HRS-MF-039拉晶作業(yè)指導(dǎo)書(A2版)

1、工序名稱進(jìn)車間前準(zhǔn)備適用范圍目的NO.作業(yè)順序"穿戴工作服裝頁數(shù)1/32拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)持有車間硅棒部進(jìn)入車間前準(zhǔn)備工作 保證作業(yè)環(huán)境 作業(yè)內(nèi)容1、換好工作服、防塵鞋、防塵帽作業(yè)環(huán)境的溫度2 要求2、車間溫度保持在保證工作環(huán)境的溫度2 考前須知工作服要潔凈、穿戴整齊單晶待檢單晶的取出HRS-MF-03拉晶作業(yè)指導(dǎo)書2.11修改 拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱持有車間頁數(shù)作業(yè)流程圖硅棒部2/32適用范圍拉晶作業(yè)目的作業(yè)流程指導(dǎo)第2頁，共32頁第2頁，共32頁拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱持有車間頁數(shù)真空泵的清理及泵油的更換硅棒部3/32適用范圍作業(yè)流程圖目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1放油1、換油員工準(zhǔn)備

2、好專用工具及棉絲置于就近位置。2、拉晶員工關(guān)閉主泵球閥。并在爐臺上懸掛"禁止啟動真空泵"標(biāo)識牌。3、換油員工將廢油桶置于真空泵放油口下方翻開上腔放油開關(guān)，取下泵尾氣管。4、換油員工堵嚴(yán)尾氣口，緩慢翻開下腔放油閥使之緩慢進(jìn)氣進(jìn)行快速放油，廢油倒入 指定油池。5、換油員工放完油后關(guān)閉上下腔放油閥，而后關(guān)閉真空泵斷開真空泵對應(yīng)的空氣開關(guān)。泵油每5爐更換一次。考前須知及原由1、確認(rèn)關(guān)閉真空泵是否關(guān)閉到位。否那么會造成爐內(nèi)返氣。2、放油時應(yīng)靠下腔放油閥調(diào)解泵腔壓力，以免泵腔內(nèi)壓力過大尾氣口關(guān)閉不嚴(yán)使油煙 外泄擴(kuò)散到泵房。3、切記關(guān)閉上下腔的放油閥，防止漏油。4、處理廢油時注意泵房衛(wèi)生

3、。5、一定要斷開真空泵控制開關(guān)，以防他人不慎觸動真空泵開啟按鈕，造成人身傷害。6、杜絕在除塵罐處充氣。7、每次換油時將上泵腔內(nèi)的沉積物清理干凈。7、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。2清泵1、換油員工用工具翻開真空泵側(cè)蓋，置于適當(dāng)位置。2、換油員工用棉絲徹底清理真空泵腔、及側(cè)蓋的油污70泵下腔濾油網(wǎng)。3、清掃完畢后，安裝好濾網(wǎng)而后安裝好側(cè)蓋?？记绊氈霸?、側(cè)蓋在翻開、安裝時小心操作，防止損壞側(cè)蓋及油封而漏油。2、70泵切記安裝濾網(wǎng)。120泵噴油管對準(zhǔn)觀察窗利于觀察真空泵的工作狀態(tài)。3、泵腔內(nèi)禁止遺留紙屑或其它異物，不然會造成油路的堵塞導(dǎo)致真空泵卡死。4、清理真空泵的廢棄物放入指定垃圾桶。

4、5、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。3注油1、換油員工翻開真空泵注油口。2、換油員工將加油管放入真空泵注油孔。3、換油員工開啟加油泵開始注油。4、換油員工觀察真空泵油位至油位觀察窗1/2位置。5、換油員工關(guān)閉注油泵，取下注油管，移至適當(dāng)位置以防漏油，翻開泵側(cè)的油路管道 閥門向下腔放油。6、換油員工裝上尾氣管，關(guān)閉注油口。7、拉晶員工開啟真空泵工作5min后關(guān)閉泵側(cè)的油路管道閥門，觀察油位是否處于油位觀察窗1/3-1/2 位置。假設(shè)低于下限重復(fù)以上操作?？记绊氈霸?、注油管保持清潔。防止異物進(jìn)入泵腔。2、注油時注意注油管掉落且不要超過上限油位以防噴油。3、切記安裝好尾氣管及注油孔，以防開

5、泵時噴油或油氣污染泵房。4、對灑落在地面的油污用鋸沫吸附收集，不準(zhǔn)沖洗至下水道內(nèi)，防止對環(huán)境的污染。5、注意清理真空泵及周圍衛(wèi)生。6、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。7、操作人員需要做好相關(guān)記錄。拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全且保持潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費。2、取單晶前一定要將爐體徹底擦拭干凈，有利于整體環(huán)境，防止交叉污染。3、擦拭爐體時要小心，防止將所有控制接線及開關(guān)碰斷或碰壞。單晶取1、單晶冷卻完畢后，關(guān)閉Ar氣同時提升單晶至副室，各爐型最大等頸長度見下表，從小副室觀察窗確認(rèn) 單晶升至所需高度，蓋住翻板。假設(shè)等頸長度超出以下范圍，那么升到相應(yīng)高度那么

6、不可以再升單晶。mm京運通80爐華盛天龍85爐京運通90爐創(chuàng)聯(lián)120爐1300 整棒等徑長度910960146011502、待爐內(nèi)壓力到達(dá)極限后關(guān)閉主室球閥，關(guān)閉真空泵電源后進(jìn)行檢漏，進(jìn)行相應(yīng)記錄。假設(shè)漏率大于0.5pa/min那么需要通知班長進(jìn)行自查或?qū)で缶S修人員進(jìn)行維修。未收尾時等徑長度106011101610工序名稱持有車間頁數(shù)單晶的取出硅棒部4/32適用范圍拆爐時單晶的取出目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容作業(yè)準(zhǔn)O1備1、準(zhǔn)備好帆布手套或純棉紗手套、耐高溫手套、擦爐用的棉絲或紙巾。2、準(zhǔn)備好鉗子、取單晶的小車晶筐3、用濕棉絲或紙巾將爐體從上到下擦拭干凈。3、假設(shè)無異常，蓋好翻板閥，從副

