管制計劃表(臺灣健峰)

1、XXXX科技股份有限公司XXXXCO., LTD. 管制計劃 頁次：1/38編號：CPW-001負責人/電話：制訂日期：87/06/15原型品 量產(chǎn)前 生產(chǎn)核準：修訂日期：料號最新變更版：供應者/廠商：XXXX科技跨功能小組：料號名稱/說明：多層印刷電路板(全制程)供貨商式代號：核準日期：87/06/18客戶工程核準/日期：（如有要求）客戶品保核準/日期：（如有要求）制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率1IQC進料檢驗銅基板QI2-10-001QI3-10-0011.2.3.4.外觀尺寸

2、銅箔厚度板厚QI3-10-0011.目視2.卷尺3.銅箔厚度計4.分厘卡ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2C=0每批進料檢驗報告通知采購部銅球1.2.3.外觀顏色銅含量QI3-10-0011.目視2.目視3.滴定ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2C=0每批進料檢驗報告通知采購部錫球1.2.外觀顏色QI3-10-0011.目視2.目視ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2C=0每批進料檢驗報告通知采購部 備注：管制特性 S安全特性FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：2/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名

3、稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率IQC干膜QI2-10-001QI3-10-0011.2.外觀尺寸QI3-10-0011.目視2.卷尺ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批進料檢驗報告通知采購部鉆頭1.2.外觀直徑QI3-10-0011.工具顯微鏡2.直徑測量機ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批鉆頭、銑刀、進料檢驗報告通知采購部銑刀1.2.外觀直徑MQ3-10-0011.工具顯微鏡2.工具顯微鏡ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批鉆頭、銑刀、進料檢驗報告通知采購部鋁板1.2.3.外觀厚度尺寸MQ3-1

4、0-0011.目視2.分厘卡3.卷尺ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批進料檢驗報告通知采購部FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：3/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率IQC木漿板QI2-10-001QI3-10-0011.2.厚度尺寸MQ3-10-0011.目視2.卷尺ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批進料檢驗報告通知采購部Prepreg1.2.3.4.5.外觀膠含量膠流量凝膠時間緯歪MQ3-10-00

5、11.目視2.微量天平3.膠流量測試機4.凝膠時間測試機5.緯歪直角規(guī)ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批進料檢驗報告通知采購部銅箔1.2.3.外觀針孔厚度MQ3-10-0011.目視2.目視3.銅箔厚度計ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批進料檢驗報告通知采購部FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：4/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率IQC油墨QI 2-10-001QI 3-10-0011.2.3.外觀顏

6、色黏度QI 3-10-0011.目視2.目視3.黏度計ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批進料檢驗報告通知采購部CARBON1.2.3.外觀顏色黏度QI -10-0011.目視2.目視3.黏度計ANSI-ASQCZ1.4LEVELS-2每批進料檢驗報告通知采購部化學藥品1.2.3.4.5.外觀顏色比重濃度PHMQ3-10-0011.目視2.目視3.比重計4.滴定5.PH計250ml或250g每批進料檢驗報告通知采購部FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：5/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級

7、方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率2客戶規(guī)格審查PQ3-001PQ3-002PQ3-0021.規(guī)格客戶要求符合廠內(nèi)制程能力新料號1. CHECK LIST2. 客戶標準審查表及客戶要求重點表1. 通知PDE或課長2. 通知業(yè)務及制前課并與客戶確認規(guī)格料號制作PQ3-02-0021.CAM客戶原稿或制前設計準則新料號CAMD.R.C.通知PDE或課長治、工具制作PG3-03-008PQ2-02-007PQ3-02-0071.治工具客戶原稿或制前設計準則每個治工具治工具檢查表通知PDE、CAM或課長工程檢核PQ3-02-0131.工單內(nèi)容客戶規(guī)格及設計準則工

