荷產(chǎn)生方式人體電荷產(chǎn)生方式人體電荷變化人體電荷變化濕度：濕度：10%20%濕度：濕度：65%90%在地毯上行走在地毯上行走35000v1500v在乙烯基地板上行走在乙烯基地板上行走12000v250v在工作臺旁工作在工作臺旁工作6000v100v從工作臺上拿走塑料袋從工作臺上拿走塑料袋20000v1200v靜電電荷的影響靜電電荷的影響在物體放電時(shí)，靜電問題便產(chǎn)生了，目前放電形式主要是通過低在物體放電時(shí)，靜電問題便產(chǎn)

10、生了，目前放電形式主要是通過低電阻區(qū)域，其大小可通過下列公式獲得：電阻區(qū)域，其大小可通過下列公式獲得：i=q/ti：當(dāng)前放電量；：當(dāng)前放電量；q：靜電電荷量；：靜電電荷量；t：放電時(shí)間：放電時(shí)間一次放電能夠在一次放電能夠在1微秒內(nèi)被完成，因此，電荷轉(zhuǎn)移越多，放電能微秒內(nèi)被完成，因此，電荷轉(zhuǎn)移越多，放電能力越強(qiáng)，假如其足夠強(qiáng)大，它能夠影響力越強(qiáng)，假如其足夠強(qiáng)大，它能夠影響pn熱擊穿接合點(diǎn)；熱擊穿接合點(diǎn)；氧化層擊穿氧化層擊穿xiaowei guo dec, 2002 7xiaowei guo dec, 2002 8影響或破壞靜電靈敏裝置的兩個(gè)基本模式影響或破壞靜電靈敏裝置的兩個(gè)基本模式人體模式。人

11、體模式。電荷裝置模式。電荷裝置模式。 人體模式指的是人在運(yùn)動過程中人體與衣服之間磨擦所產(chǎn)生的人體模式指的是人在運(yùn)動過程中人體與衣服之間磨擦所產(chǎn)生的電荷，假如人們接觸了靜電靈敏裝置而沒有及時(shí)把電荷轉(zhuǎn)移到地電荷，假如人們接觸了靜電靈敏裝置而沒有及時(shí)把電荷轉(zhuǎn)移到地面，磨擦電荷將會轉(zhuǎn)移到靜電靈敏裝置上導(dǎo)致其破壞。此種方式面，磨擦電荷將會轉(zhuǎn)移到靜電靈敏裝置上導(dǎo)致其破壞。此種方式是導(dǎo)致靜電破壞的主要模式。是導(dǎo)致靜電破壞的主要模式。 電荷裝置模式主要指那些靜電靈敏裝置，特別是那些塑料制品；電荷裝置模式主要指那些靜電靈敏裝置，特別是那些塑料制品；在自動化過程中，它產(chǎn)生磨擦電荷，這些磨擦電荷穿過低電阻管在自動化

12、過程中，它產(chǎn)生磨擦電荷，這些磨擦電荷穿過低電阻管腳到達(dá)高傳導(dǎo)性地表面，放射速度極快，導(dǎo)致破壞腳到達(dá)高傳導(dǎo)性地表面，放射速度極快，導(dǎo)致破壞。 xiaowei guo dec, 2002 9常見半導(dǎo)體設(shè)產(chǎn)品靜電靈敏度：常見半導(dǎo)體設(shè)產(chǎn)品靜電靈敏度：產(chǎn)品類型產(chǎn)品類型 靜電放電靈敏度范圍（伏特）靜電放電靈敏度范圍（伏特） vmos 201800mosfet 100200gaasfet 100300eprom 100opamp 1902500cmos 2503000schottky diode 3002500film resistors 3003000bipolar transistors 3807000