7、室充入 Ar氣至常壓，翻開副室小門，再翻開液壓泵，升起副室大熱場3、假設(shè)無異常，蓋好翻板閥，從副室充入 Ar氣至常壓，翻開副室小門，再翻開液壓泵，升起副室大熱場直接從副室沖入氬氣至常壓，副室及爐蓋一起移動，向主室沖入氬氣至常壓，升起爐蓋。4把平安接晶盤移到爐筒口中央正下方處，緩慢轉(zhuǎn)動副室至側(cè)面大熱場，緩慢轉(zhuǎn)動副室及爐蓋至側(cè)面5、把取單晶的晶筐或小車放在副室爐筒或爐蓋的正下方，準(zhǔn)備接單晶。6、穩(wěn)定單晶，移開平安接盤，按下晶快降，將單晶降入晶筐或小車內(nèi)。7、確認(rèn)單晶完全放入晶筐或小車內(nèi)后，拿無塵紙捏住籽晶，用鉗了將籽晶從細(xì)徑處夾斷，為防止重 錘高速旋轉(zhuǎn)，不要松開籽晶，待鋼絲繩取消擰力后再將籽晶從重

8、錘上取下，放在指定場所，再將重錘升至 副室內(nèi)適當(dāng)位置鉬夾頭剛?cè)敫笔視r?？记绊氈霸?、提升單晶過程中，注意單晶的位置，防止過高或過低以造成拉斷鋼絲繩或翻板磕碰單晶。2、泄漏率0.5Pa/min 以下為正常。否那么有關(guān)人員處理并報告班長或主管。3、升起副室前必須確認(rèn)爐內(nèi)壓力為常壓。4、緩慢轉(zhuǎn)動副室，防止單晶與副室內(nèi)壁碰撞，必須將平安接盤移至爐筒口處，防止單晶在移動過程中墜 落。5、取單晶的晶筐或小車必須放置平穩(wěn)，應(yīng)與單晶垂直對齊，防止單晶突然脫落掉進(jìn)晶筐或小車 內(nèi)摔壞單晶。6、夾斷細(xì)徑后，應(yīng)穩(wěn)定重錘，防止重錘快速轉(zhuǎn)動，損壞鋼絲繩。重錘、籽晶溫度高，不可用手直接接 觸7、取籽晶時應(yīng)慎重作業(yè)，防止

9、損壞籽晶。&單晶冷卻后，必須及時、準(zhǔn)確的依照編碼規(guī)那么對晶棒記錄編號用記號筆標(biāo)注石墨件的取出適用范圍目的5/32適用于每爐石墨件及殘骸的取出及大清時整個熱場的取出硅棒部NO.1作業(yè)順序取出導(dǎo)流筒及大蓋1、準(zhǔn)備好不銹鋼小車。取出殘骸標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容2、依次戴好帆布手套或純棉紗布手套、耐高溫手套。3、按順序取出導(dǎo)流筒及保溫大蓋。4、取岀的石墨件要放在不銹鋼臺車上。高溫的下保溫蓋與導(dǎo)流筒下沿不準(zhǔn)直接 接觸不銹鋼1、準(zhǔn)備好耐高溫手套、帆布手套或純棉紗布手套、鉗子、不銹鋼筒。2、用鉗子夾住石英堝的上端局部提起，使其松動。3、戴好耐高溫手套將石英堝和堝底料取出并全部放入不銹鋼筒。假設(shè)出現(xiàn)悶爐等意3

10、、戴好耐高溫手套將石英堝和堝底料取岀并全部放入不銹鋼筒。假設(shè)岀現(xiàn)悶爐等意 外情況那么是能隨石英堝體一并取岀的一并取岀，否那么，用耐高溫手套、鉗子像裝料考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費。2、依次戴好帆布手套或純棉紗布手套、耐高溫手套。取導(dǎo)流筒及大蓋時要從 爐內(nèi)向上平移，輕拿輕放，小心燙傷人身及衣服，切忌石墨件的碰撞造成損壞及對 成型氈的磕碰，造成成型氈與熱電堆孔發(fā)生偏移影響歐陸，影響溫度，影響成晶。3、不銹鋼小車上一定要平鋪一層石墨板，而且要處于潔凈狀態(tài)，一是為了防止重 金屬原子在高溫時向石墨件的擴(kuò)散，進(jìn)而在拉晶時向單晶內(nèi)的擴(kuò)散，影響了單晶的 壽命，二是

11、不潔凈的石墨條對石墨件的再次污染。4、用工具操作時注意別磕碰壞石墨件，爐內(nèi)溫度高小心燙傷人身及衣服，切忌將堝底料不慎從熱場的縫隙掉下，這一工序盡量把堝內(nèi)的料全部取出5、對異常事故所出現(xiàn)的悶爐料一定要寫明原因 方便以后對原料的處理。2、依次取岀三瓣堝、堝底、堝桿。堝桿從中央孔的位置用堝桿扳手取岀不銹鋼螺栓。3、取出的石墨件一并放在不銹鋼小車?yán)ё鳂I(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱持有車間頁數(shù):石墨件的取出硅棒部6/32適用范圍適用于每爐石墨件及殘骸的取出及大清時整個熱場的取出目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容3三瓣堝、堝 底、堝桿的取出1戴好帆布手套或純棉紗布手套、耐高溫手套，準(zhǔn)備好堝桿扳手?？记绊氈霸?注意別

12、磕碰壞石墨件，爐內(nèi)溫度高小心燙傷人身及衣服。2、取三瓣堝、堝底時殘留的堝底料不要掉入爐底及爐底波紋管內(nèi)。假設(shè)岀現(xiàn)這樣的 情況，一定要清理大波紋管，否那么會造成下爐液面晃動影響成晶，殘留的堝底料一 情況，一定要清理大波紋管，否那么會造成下爐液面晃動影響成晶，殘留的堝底料一 并將其全部倒入不銹鋼筒內(nèi)。3、取堝桿時不要使堝桿碰到加熱器、保溫筒等其它石墨件以免造成損壞，取岀后 要將堝桿板手從堝桿內(nèi)取岀放到指定的位置保證堝桿板手再次使用仍然處于常溫以 防燙傷4、不銹鋼小車在移動時不要碰到車間其它的物品，以陰燙壞或損壞而污染石墨件。5、操作時要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞，防止測溫孔位置發(fā)生移動造成信號

