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文檔簡介
1、蒅蒆羅肂薇螂袁肁芇薄螇肁荿螀肅肀蒂薃羈腿薄螈袇膈芄薁螃膇莆螆蠆膆薈蕿肈膅羋裊羄膅莀蚈袀膄蒃袃螆膃薅蚆肄節(jié)芅葿羀芁莇蚄袆芀葿蕆螂艿艿螞螈艿莁薅肇羋蒃螁羃芇薆薃衿芆芅蝿螅蒞莈薂肄莄蒀螇羀莃薂薀羆莃莂螆袂罿蒄蚈螈羈薇襖肆羇芆蚇羂羆荿袂袈肆蒁蚅螄肅薃蒈肅肄芃蚃聿肅蒅蒆羅肂薇螂袁肁芇薄螇肁荿螀肅肀蒂薃羈腿薄螈袇膈芄薁螃膇莆螆蠆膆薈蕿肈膅羋裊羄膅莀蚈袀膄蒃袃螆膃薅蚆肄節(jié)芅葿羀芁莇蚄袆芀葿蕆螂艿艿螞螈艿莁薅肇羋蒃螁羃芇薆薃衿芆芅蝿螅蒞莈薂肄莄蒀螇羀莃薂薀羆莃莂螆袂罿蒄蚈螈羈薇襖肆羇芆蚇羂羆荿袂袈肆蒁蚅螄肅薃蒈肅肄芃蚃聿肅蒅蒆羅肂薇螂袁肁芇薄螇肁荿螀肅肀蒂薃羈腿薄螈袇膈芄薁螃膇莆螆蠆膆薈蕿肈膅羋裊羄膅莀蚈袀膄
2、蒃袃螆膃薅蚆肄節(jié)芅葿羀芁莇蚄袆芀葿蕆螂艿艿螞螈艿莁薅肇羋蒃螁羃芇薆薃衿芆芅蝿螅蒞莈薂肄莄蒀螇羀莃薂薀羆莃莂螆袂罿蒄蚈螈羈薇襖肆羇芆蚇羂羆荿袂袈肆蒁蚅螄肅薃蒈肅肄芃蚃聿肅蒅蒆羅肂薇螂袁肁芇薄螇肁荿螀肅肀蒂薃羈腿薄螈袇膈芄薁螃膇莆螆蠆膆薈蕿肈 專業(yè): 功能材料班級: 材物082 學(xué)生姓名: 張 寧 學(xué) 號: 082151 本著對所學(xué)知識的進(jìn)一步認(rèn)識,我們在學(xué)院安排下進(jìn)行了為期兩周的生產(chǎn)實習(xí),實習(xí)安排如下:2011.10.10實習(xí)動員會2011.10.11-2011.10.12天津市熱處理研究所2011.10.13天津華源工業(yè)公司2011.10.14西青區(qū)檢測中心2011.10.17天津中環(huán)半導(dǎo)體股
3、份有限公司2011.10.18天津兆億直拉單晶硅2011.10.19天津華源工業(yè)公司2011.10.20西青區(qū)檢測中心天津市熱處理研究所參觀熱處理所,主要是鞏固我們所學(xué)習(xí)的有關(guān)熱處理的知識,僅僅兩天的參觀實習(xí),我們看到了很多實際的熱處理工藝,受益匪淺。金屬熱處理的工藝熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程,有時只有加熱和冷卻兩個過程。這些過程互相銜接,不可間斷。加熱是熱處理的重要工序之一。金屬熱處理的加熱方法很多,最早是采用木炭和煤作為熱源,進(jìn)而應(yīng)用液體和氣體燃料。電的應(yīng)用使加熱易于控制,且無環(huán)境污染。利用這些熱源可以直接加熱,也可以通過熔融的鹽或金屬,以至浮動粒子進(jìn)行間接加熱。金屬加熱時
4、,工件暴露在空氣中,常常發(fā)生氧化、脫碳(即鋼鐵零件表面碳含量降低),這對于熱處理后零件的表面性能有很不利的影響。因而金屬通常應(yīng)在可控氣氛或保護(hù)氣氛中、熔融鹽中和真空中加熱,也可用涂料或包裝方法進(jìn)行保護(hù)加熱。加熱溫度是熱處理工藝的重要工藝參數(shù)之一,選擇和控制加熱溫度,是保證熱處理質(zhì)量的主要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和熱處理的目的不同而異,但一般都是加熱到相變溫度以上,以獲得高溫組織。另外轉(zhuǎn)變需要一定的時間,因此當(dāng)金屬工件表面達(dá)到要求的加熱溫度時,還須在此溫度保持一定時間,使內(nèi)外溫度一致,使顯微組織轉(zhuǎn)變完全,這段時間稱為保溫時間。采用高能密度加熱和表面熱處理時,加熱速度極快,一般就沒有保溫時
5、間,而化學(xué)熱處理的保溫時間往往較長。冷卻也是熱處理工藝過程中不可缺少的步驟,冷卻方法因工藝不同而不同,主要是控制冷卻速度。一般退火的冷卻速度最慢,正火的冷卻速度較快,淬火的冷卻速度更快。但還因鋼種不同而有不同的要求,例如空硬鋼就可以用正火一樣的冷卻速度進(jìn)行淬硬。金屬熱處理工藝大體可分為整體熱處理、表面熱處理和化學(xué)熱處理三大類。根據(jù)加熱介質(zhì)、加熱溫度和冷卻方法的不同,每一大類又可區(qū)分為若干不同的熱處理工藝。同一種金屬采用不同的熱處理工藝,可獲得不同的組織,從而具有不同的性能。鋼鐵是工業(yè)上應(yīng)用最廣的金屬,而且鋼鐵顯微組織也最為復(fù)雜,因此鋼鐵熱處理工藝種類繁多。整體熱處理是對工件整體加熱,然后以適當(dāng)
6、的速度冷卻,以改變其整體力學(xué)性能的金屬熱處理工藝。鋼鐵整體熱處理大致有退火、正火、淬火和回火四種基本工藝。退火是將工件加熱到適當(dāng)溫度,根據(jù)材料和工件尺寸采用不同的保溫時間,然后進(jìn)行緩慢冷卻,目的是使金屬內(nèi)部組織達(dá)到或接近平衡狀態(tài),獲得良好的工藝性能和使用性能,或者為進(jìn)一步淬火作組織準(zhǔn)備。正火是將工件加熱到適宜的溫度后在空氣中冷卻,正火的效果同退火相似,只是得到的組織更細(xì),常用于改善材料的切削性能,也有時用于對一些要求不高的零件作為最終熱處理。淬火是將工件加熱保溫后,在水、油或其它無機(jī)鹽、有機(jī)水溶液等淬冷介質(zhì)中快速冷卻。淬火后鋼件變硬,但同時變脆。為了降低鋼件的脆性,將淬火后的鋼件在高于室溫而低
