JEM-2100F_面板

1、R面板（右手）R面板按鈕1.BEAM：電子束閥開關(guān)：按下開關(guān)，打開V1 閥，開始TEM觀察。2.光闌控制：未安裝相應(yīng)附件，不能工作。3.模式切換：1.TEM模式；2.EDS模式：高電流密度、微區(qū)照明模式，可用于能譜分析；3.NBD模式：小會聚焦、微區(qū)照明模式，用于納米束衍射；4.CBD模式：大會聚焦、微區(qū)照明模式，用于會聚束衍射；5.a角選擇鈕：保持束斑尺寸不變的情況下，改變會聚角；6.束斑大小選擇鈕：改變束斑尺寸。4.房間燈開關(guān)：打開、關(guān)閉房間壁燈。R面板按鈕5.DEF/STIG 開關(guān)：按下這些開關(guān)中的一個，開關(guān)內(nèi)置的燈亮，利用DEF/STIG X(L-10) 和DEF/STIG Y(R-4

2、) 旋鈕調(diào)節(jié)相應(yīng)的線圈電流。再次按下開關(guān)，開關(guān)內(nèi)置燈滅，關(guān)閉開關(guān)。IMAGE SHIFT switch: 在高的放大倍數(shù)下，打開IMAGE SHIFT 開關(guān), 調(diào)節(jié)DEF/STIG（L-10,R-4）旋鈕，平移圖像；PLA switch: ：在衍射模式下，打開PLA 開關(guān)，調(diào)節(jié)DEF/STIG（L-10,R-4）旋鈕，改變投影鏡偏轉(zhuǎn)線圈電流，平移衍射斑點；COND STG switch: 打開COND STG 開關(guān)，調(diào)節(jié)DEF/STIG（L1-10,R1-4）旋鈕，改變聚光鏡像散線圈電流，校正聚光像散；OBJ STIG switch: 打開OBJ STIG開關(guān)，調(diào)節(jié)DEF/STIG（L1-10

3、,R1-4）旋鈕，改變改變物鏡像散線圈電流，校正物鏡像散;DARK TILT switch: 打開DARK TILT 開關(guān)，調(diào)節(jié)DEF/STIG（L1-10,R1-4）旋鈕，改變聚光鏡束流偏轉(zhuǎn)線圈電流值并記錄在選擇的內(nèi)存，用于傾斜電子束，觀測暗場像；BRIGHT TILT switch: 打開BRIGHT TILT 開關(guān)，調(diào)節(jié)DEF/STG（L1-10,R1-4）旋鈕，改變聚光鏡束流偏轉(zhuǎn)線圈電流值并記錄在選擇的內(nèi)存，用于傾斜電子束，觀測明場像；NTRLswitch: 按下這個開關(guān)，清除所選擇開關(guān)的內(nèi)存記錄。R面板按鈕6.BRIGHTNESS旋鈕：散開和收縮電子束，改變電子束的亮度。7.BRIG

4、HTNESS CRS開關(guān)：打開這個開關(guān)，BRIGHTNESS旋鈕的每個步進(jìn)增加16倍。8.SHIFT X旋鈕：通過調(diào)節(jié)聚光鏡偏轉(zhuǎn)線圈電流，沿X方向平移電子束。9.SHIFT CRS開關(guān)：打開這個開關(guān)，SHIFT X旋鈕的每個步進(jìn)增加16倍10. DEF/STIG X旋鈕（L-10）：選擇DEF/STIG開關(guān)，調(diào)節(jié)相應(yīng)偏轉(zhuǎn)線圈電流。11. DEF-STIG CRS開關(guān)：打開這個開關(guān)，DEF/STIG X旋鈕的每個步進(jìn)增加16倍。L面板（左手）L面板1.Wobbler switchesIMAGE WOBB X：用于聚焦。當(dāng)開關(guān)打開，第一和第二束流偏轉(zhuǎn)線圈周期性變化，如果圖像遠(yuǎn)離焦平面，則圖像沿X

5、方向抖動；IMAGE WOBB Y：用于聚焦。當(dāng)開關(guān)打開，第一和第二束流偏轉(zhuǎn)線圈周期性變化，如果圖像遠(yuǎn)離焦平面，則圖像沿Y 方向抖動；HT WOBB：用于電壓中心合軸。當(dāng)開關(guān)打開，電壓周期性變化。2.Function switches：用于選擇成像模式。選擇模式下的放大倍數(shù)和相機(jī)長度可通過MAG-CAM L 旋鈕改變。MAG 1開關(guān)：選擇正常的放大模式：6000150000 倍；MAG 2開關(guān)：未設(shè)定；LOW MAG開關(guān)：選擇低倍放大模式：802000倍；SA MAG開關(guān)：未設(shè)定；SA DIFF開關(guān)：選區(qū)衍射模式。L面板3.SHIFT Y旋鈕：通過調(diào)節(jié)聚光鏡偏轉(zhuǎn)線圈電流，沿Y方向平移電子束。4