13、取值偏差過大。6、岀現(xiàn)異常立刻處理，開報告班長或主管石墨件的取出 適用范圍 目的NO.作業(yè)順序1堝底料的分類硅棒部7/32適用于每爐石墨件及殘骸的取出及大清時整個熱場的取出標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容i、堝底料或事故引起的悶爐料都要將其存放在不銹鋼筒內(nèi)移到指定的區(qū)域自然冷 知-_2、不銹鋼筒內(nèi)的堝底料或事故引起的悶爐料待其冷卻后都要將其放入指定料筐指定區(qū)域。在石英坩堝明顯位置處用記號筆注明晶體編號考前須知及原由1堝底料的應(yīng)及時存放到指定的區(qū)域，防止多個拆爐對堝底料分類記憶不清。2、在石英坩堝明顯位置處對事故料一定要注明事故原因，目的是再利用時減少因 別離不清而造成單晶參數(shù)的不合格。適用范圍目的單晶爐的清掃

14、作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)準(zhǔn)備1、準(zhǔn)備好毛刷、吸管、專用工具。2、戴好帆布手套或純棉紗布手套、防塵口罩?？记绊氈霸汕謇泶蠊?、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費2、用專用工具翻開大罐蓋。3、用毛刷和吸塵器仔細(xì)清掃大罐內(nèi)的揮發(fā)物。4、用刷子和吸塵器清掃大罐蓋。5、蓋好大罐蓋并用專用工具上好大罐蓋。1、翻開大罐前確認(rèn)所清掃的真空泵球閥在關(guān)閉狀態(tài)，否那么在清理過程中會向爐內(nèi)返氣, 造成爐內(nèi)污染。2、工作時要慎重作業(yè)，防止造成意外傷害。3、蓋大罐蓋前要將大罐蓋密封圈擦凈。4、安裝大罐蓋時檢查密封圈是否完全就位，防止出現(xiàn)脫落或出槽影響抽空5、大罐內(nèi)揮發(fā)物較多

15、，在清掃時應(yīng)盡量防止與周圍作業(yè)造成交叉污染。NO.適用范圍T的作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、戴口罩、PVC手套。2、準(zhǔn)備好防塵口罩、紙巾、酒精、清掃用的氬氣氮氣、研磨布、吸塵氣管等清 掃所需物品。注意事壩及原由1、工作服必須潔凈。工作服及物品如果不潔凈會給清掃作業(yè)及后續(xù)的工作帶來污染。2、所用物品必須潔凈、就近擺放整齊。物品的齊全及就近擺放能減少不必要的時間 浪費。22道的的青管管道靜青掃掃1用毛刷和吸塵器清掃抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物，吸塵器管必須伸入管道底部以便將管1用毛刷和吸塵器清掃抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物，吸塵器管必須伸入管道底部以便將管 道內(nèi)的揮發(fā)物徹底吸凈。爐蓋清掃2、3、認(rèn)真擦?它小孔、翻板閥四周及轉(zhuǎn)軸

16、。考前須知及原由 1、清掃時要自上而下，先清理小副室，如果先清理爐蓋后清理小副室，在清掃翻板 閥時都會給清埋過的爐蓋造成污染。NO.-3-適用范圍T的作業(yè)順序 爐蓋清掃-5、擦拭過的部位要氮氣認(rèn)真吹凈單晶爐的清掃作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容、翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用紙巾卷成利于操作的形狀認(rèn)真擦拭?？记绊氈霸?、揮發(fā)物附著較多時，先用毛刷及吸塵器處理。2、清掃副室抽氣孔時要把紙巾卷成卷以便伸進(jìn)抽氣孔內(nèi)部更容易清理。當(dāng)岀現(xiàn)返氣 情況時要將副室抽氣管拆下用酒精或丙酮清理并吹凈。3、用氮氣吹掃時應(yīng)注意向外或向下吹，這樣會將附著物及紙巾碎屑完全吹出小副室6、以上做過的部位反復(fù)操作，直至確認(rèn)無污物。7、清

17、掃過的小副室將翻板閥蓋住閥口，并關(guān)閉副室小門8、用潔凈的紙巾將小副室上口蓋住。4反復(fù)操作有利于徹底去除污物。5、蓋住閥口，防止在清理爐蓋時將污物帶入小副室。6、注意閥板上的翻板水管是否擰勁兒，接頭是否松動漏水，造成不成晶。7、注意檢查閥口密封圈是不是損壞或?qū)绮邸?、用紙巾蓋住小副室上口防止空氣中的污物進(jìn)入小副室。9、出現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。NO.-"3-掃作業(yè)內(nèi)容作業(yè)順序爐蓋清 1、先用紙巾擦拭內(nèi)壁。2、小孔部位、觀察窗部位、CCD頁相部位、閥口部位等各處的接口及焊縫接口等不易清掃的部位要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭，直至確認(rèn)無污物。不易去除的揮發(fā) 物用研磨布反復(fù)研磨3、用氮

18、氣將擦拭過的部位認(rèn)真吹凈，直至確認(rèn)尢污物。4、以上做過的部位反復(fù)操作，直至確認(rèn)無污物。 考前須知及原由1、附著物較多時停電、真空泵故障等造成返氣先用毛刷和吸塵器清理。2、揮發(fā)物強(qiáng)力附著時要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐蓋整個內(nèi)壁光潔無污物3、觀察窗、伊爾根窗口要認(rèn)真清理，所有小孔的位置要把紙巾卷成卷以便伸進(jìn)氣孔 內(nèi)部更容易清理直至沒有污物。4、反復(fù)操作有利于徹底去除污物。工序名稱持有車間頁數(shù)石墨件及爐內(nèi)的清掃正常清理硅棒部12/32NO.1目的作業(yè)順序石墨件的清掃作業(yè)內(nèi)容、石墨件必須在指定的清掃臺進(jìn)行清掃。2、準(zhǔn)備好清掃用品毛刷、紙巾、氮氣、吸塵器管、研磨布、除硅點的專用工具、 放石墨件的潔凈小車等戴