7、于650的某一適當(dāng)溫度進(jìn)行長時間的保溫,再進(jìn)行冷卻,這種工藝稱為回火。退火、正火、淬火、回火是整體熱處理中的“四把火”,其中的淬火與回火關(guān)系密切,常常配合使用,缺一不可?!八陌鸦稹彪S著加熱溫度和冷卻方式的不同,又演變出不同的熱處理工藝。為了獲得一定的強度和韌性,把淬火和高溫回火結(jié)合起來的工藝,稱為調(diào)質(zhì)。某些合金淬火形成過飽和固溶體后,將其置于室溫或稍高的適當(dāng)溫度下保持較長時間,以提高合金的硬度、強度或電性磁性等。這樣的熱處理工藝稱為時效處理。把壓力加工形變與熱處理有效而緊密地結(jié)合起來進(jìn)行,使工件獲得很好的強度、韌性配合的方法稱為形變熱處理;在負(fù)壓氣氛或真空中進(jìn)行的熱處理稱為真空熱處理,它不僅能
8、使工件不氧化,不脫碳,保持處理后工件表面光潔,提高工件的性能,還可以通入滲劑進(jìn)行化學(xué)熱處理。表面熱處理是只加熱工件表層,以改變其表層力學(xué)性能的金屬熱處理工藝。為了只加熱工件表層而不使過多的熱量傳入工件內(nèi)部,使用的熱源須具有高的能量密度,即在單位面積的工件上給予較大的熱能,使工件表層或局部能短時或瞬時達(dá)到高溫。表面熱處理的主要方法有火焰淬火和感應(yīng)加熱熱處理,常用的熱源有氧乙炔或氧丙烷等火焰、感應(yīng)電流、激光和電子束等?;瘜W(xué)熱處理是通過改變工件表層化學(xué)成分、組織和性能的金屬熱處理工藝?;瘜W(xué)熱處理與表面熱處理不同之處是后者改變了工件表層的化學(xué)成分。化學(xué)熱處理是將工件放在含碳、氮或其它合金元素的介質(zhì)(氣
9、體、液體、固體)中加熱,保溫較長時間,從而使工件表層滲入碳、氮、硼和鉻等元素。滲入元素后,有時還要進(jìn)行其它熱處理工藝如淬火及回火?;瘜W(xué)熱處理的主要方法有滲碳、滲氮、滲金屬。熱處理是機(jī)械零件和工模具制造過程中的重要工序之一。大體來說,它可以保證和提高工件的各種性能,如耐磨、耐腐蝕等。還可以改善毛坯的組織和應(yīng)力狀態(tài),以利于進(jìn)行各種冷、熱加工。例如白口鑄鐵經(jīng)過長時間退火處理可以獲得可鍛鑄鐵,提高塑性;齒輪采用正確的熱處理工藝,使用壽命可以比不經(jīng)熱處理的齒輪成倍或幾十倍地提高;另外,價廉的碳鋼通過滲入某些合金元素就具有某些價昂的合金鋼性能,可以代替某些耐熱鋼、不銹鋼;工模具則幾乎全部需要經(jīng)過熱處理方可
10、使用。天津熱處理研究所有限公司現(xiàn)有設(shè)備:AICHELIN箱式多用爐熱處理生產(chǎn)線,感應(yīng)熱處理,真空爐,真空熱處理爐;技術(shù)實力強大,可以滿足客戶的對熱處理的不同需求。AICHELIN箱式多用爐熱處理生產(chǎn)線感應(yīng)熱處理真空爐真空熱處理熱處理工藝有以下幾種類別滲碳熱處理 AICHELIN箱式多用爐處理生產(chǎn)線多用箱式爐生產(chǎn)線由備料臺、裝卸小車、清洗機(jī)、多用箱式爐、高溫回火爐及低溫回火爐組成??砂垂ぜ募夹g(shù)要求選擇氣淬、不帶中冷油淬和帶中冷油淬三種熱處理工藝。多用箱式爐生產(chǎn)線爐外有火幕,可防止在前室內(nèi)形成爐氣和空氣的爆炸性混合物;爐內(nèi)配有安全保護(hù)氣體可防止工件氧化。裝卸小車可單向、雙向、和回轉(zhuǎn)九十度(可回轉(zhuǎn)
11、的小車)以適用于熱處理爐、清洗機(jī)、回火爐及輥道輸送料臺等的裝卸料工作。裝卸過程用按鈕操縱。加工范圍可對各種工件進(jìn)行滲碳、碳氮共滲、光亮退火、光亮淬火、回火,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,生產(chǎn)效率高。加工設(shè)備設(shè)備名稱有效加熱區(qū)/mm加熱功率/ KW最高溫度/最大裝爐量/ kg爐溫均勻性/碳勢控制精度愛協(xié)林多用箱式爐1500×900×8502209501500±5±0.05愛協(xié)林高溫回火爐1500×900×8501107501500 愛協(xié)林低溫回火爐1500×900×850804501500 愛協(xié)林清洗機(jī)1500×900
12、215;85085801500 感應(yīng)熱處理(感應(yīng)加熱熱處理) 感應(yīng)熱處理技術(shù)作為普遍和重要的熱處理手段具有加熱速度快、節(jié)約能源、無氧化脫碳、不污染環(huán)境、易于實現(xiàn)自動化和在線生產(chǎn)以及生產(chǎn)效率高等多方面優(yōu)點。該項技術(shù)在近十幾年來取得了長足的發(fā)展,眾多的感應(yīng)加熱設(shè)備在世界上大規(guī)模地使用,并被熱處理工作者廣泛認(rèn)同。天津市熱處理研究所有限公司擁有中頻、超音頻、高頻加熱全自動淬火機(jī)床等多臺感應(yīng)熱處理設(shè)備,其完善、可靠的故障監(jiān)測及保護(hù)系統(tǒng)確保了各臺套設(shè)備連續(xù)、安全運行。可廣泛用于齒輪、軸、曲軸、凸輪、軋輥等工件的表面淬火,有效的提高這些工件的耐磨性和抗疲勞破斷的能力。應(yīng)用范圍適用于各種大型軸類、盤類、齒輪類
