2019年ESD防護(hù)管理辦法

1、修訂履歷1 丁 P原內(nèi)容修訂后舊版修訂人修訂日期1 .目的防止靜電對靜電敏感器件造成早期損壞或縮短使用壽命；使ESD防護(hù)工作具有較強(qiáng)的可操作性。2 .范圍適用于從靜電敏感器件進(jìn)貨到產(chǎn)品形成的全過程。3 .定義3.1 靜電放電（ESD處于不同電位的兩個物體之間，由于直接接觸或者電場感應(yīng)導(dǎo)致的電荷傳輸。3.2 靜電敏感器件（ESDS在常規(guī)處理、測試或運(yùn)輸中可能會受到靜電場或者靜電放電損害的分立器件、集成電路或組件。4 .職責(zé)4.1 生產(chǎn)部門4.1.1 負(fù)責(zé)靜電防護(hù)用品的使用和管理；4.1.2 實(shí)施所確定的靜電防護(hù)區(qū)域的靜電防護(hù)措施。4.2 品質(zhì)部4.2.1 督導(dǎo)建立、維持、完善靜電防護(hù)系統(tǒng)；ESD

2、防護(hù)系統(tǒng)可靠性的定期檢查；4.2.2 負(fù)責(zé)品質(zhì)部范圍內(nèi)（IQC, IPQC, QA 區(qū)域的ESD管理）；4.2.3 負(fù)責(zé)對ESDa感材料的來料驗(yàn)證，糾正/預(yù)防措施的提出及跟進(jìn)。4.3 研發(fā)部&營業(yè)部負(fù)責(zé)對有特殊ESD防護(hù)要求的產(chǎn)品/零部件，書面明確提出具體防護(hù)要求。4.4 PMC貨倉）4.5 負(fù)責(zé)對倉庫內(nèi)所有ESDa感材料的分區(qū)放置/儲存，靜電防護(hù)的定期檢查。4.6 行政人事部4.6.1 負(fù)責(zé)對新員工靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識培訓(xùn)，并記錄于入職培訓(xùn)卡中；4.6.2 電工負(fù)責(zé)布置整個工廠設(shè)備接地線和靜電接地線；并負(fù)責(zé)對接地主干線的檢測和維護(hù)，每年檢測一次。4.7 工程部規(guī)劃ESDW局、線路、硬件設(shè)

3、備，并指導(dǎo)布局；負(fù)責(zé)確定靜電防護(hù)控制點(diǎn)、區(qū)域和控制要求；負(fù)責(zé)ESD防護(hù)文件和操作指導(dǎo)文件的編寫與建立；5 .解釋靜電靜電的發(fā)生及帶電靜電的定義：物質(zhì)是由分子組成，分子是由原子組成，原子是構(gòu)成一切化學(xué)元素的最小微粒，由帶正電的原子核和帶負(fù)電的圍繞原子核旋轉(zhuǎn)的電子組成。在正常狀況下，原子所帶的正負(fù)電荷相等，所以對外表現(xiàn)出電中性。但是在某種條件下，當(dāng)物質(zhì)原子中的這種電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由電中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。丟失電子，則表現(xiàn)為帶正電；獲得電子，則表現(xiàn)為帶負(fù)電。這種物體表面所帶過?；虿蛔愕南鄬o止不動電荷，稱之為靜電。靜電的產(chǎn)生：靜電的產(chǎn)生有多種，這里主要講述與電子制程緊密相關(guān)

4、的接觸起電、感應(yīng)起電、剝離起電、摩擦起電；其它如：粉體帶電、液體靜電、氣體帶電、飛沫帶電、噴出帶電在此不進(jìn)行講k接觸起電：當(dāng)兩種物質(zhì)接觸時，其間距小于X10-8cm時在其間即發(fā)生電子的轉(zhuǎn)移，界面兩側(cè)出現(xiàn)大小相等，符號相反的兩種電荷。感應(yīng)起電：它是導(dǎo)體在外部靜電場作用下，在不同部位表面感應(yīng)出不同符號的電荷。剝離起電：兩個接觸非常緊密的物質(zhì)，在外力作用下突然分開，由于剝離的原因使物體帶電。摩擦起電：由于摩擦生熱，熱使離子（電子）的活性增加，容易向其他物體轉(zhuǎn)移。靜電的危害對人體產(chǎn)生電擊：帶了電的人體接近接地體時，會由于靜電放電產(chǎn)生的瞬間沖擊電流流過人體某一部位而引起電擊?；蛘呤窃瓉聿粠щ姷娜梭w接近一

