CDS-(中央供酸系統(tǒng))

1、Enabling aMicroelectronic WorldCDS (中央供酸系統(tǒng)中央供酸系統(tǒng)) Center Chemical Dispense System Prepared by：Date： 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS ：系統(tǒng)目的系統(tǒng)目的2 供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗芯片上之雜質(zhì)、微粒子 供應(yīng)高純度化學(xué)品以蝕刻芯片圖案 供應(yīng)高純度化學(xué)品以顯影芯片圖案 供應(yīng)高純度化學(xué)品以為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物 供應(yīng)高純度化學(xué)品以研磨芯片 供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗制

2、程設(shè)備零配件 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID3客戶需求客戶需求:N2ChemicalChemical可不可以直接引作工藝使用?溫度、壓力、流量、方向、位置溫度、時(shí)間、濃度 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID化學(xué)品之種類與用途化學(xué)品之種類與用途(一一)4 酸性: 腐蝕性腐蝕性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4. 毒性毒

3、性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE. 堿性:NH4OH,KOH,Developer. 有機(jī)溶劑 易燃液體易燃液體:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液. 腐蝕性有機(jī)溶劑腐蝕性有機(jī)溶劑:EKC,EBR,HMDS. 氧化性:HNO3,H2O2. 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID化學(xué)品之種類與用途化學(xué)品之種類與用途(二二)5 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Informati

4、on3/30/2022, USER ID系統(tǒng)基本要求系統(tǒng)基本要求6操作安全：腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮化學(xué)品零污染：與化學(xué)品接觸部份完全與化學(xué)品兼容微粒子控制：過(guò)濾器循環(huán)過(guò)濾滿足最大需求流量：高濃度化學(xué)品如H2SO4、 H3PO4自動(dòng)控制操作運(yùn)轉(zhuǎn)：系統(tǒng)單元與機(jī)臺(tái)界面自動(dòng)化取樣分析：系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子取樣分析泄漏警報(bào)：偵測(cè)泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO)系統(tǒng)診斷：Pump、Filter 、Valve運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)數(shù)維修保養(yǎng)管路 Auto Purge/Flush 功能化學(xué)品用量統(tǒng)計(jì) 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Inf

5、ormation3/30/2022, USER ID化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求7Geometry SizeParticles/mlSizeMetallics11000.510 PPb.8100-2000.2-0.31-2 PPb.550-1000.21 PPb.35200.21 PPb.25100.1100 PPt 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)流程圖系統(tǒng)流程圖(一一) 8CCBStorge Tank12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBT

6、ool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote1m3200LDrum化學(xué)槽車充填銜接站將化學(xué)品由槽車以N2加壓直接輸送至Tank適合使用量較大之化學(xué)品,如H2O2,H2SO4等適合使用量中等之化學(xué)品,如HF,H3PO4等適合使用量較小之化學(xué)品,如BOE,HNO3等將化學(xué)品經(jīng)循環(huán)過(guò)濾,再經(jīng)N2或Pump加壓輸送至有需求之生產(chǎn)機(jī)臺(tái)內(nèi)將化學(xué)品經(jīng)管路分配至不同生產(chǎn)機(jī)臺(tái)S可依實(shí)際用量需求選擇使用Tee BoxSampling Box 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USE

7、R ID系統(tǒng)流程圖系統(tǒng)流程圖(二二) 9TOOL機(jī)臺(tái)機(jī)臺(tái)OCPSCADA ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加強(qiáng)訊號(hào)循環(huán)過(guò)濾 25”后供酸啟動(dòng)CDU 循環(huán)過(guò)濾后，同時(shí)由OCP供應(yīng)GN2，打開(kāi)VMB內(nèi)氣動(dòng)閥，將化學(xué)品供應(yīng)至TOOLCHEMICAL LINEGN2 LINESIGNAL LINE供酸VMB泄漏警報(bào) 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)流程圖系統(tǒng)流程圖(三三) 10Tool SideOCP SideTroubleReadyStopReq

8、uestEMO1.當(dāng)機(jī)臺(tái)需求化學(xué)品時(shí),傳送Request訊號(hào)給OCP2.OCP收到訊號(hào)后,會(huì)先檢查CDU是否Ready供應(yīng) 若是，則回傳Ready訊號(hào)若否，則回傳Trouble訊號(hào)3.機(jī)臺(tái)端EMO被壓下時(shí)，則停止供應(yīng)化學(xué)品+24V 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDChemical 輸送方式：輸送方式：11 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USE

9、R IDChemical 供酸方式（供酸方式（1）：桶槽供酸）：桶槽供酸12 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDChemical 供酸方式（供酸方式（2）：槽車供酸）：槽車供酸13 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS 設(shè)備布置設(shè)備布置：14 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary

10、 Business Information3/30/2022, USER ID設(shè)備位置：設(shè)備位置：15潔凈室：1. 使用點(diǎn)2. VMB閥分支箱)POU(使用點(diǎn))機(jī)臺(tái)操作控制介面電控程式連結(jié)高架地板1. CDSVMB管2. VMB 需求3.監(jiān)控線4. 液傳感器Utility Sub FAB1. 管2. 連接線裝置3. VMB, Tee Box 裝置4. 管連接 (CDSVMB)5. 管連接 (VMBPOU) 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方

11、式：16用用： 80200L/Day 使用：較少 用pump或壓送的方式Pump系統(tǒng)系統(tǒng) 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式：17用用： 3004000L/Day 使用：較多 用pump或壓送的方式壓壓輸輸送系統(tǒng)送系統(tǒng) 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式

12、：系統(tǒng)配置方式：18用用： 4000L/Day以上 用壓送的方式Pump系統(tǒng)系統(tǒng) 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式：19Pump系統(tǒng)系統(tǒng) Pump A 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式：20Pump系統(tǒng)系統(tǒng) Pump B With day tank 2006