13、工件的表面淬火,加工齒輪直徑最大3米、軸類長度為3米,淬硬深度達(dá)8毫米。設(shè)備參數(shù)明細(xì) 設(shè)備名稱最大行程/mm淬火直徑/mm額定功率/kw最大頻率/ Hz中頻淬火機(jī)床24005002008000中頻淬火機(jī)床24005002008000中頻淬火機(jī)床5004001604000中頻淬火機(jī)床15004001604000高頻淬火機(jī)床1200400 130000超音頻淬火機(jī)床1200400 130000真空熱處理生產(chǎn)加工 真空熱處理技術(shù)具有使處理的產(chǎn)品無氧化、無脫碳、表面質(zhì)量好、變形小、綜合力學(xué)性能優(yōu)異、設(shè)備自動化程度高等一系列優(yōu)點,是目前國內(nèi)外重點研究發(fā)展的先進(jìn)熱處理技術(shù)??捎糜谔幚砗辖鸾Y(jié)構(gòu)鋼、合金工具鋼
14、、彈簧鋼、軸承鋼、高速鋼等金屬材料的真空熱處理。天津市熱處理研究所有限公司擁有美國進(jìn)口的雙室高壓氣淬真空爐和十余臺國產(chǎn)雙室真空油淬爐、氣淬爐,并配備國內(nèi)先進(jìn)的SLXZ型在線深冷處理設(shè)備,能進(jìn)行各種規(guī)格形狀的進(jìn)口、國產(chǎn)模具鋼、高速鋼產(chǎn)品的真空熱處理,處理后的產(chǎn)品表面光亮、硬度均勻、變形小,使用壽命大為提高,是眾多模具制造廠家、客戶的熱處理協(xié)作最佳選擇。加工范圍適用于各種工具、模具、量具、刃具及不銹鋼、高合金工件的真空淬火、回火及深冷處理,工藝先進(jìn)、質(zhì)量可靠、超值服務(wù)。典型設(shè)備設(shè)備名稱有效加熱區(qū)/mm加熱功率/ KW最高溫度/最大裝爐量/ kg最大真空度/ Pa雙室真空淬火爐600*400*400
15、6513003004*10-3雙室真空油淬氣冷爐450*670*4006513203004*10-3真空回火爐600*400*400357002005*10-3雙室油淬氣冷真空爐600*400*4006513203001*10-3雙室真空油淬氣冷爐450*670*4006513203001*10-3高壓真空氣淬爐600*400*4008013003001*10-3高壓真空氣淬爐900*600*60015013005001*10-3 化學(xué)熱處理 化學(xué)熱處理技術(shù)作為重要的熱處理手段,通常是將制品放在含有一種或幾種元素或其化合物中加熱,使在反應(yīng)后具有活性的該種元素滲入制品表面,改變表層的化學(xué)成分并改
16、變其組織結(jié)構(gòu),以提高其表面硬度、耐磨性或抗蝕性等。具有擴(kuò)大材料的應(yīng)用范圍,延長制品的使用期限的優(yōu)點。天津市熱處理研究所有限公司擁有國內(nèi)先進(jìn)的輝光離子氮化爐、預(yù)抽真空氮化爐和多臺井式氮化爐,可對各種材料進(jìn)行氮化處理,工件變形小、質(zhì)量號,能顯著提高工件的表面硬度、耐磨度、耐疲勞和耐腐蝕性。 加工范圍可進(jìn)行機(jī)械、冶金、汽車、工模具等行業(yè)各種工件的滲碳、滲氮、氣體軟氮化、碳氮共滲和退火、正火、調(diào)質(zhì)、淬火、回火等熱處理加工。 典型設(shè)備設(shè)備名稱額定電壓/ V額定功率/Kw最高溫度/最大裝爐量/ kg冷卻方式輝光離子氮化爐3801006501500爐冷預(yù)抽真空氮化爐380906502000爐冷井式滲碳爐38
17、0359001450水、油冷井式氮化爐380456501450爐冷井式氮化爐380906501450爐冷轉(zhuǎn)筒爐38024650100油冷常規(guī)熱處理加工設(shè)備設(shè)備名稱額定電壓/ V加熱功率/ KW最高溫度/爐膛尺寸/mm最大裝爐量/ kg井式回火爐38036650500×650500箱式電爐爐38075950900×1800×600800箱式電爐爐38045650600×12000×5001000臺車爐3801509502800×9003000天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司|天津兆億這兩個公司主要的生產(chǎn)活動是直拉單晶硅直拉單晶硅工藝1、 目的
18、為正確、規(guī)范地操作單晶爐,確保生產(chǎn)作業(yè)正常,特制訂本規(guī)范。2、 適用范圍適用于TDR-70A/B和JRDL-800型單晶爐的操作。3、 單晶爐操作工藝流程作業(yè)準(zhǔn)備熱態(tài)檢漏取單晶和籽晶石墨件取出冷卻真空過濾器清洗真空泵油檢查更換石墨件清洗單晶爐室清洗石墨件安裝石英坩堝安裝硅料安裝籽晶安裝抽空、檢漏充氬氣、升功率、熔料引晶、縮頸、放肩、轉(zhuǎn)肩等徑生長收尾降功率、停爐冷卻4、 主要內(nèi)容A. 作業(yè)準(zhǔn)備a. 進(jìn)入單晶車間須穿戴好潔凈工作服、鞋。b. 開爐前,按工藝要求檢查水、電、氣,確認(rèn)無誤后方能開爐。c. 準(zhǔn)備好一次性潔凈手套、耐高溫手套、毛巾、紙巾、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。d. 準(zhǔn)備好