13、ecl 5001500scr 6801000schottky ttl 10002500jfet 1407000xiaowei guo dec, 2002 10 當(dāng)前，半導(dǎo)體工藝越來越先進(jìn)，它當(dāng)前，半導(dǎo)體工藝越來越先進(jìn)，它已從原先的已從原先的31微米發(fā)展到今天的微米發(fā)展到今天的1微米以微米以內(nèi)，因此，今天的半導(dǎo)體零件只會越來越內(nèi)，因此，今天的半導(dǎo)體零件只會越來越靈敏，更易被靈敏，更易被esd破壞破壞。xiaowei guo dec, 2002 11潛在的靜電破壞潛在的靜電破壞 靜電是一個(gè)潛在的現(xiàn)象，它總是在以下情況下發(fā)生：靜電是一個(gè)潛在的現(xiàn)象，它總是在以下情況下發(fā)生：產(chǎn)品（制造、裝配、測試）產(chǎn)品

14、（制造、裝配、測試）貯存貯存銷售銷售 在以上過程中，人體雖不直接與半導(dǎo)體零件直接接觸，但在以上過程中，人體雖不直接與半導(dǎo)體零件直接接觸，但靜電有時(shí)仍會產(chǎn)生，它不太可能破壞整個(gè)零件，但它會減少某靜電有時(shí)仍會產(chǎn)生，它不太可能破壞整個(gè)零件，但它會減少某一部分的品質(zhì)。表面上，它只影響到產(chǎn)品用戶，但實(shí)際上，它一部分的品質(zhì)。表面上，它只影響到產(chǎn)品用戶，但實(shí)際上，它將會給公司信譽(yù)帶來損失，且浪費(fèi)維修費(fèi)用。將會給公司信譽(yù)帶來損失，且浪費(fèi)維修費(fèi)用。xiaowei guo dec, 2002 13靜電電荷的排除靜電電荷的排除完全排除電荷是不可能的，因此，如何抑制它就顯得更加重要，完全排除電荷是不可能的，因此，如何

15、抑制它就顯得更加重要，以下是一些常見排除電荷的方法：以下是一些常見排除電荷的方法：控制好合適的環(huán)境濕度?？刂坪煤线m的環(huán)境濕度。及時(shí)排除操作者身上累積的電荷。及時(shí)排除操作者身上累積的電荷。在工作區(qū)域內(nèi)不應(yīng)該使用塑料制品。在工作區(qū)域內(nèi)不應(yīng)該使用塑料制品。必須提供一個(gè)不產(chǎn)生靜電電荷的工作區(qū)域。必須提供一個(gè)不產(chǎn)生靜電電荷的工作區(qū)域。零件在包裝與運(yùn)輸過程中須采用抗靜電或傳導(dǎo)性物質(zhì)來保護(hù)零件在包裝與運(yùn)輸過程中須采用抗靜電或傳導(dǎo)性物質(zhì)來保護(hù)它。它。xiaowei guo dec, 2002 12+ + + + + + + + + 靜電的排除靜電的排除1.傳導(dǎo)傳導(dǎo)傳導(dǎo)性物質(zhì)能夠簡單地將靜電電荷傳導(dǎo)到地面?zhèn)鲗?dǎo)性

16、物質(zhì)能夠簡單地將靜電電荷傳導(dǎo)到地面。 電子電子能夠能夠從地面轉(zhuǎn)移到帶正從地面轉(zhuǎn)移到帶正電的導(dǎo)體上，達(dá)到中和電的導(dǎo)體上，達(dá)到中和電子與地相接使物體達(dá)電子與地相接使物體達(dá)到中和到中和2.2.離子交換或替代法離子交換或替代法 為了中和帶電導(dǎo)體和平衡電荷，可分別產(chǎn)為了中和帶電導(dǎo)體和平衡電荷，可分別產(chǎn)生正負(fù)電荷。生正負(fù)電荷。（例如靜電消除器、離子扇、離子槍）（例如靜電消除器、離子扇、離子槍）xiaowei guo dec, 2002 14xiaowei guo dec, 2002 15實(shí)行防靜電程序?qū)嵭蟹漓o電程序a、控制環(huán)境濕度、控制環(huán)境濕度 靜電電荷極易在高濕度下產(chǎn)生，然而自從線上許多精密儀器靜電電荷