13、 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式：21Pressure Type Pump A 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式：22Pressure Type Pump B With day tank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Busin

14、ess Information3/30/2022, USER ID系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式：23 Tank Lorry Type4000L/Day以上以上 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCCB流程圖流程圖GN2linetStorageTank充填槽車CDU 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDU之流程圖之流程圖(型一型一)Ou

15、tletPumpTransferFilterSupplyFilterGN2inletCDAinletDrumDay TankTank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDU之流程圖之流程圖(型二型二)OutletDrumTankPumpTrans/RecFilterSupplyFilter 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDTEE-

16、BOX 構(gòu)造構(gòu)造主管路主管路VMBDrain 排水Port手動(dòng)閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測(cè)器1.箱體以PP制成2.CPVC外蓋3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸堿類適用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDVMB 構(gòu)造構(gòu)造箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測(cè)器Drain PortinletTo ToolsCDA inlet From OCP to 氣動(dòng)閥For The Future UsePurge inletDrain PortExhaust氣動(dòng)閥手

17、動(dòng)閥保養(yǎng)管路時(shí)需先以PN2將化學(xué)品 Purge至機(jī)臺(tái)端 Drain41321.箱體以PP制成2.CPVC外蓋3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸堿類適用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDSAMPLING-BOX 構(gòu)造構(gòu)造1.將取樣瓶置入,并關(guān)閉 箱門(mén)2.按壓按鈕,再打開(kāi)取樣 手動(dòng)閥3.化學(xué)品流出達(dá)需求之 量后,關(guān)閉手動(dòng)閥,放開(kāi) 按鈕4.打開(kāi)箱門(mén),蓋上瓶蓋,取 出取樣瓶5.清潔取樣箱按鈕手動(dòng)閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測(cè)器Drain排水 Po

18、rtinlet1.箱體以SUS制成2.鋼絲玻璃外蓋3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合有機(jī)溶劑類適用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS ：系統(tǒng)設(shè)備之材料要求系統(tǒng)設(shè)備之材料要求30 一般無(wú)機(jī)酸堿類 外管：CPVC（氯化聚氯乙烯） 內(nèi)管：PFA（可溶性可溶性聚四氟乙烯）聚四氟乙烯）Piping & Tubing 管件：鐵弗龍材質(zhì)制品 有機(jī)溶劑類 外管：SUS 304 內(nèi)管：SUS 316L EP 管件：SUS 316L以上制品 有機(jī)堿類 外管：SUS

19、304 內(nèi)管：PFA Piping & Tubing 管件：鐵弗龍材質(zhì)制品 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID31ATC Bumping 化化學(xué)學(xué)供酸系統(tǒng)供酸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：結(jié)構(gòu)：200LD RU MD RU M200LVALVE BO XCD MM ACH INE TO O L 2M ACH INE TO O L 1 簗絃訣 恨隔跋T BO XPLCRem ot e boxChem i cal roomFAB 2006 Amkor Technology, In

20、c.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID32ATC Bumping CDS控制控制：CUB 監(jiān)控室123CDMT BoxV Box用酸機(jī)臺(tái)CDM PLCRemote boxCom 0VDC12 VDC12 VRequiredEMO & ReadyReady所有接點(diǎn)都導(dǎo)通才會(huì)供酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID33ATC Bumping CDS Hook up 介面及要求介面及要

21、求V BoxRemote Box用酸設(shè)備6芯控制線每一每一點(diǎn)點(diǎn)Hook up包含一管路及控制包含一管路及控制信號(hào)信號(hào)配配線線1.管路A Solvent : SUS外管 + PFA 內(nèi)管B ACID PVC 外管 + PFA 內(nèi)管C V Box預(yù)留1/2閥口，hook up管徑則視設(shè)備需要而定 2.控制線路 : 6芯以上控制線路測(cè)試A Required 信號(hào)正常。B設(shè)備端EMO信號(hào)正常。CRequired 信號(hào)信號(hào)下，下，EMO信號(hào)信號(hào)打打開(kāi)開(kāi)是是否強(qiáng)制停止要酸否強(qiáng)制停止要酸信號(hào)信號(hào)。D開(kāi)關(guān)供酸。部份機(jī)臺(tái)並沒(méi)有EMO信號(hào)接點(diǎn)，而使用本身的控制系統(tǒng)以斷絕Required，此時(shí)更必須要求設(shè)備端模擬E

22、MO狀況以確保安全。 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID34ATC Bumping CDS混酸混酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID35ATC Bumping CDS混酸混酸體積體積比比 & 重量比重量比比重 = 質(zhì)量 體積 * 看客戶需求 *目前比例 (體積比)1.3M H2SO4 H2O2 H3PO4 DI40 100

23、300 500 92602.AZ400K DI 1 : 33.AZ Dev. DI 3 : 14.BOE DI 1 : 3Mix TankDrain粗調(diào)微調(diào)供酸Wet N2Sensor在調(diào)整配比的過(guò)程中，換算成重量不僅方便也更準(zhǔn)確。 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID36ATC Bumping CDS Mix systemmix. tankDay tank混酸量杯組濕氮?dú)?2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS ：運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)(一一)37 充份閱讀MSDS，認(rèn)識(shí)化學(xué)品之物質(zhì)特性，危害性，危害標(biāo)示，危害途徑及防護(hù)措施 工作前，先行思考及演練各細(xì)節(jié)后，再行動(dòng) 工作時(shí)應(yīng)雙人以上搭配作業(yè)，事前事后確認(rèn) 正確選用及使用適當(dāng)防護(hù)器具 正確處理化學(xué)品廢棄物，避免造