氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM和氣體質(zhì)量流量控制器MFC小知識(shí)

1、氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM 和氣體質(zhì)量流量控制器MFC 小知識(shí)1、什么是氣體質(zhì)量流量計(jì)？質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter (縮寫為MFM ) , 是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。2、什么是氣體質(zhì)量流量控制器？質(zhì)量流量控制器, 即 Mass Flow Controller (縮寫為MFC) , 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC 自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定

2、或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。3、氣體質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？(1)流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。(2)測(cè)量控制的自動(dòng)化質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示、累積流量自動(dòng)計(jì)量、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄、計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為 0+5V或420mA,數(shù)字式M

3、FC/MFM 還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口 ,能非常方便地與 計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。(3)精確地定量控制流量質(zhì)量流量控制器可精確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體，如 HCL);有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)05 sccm,最大流量范圍可達(dá) 01500 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2100% (量程比為-50:1),因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。4、質(zhì)量流量控制器的工作壓

4、差范圍是個(gè)什么概念?質(zhì)量流量控制器(MFC) 中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.10.3MPa,若壓差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于最高值(0.3MPa)， 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。 用戶使用 MFC 時(shí)，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC 進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。5、使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽，氣壓很低，如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?部分用戶使用揮發(fā)性液

5、體蒸發(fā)汽做氣源（如用丙酮等），氣壓很低，用普通MFC，不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明，定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？啥ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?0.01MPa的MFC,這時(shí)MFC的工作壓差范圍，也會(huì)變小。注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí)，不能讓汽化物在MFC 中結(jié)露，結(jié)露會(huì)影響MFC 的正常工作。為防結(jié)露，可以對(duì)管路和MFC 適當(dāng)加溫，但MFC 的工作環(huán)境溫度通常不得超過50。如果用戶要MFC 的工作環(huán)境溫度超過65以上，需要特殊購(gòu)買高溫產(chǎn)品。6、質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎?如何選擇密封材料?質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對(duì)于使用

6、腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)，需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤，造成嚴(yán)重?fù)p失。通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L 不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC 原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD 使用的金屬氧化物氣體建議最好采用金屬密封的MFC 。 由于金屬密封的MFC 價(jià)格較高，通常要求不高的場(chǎng)合，均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明，MF

7、C都采用氟橡膠密封，可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體， 例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體，需要采用特種橡膠。氨氣需要采用耐氨橡膠，如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;有機(jī)溶劑汽氛（丙酮、 甲苯等 ）需要采用硅橡膠;三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等需要采用全氟橡膠。7、怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算？產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定、按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測(cè)量不同的氣體，當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí)，實(shí)際的流量值可能不同。我們?cè)谡f明書中給出了不同氣體相對(duì)于標(biāo)定氣體（氮?dú)猓?的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮?dú)鈽?biāo)定顯示），而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)

8、量流量時(shí)，先在產(chǎn)品說明書中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測(cè)量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量；反之， 在確定所購(gòu)產(chǎn)品的量程時(shí)，以實(shí)際使用氣體的最大期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值?？諝狻2、H2、CO、HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0,一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品，不必?fù)Q算。8、模擬輸出的MFC 怎樣和計(jì)算機(jī)相連接？計(jì)算機(jī)可以直接和MFC 相連，也可以通過流量顯示儀和MFC 相連。對(duì)于模擬的MFC, 一般需要在計(jì)算機(jī)上配 A/D、D/A轉(zhuǎn)換板，模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換用于接收流量測(cè)量值，數(shù)字 /模擬轉(zhuǎn)換用于給出0-5VDC 流量設(shè)定信號(hào)，這種轉(zhuǎn)換板在工業(yè)控制產(chǎn)品市場(chǎng)上很容易買到；如果是MFC 直接與計(jì)算機(jī)連接，需要用戶自己提供±15V 電源（要求電源抗干擾能力要強(qiáng)） ；將“設(shè)定”線接計(jì)算機(jī) D/A 輸出；將“流量檢測(cè)”