17、極易在高濕度下產(chǎn)生，然而自從線上許多精密儀器在高濕度下不能操作后，濕度控制就變得十分重要。一般而在高濕度下不能操作后，濕度控制就變得十分重要。一般而言，濕度應(yīng)保持在言，濕度應(yīng)保持在40%60%為宜。為宜。b、操作員、操作員必須戴上防靜電手鏈。（這種手鏈須與皮膚緊緊相連。）必須戴上防靜電手鏈。（這種手鏈須與皮膚緊緊相連。）工作臺上必須鋪上防靜電臺毯。（工作臺要接地。）工作臺上必須鋪上防靜電臺毯。（工作臺要接地。）必須戴上防靜電手套或防靜電手指套。必須戴上防靜電手套或防靜電手指套。必須穿上防靜電鞋子（且須時(shí)刻與傳導(dǎo)性地板相連）必須穿上防靜電鞋子（且須時(shí)刻與傳導(dǎo)性地板相連）xiaowei guo d

18、ec, 2002 16c、工作區(qū)域、工作區(qū)域在工作區(qū)域放置的傳導(dǎo)性物質(zhì)或地板應(yīng)被在工作區(qū)域放置的傳導(dǎo)性物質(zhì)或地板應(yīng)被1m的電阻器的電阻器接地。接地。位于工作區(qū)域的任何帶電設(shè)備必須與工作表面隔離。位于工作區(qū)域的任何帶電設(shè)備必須與工作表面隔離。檢查靜電排除或電離劑是否放在工作區(qū)域的合適位置，并檢查靜電排除或電離劑是否放在工作區(qū)域的合適位置，并預(yù)先檢查它們的功能。預(yù)先檢查它們的功能。d、存儲架與小推車、存儲架與小推車必須被接上傳導(dǎo)性物質(zhì)且與必須被接上傳導(dǎo)性物質(zhì)且與1 m的電阻的電阻器接地。器接地。e、電器設(shè)備、焊接槍、或鐵類傳導(dǎo)物質(zhì)應(yīng)直接被接地。、電器設(shè)備、焊接槍、或鐵類傳導(dǎo)物質(zhì)應(yīng)直接被接地。f、監(jiān)

19、測系統(tǒng)：除了接地以外，在屏幕前須裝一個(gè)防靜電過濾器。、監(jiān)測系統(tǒng)：除了接地以外，在屏幕前須裝一個(gè)防靜電過濾器。xiaowei guo dec, 2002 17g、包裝材料、包裝材料材料材料屏蔽的屏蔽的傳導(dǎo)的傳導(dǎo)的分散的分散的抗靜電的抗靜電的/平方平方1041051051091091014xiaowei guo dec, 2002 18對設(shè)備的常規(guī)要求：對設(shè)備的常規(guī)要求：在防靜電工作區(qū)域，操作者應(yīng)戴防靜電手指套，把靜電消除在防靜電工作區(qū)域，操作者應(yīng)戴防靜電手指套，把靜電消除器安裝在合適的工作區(qū)域。器安裝在合適的工作區(qū)域。在防靜電工作區(qū)域，任何物質(zhì)產(chǎn)生的靜電不能超過在防靜電工作區(qū)域，任何物質(zhì)產(chǎn)生的靜