8、單內(nèi)容不可違背客戶規(guī)格及設計準則每個料號工單檢核表通知PDE底片檢核PQ3-02-0131.各項底片內(nèi)容與試鉆板、客戶規(guī)格及原稿底片數(shù)據(jù)相符目視/50倍目鏡每個料號印刷底片檢核記錄表通知制前課FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：6/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率c3模具檢核PQ3-02-0131.外型尺寸中值及規(guī)格下限的(-1/2，-1)二次元測長機2片每一模具模具進料檢驗單通知模具制造商2.沖孔尺寸中值及規(guī)格上限的(1/

9、2，1)二次元測長機2片每一模具模具進料檢驗單通知模具制造商NC標準板及試鉆板PQ3-02-0131.外型尺寸與機構圖相符二次元測長機1片每一料號NC工作月報表通知制前課2.孔徑孔位與工單及孔徑圖相符PIN GUAGE1片每一料號鉆孔樣板孔徑報告通知制前課4裁板MQ3-09-004自動裁板機1.基板尺寸依工單規(guī)格±1.0卷尺1片批自主檢查表通知現(xiàn)場組長5前處理(干膜)MQ3-09-023放板機1.速度2.7±0.3m/min1次4hrs速度檢查表通知現(xiàn)場組長微蝕線2.微蝕速率1.2±0.3m1次每日自主檢查表及SPC管制表通知現(xiàn)場組長3.水破實驗30sec以上1次

10、每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：7/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率6 7 8前處理(印刷)MQ3-09-023前處理機1.速度4.0±0.3m/min2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長磨刷機2.速度4.0±0.3m/min2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.電流4.65.4A2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長微蝕線4.微蝕速率1.0±0.5m1次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長5

11、.水破實驗30sec以上1次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長壓膜段(干膜)MQ3-09-024壓膜機1.壓膜溫度120±101次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長印刷段(印刷)MQ3-09-024印刷機1.覆膜厚度17±2m1次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長烤箱1.溫度1. 92±22. 90±23. 88±21次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：8/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測

12、判定方法樣本抽樣數(shù)頻率9 10 11曝光段(干膜)MQ3-09-025無塵室1.溫度22±2溫濕度計1次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.濕度55±5%RH溫濕度計1次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.落塵量10000級以內(nèi)微塵粒子計數(shù)器1次每季落塵量記錄表通知工務部曝光機1.曝光能階79step2次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長曝光段(印刷)MQ3-09-025曝光機1.曝光能階57step1次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長D.E.S.線(干膜)MQ3-09-026顯影機1.速度2.5±0.5 m/min1次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.溫度30±21次4hrs自

13、主檢查表通知現(xiàn)場組長3.Na2CO3濃度1±0.2%1次每日藥液分析圖通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：9/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率 12 13D.E.S.(印刷)MQ3-09-026顯影機1.速度2.5±0.5 m/min2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.溫度30±22次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.Na2CO3濃度1±0.2%1次每日藥液分析圖通知現(xiàn)場組長蝕刻

14、線(干膜)MQ3-09-026蝕刻機1.壓力1.6±0.2kg/21次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.溫度47±31次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.H/H Oz速度3.4±0.3 m/min1次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長4.1/1 Oz速度2.85±0.3 m/min1次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長5.2/2 Oz速度1.4±0.3 m/min1次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：10/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性

15、特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率14 15 16蝕刻線(印刷)MQ3-09-026蝕刻機1.速度5.3±0.3 m/min2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.壓力1.5±0.7/22次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.溫度47±32次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長剝膜線(干膜)MQ3-09-026剝膜機1.速度2.85±0.3 m/min1次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.壓力1.7±0.3/21次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.溫度47±31次4hrs自主檢查表通知現(xiàn)場組長4.NaO

16、H濃度4±2%1次每日藥液分析圖通知現(xiàn)場組長剝膜線(印刷)MQ3-09-026剝膜機1.速度4.9±0.3 m/min2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.壓力1.5±0.4/22次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.溫度51±32次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長4.NaOH濃度3±2%1次每日藥液分析圖通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：11/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率