19、好帆布手套或純棉的紗手套、防塵口罩。1、清掃臺內(nèi)及周圍環(huán)境必須潔凈。3、依次用毛刷、吸塵器、紙巾清掃石墨件直至確認(rèn)無污物考前須知及原由2、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費 3、操作時要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞工序名稱石墨件及爐內(nèi)的清掃正常清理 適用范圍目的""NO.序持有車間硅棒部單晶爐的清掃作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容13/32石墨件的清掃5、依次按三瓣堝、堝底、堝桿、導(dǎo)流筒大蓋必須分開清理的先后順序進(jìn)行認(rèn)真 的清掃并吹凈直至無污物。A6、清理完畢旳石墨件放到事先準(zhǔn)備好旳潔凈小車上?？记绊氈霸?、必須保證氮氣的壓力2、清掃時注意檢查各石墨件

20、是否有損壞及粘硅，假設(shè)有必須處理到能夠滿足正常生產(chǎn) 的要求，否那么會造成下爐三瓣堝碰到加熱器造成液面晃動或打火，堝桿碰到堝桿護(hù) 套造成液面晃動等情況。3、清掃垃圾放入垃圾筒內(nèi)定期處理。4、清掃完畢后的石墨件禁止疊加，挪動不銹鋼小車時要緩慢。防止相互磨擦或碰撞 而脫落石墨粉。5、出現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。適用范圍目的NO.T作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容爐內(nèi)的清掃及檢查I 、準(zhǔn)備好毛刷和吸塵器及專用工具。 2'、用專用工具仔細(xì)疏通廢氣孔。爐內(nèi)的清掃 及檢查考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費2、加熱器清理不凈加熱時揮發(fā)物會迅速揮發(fā)擴(kuò)散，從而嚴(yán)重污

21、染原料的質(zhì)量3、電極螺絲如果松動、脫落或粘硅，在化料時很可能引起打火，造成事故。NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容爐內(nèi)的清掃及檢查-I考前須知及原由1、爐底必須清理潔凈不然會造成化料時污染物揮發(fā)影響料的質(zhì)量，再就是不揮發(fā)的 雜質(zhì)滲透到爐底影響下保溫，或者要操作時不慎會掉進(jìn)波紋管內(nèi)造成液面抖不成晶 嚴(yán)重時造成事故。2、在清理廢氣孔時必須作到兩側(cè)徹底清理，假設(shè)兩側(cè)的廢氣孔抽氣速率不同會造成氣 流向某一側(cè)偏移而導(dǎo)致單晶晃，假設(shè)兩側(cè)都是疏通不暢會影響抽氣速率至使揮發(fā)物大 量的向副室揮發(fā)。3、熱場不對稱一是會造成單晶晃，二是單晶晃會碰到導(dǎo)流筒。4、在清掃爐內(nèi)過程中，防止殘渣再次掉落。6、如果在拆爐時不小心引起熱場移

22、動或轉(zhuǎn)動一定要檢查熱場是否對稱，測溫孔是否 校正。如下圖，距離是否一致7、用吸塵器吸凈爐底、爐底波紋管、廢氣孔內(nèi)的浮塵及殘渣。&再用吸管吸凈爐筒和保溫材料及加熱器上沿的殘渣。9、用帶有酒精的紙巾清理爐筒內(nèi)壁上部。5、如果測溫孔有偏離會影響測光信號導(dǎo)致歐陸數(shù)值過小，無法對爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動 控制無法成晶。NO.適用范圍 目的作業(yè)順序標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容熱場的取出準(zhǔn)備工具：1、準(zhǔn)備好不銹鋼小車及專用工具。2、戴好帆布手套或純棉紗手套、及耐高溫手套。考前須知及原由：1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時取出石墨件:?見石墨件的取出操作?升起爐筒: 1、取下熱電堆，將其及對應(yīng)的密封及

23、玻璃放到適當(dāng)?shù)奈恢靡苑艙p壞喪失。2、翻開液壓泵開關(guān)3、按住爐筒升按鈕，升起爐筒至限位考前須知及原由1、爐筒升起過程中注意與爐蓋的間隙，切忌與爐蓋發(fā)生接觸。否那么會油缸損壞或爐 蓋、爐筒、對應(yīng)支架、液壓缸導(dǎo)柱發(fā)生變形損壞。2、爐筒上升一定要到上限，否那么在旋轉(zhuǎn)爐筒時造成爐筒機(jī)械限位損壞。3、旋轉(zhuǎn)后的爐筒一定要降到適當(dāng)高度的位置，否那么爐筒的突然下滑造成人員的傷 害，再就是不下降長期會導(dǎo)致油缸導(dǎo)柱彎曲變形。取岀熱場1、依次取岀保溫材料放在不銹鋼小車上移至適當(dāng)位置自然冷卻1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費。2、取岀保溫材料時要輕拿輕放小心燙傷人身及衣服，切忌成型氈、加熱器的

24、碰撞造 .成損壞。適用范圍目的NO.1作業(yè)順序熱場的取作業(yè)內(nèi)容2、用專用工具取下電極螺絲此后取下加熱器移至指定區(qū)域自然冷卻。3、取岀爐底碳?xì)?。考前須?、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費。2、取出保溫材料時要輕拿輕放小心燙傷人身及衣服，切忌成型氈、加熱器的碰撞造 成損壞。3、出現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。1、準(zhǔn)備好毛刷、吸管、紙巾、研磨布、石墨紙等所需物品。熱場的清理及安裝2、用吸管、毛刷清掃不銹鋼爐底、電極柱，直致無污物。3、用毛刷、吸管認(rèn)真清掃爐底碳?xì)值膿]發(fā)物。4、清掃后的爐底碳?xì)盅b好。5、用毛刷、吸塵器、氮氣依次清掃保溫筒、成型氈等保溫材料，清掃后的保溫材料