20、電不能超過100v。在防靜電工作區(qū)域，必須不包裝與拿取產(chǎn)品。在防靜電工作區(qū)域，必須不包裝與拿取產(chǎn)品。半導(dǎo)體零件不能靠近監(jiān)測系統(tǒng)。半導(dǎo)體零件不能靠近監(jiān)測系統(tǒng)。xiaowei guo dec, 2002 19靜電識別靜電識別在靜電控制區(qū)域內(nèi)，須明確標(biāo)在靜電控制區(qū)域內(nèi)，須明確標(biāo)“靜電控制靜電控制”標(biāo)識以作提醒。標(biāo)識以作提醒。 警示警示 靜電會破壞零件靜電會破壞零件 不要沒戴防靜電手鏈和指套就去拿取敏感性產(chǎn)品；不要沒戴防靜電手鏈和指套就去拿取敏感性產(chǎn)品； 不要不穿防靜電衣服或塑料物質(zhì)接觸或靠近敏感性產(chǎn)品。不要不穿防靜電衣服或塑料物質(zhì)接觸或靠近敏感性產(chǎn)品。警示標(biāo)識須寫在裝有半導(dǎo)體零件的集裝箱外顯眼的位置

21、上。警示標(biāo)識須寫在裝有半導(dǎo)體零件的集裝箱外顯眼的位置上。xiaowei guo dec, 2002 20訓(xùn)練訓(xùn)練任何一個(gè)技術(shù)人員必須受過防靜電知識培訓(xùn)。任何一個(gè)技術(shù)人員必須受過防靜電知識培訓(xùn)。一線工人每年至少接受防靜電培訓(xùn)一次。一線工人每年至少接受防靜電培訓(xùn)一次。 培訓(xùn)內(nèi)容包括：培訓(xùn)內(nèi)容包括： *防靜電手冊防靜電手冊 *考試（一線工人）考試（一線工人）xiaowei guo dec, 2002 21稽核稽核每天每天操作員在工作前必須檢測防靜電手鏈。操作員在工作前必須檢測防靜電手鏈。每星期每星期管理人員應(yīng)檢查：管理人員應(yīng)檢查：防靜電消除器的位置排放點(diǎn)是否合適，能源是否充足。防靜電消除器的位置排放

22、點(diǎn)是否合適，能源是否充足。防靜電手鏈、鞋、衣服等穿戴是否正確。防靜電手鏈、鞋、衣服等穿戴是否正確。在工作區(qū)域，靜電產(chǎn)生不能超過在工作區(qū)域，靜電產(chǎn)生不能超過100v。每月每月質(zhì)量工程師須檢查質(zhì)量工程師須檢查*在防靜電工作區(qū)域內(nèi)，傳導(dǎo)性物質(zhì)、地板須與在防靜電工作區(qū)域內(nèi)，傳導(dǎo)性物質(zhì)、地板須與1 m10%電阻器接地。電阻器接地。*檢查設(shè)備與儀器是否直接被接地。檢查設(shè)備與儀器是否直接被接地。*檢查防靜電設(shè)備是否被定期校準(zhǔn)。檢查防靜電設(shè)備是否被定期校準(zhǔn)。xiaowei guo dec, 2002 22目目 的的為提高本公司半導(dǎo)體分立器件和集成電路封裝過程中的靜電防為提高本公司半導(dǎo)體分立器件和集成電路封裝過

23、程中的靜電防護(hù)能力，規(guī)范靜電防護(hù)能力，規(guī)范靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范要求，特制訂本規(guī)范。護(hù)作業(yè)規(guī)范要求，特制訂本規(guī)范。范范 圍圍本規(guī)范規(guī)定了靜電防護(hù)作業(yè)的操作要求及程序。本規(guī)范規(guī)定了靜電防護(hù)作業(yè)的操作要求及程序。本規(guī)范適用于集成電路總廠、分立器件總廠和測試總廠生產(chǎn)線本規(guī)范適用于集成電路總廠、分立器件總廠和測試總廠生產(chǎn)線各工序作業(yè)人員、生產(chǎn)各工序作業(yè)人員、生產(chǎn)場地及設(shè)備。場地及設(shè)備。xiaowei guo dec, 2002 23 工具與材料工具與材料3.1 串聯(lián)串聯(lián)1 m電阻的靜電環(huán)。電阻的靜電環(huán)。3.2 靜電環(huán)靜電環(huán)/導(dǎo)電鞋測試器。導(dǎo)電鞋測試器。3.3 防靜電桌墊（阻值防靜電桌墊（阻值10+e6-10