17、17181920AOI檢查MQ3-09-026AOI1.蝕刻后外觀依客戶需求目視全檢每批生產(chǎn)日報表通知現(xiàn)場組長2.線寬與標準值偏差20%以內(nèi)AOI依AOI檢查頻率每一料號 X-R Chart通知現(xiàn)場組長3.線距與標準值偏差20%以內(nèi)AOI依AOI檢查頻率每批 X-R Chart通知現(xiàn)場組長棕化MQ3-09-028水平棕化線1.速度4.0±0.5 m/min2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.外觀無露銅目視2次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長PP儲存MQ3-09-021PP儲存系統(tǒng)1.溫度26以下溫度計1次每日溫濕度記錄暨存入存量報表通知工務部2.濕度RH60%以下濕度計1次每日溫濕度記錄暨存

18、入存量報表通知工務部PP裁切沖孔MQ3-09-013 MQ3-09-014PP裁切機PP沖孔機1.保存期限2個月以內(nèi)1次每卷PP裁切報表通知現(xiàn)場組長2.PP追溯性可追溯1次每一料號PP裁切報表通知現(xiàn)場組長3.PP規(guī)格依工單規(guī)定1次每一料號PP裁切報表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：12/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率2122預迭MQ3-09-0111.迭構依工單規(guī)定目視1次每一料號預迭自主檢查表通知現(xiàn)場組長

19、2.PP外觀無折損、脫膠目視1次每片預迭自主檢查表通知現(xiàn)場組長鉚合MQ3-09-015鉚釘機1.層間對準度無明顯偏移X-RAY1次首件打鉚釘自主檢查表通知現(xiàn)場組長迭合MQ3-09-020迭合回流系統(tǒng)1.迭合高度3050量尺1次每一料號迭合日報表通知現(xiàn)場組長2.銅箔規(guī)格依工單規(guī)定銅箔測厚儀1次每一料號迭合日報表通知現(xiàn)場組長3.排版面積不可超出鋼板面積1次每層迭合日報表通知現(xiàn)場組長壓合MQ3-09-016壓合機1.真空度080mbar1次每日壓合日報表通知現(xiàn)場組長2.溫度第一段140±10;19min第二段185±10;113min1次每日壓合日報表通知現(xiàn)場組長3.壓力第一段1

20、00±10psi;14min第二段390±39psi;118min1次每日壓合日報表通知現(xiàn)場組長4.冷壓壓力30±5bar;60min1次每日壓合日報表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：13/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率23壓合后處理MQ3-09-019鉆靶機1.定位孔徑0.125”+0.000”-0.002”PIN GAUGE1次首件首件檢查記錄表通知現(xiàn)場組長2.靶偏無明顯偏

21、移X-RAY1次首件首件檢查記錄表通知現(xiàn)場組長MQ3-09-012撈邊機1.尺寸與撈邊圖尺寸誤差2量尺1次首件首件檢查記錄表通知現(xiàn)場組長2.凹點凹陷單面3點二面5點目視1次首件首件檢查記錄表通知現(xiàn)場組長3.板厚依工單規(guī)定板厚量測機(自動線)分厘卡(手動線)1次首件X-R管制圖通知現(xiàn)場組長5片每班X-R管制圖通知現(xiàn)場組長4.板邊品質(zhì)不可鋸齒或粗糙目視1次每片轉(zhuǎn)入產(chǎn)出記錄暨自主檢查表通知現(xiàn)場組長24質(zhì)量檢查MQ3-10-0081.外觀檢驗依在制品檢驗規(guī)范目視/目鏡巡檢制程品管日報表通知IPQC組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：14/38