5、個帶電物體時，帶電物體對人體放電而引起 的電擊。對電子組件的損壞：對組件的損壞大體可分為兩種失效模式：一、突發(fā)性完全失效即一次性擊穿、燒毀，產(chǎn)品在拿取、傳遞、作業(yè)時由于靜電放電造成的產(chǎn)品完全破壞，永久失效。；二、潛在 性緩慢失效即靜電放電使產(chǎn)品造成毫無規(guī)律可循的潛在性失效，導(dǎo)致其可靠性下降。絕緣體與導(dǎo)體絕緣體絕緣體具有大表面電阻率，一般大于或等于1012Qo產(chǎn)生靜電時即使接地電荷也不會泄放到大地,物體仍處于帶電狀態(tài)。如：普通塑料制品、乙烯等 導(dǎo)體導(dǎo)體一般表面電阻率在 105Q以下，電荷具有良好的流動性，進(jìn)行接地電荷會大量流向大地，造成 大電流而損壞電子元器件或擊傷人體。防靜電材料根據(jù)防靜電材料

6、的導(dǎo)電性能，可分為靜電絕緣、耗散、導(dǎo)電、屏蔽四種。靜電絕緣材料：表面電阻率1012Q ;靜電耗散材料：表面電阻率105-101;靜電導(dǎo)電材料：表面電阻率103-105a；靜電屏蔽材料：表面電阻率v 103a；靜電發(fā)生源人：人是最大的靜電發(fā)生源。人在作業(yè)過程中的任何操作都可能使人的皮膚、頭發(fā)、衣服等帶上靜電。環(huán)境：地板、工作臺面、儀器設(shè)備等都是靜電發(fā)生源。材料：生產(chǎn)中的一些原材料、生產(chǎn)輔助材料、包裝材料等也可能是靜電發(fā)生源。表1常見物體的靜電發(fā)生序列序號材#1序號整1竄*1空F12福而2人手13迪3地毛14*忖4睛炳15耽玨15云呼1S網(wǎng)禪皎6頭發(fā)17蹤.陽7尼慈LB西捌，梅£于t19

7、榮脂人腳舒9處蝴20啜乙場1Ots21糜由場11班22髏敏已焰5. 5漏電測試工具如電烙鐵、電批、示波器等；由于使用220V電進(jìn)行供電，會產(chǎn)生對地的漏電；漏電電壓較低,不會超出供電電壓；不會像靜電那樣具有幾千伏的電壓；但漏電電流較強(qiáng)，進(jìn)行可靠設(shè)備接地后，要求漏 電電壓小于1V。6. 6電子元器件的靜電耐壓表2 一些器件類型的靜電敏感電壓值噩件姻耐觸放電槌（V）器件超確電放電蛾（V）VMOS304800運(yùn)算放電器190-2500MOSSEFT100-200JEFT140-1000PBOM100STTL500-2500GaAsFET100-300SCL6BO-1WOCMOS250-2000DTL3

8、8&-7OOOHMOS50-500百懶二腦JOMOOOE'DMOS200-1000磁騙體皆380-7000ECL300-2500砂壓電晶體髀7. 工廠防靜電對策作業(yè)員對于可接觸到靜電敏感元器件或有機(jī)會接觸到靜電敏感元器件的作業(yè)員需配戴防靜電手環(huán)、坐式作業(yè)須坐防靜電凳；SMT車間員工需配戴防靜電手環(huán)、穿防靜電衣、戴防靜電帽、穿防靜電鞋；DIP車間員工需配戴防靜電手環(huán)、戴防靜電帽、穿防靜電鞋；倉庫、IQG工程分析人員接觸靜電敏感元器件時（如：直接接觸IC、MOS元件、加工好的PCB*）需配戴防靜電手環(huán)，當(dāng)沒有靜電地線時應(yīng)戴防靜電手套進(jìn)行作業(yè)，但是不能長時間接觸靜電敏感器件； 帶靜電

