檢測(cè)平面度的方法介紹

1、太友社技TAIYOU rECH _專業(yè)提供spc數(shù)據(jù)分析軟件等機(jī)械測(cè)量解決方案檢測(cè)平面度的方法介紹太友科技TAIYOU rECH -專業(yè)提供spc數(shù)據(jù)分析軟件等機(jī)械測(cè)量解決方案平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差平面的平面度公差符號(hào)、基本表示方法，如圖 1所示。太友科技TAIYOU rECH -專業(yè)提供spc數(shù)據(jù)分析軟件等機(jī)械測(cè)量解決方案太友科技TAIYOU rECH -專業(yè)提供spc數(shù)據(jù)分析軟件等機(jī)械測(cè)量解決方案平面度誤差的檢測(cè)方法理想平面的位置應(yīng)符合平面度誤差是指被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想表面的變動(dòng)量, 最小條件，平面度誤差屬于形位誤差中的形狀誤差。 平面度誤差的測(cè)量

2、方法：直接測(cè)量法間接測(cè)量法利用太友科技數(shù)據(jù)采集儀連接百分表法1、直接測(cè)量法通過(guò)測(cè)量可直接獲得平面上各點(diǎn)坐標(biāo)值或能直接評(píng)定平面度誤差值的方法。具體如下：平晶干涉法測(cè)微表測(cè)量法光軸法、液面法等。1）平晶干涉法干涉法測(cè)量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個(gè)被測(cè)平面上， 用平晶工 作面體現(xiàn)理想平面，根據(jù)測(cè)量時(shí)出現(xiàn)的干涉條紋形狀和數(shù)目， 由計(jì)算所得的結(jié)果 作為平面度誤差值，如圖所示。該方法只適合測(cè)量精研小平面及小光學(xué)元件。2）測(cè)微表測(cè)量法用3個(gè)可調(diào)支承將被測(cè)件支撐在標(biāo)準(zhǔn)平板上， 用測(cè)微儀指示。調(diào)整可調(diào)支承，用 三點(diǎn)法或四點(diǎn)法（對(duì)角線法）進(jìn)行測(cè)量。然后用測(cè)微儀讀出被測(cè)表上各點(diǎn)的最大 與最小讀數(shù)差作為平

3、面度誤差值的測(cè)量結(jié)果。該測(cè)量方法適用于車(chē)間較低精度、 中等尺寸的工件。3）光軸法光軸法測(cè)量平面度誤差是利用準(zhǔn)直類儀器 2、以它的光軸經(jīng)轉(zhuǎn)向棱鏡3掃描的平 面作為測(cè)量基準(zhǔn)，將瞄準(zhǔn)靶1放置在實(shí)際被測(cè)平面4上，按選定的布點(diǎn)，測(cè)出各 測(cè)點(diǎn)相對(duì)于該測(cè)量基準(zhǔn)的偏離量，再經(jīng)數(shù)據(jù)處理評(píng)定平面誤差值。E箭準(zhǔn)靶2準(zhǔn)戌儀3一轉(zhuǎn)向樓鏡4一核測(cè) 平面太友赴技TAIYOU rECH -專業(yè)提供spc數(shù)據(jù)分析軟件等機(jī)械測(cè)量解決方案2、間接測(cè)量法特點(diǎn)：測(cè)量精度高，但數(shù)據(jù)處理麻煩。因被測(cè)平面需測(cè)若干個(gè)截面，而各截面內(nèi) 的偏差值在測(cè)量時(shí)不是由同一基準(zhǔn)產(chǎn)生， 故須經(jīng)復(fù)雜的數(shù)據(jù)后，才能獲得各測(cè)量 截面相對(duì)統(tǒng)一基準(zhǔn)的坐標(biāo)值。適用于中大

4、平面的測(cè)量。測(cè)量方法：水平儀法、自準(zhǔn)儀法、互檢法1）水平儀法原理：以自然水平面作為測(cè)量基礎(chǔ)。測(cè)量時(shí)，先把被測(cè)表面調(diào)到基本水平，然后 把水平儀放在橋板上，再把橋板置于被測(cè)表面上，按照一定的布線逐漸測(cè)量，同 時(shí)記錄各測(cè)點(diǎn)的讀數(shù)，根據(jù)測(cè)得的讀數(shù)通過(guò)數(shù)據(jù)處理，即可得平面度誤差值。分類：依布線方法不同又分為水平面法和對(duì)角線法。2）水平面法采用網(wǎng)格布點(diǎn)，基準(zhǔn)平面為過(guò)被測(cè)表面上的某給定點(diǎn)且與水平面平行的幾何平面： 測(cè)量時(shí)應(yīng)采用同一橋板，各測(cè)點(diǎn)的同一坐標(biāo)值用累積法求得， 計(jì)算比較簡(jiǎn)單。測(cè) 量時(shí)選擇不同的起始點(diǎn)和不同的測(cè)量線， 其數(shù)據(jù)處理的方法、結(jié)果不同。存在一 個(gè)最佳結(jié)果。3）對(duì)角線法 采用對(duì)角線布點(diǎn)。過(guò)渡基

5、準(zhǔn)平面是：過(guò)被測(cè)表面的一條對(duì)角線，且平行于被測(cè)表面的另一條對(duì)角線 的平面。測(cè)量時(shí)常須用三塊長(zhǎng)度不同的板橋。數(shù)據(jù)處理較麻煩。4）自準(zhǔn)儀法-專業(yè)提供SPC數(shù)據(jù)分析軟件等機(jī)械測(cè)量解決方案0太友科技LK_Itaiyou tech 原理：用自準(zhǔn)儀測(cè)量平面度誤差時(shí)，是將自準(zhǔn)儀置于被測(cè)零件之外的基準(zhǔn)上， 將 反向鏡放在橋板上，并將橋板置于被測(cè)表面上。測(cè)量時(shí)先把自準(zhǔn)儀與被測(cè)表面調(diào)整到基本平行，然后用測(cè)量值限度誤差的方法測(cè)量出逐一布線的直線度，通過(guò)數(shù) 據(jù)處理，得到被測(cè)平面的平面度。5）互檢法 平晶干涉法可利用技術(shù)光波干涉法直接讀數(shù)， 故多塊平晶間可以相互自檢，而不 需要標(biāo)準(zhǔn)器。如三塊平晶互檢。3、利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表測(cè)量平面度誤差的方法 測(cè)量?jī)x器：偏擺儀、百分表、QSmart數(shù)據(jù)采集儀。測(cè)量原理：數(shù)據(jù)采集儀會(huì)從百分表中自動(dòng)讀取測(cè)量數(shù)據(jù)， 然后由數(shù)據(jù)采集儀軟件 里的計(jì)算軟件自動(dòng)計(jì)算出所測(cè)產(chǎn)品的平面度誤差， 最后數(shù)據(jù)采集儀會(huì)自動(dòng)判斷所 測(cè)零件的平面度誤差是否在平面度公差范圍內(nèi)，如果所測(cè)平面度誤差大于平面度 公差值，采集儀會(huì)自動(dòng)發(fā)出報(bào)警功能，提醒相關(guān)操作人員該產(chǎn)品不合格。測(cè)量效果示意圖：利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表來(lái)測(cè)量平面度誤差值的優(yōu)勢(shì):1）無(wú)需人工用肉眼去讀數(shù)，可以減少由于人工讀數(shù)產(chǎn)生的誤差；2）