22、制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率2526鉆孔MQ3-09-005鉆孔機1.鉆孔程序工單、程序及待鉆板相符目視1次每批通知現(xiàn)場組長2.孔徑依工單規(guī)定1片首趟及最下片鉆孔檢查重工記錄表通知現(xiàn)場組長3.孔數(shù)依工單規(guī)定MYLAR1片首趟及最下片鉆孔檢查重工記錄表通知現(xiàn)場組長4.孔塞及孔未鉆透孔內(nèi)無異物MYLAR1片首趟及最下片鉆孔檢查重工記錄表通知現(xiàn)場組長5.毛頭銅箔無翹起手觸摸1片首趟及最下片鉆孔檢查重工記錄表通知現(xiàn)場組長6.內(nèi)層對準度內(nèi)層PAD不破孔X-RAY1片首趟及最下片鉆孔檢查重工

23、記錄表通知現(xiàn)場組長7.局部鉆偏±0.002”50倍目鏡與Mylar核對1片首趟及最下片鉆孔檢查重工記錄表通知現(xiàn)場組長鉆孔檢查MQ3-10-0101.粗糙度1.2mil顯微鏡5片每日X-R管制圖通知QA工程師2.孔徑依工單規(guī)定PIN GUAGECPC001巡檢制程品管日報表通知IPQC組長3.孔數(shù)不可多/少孔MYLARCPC001巡檢制程品管日報表通知IPQC組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：15/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判

24、定方法樣本抽樣數(shù)頻率27磨刷MQ3-09-029Deburr + Desmear機1.電流5.06.2A6次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長高壓水洗MQ3-09-029Deburr + Desmear機1.壓力4060f/26次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.溫度20406次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長膨松MQ3-09-029Deburr + Desmear機1.溫度78826次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.濃度4125:120150%Z:0.70.9N2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長3.液壓0.10.3f/26次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長去膠渣MQ3-09-029Deburr + Desmear機1.溫

25、度78826次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.濃度Mn+7:4565g/L213B:1.01.4N2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長3.液壓0.10.3f/26次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：16/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率 28中和MQ3-09-029Deburr + Desmear機1.溫度4050水質(zhì)分析儀6次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.濃度酸度:0.30.6N2次每日槽液分析表通知現(xiàn)

26、場組長3.液壓0.10.4f/26次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長4.強度2164;70110%2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長5.毛頭銅箔無翹起手觸摸至少2片每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長6.孔塞孔內(nèi)不可有雜質(zhì)目視至少2片每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長整孔MQ3-09-030PTH+C1線1.溫度40505次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.濃度233:6001000ppmCu+2:1.0g/L2次每日 X-Rm通知現(xiàn)場組長3.外觀不可氧化/刮傷/粗糙/脫皮目視至少2片每批自主檢查表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：17/38制程編號制程名

27、稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率29微蝕MQ3-09-030PTH+C1線1.溫度25315次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.濃度SPS:4070g/LCu+2:15g/LH2SO4:24%2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長預浸MQ3-09-030PTH+C1線1.溫度27335次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.銅離子濃度1.2g/L2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長3.一線比重1.1301.1702次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長4.二線比重1.1081.1472次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長活化MQ3-09-0

28、30PTH+C1線1.溫度38425次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.比重1.1521.1872次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長3.濃度SnCl2:312g/LCu+2:2g/LFe+2:100ppm2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長4.強度80100%水質(zhì)分析儀2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：18/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率 30 31速化MQ3-09-030PTH+C1線1.溫度21255次

29、每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.濃度當量:0.210.32NCu+2:1.0g/L2次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長化學銅MQ3-09-030PTH+C1線1.一線溫度33375次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.二線溫度30345次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.濃度EDTA:2840 g/LCu+2:2.22.8g/LNaOH:9.512.5g/LHCHO:2.54.0g/L6次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長鍍銅MQ3-09-030PTH+C1線1.溫度23275次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.一線濃度H2SO4:180220g/LCuSO4:6090g/LC1-:4080ppm1次每日槽液分析表通知現(xiàn)場