19、鉗子、扳手和各類裝拆爐專用工具。e. 取單晶的架子、裝石墨件的不銹鋼小車、裝堝底料的不銹鋼筒和裝硅料的不銹鋼小車,并處理干凈。f. 用毛巾將爐體從上到下一遍,擦洗時注意不要將所有控制接線及開關(guān)碰斷或碰壞,并把爐子周圍清掃干凈。B. 熱態(tài)檢漏a. 檢查上一爐功率關(guān)閉時間,在單晶冷卻4.0小時(TDR-70A/B型單晶爐)、5.0小時(JRDL-800型單晶爐)后,關(guān)閉氬氣(只關(guān)閉氬氣閥門,主、付室流量計調(diào)節(jié)閥打開并分別調(diào)節(jié)到30L/Min),開始抽高真空,并作時間記錄。b. 待爐內(nèi)壓力到達(dá)極限(要求達(dá)到3Pa以下)后,先關(guān)閉主室球閥而后關(guān)閉真空泵電源進(jìn)行檢漏,并作相應(yīng)時間記錄,若0.5小時內(nèi)抽不
20、到3Pa以下時,交有關(guān)維修人員處理,在此期間須配合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐,并作相關(guān)記錄。c. 檢漏要求3分鐘以上,漏氣率<0.34Pa/min為正常,同時作好漏氣率記錄,若漏氣率0.34Pa/min時,交有關(guān)維修人員處理,在此期間須配合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐,并作相關(guān)記錄。C. 取單晶和籽晶a. 熱態(tài)檢漏后,旋松付室小門4個螺絲,打開氬氣閥門充氬氣至常壓,關(guān)閉氬氣,旋開付室小門4個螺絲,打開付室小門。 b. 提升單晶至付室,從付室小門內(nèi)確認(rèn)單晶升至所需高度,若無異常,蓋住翻板閥,打開液壓泵,升起付室。c. 把安全接盤移到爐筒口處,緩慢轉(zhuǎn)動付室至側(cè)面。d. 把取單晶的架子放在付室爐筒正下方
21、,準(zhǔn)備接單晶。e. 穩(wěn)定單晶,移開安全接盤,按下籽晶快降,將單晶降入架子內(nèi)。f. 確認(rèn)單晶完全入架子內(nèi)后,按住籽晶,用鉗子將籽晶從細(xì)徑處鉗斷,鉗斷籽晶后,應(yīng)穩(wěn)定重錘,防止重錘快速轉(zhuǎn)動,損壞鋼絲繩。g. 將籽晶從重錘上取下,放在指定場所,再將重錘升至付室內(nèi)適當(dāng)位置。h. 將單晶移到中轉(zhuǎn)區(qū),及時、準(zhǔn)確的將單晶編號寫在單晶上,待自然冷卻后對單晶進(jìn)行各項參數(shù)檢測并作好記錄。 D. 石墨件取出冷卻a. 石墨小件取出1) 打開液壓泵電源,按爐蓋升按鈕上升爐蓋。爐蓋上升到位后,再旋轉(zhuǎn)爐蓋到側(cè)面。2) 戴好耐高溫手套按順序取出導(dǎo)流筒及保溫蓋放在裝石墨件的不銹鋼小車上,注意要拿穩(wěn)并輕放。3) 戴好耐高溫手套用鉗
22、子夾住石英坩堝的上端部分提起,使其松動,將石英坩堝取出。若石英坩堝能將堝底料全部帶出直接放入不銹鋼筒;若不能則將先取出石英坩堝,剩下的堝底料隨三瓣堝一并取出后,再將堝底料放入不銹鋼筒內(nèi)。若出現(xiàn)悶爐等意外情況則用鉗子像裝料一樣一塊塊取出,直至徹底取出。最后將不銹鋼筒移到指定地方,并寫上單晶編號,自然冷卻。冷卻后對堝底料進(jìn)行重量檢測并作好記錄。4) 戴好耐高溫手套依次取出三瓣堝、堝底放在裝石墨件的不銹鋼小車上,錯誤!鏈接無效。放上后要注意放穩(wěn)當(dāng)。5) 用堝桿板手從堝桿中央孔的位置擰下不銹鋼螺絲,取出堝桿板手,再將堝桿連不銹鋼螺絲放在不銹鋼小車上,注意堆放穩(wěn)當(dāng)。 6) 取出的石墨件一并放在不銹鋼小車
23、上,在不銹鋼小車邊掛上石墨件所屬爐號牌,移到指定的位置,自然冷卻,移動過程中注意石墨件放置,防止墜落。 b. 石墨大件的取出(一般5爐做一次,須作好大清記錄)1) 取出上保溫罩放在不銹鋼小車上。2) 取下熱電錐,將其及對應(yīng)的密封及玻璃放到適當(dāng)?shù)奈恢靡苑艙p壞丟失。3) 打開油泵開關(guān),按住爐筒升按紐,升起爐筒至限位,旋轉(zhuǎn)爐筒,并降至適當(dāng)位置。4) 取出中保溫罩放在不銹鋼小車上。5) 先取下加熱器螺絲蓋,再用專用工具取下加熱器螺絲后,取下加熱器螺絲和加熱器放在不銹鋼小車上。6) 依次取出電極護(hù)套、電極石英環(huán)、堝桿護(hù)套、爐底上壓片、爐底上壓片下小石墨碳?xì)?、排氣套管、下保溫罩、爐底壓片、爐底碳?xì)帧⑹?/p>
24、極等放在不銹鋼小車上。在不銹鋼小車邊掛上石墨件爐號牌,移到指定的位置,自然冷卻,移動過程中注意石墨件放置,防止墜落。E. 真空過濾器清洗a. 準(zhǔn)備好吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手,帶好手套、防塵口罩。b. 用扳手打開真空過濾器蓋螺絲,取出過濾網(wǎng)。c. 用吸塵刷仔細(xì)清洗過濾網(wǎng)及過濾器內(nèi)的揮發(fā)物。d. 將清洗后的過濾網(wǎng)緩慢放進(jìn)過濾器內(nèi)。e. 用吸塵刷清洗過濾器蓋,用沾酒精的紙巾擦凈密封圈,并檢查密封圈是否完全就位,防止出現(xiàn)脫落或出槽影響抽空。f. 蓋好過濾器蓋并用扳手上好過濾器蓋螺絲。F. 真空泵油檢查更換a. 確認(rèn)關(guān)閉主泵球閥和真空泵,在放油單晶爐上掛檢修牌,將廢油桶置于真空泵放油口下方,打開
