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1、.平面度與光波帶的關(guān)系引用一本書上的內(nèi)容:1)根據(jù)干涉條紋計算平面度誤差測量時若出現(xiàn)向一個方向彎曲的干涉條紋,如圖所示,調(diào)整平晶位置,使之出現(xiàn)35條干涉帶,則平面度誤差的近似值為:f= (v/)×(/2)為光波波長,白光的平均波長為0.58m,為干涉帶彎曲量,為干涉帶間距但是如何精確確定和的值,我也很迷惑!2)根據(jù)光圈計算平面度誤差若被測平面凹或凸,則會出現(xiàn)環(huán)形干涉帶,調(diào)整平晶的位置,使干涉帶數(shù)為最少,則平面度誤差的近似值為:f(/2) ×n為光波波長,白光的平均波長為0.58m;n為平晶直徑方向上的光圈數(shù)示意圖如下 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 1
2、6:55 編輯 2008/6/27 00:04平晶具有兩個(或一個)光學(xué)測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學(xué)測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面,它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋(見激光測長技術(shù))。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差,圖1a為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學(xué)測量平面是相互平行的,用于測量兩高光潔表面的平行度誤差,例如千分尺兩測量面的平行度誤差(圖1b)。平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45150毫米。其光學(xué)測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.030.05微米;2級精度的為0.1微米。
3、常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。平晶-正文 具有兩個(或一個)光學(xué)測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學(xué)測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面,它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋(見激光測長技術(shù))。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差,圖1a為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學(xué)測量平面是相互平行的,用于測量兩高光潔表面的平行度誤差,例如千分尺兩測量面的平行度誤差(圖1b)。平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45150毫米。其光學(xué)測量平面的平面度誤
4、差為:1級精度的為0.030.05微米;2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。 平晶 平晶平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測量平面度誤差的,故其測量方法稱為平晶干涉法(圖2),也稱技術(shù)光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 ,以單色光源照射時會產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測表面,且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示
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