上海市2020年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”集成電路科技支撐專項(xiàng)項(xiàng)目申報(bào)指南

1、上海市 2020 年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”集成電路科技支撐專項(xiàng)項(xiàng)目申報(bào)指南各有關(guān)單位：為加快建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心，提升集成電路領(lǐng)域科技創(chuàng)新能力，加快突破集成電路領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)，上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)特發(fā)布 2020 年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”集成電路科技支撐專項(xiàng)項(xiàng)目申報(bào)指南。一、征集范圍專題一、芯片及其制造裝備、材料與零部件技術(shù)方向 1、集成電路制造裝備、材料及零部件研究目標(biāo)：研制具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的重大集成電路制造裝備及關(guān)鍵零部件，突破和掌握集成電路制造高端裝備系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成和應(yīng)用關(guān)鍵技術(shù)，持續(xù)提升零部件、材料等配套能力。研究?jī)?nèi)容：（ 1）集成電路高端裝備用關(guān)鍵零部件研發(fā)與驗(yàn)證；（ 2

2、）掩膜版制造用激光直寫設(shè)備及納米尺度三維多參數(shù)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)研發(fā)。執(zhí)行期限： 2020 年 10 月 1 日到 2023 年 9 月 30 日。經(jīng)費(fèi)額度：為非定額資助。申報(bào)主體要求：本市獨(dú)立法人單位。企業(yè)牽頭申報(bào)的投入研發(fā)經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)之比不低于 2:1 。優(yōu)先鼓勵(lì)用戶企業(yè)牽頭組織申報(bào)。方向 2、核心芯片器件、模塊及應(yīng)用研究目標(biāo)：與汽車等優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用需求緊密結(jié)合，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新，突破芯片、模塊自主設(shè)計(jì)、制造和應(yīng)用關(guān)鍵技術(shù)。研究?jī)?nèi)容： （ 1）1200V 碳化硅 MOSFET 工藝制造關(guān)鍵技術(shù)，及芯片模塊開(kāi)發(fā)與應(yīng)用；（ 2）硅基氮化鎵功率集成電路工藝庫(kù)開(kāi)發(fā)、電路設(shè)計(jì)及應(yīng)用。執(zhí)行期限

3、： 2020 年 10 月 1 日到 2023 年 9 月 30 日。經(jīng)費(fèi)額度：為非定額資助。申報(bào)主體要求：本市企業(yè)。企業(yè)投入研發(fā)經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)之比不低于 2:1 。優(yōu)先支持工藝制造、芯片設(shè)計(jì)和系統(tǒng)應(yīng)用企業(yè)聯(lián)合申報(bào)、協(xié)同攻關(guān)。專題二、集成電路共性技術(shù)研發(fā)方向 1、集成電路制造關(guān)鍵技術(shù)研究目標(biāo)：突破集成電路制造工藝模塊開(kāi)發(fā)和整合關(guān)鍵瓶頸，掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工藝技術(shù)，支撐先進(jìn)工藝線建設(shè)和量產(chǎn)能力提升。研究?jī)?nèi)容：（ 1）面向 5G 應(yīng)用 CMOS 或 SiGe 超高速射頻工藝及模型庫(kù)開(kāi)發(fā)；（ 2）面向車規(guī)級(jí)芯片制造的集成電路制造工藝技術(shù)提升。執(zhí)行期限： 2020 年 10 月 1 日到 20

4、23 年 9 月 30 日。經(jīng)費(fèi)額度：為非定額資助。申報(bào)主體要求：本市企業(yè)。企業(yè)牽頭申報(bào)的投入研發(fā)經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)之比不低于 2:1 。方向 2、集成電路測(cè)試等平臺(tái)服務(wù)技術(shù)研究目標(biāo)：培育和完善集成電路相關(guān)研發(fā)平臺(tái)能力，服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略科技力量打造。面向未來(lái)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和高速傳輸接口芯片研發(fā)，發(fā)展新型存儲(chǔ)器工藝和接口檢測(cè)共性技術(shù)。研究?jī)?nèi)容：（ 1）新型存儲(chǔ)器工藝平臺(tái)完善及關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)；（ 2 ）集成電路制造超淺結(jié)退火激光關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及工藝研究；（ 3 ）高速串行接口芯片檢測(cè)技術(shù)研發(fā)與檢測(cè)平臺(tái)建設(shè)。執(zhí)行期限： 2020 年 10 月 1 日到 2022 年 9 月 30 日。經(jīng)費(fèi)額度：為非定額資助。申報(bào)