9、手環(huán)注意事項(xiàng)員工在作業(yè)前必須先測試所佩帶的防靜電腕帶是合格的，方可開始作業(yè)；作業(yè)時，防靜電腕帶戴在不影響作業(yè)的一只手上；一定要使防靜電腕帶緊貼到手腕皮膚；不能戴在手套、衣袖上不能使防靜電腕帶拉長超過彈性限度，防止將內(nèi)部導(dǎo)線拉斷；當(dāng)防靜電腕帶因汗、灰等變臟時會影響接觸效果，要清潔金屬接觸部位；修理臺、組件加工、生產(chǎn)作業(yè)臺面（如插件物料加工臺、SMT爐后檢查臺、PCB測試臺、爐后分板臺、皮帶線拉體加工臺等）電批需進(jìn)行接設(shè)備地，防止漏電損傷電子元器件；接地時直接接到設(shè)備地，電阻小于4Q0漏電電壓要求在Vacv;電烙鐵需接設(shè)備地，防止漏電損傷電子元器件；接地阻值小于10Q,漏電電壓要求在 Vacv。電

10、源插座接地孔應(yīng)接設(shè)備地，接地電阻v10QO測試儀器、測試工裝、顯示器、帶燈放大鏡等要求接設(shè)備地，接地電阻v10Qo臺面要求鋪設(shè)靜電膠皮臺面為木質(zhì)材料，防靜電膠皮直接鋪在臺面上，每 2米需接接地線扣（內(nèi)含 1MQ電阻）1個，與防靜 電地線連接，或可通過接地銅片直接接防靜電地線；臺面為金屬類材料，需在臺面上鋪設(shè)絕緣膠皮或其它絕緣層；防靜電膠皮鋪在絕緣膠皮或其它絕緣層上，每2米需接接地線扣（內(nèi)含 1MQ電阻）1個，與防靜電地線連接，或可通過接地銅片直 接接防靜電地線；修理臺金屬架需接設(shè)備地，接地電阻V10Q。如臺面為金屬臺面需注意防靜電膠皮接地扣不能與臺面短路。（即造成設(shè)備地與靜電地短路）；周轉(zhuǎn)箱/

11、周轉(zhuǎn)框/周轉(zhuǎn)板架用于PCR PCBA半成品、物料的周轉(zhuǎn)箱/周轉(zhuǎn)框/周轉(zhuǎn)板架，要求使用防靜電材料或使用中性的紙箱進(jìn) 行周轉(zhuǎn)。其表面電阻要求在 105lO11;表面電壓v 150V。周轉(zhuǎn)車用于PCBA半成品周轉(zhuǎn)的周轉(zhuǎn)車，要求使用防靜電材料制作的周圍車進(jìn)行周轉(zhuǎn)。表面電阻要求在105-1011 Q;表面電壓V 150V。有接地鐵鏈的必須保證鐵鏈接地導(dǎo)通性良好，不能生銹、或者懸空。防靜電袋、物料盒半導(dǎo)體元器件供應(yīng)商供貨要求使用防靜電材料（一般使用防靜電的聚乙烯）包裝；防靜電袋的使用壽命和防靜電效果會隨時間而消失，原則上為一次性使用。對重復(fù)使用的防靜電袋要求在使用前進(jìn)行防靜電測 試，合格后才能投入使用。測

12、試標(biāo)準(zhǔn)表面電阻要求在105/11;表面電壓V 150V。防靜電物料盒、金屬物料盒不能用錫箔紙包，一般的不防靜電的物料盒且離靜電敏感器件距離較近（如裝螺絲的物料盒；修理位的不防靜電的物料盒）的應(yīng)用錫箔紙包，用錫箔紙包了的物料盒不能用來 裝靜電敏感器件（如IC等）。治具、機(jī)架通常情況要求測試機(jī)架使用防靜電材料進(jìn)行制作，表面電阻要求在105101;如果使用一般不防靜電材料（如有機(jī)玻璃）制作，必須采取防靜電措施，如需在測試機(jī)架上加防靜電膠皮或包錫箔紙并實(shí)施接地；或者噴防靜電液使其表面電阻達(dá)到105101；相對濕度：工廠重點(diǎn)區(qū)域要求相對濕度在40%-75%各個電子倉庫、車間在對靜電敏感器件做防塵處理時，

13、要確保防塵膜不能直接和靜電敏感器件接觸，需先在靜電敏感器件上蓋上防靜電材料，然后再圍防塵膜。地線靜電地線：用于靜電手環(huán)、靜電席等接地。設(shè)備地線：用于生產(chǎn)線上的儀器設(shè)備接地。設(shè)備接地規(guī)則接地位置：優(yōu)先順序由高到低依次為：設(shè)備儀器的后面、左側(cè)、前面（設(shè)備儀器后面可以接地的都必須接在后面，后面不能接地的則可以選擇左側(cè)或者前面）接地線規(guī)格要求：總干線使用的黃綠線；連接儀器設(shè)備支線使用的黑線； 接地方法：接地線在設(shè)備地線上繞接約 2cm （緊密纏繞）如圖所示，再采取焊接方式，直接將連接點(diǎn)用錫焊接起來，接點(diǎn)更加牢靠。接地線可以直接使用鱷魚夾夾在設(shè)備地線上；鱷魚夾的連接線必須使用焊接或工具壓接方式，不可以直