25、上下腔放油開關(guān),放完油后關(guān)閉上下腔放油閥,廢油倒入指定油桶。b. 清洗真空泵(每5爐清洗一次),用扳手打開真空泵側(cè)蓋,置于適當(dāng)位置,用毛巾徹底清理真空泵腔、側(cè)蓋和下腔濾油網(wǎng)的油污,清洗完畢后,安裝好濾網(wǎng),安裝好側(cè)蓋。側(cè)蓋在打開、安裝時小心操作,防止損壞側(cè)蓋及油封而漏油。泵腔內(nèi)禁止遺留紙屑或其它異物,不然會造成油路的堵塞導(dǎo)致真空泵卡死。清理真空泵的廢棄物放入指定垃圾桶。c. 打開真空泵注油口,將真空泵油注入真空泵注油孔,觀察真空泵油位至油位觀察窗1/2位置,停止注油,打開泵側(cè)的油路管道閥門向下腔放油,關(guān)閉油口。d. 啟動真空泵工作5min后關(guān)閉泵側(cè)的油路管道閥門,察看油位是否處于油位觀察窗1/3
26、-1/2位置,關(guān)閉真空泵,在放油單晶爐上移去檢修牌。若低于下限重復(fù)c、d操作。G. 石墨件清洗a. 石墨件清洗1) 石墨件必須在指定的清洗室進(jìn)行清洗,準(zhǔn)備好清洗用品(吸塵刷、紙巾、吸塵管、研磨布、除硅粒的專有工具、放石墨件的潔凈小車等)戴好手套、防塵口罩。清洗好清洗臺及周圍環(huán)境。2) 依次用吸塵刷清洗各類石墨件直至確認(rèn)無污物,溝槽及接口等吸附揮發(fā)物較多的部位要用研磨布認(rèn)真打磨后再吸塵清洗。3) 清洗時注意檢查各石墨件是否有損壞及粘硅,有損壞及粘硅要及時更換和處理。4) 操作時要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞。5) 清理完畢的石墨件放到事先準(zhǔn)備好的潔凈不銹鋼小車上。禁止疊加,移動不銹鋼小車要穩(wěn)當(dāng)。
27、6) 清洗后垃圾放入垃圾指定處,清洗好清洗臺及周圍環(huán)境。 b. 石墨大件爐內(nèi)清洗(適用于每爐小清,石墨大件未取出時在爐內(nèi)清洗)。1) 用吸塵刷吸凈爐筒、保溫罩和加熱器上沿拆爐時掉落的殘渣。 2) 用吸塵刷仔細(xì)用力清洗保溫罩,加熱器所能觸及到的部位。 3) 取出加熱器螺絲蓋,檢查電極螺絲是否松動、膠落或粘硅。有松動須擰緊,有膠落或粘硅須更換。再蓋好加熱器螺絲蓋。 4) 如果在拆爐時不小心引起熱場移動或轉(zhuǎn)動一定要檢查熱場是否對稱,測溫孔要重新校正。如果側(cè)溫孔有偏離會影響測光信號,導(dǎo)致歐陸表數(shù)值過小,無法對爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動控制無法成晶。 5) 用吸塵刷吸凈爐底上壓片、爐底波紋管、排氣孔內(nèi)的附塵及殘渣
28、。 6) 用帶有酒精的紙巾清理爐壁上部。H. 單晶爐室清洗a. 付室的清洗安裝1) 準(zhǔn)備好清洗棒、紙巾、酒精。2) 在清洗棒上纏上沾有酒精的紙巾,清洗付室內(nèi)部至上部,直至確認(rèn)無污物。 3) 快速降下籽晶夾頭,用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗重錘及鉬夾頭。需要時要將重錘摘下用研磨布認(rèn)真打磨,并清洗干凈。摘下重錘時要慎重作業(yè),防止鋼絲繩上彈造成鋼絲繩出槽。清洗鋼絲繩時要檢查其接頭部位是否老化或損壞,若有應(yīng)截去一截鋼絲繩,防止在拉晶過程中單晶掉下。清洗好上升重錘到一定位置,升重錘時,不要使重錘晃動,防止重錘掛住付室下沿,拉斷鋼絲繩。b. 小付室的清洗1) 打開付室小門,用沾有酒精的紙巾擦洗小付室內(nèi)的附著物。
29、揮發(fā)物附著較多時,先用吸塵刷處理。 2) 用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗付室抽氣口、其它小孔及翻板閥四周及轉(zhuǎn)軸。翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用紙巾卷成利于操作的形狀再認(rèn)真擦洗。3) 清洗過的小付室將翻板閥蓋住閥口,并關(guān)閉付室小門。4) 用潔凈的紙巾將小付室上口蓋住。c. 爐蓋清洗1) 先用紙巾擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。 2) 小孔部位、觀察窗部位、伊爾根部位、閥口部位等各處的接口及焊接口等不易清洗的部位要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗,直至確認(rèn)無污物。 3) 硅粉強力附著時或爐蓋局部發(fā)黑、發(fā)白時要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐蓋整個內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無污物。4) 觀察窗、伊爾根窗口要認(rèn)真清理,所有小孔的位置要
30、把紙巾卷成卷以便伸進(jìn)氣孔內(nèi)部更容易清理直至沒有污物。d. 爐筒清洗1) 先用紙巾擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。2) 取光孔部位要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗,直至確認(rèn)無污染。3) 硅粉強力附著時或爐筒局部發(fā)黑、發(fā)白時要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐筒整個內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無污物。e. 抽氣管道清洗。1) 用扳手打開抽氣管道上的封蓋螺絲,取下封蓋和密封圈。2) 用一頭纏鋼絲球的長棒伸入管道抽動,另一頭用吸塵刷吸除抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物。3) 用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗封蓋和密封圈,再安裝好。I. 石墨件安裝a. 清洗后的石墨大件安裝(一般5爐做一次)。1) 清理完畢的石墨大件不銹鋼小車移到單晶爐旁邊,移動過程要