24、+e9 /sq）。）。3.4 無粉抗靜電指套無粉抗靜電指套/手套手套 。3.5 交流型離子風(fēng)扇。交流型離子風(fēng)扇。3.6 防靜電工作桌。防靜電工作桌。3.7 防靜電袋及防靜電料管。防靜電袋及防靜電料管。3.8 靜電場測試儀。靜電場測試儀。3.9 歐姆表。歐姆表。3.10 防靜電工作服。防靜電工作服。xiaowei guo dec, 2002 23術(shù)語和定義術(shù)語和定義4.1 導(dǎo)體：靜電保護(hù)材料其表面電阻系數(shù)導(dǎo)體：靜電保護(hù)材料其表面電阻系數(shù)10+e6歐姆。歐姆。靜電傳導(dǎo)（消散）物質(zhì)：表面電阻系數(shù)靜電傳導(dǎo)（消散）物質(zhì)：表面電阻系數(shù)10e+7 -10+e9 /cm2?？轨o電物質(zhì)：靜電保護(hù)材料其表面電阻系

25、數(shù)抗靜電物質(zhì)：靜電保護(hù)材料其表面電阻系數(shù) 10e10-10e12/cm2。4.3 自動機(jī)器工作站自動機(jī)器工作站 除了在裝卸材料時(shí)，作業(yè)員通常不接觸材料的工作站；例如：裝片、球焊、除了在裝卸材料時(shí)，作業(yè)員通常不接觸材料的工作站；例如：裝片、球焊、自動塑自動塑 封封等。等。4.4 非自動工作站非自動工作站 作業(yè)員用手觸及材料的工作站；例如：磨片、劃片、手動上片、最終目檢、作業(yè)員用手觸及材料的工作站；例如：磨片、劃片、手動上片、最終目檢、蓋印擦拭、測試等。蓋印擦拭、測試等。安全區(qū)域安全區(qū)域本區(qū)之材料所有的腳都在等電位狀態(tài)下本區(qū)之材料所有的腳都在等電位狀態(tài)下(線已接線已接,且腳尚未分離且腳尚未分離,如

26、塑封、切中筋、如塑封、切中筋、電電鍍及打印等鍍及打印等)。4.6 防靜電工作桌防靜電工作桌 防靜電工作桌必須使用導(dǎo)電性或靜電傳導(dǎo)（消散）性桌面，桌面必須串聯(lián)防靜電工作桌必須使用導(dǎo)電性或靜電傳導(dǎo)（消散）性桌面，桌面必須串聯(lián)1 m電阻接地。電阻接地。xiaowei guo dec, 2002 23對非安全區(qū)的靜電防護(hù)規(guī)范對非安全區(qū)的靜電防護(hù)規(guī)范5.1 一般要求一般要求5.1.1 所有用以生產(chǎn)、品質(zhì)檢驗(yàn)的設(shè)備必須接地。所有用以生產(chǎn)、品質(zhì)檢驗(yàn)的設(shè)備必須接地。5.1.2 所有生產(chǎn)、處理或儲存對靜電敏感的產(chǎn)品的設(shè)備、工具、夾具和手工用所有生產(chǎn)、處理或儲存對靜電敏感的產(chǎn)品的設(shè)備、工具、夾具和手工用具等必須用