14、接纏繞在上面；接地線連接儀器、工具的一端，須使用線耳焊接或工具壓接的方式，將其固定在儀器、工具的螺絲下 面；防靜電材料編碼規(guī)則所有的防靜電膠皮、防靜電膠箱、接地扣、防靜電椅/凳子、防靜電周轉(zhuǎn)車，防靜電周轉(zhuǎn)架等需要進(jìn)行編碼管理，以便于檢驗(yàn)記錄使用； 編碼規(guī)則編碼共9-10位數(shù)代表，如：LTA-JDK001為一車間001號接地扣，第1、2位為LT廠，固定不變；第3位為車間代碼（如：SMT-車間為A; SMT二車間為B; DIP車間為C;貨倉 為D;品質(zhì)部為E;工程部為F;等依次排序）；第4、5、6位為物品類型（防靜電膠皮為JDP,防靜電膠箱為JDX防靜電凳子為JDD,接地扣為JDK等）；第7、8、

15、9、10位為物品的編號數(shù)量， 從001開 始累加。6.11.2.2標(biāo)簽使用 尺寸為40MM*15MM勺貼紙，可以打印和手寫，字體要工整，清晰，不易才§除/掉色。7 .工廠防靜電措施檢測防靜電手環(huán)測試，及物品（地板）表面電阻/電壓測試規(guī)定：檢測項(xiàng)目責(zé)任 部門ESD防護(hù)要求檢測 儀器檢測頻次異常 處置表囿電阻靜電電壓日周月防靜電手環(huán)生產(chǎn)/ 品質(zhì)/ 倉庫若綠色“ PASS指示燈一直亮，則表 明佩帶防靜電腕帶良好，其他 NG靜電測試儀上 班 前反饋拉長防靜電地板品質(zhì)1051011Q0150V表囿電阻/ 電壓測試儀反饋生產(chǎn)/ 人事防靜電膠皮品質(zhì)1051011Q0150V表囿電阻/反饋生產(chǎn)/電壓

16、測試儀采購防靜電膠箱/ 膠盒生產(chǎn)/ 倉庫1051011Q0-150V表面電阻/ 電壓測試儀V反饋部門 主管防靜電膠袋品質(zhì)1051011Q0-150V表囿電阻/ 電壓測試儀V反饋采購防靜電車生產(chǎn)/ 倉庫1051010-150V表面電阻/ 電壓測試儀V反饋部門 主管防靜電衣生產(chǎn)/ 倉庫1051010-150V表囿電阻/ 電壓測試儀V反饋人事防靜電帽生產(chǎn)/ 倉庫1051010-150V表囿電阻/ 電壓測試儀V反饋人事防靜電手套生產(chǎn)/ 倉庫105-1011 Q0-150V表囿電阻/ 電壓測試儀V反饋人事防靜電鞋生產(chǎn)/ 倉庫1051010-150V表囿電阻/ 電壓測試儀V反饋人事防靜電隔板、 刀卡、珍珠

17、棉品質(zhì)1051011Q0-150V表囿電阻/ 電壓測試儀V反饋采購防靜電貨物 棧板生產(chǎn)1051011Q表面電阻測 試儀V反饋部門 主管備注：所有防靜電要求的材料，來料時 IQC須按照ESD防護(hù)要求進(jìn)行檢查接地系統(tǒng)檢測項(xiàng)目規(guī)定測試項(xiàng)目測試儀器合格范圍值測試頻率檢測部門ESD專用接線箱銅條到大 地電阻接地電阻測試儀 （搖表）R=R1+R 2c 10 Q每年電工生產(chǎn)線接地線線尾對專用 接地箱中接地銅條的電阻萬用表+延長導(dǎo)線<10Q每月工程每條生產(chǎn)線設(shè)備地線與防 靜電地線短路檢測萬用表電阻大于2 以上（非 短路）即可，每周IPQC設(shè)備接地電阻萬用表< 4Q每周IPQC設(shè)備漏電電壓萬用表每周