31、穩(wěn)當(dāng)。2) 依次裝好石墨電極、爐底碳?xì)帧t底壓片、下保溫罩,兩側(cè)排氣管、爐底上壓片下小石墨碳?xì)?,爐底上壓片、堝桿護(hù)套、電極護(hù)套、石英電極環(huán)。安裝電極時檢查接觸面是否平整,上下接觸面要放一層石墨紙,防止熱場打火。3) 將清洗后的加熱器裝好,擰上石墨螺絲,要擰緊,不然要引起熱場打火,并蓋上石墨螺絲蓋。4) 將清洗后的中保溫罩裝好,卡口接到位。并校正與加熱器的間距,要均勻一致,否則需調(diào)整好。5) 爐筒復(fù)位,打開液壓泵,升起爐筒至上限,用沾有酒精的紙巾擦洗下爐筒上部的結(jié)合部和爐筒下部的結(jié)合部,同時轉(zhuǎn)動爐筒到適當(dāng)位置。6) 按爐筒降,爐筒降到位后,校對測溫孔,防止測光信號過小無法溫度自控。7) 安裝熱電
32、錐,將其及對應(yīng)的密封及玻璃按原次序裝好。8) 將清洗后的上保溫罩裝好,并卡口接到位。 b. 清洗后石墨小件安裝。1) 用專用工具裝好堝桿。一定要擰緊堝桿螺絲,防止因松動造成液面晃動2) 依次裝好堝底、三瓣堝。安裝時要確認(rèn)堝桿、堝底、三瓣堝是否吻合,要認(rèn)真、細(xì)心,防止碰壞保溫材料或加熱器。3) 裝好后要打開堝轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)一下,以檢驗三瓣堝與加熱器間距上否一致。若不一致,需及時調(diào)整。 J. 石英坩堝安裝a. 爐筒、爐蓋的外側(cè)及周遍,用沾有酒精的紙巾擦洗平干凈,爐體周圍地面認(rèn)真打掃。 b. 從指定的場所將指定石英坩堝取來。帶好防塵口罩、裝料用的潔凈手套。c. 檢查石英坩堝包裝上標(biāo)識與配料單上否一致,打開石
33、英坩堝包裝,對光確認(rèn)有無裂紋、污物、氣泡。若有異常及時處理并報告班長或主任。 d. 在爐內(nèi)的石墨三瓣堝內(nèi)裝好石英坩堝,注意四周間隙一致。 e. 在操作記錄上記好所用石英坩堝編號,生產(chǎn)廠家,同時保管好石英坩堝標(biāo)簽號,放入指定地方。K. 硅料安裝a. 取來裝料不銹鋼車和硅料,仔細(xì)核對配料單的各項內(nèi)容是否與單晶爐號、配料實物一致,若有異常及時處理并報告班長或主任。b. 更換裝料用的手套,如有母合金先放入石英坩堝。再將碎料、小料平鋪在堝底。c. 將大塊料放置中央,用中型料放于大料四周上方左右予以固定,間隙中放入小硅料。裝料時要慎重作業(yè),輕拿輕放,防止碰撞石英坩堝,不要使料掉在保溫罩的縫隙,以免造成打火
34、。d. 裝料時注意不要使料探出石英坩堝,否則會在熔料過程中引起硅液流下,損壞石墨件,甚至燜爐。e. 裝料完成后打開堝轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)一下,確認(rèn)四周間隙一致,再快速將堝降至下限。停止旋轉(zhuǎn)。f. 堝上部、加熱器上部、保溫罩上部再用干凈吸塵刷吸凈浮塵及硅渣。 g. 依次裝好保溫蓋、導(dǎo)流筒。安裝保溫罩、導(dǎo)流時要相互吻合,安裝導(dǎo)流筒時要慎重作業(yè),如果與硅料發(fā)生接觸時要調(diào)整硅料的擺放,防止在化料過程中發(fā)生沾硅。 L. 籽晶安裝a. 用沾有酒精的紙巾擦洗爐蓋和爐筒接合部的密封圈,再將爐蓋旋轉(zhuǎn)至爐筒上部。b. 打開液壓泵電源,按爐蓋降按鈕降下爐蓋。爐蓋降到位后確認(rèn)爐蓋是否合好,防止漏氣。c. 用沾有酒精的紙巾擦洗付室下
35、部的接合部和爐蓋上部的接合部,轉(zhuǎn)動付室,降下與爐蓋合爐。要緩慢轉(zhuǎn)動付室,防止重錘與付室內(nèi)壁碰撞。d. 從指定的場所將腐蝕好的籽晶取來,用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗籽晶。注意不要直接用手接觸籽晶,防止汗?jié)n污染籽晶。e. 下降籽晶夾頭到一定位置,從付室小門中把籽晶裝在夾頭上,裝好鉬銷。用力向下拉一下籽晶使其牢固,穩(wěn)定好籽晶后按晶快升使其上升至適當(dāng)位置。f. 用沾有酒精的紙巾擦洗付室小門的密封圈和接合部,關(guān)閉付室小門,擰上付室小門螺絲,打開翻板閥。M. 抽空、檢漏a. 打開真空泵電源。b. 緩慢打開主室球閥。c. 抽空后爐內(nèi)壓力達(dá)到<20Pa 時,進(jìn)行反復(fù)充氬氣使?fàn)t內(nèi)壓力<5Pa。 d. 待