25、考前須知及原由1、清掃不銹鋼爐底時一定注意將管道抽氣孔徹底清理，否那么可能會造成管道堵塞， 影響抽速。大清時爐底碳?xì)直仨毴咳绮⒄J(rèn)真檢查各焊點處是否存在漏水點。2、清掃電極柱時檢查接觸面是否平整。3、清掃成型氈爐底時要徹底清掃廢氣孔，安裝爐底及成型氈時要慎重作業(yè)，防止磕 碰成型氈造成損壞。成型氈按照東洋標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容熱場的清及安裝6、用毛刷、吸塵器清掃加熱器后，用研磨布、吸塵器認(rèn)真打磨加熱器上的揮發(fā)物。7、再次用毛刷、吸塵器吸凈加熱器，此后用氮氣認(rèn)真吹凈加熱器，直至確認(rèn)無污物8、清掃后的加熱器裝好。9、用沾有酒精的紙巾清掃主室爐筒及測溫孔，直至確認(rèn)無污物?？记绊氈霸蔂t筒復(fù)

26、位1、清掃及安裝加熱器時要慎重作業(yè)，防止損壞加熱器。2、電極柱、電極角、加熱器各接觸面要保證平整，安裝時要在接觸面上墊一層石墨 紙，防止熱場打火1、翻開液壓泵，升起爐筒至上限，用沾有酒精的紙巾擦拭下爐筒上部的結(jié)合部和爐 筒下部的結(jié)合部，同時轉(zhuǎn)動爐筒到適當(dāng)位置。2、按爐筒降，降爐筒至下限。3、爐筒降到位后，校對測溫孔，轉(zhuǎn)入日常清理工序?？记绊氈霸?、轉(zhuǎn)動爐筒時要確認(rèn)爐筒與爐蓋的間隙，防止損壞爐筒及爐蓋的支架和油缸導(dǎo)柱2、確認(rèn)爐筒是否降至下限，否那么會造成抽空漏氣。3、要認(rèn)真校對測溫孔，防止測光信號過小無法溫度自控。工序名稱-石墨件的安裝與裝料準(zhǔn)備適用范圍 目的NO. 作業(yè)順序n安裝石墨件 1

27、、用專用工具裝好堝桿持有車間硅棒部適用于裝爐作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容MS19/322、依次裝好堝底、堝邦。考前須知及原由裝料準(zhǔn)備1、裝堝桿、堝底、堝邦時要認(rèn)真、細(xì)心，防止碰壞保溫材料或加熱器。2、在裝堝桿前認(rèn)真檢查波紋管是否有異物，假設(shè)有及時清理。安裝堝桿時一定要擰緊堝 桿螺絲，防止因松動造成液面晃動。3、確認(rèn)堝底、堝桿、堝邦是否吻合，假設(shè)有異常及時處理并報告班長或主管。3、確認(rèn)堝底 '堝桿'堝邦是否吻合，假設(shè)有異常及時處理并報告班長或主管。2、從指定的場所將指定的原料及石英堝取來。3、將取來的原料放在裝料車上。4、帶好防塵口罩、裝料用的汗布手套。5、遠(yuǎn)離操作區(qū)，用氮氣將操作者身體

28、整體吹凈浮塵?？记绊氈霸?、徹底清掃爐體及周圍衛(wèi)生，防止裝料過程中造成污染。2、取來的原料及石英堝應(yīng)與上次的數(shù)據(jù)對照，防止影響單晶型號及各種參數(shù) 3、遠(yuǎn)離操作區(qū)，吹掃操作者，防止環(huán)境交叉污染。適用范圍目的NO.作業(yè)順序3 石英堝的檢查安裝適用于裝爐作業(yè) 標(biāo)準(zhǔn)作業(yè) 作業(yè)內(nèi)容1、翻開石英堝包裝，依次戴好汗布手套和PVC手套，用手電筒確認(rèn)有無裂紋、污物、氣泡。2、在爐內(nèi)的石墨堝上裝好石英堝3、安裝好石英坩堝后按動堝快降按鈕下降30-100mm 目的在于安裝保溫蓋時不觸及石英坩堝。4、用紙巾蘸酒精將保溫蓋擦拭干凈，遠(yuǎn)離裝料爐臺用氮氣吹掃干凈后平穩(wěn)安裝。5、 按動堝快升按鈕將石英坩堝上沿升至距下保溫

29、蓋10mn左右準(zhǔn)備裝料?？记绊氈霸?、一定要仔細(xì)檢查石英堝是否有異常，石英堝假設(shè)有異?？赡軙?dǎo)致成晶困難或漏硅。2、注意要將石英堝平衡安裝，否那么會導(dǎo)致石英堝變形造成液面抖動。3、在檢查完畢后安裝過程中石英坩堝不允許接觸其他物體防止污染石英坩堝外部或磕 碰石英坩堝適用范圍目的適用于裝料作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO."T料作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、依次戴好汗布手套及PVC手套。2、將配送的合金放入石英堝底部。3、將粉材、小材平鋪于堝底。4、將大塊料放置中央，用中型料隱于大料四周予以固定。5、將小料填入料塊之間，石英坩堝上部周邊用中塊料或邊皮料圈其周圍。6、將小塊料放置在頂部中間位置1、及時更換PV手

30、套，防止污染原料。2、裝料前先將合金放入石英堝，防止遺忘。3、裝料時要就近擺放，防止碰撞石英堝造成事故。4、裝料時不要接觸其他物體防止交叉污染。5、裝料時注意不要使料探岀石英堝或四周材料，否那么會在化料過程中硅液流下，損 壞石墨件，甚至燜爐。6、裝料時要慎重作業(yè)，不要使料掉在保溫材料的縫隙，以免造成打火。7、裝料時一定要使料合理搭配，防止化料過程中原料沖擊石英坩堝造成漏硅等事故。8、裝料前認(rèn)真核對原料、母合金配比及重量是否與配料清單一致，如有異常需及時 報告班長。9、裝料時在保證裝料質(zhì)量的情況下，應(yīng)提高裝料速度，降低裝料過程中材料被污染 的幾率。工序名稱持有車間頁數(shù)裝爐硅棒部22/32適用范圍