27、導(dǎo)電或靜電傳導(dǎo)物質(zhì)做成，如：手工用具、手指套、儲存周轉(zhuǎn)用具等必須用導(dǎo)電或靜電傳導(dǎo)物質(zhì)做成，如：手工用具、手指套、儲存周轉(zhuǎn)用盤、盒、箱子。盤、盒、箱子。5.1.3 所有非自動工作站的作業(yè)必須在防靜電工作桌上進(jìn)行。所有非自動工作站的作業(yè)必須在防靜電工作桌上進(jìn)行。5.1.4 每個(gè)工作桌至少提供一個(gè)接地點(diǎn)，供作業(yè)人員、容器、載具等接地，并每個(gè)工作桌至少提供一個(gè)接地點(diǎn)，供作業(yè)人員、容器、載具等接地，并予以適當(dāng)?shù)臉?biāo)示，避免可能的錯(cuò)誤，同時(shí)禁止使用鱷魚夾頭。予以適當(dāng)?shù)臉?biāo)示，避免可能的錯(cuò)誤，同時(shí)禁止使用鱷魚夾頭。5.1.5 材料儲存、裝卸、傳送時(shí)應(yīng)使用導(dǎo)電或防靜電的管、盒、彈夾、載具。材料儲存、裝卸、傳送時(shí)應(yīng)

28、使用導(dǎo)電或防靜電的管、盒、彈夾、載具。5.1.6 所有儲放元件的棚架、氮?dú)夤窦巴栖嚤仨毷菍?dǎo)電材料制成，且棚架、氮所有儲放元件的棚架、氮?dú)夤窦巴栖嚤仨毷菍?dǎo)電材料制成，且棚架、氮?dú)夤駪?yīng)串聯(lián)氣柜應(yīng)串聯(lián)1 m電阻予以接地，推車則需加裝鏈條。電阻予以接地，推車則需加裝鏈條。xiaowei guo dec, 2002 23. 5.1.7 絕對不可用手接觸晶圓晶粒；只能用真空吸筆或金屬鑷子，在所有過程絕對不可用手接觸晶圓晶粒；只能用真空吸筆或金屬鑷子，在所有過程中，拇指、食指、中指要帶上抗靜電指套。中，拇指、食指、中指要帶上抗靜電指套。5.1.8 工作地板需求工作地板需求 注：無塵室內(nèi)及包封以后各站工作區(qū)。

29、注：無塵室內(nèi)及包封以后各站工作區(qū)。走道區(qū)域地板必須是防靜電地板，地板表面阻值低于走道區(qū)域地板必須是防靜電地板，地板表面阻值低于10e12 /cm2。設(shè)備與工作桌區(qū)域必須使用抗靜電地板，地板表面阻值設(shè)備與工作桌區(qū)域必須使用抗靜電地板，地板表面阻值10e7-10e/ cm2。xiaowei guo dec, 2002 23靜電手環(huán)與導(dǎo)電鞋靜電手環(huán)與導(dǎo)電鞋5.2.1 在處理任何產(chǎn)品之前作業(yè)人員必須戴上已可靠接地的靜在處理任何產(chǎn)品之前作業(yè)人員必須戴上已可靠接地的靜電環(huán)且任何時(shí)候該靜電環(huán)要與皮膚保持良好的接觸。電環(huán)且任何時(shí)候該靜電環(huán)要與皮膚保持良好的接觸。5.2.2 無塵室內(nèi)工作人員按規(guī)定著裝無塵室內(nèi)工

30、作人員按規(guī)定著裝,靜電手環(huán)必須戴上。靜電手環(huán)必須戴上。5.2.3 后站工作人員按規(guī)定著裝后站工作人員按規(guī)定著裝,靜電手環(huán)必須戴上。靜電手環(huán)必須戴上。5.2.4 當(dāng)作業(yè)人員從別處走到防靜電工作站附近或接觸靜電敏當(dāng)作業(yè)人員從別處走到防靜電工作站附近或接觸靜電敏感材料前必須先戴上靜電環(huán)，用手先去觸摸導(dǎo)電桌表面后方可感材料前必須先戴上靜電環(huán)，用手先去觸摸導(dǎo)電桌表面后方可接觸具體產(chǎn)品。接觸具體產(chǎn)品。5.2.5 包含靜電環(huán)與人體的電性回路必須每班生產(chǎn)前由作業(yè)員包含靜電環(huán)與人體的電性回路必須每班生產(chǎn)前由作業(yè)員自己使用表面電阻測試儀檢查一次，品管對每班作業(yè)員使用測自己使用表面電阻測試儀檢查一次，品管對每班作業(yè)