30、組長3.二線濃度H2SO4:200250g/LCuSO4:6090g/LC1-:4080ppm1次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：19/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率32鍍銅MQ3-09-030PTH+C1線4.孔銅厚度工單之孔銅厚度+0.2;-0.1MRX2片每批自主檢查表通知現(xiàn)場組長5.光澤霧面低于1/4目視1次每周HULL CGLL表通知工程部6.背光PTH4.5級C1=5.0級顯微鏡1

31、次首掛每班制程切片檢驗表通知現(xiàn)場組長化學蝕洗MQ3-09-036化學蝕洗機1.H2SO4濃度5±2%1次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長2.速度2.5±0.1m/min6次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長刷磨MQ3-09-036刷磨機1.電流(刷壓)5.5±0.5A6次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長微蝕MQ3-09-036化學蝕洗機1.溫度28±26次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.H2SO4濃度3090g/l1次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長3.H2SO2濃度3080g/l1次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長4.銅離子濃度45 g/l1次每日槽液分析表通知現(xiàn)場組長FM-02010

32、6R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：20/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率3334 35微蝕MQ3-09-036化學蝕洗機5.微蝕速率0.8±0.3m1次每日管制圖通知現(xiàn)場組長壓膜MQ3-09-002無塵室1.溫度22±2溫濕度計1次每日無塵室測試報告通知工務部2.濕度55±5%級溫濕度計1次每日無塵室點檢表通知工務部3.落塵量10000級微塵粒子計數(shù)器1次每季無塵室測試報告通知工務部MQ3-09-034壓膜機

33、1.滾輪壓力4±0.5/26次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.滾輪溫度115±56次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長3.速度2.3±0.1m/min6次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長曝光MQ3-09-032曝光機1.曝光能量8±1step1次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.底片檢查依檢驗標準50倍目視1次新底片底片檢查記錄表通知現(xiàn)場組長顯影MQ3-09-035顯影機1.Na2CO3濃度0.81.2%1次每日槽液分析報告通知現(xiàn)場組長2.速度2.3±0.1m/min6次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., L

34、TD. 管制計劃 頁次：21/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率36顯影MQ3-09-035顯影機3.顯破點5060%目視2次每日自主檢查表通知現(xiàn)場組長4.外觀依在制品檢驗標準目視/AOI4片每批自主檢查表通知現(xiàn)場組長酸性清潔MQ3-09-031二次銅線1.溫度30401次每班自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.PC-675濃度610%1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長3.時間410”436”1次每季時間比對表通知現(xiàn)場組長微蝕MQ3-09-031二次銅線1.溫度25351次每班自主檢查表通知現(xiàn)場

35、組長2.SPS濃度5070g/l1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長3.銅離子濃度20g/l以下1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長4.N2SO4濃度24%1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長5.時間4555秒1次每季時間比對表通知現(xiàn)場組長FM-020106R0XXXX科技股份有限公司XXXX CO., LTD. 管制計劃 頁次：22/38制程編號制程名稱作業(yè)說明生產(chǎn)設備/治具/模具/名稱特 性特 性 等 級方 法管制方式處置計劃NO產(chǎn) 品制 程規(guī)格/公差量測判定方法樣本抽樣數(shù)頻率37 38鍍銅槽MQ3-09-031二次銅線1.溫度21271次每4小時自主檢查表通知現(xiàn)場組長2.H2SO4濃度180220g/l1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長3.CuSO4濃度6090g/l1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長4.氯離子濃度4080ppm1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長5.時間4348分鐘1次每季時間比對表通知工務部6.鍍銅厚度依工單要求PTX-3001次每批生產(chǎn)日報表通知現(xiàn)場組長7.電流設定值±10%1次每批生產(chǎn)日報表通知現(xiàn)場組長鍍錫MQ3-09-031二次銅線1.H2SO4濃度812%1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長2.SnSO4濃度3050g/l1次每日藥液分析表通知現(xiàn)場組長3.電流設定值±5%鉤表1次每季電流比對表通知工務部4.時間910分鐘1次每季時間比對表通知工務部FM-02