31、適用于裝料作業(yè)_目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、裝料完成后堝轉(zhuǎn)給定為2轉(zhuǎn)/分旋轉(zhuǎn)，確認(rèn)無摩擦快速將堝降至設(shè)定下限。安裝導(dǎo)流筒及大蓋2、完畢后將保溫蓋上部等部位用干凈吸塵管吸凈硅渣。3、堝降到位后停止旋轉(zhuǎn)4、用紙巾蘸酒精擦拭導(dǎo)流筒外表并在遠(yuǎn)離裝料爐臺處用氮氣吹掃干凈后平穩(wěn)安裝?？记绊氈霸?、給堝轉(zhuǎn)降堝便于查看加熱器與石墨坩堝間是否有夾料，以便處理。2、吸凈硅渣可防止在后續(xù)工作中掉入堝中影響成晶，此時必須確認(rèn)吸管在干凈狀 態(tài)，防止污染材料。3、保溫蓋、導(dǎo)流筒安裝前要遠(yuǎn)離裝料區(qū)用氮氣吹凈外表。4、安裝導(dǎo)流筒時要與保溫蓋相互吻合，安裝導(dǎo)流筒時要慎重作業(yè)，如果與材料發(fā)生 接觸時要調(diào)整料的擺放，

32、防止在化料過程中發(fā)生沾硅。工序名稱持有車間頁數(shù)合爐及籽晶的安裝硅棒部23/32適用范圍合爐及籽晶的安裝作業(yè)目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容11、用沾有酒精的紙巾擦拭爐蓋接合部的密封圈，爐筒的接合部，再確認(rèn)導(dǎo)流筒保溫大 蓋是否就位同時將爐蓋旋轉(zhuǎn)至爐筒上部。2、翻開液壓泵電源，按爐蓋降按鈕降下爐蓋。2副室的清掃安裝考前須知及原由1、爐蓋降到位后要確認(rèn)爐蓋是否合好，防止漏氣。 !、準(zhǔn)備好清掃棒、紙巾、酒精、氮氣。3、在清掃棒上纏上沾有酒精的紙巾，將副室內(nèi)部清掃干凈。4、用蘸有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭副室壓力表接口并用氮氣側(cè)吹禁止正面吹掃壓力表5、快速降下籽晶卡頭至與加熱器上沿高度水平位置附近，用紙巾蘸酒

33、精擦拭鋼絲繩后 用氮氣吹掃。6、用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭重錘及鉬夾頭，最后用氮氣認(rèn)真吹凈7、按晶快升升起籽晶至副I至內(nèi)部，用沾有酒精的紙巾擦拭副I至下部的接合部和小副I至上部的接合部，轉(zhuǎn)動副室，降下與爐蓋合爐 考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時間浪費。2、副室上部也要清掃，中央部位用氮氣認(rèn)真吹掃。3、擦拭過的重錘及鉬夾頭一定要用氮氣吹凈，防止有殘留紙巾碎屑。4、需要時要將重錘摘下用研磨布認(rèn)真打磨，并清掃干凈。摘下重錘時要慎重作業(yè)，防 止鋼絲繩上彈造成鋼絲繩出槽。5、 清掃鋼絲繩時要檢查其接頭部位是否老化或損壞，假設(shè)有應(yīng)截去一截約50mn左右鋼絲 繩，防

34、止在拉晶過程中發(fā)生掉棒等嚴(yán)重事故。6、吹掃壓力表時必須要側(cè)吹，假設(shè)正面吹掃容易造成壓力表的損壞。7、升重錘時，不要使重錘晃動，防止重錘掛住副室下沿，拉斷鋼絲繩。8、要緩慢轉(zhuǎn)動副室，防止重垂與副室內(nèi)壁碰撞。合爐及籽晶的安裝適用范圍目的NO.3晶作業(yè)順序安裝籽硅棒部合爐及籽晶的安裝作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容1、從指定的場所將腐蝕好的籽晶取來。24/322、用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭籽晶，而后用氮氣或氬氣吹凈。3、把籽晶裝在鉬夾頭上，裝好鉬銷。4、用力向下拽一下籽晶使其牢固，穩(wěn)定好籽晶后按晶快升使其上升至副室內(nèi)。5、用沾有酒精的紙巾擦拭副室小門的密封圈和接合部，關(guān)閉小門。6、翻開翻板閥開始抽空?？记绊氈霸?/p>

35、由 1、注意不要直接用手接觸籽晶，防止汁漬污染籽晶。1、注意不要直接用于接觸籽晶，防止汗?jié)n污染籽晶。2、籽晶上升到適當(dāng)位置后，確認(rèn)籽晶不再上升前方可關(guān)閉小門。3、翻開翻板前要確認(rèn)籽晶上升的高度，防止碰到籽晶，同時不要用力過猛否那么可能會 損壞或擠出閥口密封圈。4、對丁沒有副室小門的單晶爐那么在安裝副室前安裝籽晶。5、抽空前檢查鋼絲繩是否與卷輪吻臺，以防鋼絲繩岀槽，造成單晶卜墜甚至單晶脫落。適用于單晶爐抽空加熱作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)抽空、加熱適用范圍T的NO."T空作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、翻開真空泵電源。2、 緩慢翻開球閥三四車間為電磁閥抽空開始開度調(diào)至30%,待爐壓將至2000帕?xí)r在將球閥全部翻開

36、三四車間主室球閥開度給至100%。3、抽空后爐內(nèi)力達(dá)<20Pa時進(jìn)行反復(fù)充氣使?fàn)t內(nèi)壓力 <10Pa。4、檢漏漏率到達(dá)1pa/min以下轉(zhuǎn)入加熱工序。5、將清爐點檢表見附表所羅列的工程核實后如實填寫，將原料、母合金、石英坩 堝等信息填寫至拉晶體記錄本，并將隨工單和石英坩堝合格證粘貼至拉晶記錄本。考前須知及原由1、真空泵開啟時應(yīng)點動幾次真空泵開關(guān)按鈕，以防真空泵電機(jī)電流過大損壞電機(jī)、真 空泵、及線路控制系統(tǒng)。2、球閥必須緩慢翻開，否那么會造成真空泵電機(jī)瞬間電流過大損壞電機(jī)、真空泵、及線 路控制系統(tǒng)還會造成真空泵向尾氣管內(nèi)噴油，造成真空泵油量缺乏影響抽空和真空泵 的壽命以至造成真空泵的卡