36、爐內(nèi)壓力<5Pa后,關(guān)閉主室球閥而后關(guān)閉真空泵電源之后進(jìn)行測漏,要求爐子漏氣速率<0.67Pa/min,檢漏時間3分鐘。檢漏合格進(jìn)入加熱熔料工序。e. 若爐子漏氣速率>0.67Pa/min,則需重復(fù)a、b、c、d步進(jìn)行抽空檢漏,若仍不合格報告維修人員處理。并進(jìn)行相應(yīng)記錄。N. 充氬氣、升功率、熔料a. 抽空檢漏合格后,再打開真空泵電源。b. 緩慢打開球閥。c. 打開氬氣充氣系統(tǒng),調(diào)節(jié)付室氬氣流量在2030L/Min,使?fàn)t內(nèi)壓力穩(wěn)定在10001500Pa。d. 打開加熱開關(guān)。e. 根據(jù)下表通過歐陸表分步增加功率。每次加溫均作相應(yīng)記錄。對歐陸表的使用應(yīng)小心操作,防止功率迅速增大,
37、瞬時造成變壓器負(fù)荷過大,或?qū)φ麄€加熱回路造成瞬間電流過大而打火或損壞。應(yīng)嚴(yán)格按照加熱順序進(jìn)行加熱,否則可能會溫度突然上升造成石英坩堝破裂、漏硅。時間 功率0min 50KW30min 70KW60min <100KWf. 熔料過程中時刻注意觀察爐內(nèi)的情況,若無異常塌料后給定堝轉(zhuǎn)2r/min,上升適當(dāng)堝位。并進(jìn)行相應(yīng)記錄。升堝時注意不要使硅液面觸到導(dǎo)流筒下沿。升完堝后通過對堝位標(biāo)尺的確認(rèn)堝無動作,方可完成,否則會使導(dǎo)流筒粘硅,發(fā)生跳硅。g. 料熔完時,降低加熱功率至引晶溫度(與上爐對應(yīng))。給定堝轉(zhuǎn)到57r/min,并進(jìn)行相應(yīng)記錄。h. 歐陸表值降至引晶溫度對應(yīng)的數(shù)值時切入自動,將堝升至引晶
38、堝位穩(wěn)定即導(dǎo)流筒至液面距離為15mm左右。引晶堝位也可在上爐裝料基礎(chǔ)上根據(jù)投料量增加/減少量,來確定本次引晶堝位,具體可參照附錄A引晶位置變化參考表。并進(jìn)行相應(yīng)記錄。O. 引晶、縮頸、放肩、轉(zhuǎn)肩a. 測電阻率取樣1) 溫度切入自動后,按籽晶快降,將籽晶降至從主觀察窗剛能看到的位置,并打開晶轉(zhuǎn)電源,給定晶轉(zhuǎn)1012r/min。2) 20分鐘后,降籽晶使之與液面接觸,通過歐陸表調(diào)整溫度開始放肩。3) 將肩放至直徑5060mm提離液面上升到至付室,打開付室氬氣后蓋住翻板閥,打開主爐室氬氣,調(diào)節(jié)流量到爐壓和原來一致。4) 增大付室氬氣流量。擰松付室小門螺絲,等付爐室爐壓表指示到0時,打開付室小門,關(guān)閉
39、氬氣。5) 緩慢調(diào)節(jié)晶轉(zhuǎn)為0 r/min,關(guān)晶轉(zhuǎn)。6) 用鉗子取出籽晶下放肩部位,取籽晶時要慎重作業(yè),不可用手直接接觸籽晶,防止?fàn)C傷。等冷卻后去測電阻率。7) 等籽晶冷卻后用紙巾擦洗干凈,關(guān)閉付室小門。b. 付泵抽空作業(yè)1) 合好付室爐筒或關(guān)閉付室小門后打開付泵電源。2) 慢慢打開后面的付室抽氣球閥,直至全開。3) 付室壓力表抽至0.05-0.1Mpa時打開付室氬氣閥,同時關(guān)閉付泵球閥。4) 付室壓力表充至0-0.05Mpa時關(guān)閉付室氬氣閥,同時打開付泵球閥。 5) 步驟3和步驟4反復(fù)操作三次.6) 最后根據(jù)壓力表指針確認(rèn)付室與主室氣壓達(dá)到一致,關(guān)閉付室球閥,然后關(guān)閉付泵電源。7) 緩慢打開翻
40、板閥。打開翻板閥時要緩慢操作,防止損壞或擠出閥口密封圈。8) 打開付室氬氣閥至正常流量,關(guān)閉主室氬氣閥。c. 補摻母合金1) 若電阻率測試結(jié)果在目標(biāo)范圍時,可進(jìn)行下一步預(yù)熱接觸引晶;若有偏離,須補摻母合金,由組長根據(jù)電阻率測試結(jié)果和投料量計算出補摻母合金的類型和數(shù)量,并去取出稱量,進(jìn)行補摻,作好相應(yīng)記錄。2) 補摻過程同a測電阻率取樣一樣,只是放肩放到100150mm,盡量放平肩。3) 打開付爐室門后,不取下籽晶,而將已稱量的母合金放在平肩上。放母合金時要慎重作業(yè),不可用手直接接觸籽晶,防止?fàn)C傷。4) 再按b付泵抽空作業(yè)后,適當(dāng)調(diào)節(jié)熔硅溫度,把籽晶和母合金降到液面中,使其熔化摻入。5) 再重復(fù)
41、a測電阻率取樣,b付泵抽空作業(yè), c補摻母合金,直到電阻率測試合格進(jìn)入下一工序。d. 預(yù)熱接觸1) 電阻率合格后按籽晶快降,將籽晶降至從主觀察窗剛能看到的位置,并打開晶轉(zhuǎn)電源,給定晶轉(zhuǎn)1012r/min。2) 20分鐘后,按籽晶快降按鈕將籽晶降至距硅液面10mm處預(yù)熱20分鐘。作好相應(yīng)記錄。必須預(yù)熱,不然會由于籽晶由低溫區(qū)到高溫區(qū)、由固定到液態(tài)轉(zhuǎn)變時,溫差太大造成籽晶產(chǎn)生位錯。3) 籽晶快速上升或下降的位置必須給予確定,升降操作方可完成,否則會溶掉籽晶甚至重錘,升至上限時會導(dǎo)致重錘掉下進(jìn)入溶硅內(nèi),造成漏硅或整爐料徹底報廢,無法再次利用。4) 降籽晶使之與硅液面接觸,浸潤20分鐘,熔去籽晶較細(xì)的