5、主體要求：本市獨(dú)立法人單位。企業(yè)牽頭申報(bào)的投入研發(fā)經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)之比不低于1:1 。專題三、集成電路前瞻技術(shù)研究方向、集成電路新材料、新器件、新方法研究目標(biāo)：面向未來(lái)計(jì)算、存儲(chǔ)、傳感等對(duì)集成電路新材料、新器件、新計(jì)算架構(gòu)、新方法等，實(shí)現(xiàn)原理突破和原型驗(yàn)證。研究?jī)?nèi)容：（ 1）光子計(jì)算關(guān)鍵器件開(kāi)發(fā)、架構(gòu)研究及原型芯片實(shí)現(xiàn)；（2）金屬硫化物等二維原子晶體器件與大尺寸材料制備技術(shù)；（3 ）三維集成電路電磁全波仿真和參數(shù)提取技術(shù)研究；（4）三維集成電路功耗分析、熱分析和應(yīng)力分析技術(shù)研究；（5）基于人工智能的EDA 多目標(biāo)優(yōu)化算法研究；（ 6 ）研發(fā)新一代微波可調(diào)無(wú)源器件，突破高集成度、寬帶可重構(gòu)的微

6、波集成電路先進(jìn)材料和關(guān)鍵工藝； （ 7 ）研發(fā)新型刺激響應(yīng)智能薄膜材料和介觀尺度下結(jié)構(gòu)可重構(gòu)可瞬變的電子元器件，實(shí)現(xiàn)器件性能的集成化驗(yàn)證，探索集成化智能安全芯片實(shí)現(xiàn)；（ 8）基于 CMOS 技術(shù)的集成生物光電子芯片。執(zhí)行期限： 2020 年 10 月 1 日到 2022 年 9 月 30 日。經(jīng)費(fèi)額度：為非定額資助。申報(bào)主體要求：本市獨(dú)立法人單位。企業(yè)牽頭申報(bào)的投入研發(fā)經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)之比不低于 1:1 。每條研究?jī)?nèi)容限支持 1 項(xiàng)。二、申報(bào)要求除滿足前述相應(yīng)條件外，還須符合以下要求：1.項(xiàng)目申報(bào)單位應(yīng)當(dāng)是注冊(cè)在本市的獨(dú)立法人單位，具有組織項(xiàng)目實(shí)施的相應(yīng)能力。2.研究?jī)?nèi)容已經(jīng)獲得財(cái)政資金支持

7、的，不得重復(fù)申報(bào)。3.所有申報(bào)單位和項(xiàng)目參與人應(yīng)遵守科研倫理準(zhǔn)則，遵守人類遺傳資源管理相關(guān)法規(guī)，符合科研誠(chéng)信管理要求。項(xiàng)目責(zé)任人應(yīng)承諾所提交材料真實(shí)性，申報(bào)單位應(yīng)當(dāng)對(duì)申請(qǐng)人的申請(qǐng)資格負(fù)責(zé)，并對(duì)申請(qǐng)材料的真實(shí)性和完整性進(jìn)行審核，不得提交有涉密內(nèi)容的項(xiàng)目申請(qǐng)。4.申報(bào)項(xiàng)目若提出回避專家申請(qǐng)的，須在提交項(xiàng)目可行性方案等書面材料的同時(shí)，上傳由申報(bào)單位出具公函提出回避專家名單與理由。5.已作為項(xiàng)目責(zé)任人承擔(dān)市科委科技計(jì)劃在研項(xiàng)目2 項(xiàng)及以上者，不得作為項(xiàng)目責(zé)任人申報(bào)。6.項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)預(yù)算編制應(yīng)當(dāng)真實(shí)、合理，符合市科委科技計(jì)劃項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)管理的有關(guān)要求。三、申報(bào)方式1.項(xiàng)目申報(bào)采用網(wǎng)上申報(bào)方式，無(wú)需送交紙質(zhì)材料。申請(qǐng)人通過(guò)“中國(guó)上?！遍T戶網(wǎng)站（）- 一網(wǎng)通辦 - 利企服務(wù) - 點(diǎn)擊“上海市財(cái)政科技投入信息管理平臺(tái)”圖片鏈接進(jìn)入申報(bào)頁(yè)面，或者直接通過(guò)域名進(jìn)入申報(bào)頁(yè)面：【賬戶注冊(cè)】轉(zhuǎn)入注冊(cè)頁(yè)面進(jìn)行單位注冊(cè)，然后再進(jìn)行申報(bào)賬號(hào)注冊(cè) （單位注冊(cè)需使用 “法人一證通” 進(jìn)行校驗(yàn)） ；【初次填寫】使用申報(bào)賬號(hào)登錄系統(tǒng)，轉(zhuǎn)入申報(bào)指南頁(yè)面，點(diǎn)擊相應(yīng)的指南專題后，按提示完成“上?？萍肌庇脩糍~號(hào)綁定，再進(jìn)行項(xiàng)目申報(bào)；【繼續(xù)填寫】登錄已注冊(cè)申報(bào)賬號(hào)、密碼后繼續(xù)該