31、員使用測試儀情況進(jìn)行抽檢，每班抽測一次，每次抽檢按作業(yè)員工數(shù)比試儀情況進(jìn)行抽檢，每班抽測一次，每次抽檢按作業(yè)員工數(shù)比率為率為5%進(jìn)行抽樣檢測，兩者均需保存記錄。進(jìn)行抽樣檢測，兩者均需保存記錄。xiaowei guo dec, 2002 23 接接 地地5.3.1 工作桌上的電氣設(shè)備需直接接地，并且需要和工作桌面工作桌上的電氣設(shè)備需直接接地，并且需要和工作桌面隔絕。隔絕。5.3.2 接地線不可串接。接地線不可串接。5.3.3 各部門必須至少每周檢查一次工作桌、儲存柜、置物架各部門必須至少每周檢查一次工作桌、儲存柜、置物架接地狀況并作記錄接地狀況并作記錄xiaowei guo dec, 2002

32、23靜電消除靜電消除:5.4.1 下述工作場所必須使用離子風(fēng)扇和防靜電手鏈，工作時(shí)產(chǎn)品必須置于距離子扇下述工作場所必須使用離子風(fēng)扇和防靜電手鏈，工作時(shí)產(chǎn)品必須置于距離子扇(5-20)cm圓弧內(nèi)（兩邊各近似圓弧內(nèi)（兩邊各近似45）,（離子風(fēng)靜電電壓（離子風(fēng)靜電電壓200v）。）。 a) 在芯片上貼、揭薄膜在芯片上貼、揭薄膜-對應(yīng)站別：磨劃片對應(yīng)站別：磨劃片接觸單粒芯片接觸單粒芯片-對應(yīng)站別：裝片、球焊、球焊目檢。對應(yīng)站別：裝片、球焊、球焊目檢。5.4.2 下述工作場所必須使用防靜電手鏈下述工作場所必須使用防靜電手鏈 a) 彎腳成形、單顆蓋印彎腳成形、單顆蓋印-對應(yīng)站別：沖切、補(bǔ)印對應(yīng)站別：沖切、

33、補(bǔ)印 b) 開、短路開、短路電性測試電性測試-對應(yīng)站別：測試對應(yīng)站別：測試 c) 外觀檢驗(yàn)、包裝外觀檢驗(yàn)、包裝-對應(yīng)站別：外驗(yàn)、包裝對應(yīng)站別：外驗(yàn)、包裝5.4.3 任何對靜電敏感的材料放于工作臺之前，必須把離子風(fēng)扇先打開，且中途不可任何對靜電敏感的材料放于工作臺之前，必須把離子風(fēng)扇先打開，且中途不可關(guān)掉。關(guān)掉。5.4.4 靜電消除器由品管員以靜電場測試儀（每個(gè)月一次），若不符合要求則停止禁靜電消除器由品管員以靜電場測試儀（每個(gè)月一次），若不符合要求則停止禁用，同時(shí)靜電消除器須納入校驗(yàn)管理，定期實(shí)施計(jì)量校驗(yàn)。用，同時(shí)靜電消除器須納入校驗(yàn)管理，定期實(shí)施計(jì)量校驗(yàn)。5.5 靜電防護(hù)警告標(biāo)示必須貼在包裝箱上，未滿箱的箱子，其填充物必須是抗靜電靜電防護(hù)警告標(biāo)示必須貼在包裝箱上，未滿箱的箱子，其填充物必須是抗靜電材料，