37、死。3、進(jìn)行充氣時對流量計的使用必須先翻開流量計球閥，而后緩慢翻開流量計針閥。先 關(guān)閉流量計球閥而后關(guān)閉流量計針閥。否那么會因為氬氣管內(nèi)的壓力過大使流量計浮子 突然上升打碎流量計內(nèi)的玻璃管。切記流量計所有開關(guān)在不使用時處于關(guān)閉狀態(tài)。4、反復(fù)充氣爐內(nèi)真空達(dá)不到加熱的要求時，應(yīng)及時報告有關(guān)人員進(jìn)行處理。5、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。1、抽空完成后，翻開充氣系統(tǒng)，調(diào)整氬氣流量針閥到25L/min，使?fàn)t內(nèi)壓力保持在加熱化料700-1300Pa范圍內(nèi)沒有氬氣流量針閥的爐臺調(diào)節(jié)氬氣球閥開度10%-25%之間，使?fàn)t壓保持1100-1300Pa范圍內(nèi)。2、翻開加熱開關(guān)，進(jìn)行分步加熱。3、根據(jù)下表通過

38、歐陸分步增加功率。關(guān)閉先關(guān)閉流量計球閥而后關(guān)閉流量計針閥。否那么會因為氬氣管內(nèi)的壓力使流量計浮 子突然上升打碎流量計內(nèi)的玻璃管。切記流量計所有開關(guān)在不使用時處于關(guān)閉狀態(tài)。2、對歐陸的使用應(yīng)小心操作，防止功率迅速增大，瞬時造成變壓器負(fù)荷過大，或?qū)φ?個加熱回路造成瞬間電流過大而打火或損壞。3、根據(jù)爐內(nèi)情況，按照加熱順序進(jìn)行分步加熱。拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱持有車間頁數(shù)抽空、加熱硅棒部26/32適用范圍_適用于單晶爐抽空加熱作業(yè)目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容2加熱化料4、化料過程中時刻注意觀察爐內(nèi)的情況，假設(shè)無異常塌料后給定堝轉(zhuǎn)2r/min，根據(jù)塌料情況及時上升堝位。5、料化完后，降低加熱功率至引

39、晶溫度與上爐對應(yīng)，將堝升至引晶堝位導(dǎo)流筒 以下20mr左右。6、歐陸值降至引晶溫度對應(yīng)的數(shù)值后切入自動?？记绊氈霸?、必須時刻注意觀察爐內(nèi)的情況，以防導(dǎo)流筒粘硅、石英堝粘硅、漏硅、石英堝變形 、塌料時濺硅、跳硅、化完后的液面有雜質(zhì)漂浮等一些異情況的岀現(xiàn)得到有效及時的 處理并記錄。2、時刻注意電流電壓是否正常，以防歸零、擺動歸零不報警。3、升堝時注意不要使硅料和液面觸到導(dǎo)流筒下沿。4、升完堝后通過對堝位標(biāo)尺確實認(rèn)堝無動作，方可完成，否那么會使導(dǎo)流筒粘硅，發(fā)生 跳硅。5、熔料過程中重錘應(yīng)保持在副室觀察口處，防止重錘和鋼絲繩因溫度過高被烤壞。7、注意校正工藝參數(shù)。8化料過程中所有記錄及異常情況及

40、時真實地填寫至拉晶記錄本上。9、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報告班長或主管。適用范圍目的NO. |作業(yè)順序1預(yù)熱接觸籽晶降至導(dǎo)流 筒上沿位置溫度高10分溫度低適宜籽晶在液面10mri處20分籽晶與硅熔液 接觸20分汪意事項及原由些調(diào)整溫度檢查溫度是否檢查溫度是否適宜""20分適用于單晶爐引、放、轉(zhuǎn)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容1、溫度切入自動后，按晶快降，將籽晶降至從主觀察窗剛能看到的位置，并翻開晶轉(zhuǎn)電源，給定晶轉(zhuǎn) 10r/mi n,堝轉(zhuǎn)4-6r/min 。2、 10分鐘后，按晶快降按鈕將籽晶降至導(dǎo)流筒上沿位置預(yù)熱10分鐘，10分鐘后，按晶快降按鈕將籽晶降至距液面10mmt預(yù)熱20分鐘。3、

41、 降籽晶使之與液面接觸，浸潤20分鐘，根據(jù)接觸光圈的形狀，確定引頸溫度是否合適，假設(shè)適宜開始引頸；假設(shè)不適宜，通過歐陸調(diào)整溫度20分鐘后開始引頸，溫度不宜偏低1、降籽晶快速上升或下降每一位置的必需給予確定，升降操作方可完成，否那么會溶掉籽 晶甚至重錘，升至上限會導(dǎo)至重錘掉下進(jìn)入熔硅內(nèi)，造成漏硅或整爐料徹底報廢，無法 再次利用。2、必須預(yù)熱，不然會由于籽晶由低溫區(qū)到高溫區(qū)、由固態(tài)到液態(tài)轉(zhuǎn)變時，溫差太大造成 籽晶產(chǎn)生位錯。1、翻開晶升電源，計長歸零。2、給定堝轉(zhuǎn)至8r/mi n。3、 緩慢提升拉速至1.5mm/min左右10mr后，提升拉速讓拉速保持在1.5mm/min- 6mm/min之間，引頸

42、直徑控制在 3-5mm左右，引頸長度為 150mm180mm4、引晶過程中假設(shè)溫度不適可適當(dāng)進(jìn)行溫度的調(diào)整，但不宜過大。考前須知及原由1、翻開晶升電源前，確認(rèn)晶升電位器在歸零狀態(tài)。2、堝轉(zhuǎn)調(diào)整時應(yīng)緩慢進(jìn)行，否那么會造成液面晃動。3、 引晶開始時，應(yīng)先引10mn左右直徑較粗的細(xì)頸，可作為下次接觸使用，這樣防止籽晶 的浪費。4、引晶過程中拉速不可過高，這樣不利于排除位錯。5、細(xì)頸不宜過粗、過細(xì)，盡量保持平滑。6、細(xì)頸的長度不可低于_150mm尤其是引晶過程中岀現(xiàn)異常溫度波動較大、細(xì)頸質(zhì)量 不高等時，應(yīng)適當(dāng)?shù)募娱L加細(xì)頸長度，以便更好的排除位錯，利于成晶。適用范圍目的適用于單晶爐引、放、轉(zhuǎn)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)