18、IPQC電烙鐵的接地電阻萬用表< 10Q上班前生產(chǎn)電烙鐵漏電壓萬用表上班前生產(chǎn)測試儀器、機(jī)架接地電阻萬用表< 4Q每周IPQC測試儀器、機(jī)架漏電電壓萬用表每周IPQC電批的接地電阻萬用表< 4Q上班前生產(chǎn)電批漏電壓萬用表上班前生產(chǎn)8 .防靜電的點(diǎn)檢及記錄防靜電手環(huán)由各生產(chǎn)線人員每天上班前進(jìn)行點(diǎn)檢；同時將每個測試結(jié)果記錄在防靜電手環(huán)測試記錄表中;對點(diǎn)檢中發(fā)現(xiàn)的不良靜電手環(huán)要求立即進(jìn)行更換，并重新測試；對點(diǎn)檢中個別員工皮膚干臊引起接觸電阻高使測試不通過的，可在作業(yè)員與靜電手環(huán)金屬片接觸的皮膚處涂抹潤膚保濕霜， 2小時涂一次；電批、電烙鐵由各生產(chǎn)線指定專人每天進(jìn)行點(diǎn)檢；同時將每個測

19、試結(jié)果記錄在電批扭力/漏電/接地記錄卡、電烙鐵溫度&漏電&接地記錄卡中；防靜電衣、帽、手套、鞋，防靜電車、膠箱、膠盒、棧板由各生產(chǎn)線指定專人每月進(jìn)行抽檢；同時將測試結(jié)果記錄在靜電檢查記錄表中；防靜電地板、膠皮、膠袋、隔板、刀卡、珍珠棉由品質(zhì)部IPQC指定專人，根據(jù)檢測頻次要求，每周/每月進(jìn)行抽檢；同時將測試結(jié)果分別記錄在靜電皮檢查記錄、防靜電膠袋 /隔板/刀卡/珍珠棉檢查記錄及靜電檢查記錄表中；儀器、設(shè)備、機(jī)架、治具由品質(zhì)部IPQC指定專人，每周進(jìn)行檢查；同時將測試結(jié)果記錄在 設(shè)備&測試架&X具接地/漏電記錄卡 中；每條生產(chǎn)線設(shè)備地線與防靜電地線短路檢測由品質(zhì)部

20、IPQC指定專人，每周進(jìn)行檢查；同時將測試結(jié)果記錄在設(shè)備地線與靜電地線間電阻點(diǎn)檢表中；生產(chǎn)線接地線線尾對專用接地箱中接地銅條的電阻由工程部指定專人，每周月進(jìn)行檢查；同時將測試結(jié)果記錄在產(chǎn)線靜電地線與主干線間電阻點(diǎn)檢表中；ESD專用接線箱銅條到大地電阻由電工每年測試一次；同時將測試結(jié)果記錄在防靜電接地系統(tǒng)檢查表中；相對濕度倉庫、各區(qū)域指定專門的人員按 倉庫管理辦法及相關(guān)要求點(diǎn)檢濕度，同時將每個測試結(jié)果記錄在 溫 濕度記錄表中。9 .防靜電的管理防靜電的措施制定由工程制定、完善、解釋本管理辦法由品質(zhì)部每月組織抽查各生產(chǎn)車間對本管理辦法執(zhí)行情況；抽查不合格項(xiàng)要求由各部門長簽名確認(rèn)；抽檢結(jié)果記錄在ESD檢查清單中，不合格項(xiàng)發(fā)出不合格項(xiàng)整改對策報告，責(zé)任部門按時完成。外來人員的靜電防護(hù)措施制定外來人員要進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域，必須按照工廠要求實(shí)施相應(yīng)的靜電防護(hù)措施。臨時增加的作業(yè)區(qū)域靜電防護(hù)措施對于臨時增加工位的 ESD點(diǎn)檢同樣要形成記錄，定期進(jìn)行點(diǎn)檢 ，ESD點(diǎn)檢合格方可進(jìn)行生產(chǎn)。防護(hù)等級制定防護(hù)等級定義防護(hù)措施1級直接接觸靜電敏感器件單體（如小機(jī)芯”機(jī)芯組件、解碼板、MOS元件等）靜電衣、靜電帽、靜電轉(zhuǎn)、褥電手環(huán).陰電凳子.高子風(fēng)機(jī)、設(shè)備接地11級接觸到靜電敏感器件部品，但是不直接接觸靜電敏感器件單體靜電手環(huán),防靜電凳子，設(shè)備接