42、部分,根據(jù)接觸光圈的形狀,確定引晶溫度是否合適,若合適開始引晶;若不合適,通過歐陸表調(diào)整溫度20分鐘后開始引晶,溫度不宜偏低。天津市華源工業(yè)公司該公司主要的生產(chǎn)項目是拉絲一、 線材拉伸的基本原理 1線材的拉伸線材的拉伸是指線坯在一定的拉力作用下,通過??装l(fā)生塑性變形,使截面減小、長度增加的一種壓力加工方法。2拉伸的特點(1) 拉伸的線材有較精確的尺寸,表面光潔,斷面形狀可以多樣。(2) 能拉伸大長度和各種直徑的線材。(3) 以冷加工為主,拉伸工藝、模具、設(shè)備簡單,生產(chǎn)效率高。(4) 拉伸能耗較大,變形受一定的限制。3拉伸的原理拉伸屬于壓力加工范圍,拉伸過程中除了產(chǎn)生極少的粉屑外,體積變化甚微,
43、因此拉伸前、后金屬的體積基本相等。4影響拉伸的因素(1) 銅、鋁桿(線)材料。在其他條件相同時,拉銅線比拉鋁線的拉伸力大,拉鋁線容易斷,所以拉鋁線時應(yīng)取較大的安全系數(shù)。(2) 材料的抗拉強度。材料的抗拉強度因素很多,如材料的化學(xué)成分,壓延工藝等,抗拉強度高則拉伸力大。(3) 變形程度。變形程度越大,在??鬃冃味伍L度越長,因而增加了??讓€的正壓力,摩擦力也隨之增加,拉伸力也增加。(4) 線材與??组g的摩擦系數(shù)。摩擦系數(shù)越大,拉伸力越大。摩擦系數(shù)由線材和模具材料光潔度、潤滑液的成分和數(shù)量決定。(5) 線模??坠ぷ鲄^(qū)和定徑區(qū)的尺寸和形狀。定徑區(qū)越大,拉伸力也越大。(6) 線模的位置。線模安放不正或
44、模座歪斜也會增加拉伸力。也是線徑及表面質(zhì)量不達(dá)標(biāo)。(7) 外來因素。線材不直,拉線過程中線的抖動,放線阻力,都會增加拉伸力。二、 拉絲設(shè)備1拉絲機(jī)的分類按模具數(shù)量分:單模拉絲機(jī)和多模拉絲機(jī)。按工作特性分:滑動式拉絲機(jī)和非滑動式拉絲機(jī)。按鼓輪形狀分:塔形鼓輪拉絲機(jī)、錐形鼓輪拉絲機(jī)及圓柱形鼓輪拉絲機(jī)。按潤滑型式分:噴射式拉絲機(jī)和浸入式拉絲機(jī)。按拉制線徑分:巨、大、中、小、細(xì)、微拉絲機(jī)。2多模拉絲機(jī)的特點多模拉絲機(jī)是線材通過幾個規(guī)格逐漸減小尺寸的模子和其后的拉線鼓輪,而實現(xiàn)拉伸的拉絲機(jī)。(1) 滑動式連續(xù)拉絲機(jī)滑動式連續(xù)拉絲機(jī)是拉絲鼓輪圓周速度大于線材拉伸速度,并以次而產(chǎn)生摩擦力。它的優(yōu)點是總的延伸
45、系數(shù)高,加工率大,拉伸速度高,產(chǎn)量大,易于實現(xiàn)自動化、機(jī)械化。它的缺點是在拉線過程中,為了克服線材所產(chǎn)生的摩擦力,要消耗很多的功;對鼓輪表面的磨損很大;對配模的要求嚴(yán)格。A圓柱形鼓輪拉絲機(jī)這種拉絲機(jī)的特點是各個拉絲機(jī)鼓輪的直徑相等,且呈直線排列,主要拖動形式為一個電動機(jī)帶動各級鼓輪,它的優(yōu)點是穿模方便,停車后可以測量各道次的線材直徑,以便控制拉伸的過程。它的缺點是機(jī)身較長,而且模子的數(shù)量一般不多于9個。B 臥式塔形鼓輪拉絲機(jī)這種拉絲機(jī)應(yīng)用最為廣泛,塔形鼓輪結(jié)構(gòu),按其塔級多少,可分二級拉絲鼓輪和多級拉絲鼓輪。它的優(yōu)點是拉絲道次多,設(shè)備緊湊,占地面積小。(2) 無滑動式連續(xù)拉絲機(jī)非滑動式拉絲機(jī)是線
46、材與鼓輪之間沒有相對的滑動,線材拉伸后纏繞在拉絲鼓輪上,因此中間的鼓輪有雙重的作用,即起著拉伸鼓輪的作用,又起著儲線為下道模子拉絲的放線作用。比較多的是8、10模拉絲機(jī)。它的優(yōu)點是:鼓輪和線材表面不易磨損;適于抗張力不大,耐磨性差的鋁(鋁合金)線的拉制;機(jī)構(gòu)簡單,容易制造;由于中間鼓輪上有儲存,當(dāng)某個鼓輪停止轉(zhuǎn)動時,其它鼓輪仍可在短時間內(nèi)照常工作。它的缺點是:不能高速拉伸,一般不超過12m/s;不適宜細(xì)線的拉伸。三、 拉絲的潤滑1潤滑劑的作用(1) 潤滑作用。在變形的金屬和??罩g,保持一層潤滑膜,避免模具和線材直接接觸和粘結(jié),降低摩擦系數(shù),從而減少能量消耗和加工道次,延長模具的使用壽命。(2
47、) 冷卻作用。使用冷卻的潤滑液,可以降低線材和??椎臏囟龋乐咕€材溫度過高而發(fā)生氧化變色,提高線速。(3) 清洗作用。在拉制過程中,不斷產(chǎn)生微細(xì)的金屬粉塵,潤滑液不斷沖洗???,消除金屬粉塵在模孔的作用。2潤滑劑對拉絲的影響因素(1) 濃度。潤滑劑的濃度大,提高了它的潤滑作用,金屬線材與模孔壁的摩擦系數(shù)小,相應(yīng)的摩擦力也減小,拉伸力隨之下降。但是,濃度太大,潤滑劑的粘度也隨之上升,它的沖洗作用也減小,模孔的金屬屑不易帶走,造成線材表面質(zhì)量差。濃度太大,金屬屑不會沉淀,懸浮在潤滑劑中,反而影響潤滑效果。(2) 溫度。潤滑液的溫度過高,失去了它的冷卻作用,使金屬線材及模具的溫度升高,線材氧化變色、模具壽命減低,也影響油脂潤滑膜的強度,潤滑效果下降。溫度過高,潤滑劑粘度上升,不利于拉伸。(3) 清潔度。潤滑劑中混入酸類物質(zhì),會造成潤滑劑分層,失去潤滑效果。潤滑劑中含堿量增加,對拉伸后的金屬線材產(chǎn)生腐蝕的危害。潤滑劑中有固體雜質(zhì),影響設(shè)備的潤滑
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