43、NO.3作業(yè)順序放放肩壞肩壞作業(yè)內(nèi)容1、 引頸到達(dá)預(yù)定的長度后，緩慢降低拉速直至0.7mm/min進(jìn)行放肩。2、放肩務(wù)必要放平肩，放肩時用溫校速率來調(diào)節(jié)溫度。3、放肩時要時刻觀察肩的形狀，放肩過快過慢時應(yīng)及時進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整?？记绊氈霸?、引頸結(jié)束降低拉速時必須分步緩慢至0.7mm/min，防止成錐肩或因拉速降低過快使細(xì)頸迅速生長而斷棱。2、放肩拉速0.7mm/min、放平肩目的是為了降低液面溫度，利于轉(zhuǎn)肩后單晶前30mnt勺生長，否那么造成轉(zhuǎn)肩后溫度波動較大造成單晶斷棱。1、放肩壞時，將肩放至直徑150-160mm提離液面上升到導(dǎo)流筒的中間位置。2、到達(dá)導(dǎo)流筒中間部位后，將晶升設(shè)疋在4mm/

44、mi n的拉速上升10min后，關(guān)閉晶升電源電位器歸零，按晶升快速上升至副室，翻開主室充氣針閥后蓋住翻板閥。3、增大副室氬氣流量，到達(dá)常壓后關(guān)閉副室充氣針閥。4、翻開副室門或升起副室旋轉(zhuǎn)后，取出不成晶品放到適當(dāng)位置待其冷卻后按分類要求放 入指定場所。5、更換籽晶見?籽晶的更換?作業(yè)。考前須知及原由1、放肩壞將肩放大至直徑 100mn左右提岀，是為了吸附更多的雜質(zhì)，對整爐硅起到提純 的作用利于再次成晶。2、壞肩提出忌直接上升至副室這樣溫差太大會造成籽晶內(nèi)裂。3、打完快速后要確認(rèn)快速已經(jīng)停止可通過晶升電機(jī)是否轉(zhuǎn)動來確認(rèn)。4、蓋翻板前切記一定要翻開主室氬氣流量計針閥并確認(rèn)提岀的肩是否影響翻板的操作，

45、 以免磕碰卡住翻板或掉入堝中造成濺硅事故。5、對翻板的操作不宜用力過猛。6、關(guān)閉副室充氣針閥要認(rèn)真操作，防止誤關(guān)主室針閥或氬氣流量計球閥開關(guān)。1、將肩放到適宜直徑時，將拉速緩慢提高。2、密切關(guān)注單晶的生長速度，確定拉速。3、待單晶生長到目標(biāo)直徑時緩慢降低拉速同時適當(dāng)給定堝跟隨動。4、轉(zhuǎn)肩過后計長清零，實時觀察單晶生長情況待其生長穩(wěn)定后，調(diào)整伊爾根使其壓單晶 光圈1/3-1/2之間位置。使用CCD勺爐臺調(diào)整CCDX光點至所需。5、調(diào)整好拉速和溫度，將計算機(jī)切入自動狀態(tài)?？记绊氈霸?、合理控制溫度使轉(zhuǎn)肩后前30mn拉速能穩(wěn)定在1.21.3mm/min之間。2、轉(zhuǎn)肩時拉速不宜調(diào)整太快、太高，否那

46、么可能會造成轉(zhuǎn)肩斷棱。3、切記轉(zhuǎn)肩后計長清零，轉(zhuǎn)肩后單晶直徑應(yīng)該是目標(biāo)直徑不宜過大或過小。4、確認(rèn)計算機(jī)測量直徑是否適宜，能滿足單晶生長受控。5、一定要注意單晶生長穩(wěn)定前方可切入自動，否那么會造成單晶生長失控。工序名稱持有車間頁數(shù)等徑硅棒部29/32適用范圍適用于拉晶過程中等徑作業(yè)目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容12直徑控制等徑壞1、計算機(jī)切入自動控制后認(rèn)真做好各項記錄。2、等徑過程中應(yīng)時常觀察爐內(nèi)單晶生長情況，每隔15-30分鐘對爐內(nèi)巡視一次，確認(rèn)有無異常，每一個小時做一次拉晶記錄。3、不同熱場尺寸對應(yīng)的堝跟比參數(shù)可參照?爐臺堝跟比參數(shù)表?，需要根據(jù)等徑實際 情況進(jìn)行調(diào)整。考前須知及原由1

47、、各項記錄必須及時、真實、工整的認(rèn)真做好。2、等徑過程中必須時常觀察爐內(nèi)單晶生產(chǎn)情況，如有異常如各速度異常，單晶斷棱 、變晶、變形、直徑粗或細(xì)，溫度不適等應(yīng)聽從班長或主管的意見及時處理。等徑中壞時，根據(jù)投料量、拉制單晶直徑、及所剩余硅液量來確疋拉制方法。1、棱線長度在350mm以內(nèi)斷時，進(jìn)行回熔處理。1、將歐陸設(shè)置為 OP直，晶轉(zhuǎn)設(shè)定為3-5轉(zhuǎn)，堝轉(zhuǎn)為2轉(zhuǎn)。2、降低堝位至化料堝位，功率調(diào)整到化料功率的90%。3、觀察爐內(nèi)狀態(tài)，待溫度升上來以后，慢慢下降晶體進(jìn)行回熔4、回熔完成后進(jìn)行常規(guī)作業(yè)。2、提岀或停爐1、在350-1300mm范圍內(nèi)壞時，將單晶提岀。如投料120公斤，拉制6.5寸單晶2、單晶提離液面 30mm給定拉速2.0mm/min上升1.5小時，而后 上升到副室爐筒內(nèi)，30min后翻開主室流量計至適當(dāng)流量，蓋住翻 板3、蓋住翻板后，增大副室氬氣流量，壓力表指針到達(dá)-0.05Mpa后關(guān)閉副至流量計冷卻 60min，完畢后充氬氣至常壓，關(guān)閉副至氬 氣升起副室爐筒取出壞單晶4、對爐筒及小副室進(jìn)行清掃5、安裝籽晶，見?籽晶的更換作業(yè)?工序，進(jìn)行二次作業(yè)