6、.DEF/STIG Y旋鈕（R-4）：選擇DEF/STIG開關(guān)，調(diào)節(jié)相應(yīng)偏轉(zhuǎn)線圈電流。5.MAG/CAM L旋鈕：打開MAG 1 開關(guān)或LOW MAG 開關(guān)，調(diào)節(jié)旋鈕改變放大倍數(shù)；打開SA DIFF 開關(guān)，調(diào)節(jié)旋鈕改變相機(jī)長度。順時針轉(zhuǎn)動旋鈕，增加放大倍數(shù)或相機(jī)長度，逆時針轉(zhuǎn)動旋鈕減小放大倍數(shù)或相機(jī)長度。6.OBJ FOCUS 旋鈕FINE旋鈕：精細(xì)調(diào)焦；CORASE旋鈕：粗調(diào)焦，是精細(xì)調(diào)焦步進(jìn)的16 倍；CRS switch：打開這個開關(guān)，精細(xì)調(diào)焦和粗調(diào)焦的步進(jìn)增加16 倍。7.DIFF FOCUS旋鈕：在SA DIFF 開關(guān)打開時，衍射斑點聚焦；CRS switch：打開這個開關(guān)，旋轉(zhuǎn)DI

7、FF FOCUS，步進(jìn)增加16倍。L面板8.EXP TIME/PHOTO：照相機(jī)照相時的參數(shù)調(diào)節(jié)，現(xiàn)在使用gatan 公司的CCD，該項功能不能使用。9.STD FOCUS switch：按下這個開關(guān)，物鏡電流恢復(fù)到原始參考值。10. F switches：只有F1 鍵用于打開蓋板，用CCD 采集圖像，其他鍵禁用。11. Z switches：調(diào)解樣品的垂直高度。基本應(yīng)用操作要點基本應(yīng)用操作要點 選區(qū)衍射 明場像 暗場象 高分辨像 槍對中 電壓對中 聚光鏡消像散 聚光鏡光闌對中 物鏡消像散選區(qū)衍射選區(qū)衍射1、確定合軸完成2、TEM 、MAG1模式下，在適合的放大倍數(shù)下選擇感興 趣的區(qū)域，用tr

8、ackball將其移動至熒光屏中心3、選擇適合尺寸的選區(qū)光闌插入光路，套取感興趣區(qū) 域(1200nm,500nm,200nm,100nm)4、按下SA DIFF按鈕轉(zhuǎn)為衍射模式，退出物鏡光闌，熒 光屏上出現(xiàn)衍射花樣，調(diào)節(jié)MAG/CAM L旋鈕至希望的 相機(jī)長度（20cm）5、順時針旋轉(zhuǎn)BRIGHTNESS使圖像足夠暗6、調(diào)節(jié)DIFF FOUCS獲得圓銳的衍射斑點。明場像明場像1、獲得感興趣的選區(qū)衍射圖像2、在SA DIFFT模式按下BRIGHT TILT按鈕，用DEF/STIG X Y 旋鈕將透射斑點移至熒光屏中心3、選擇合適尺寸的物鏡光闌插入光路，套取透射斑點3、按下MAG1按鈕轉(zhuǎn)為MAG模

9、式，退出選區(qū)光闌，熒光屏上出現(xiàn)明場圖像4、調(diào)節(jié)放大MAG/CAM L旋鈕，獲得合適放大倍率的圖像。中心暗場像中心暗場像1、獲得感興趣的選區(qū)衍射圖像2、在SA DIFFT模式按下DARK TILT按鈕用DEF/STIG X Y 旋鈕將感興趣的衍射斑點移至熒光屏中心3、選擇合適尺寸的物鏡光闌插入光路，只套取感興趣的衍射斑點3、按下MAG1按鈕轉(zhuǎn)為MAG模式，退出選區(qū)光闌，熒光屏上出現(xiàn)中心暗場圖像4、調(diào)節(jié)放大MAG/CAM L旋鈕，獲得希望的放大倍率的暗場圖像。高分辨像高分辨像1、獲得感興趣的選區(qū)衍射圖像2、在SA DIFFT模式按下PLA按鈕，用DEF/STIG X Y旋鈕將透射斑點移至熒光屏中心

10、3、選擇合適尺寸的物鏡光闌插入光路，同時套取透射和衍射斑點3、按下MAG1按鈕轉(zhuǎn)為MAG模式，退出選區(qū)光闌，熒光屏上出現(xiàn)明場圖像4、調(diào)節(jié)放大MAG/CAM L旋鈕，獲得合適放大倍率的圖像（400K以上），選 擇洞邊非晶區(qū)域，進(jìn)行物鏡消像散。5、調(diào)節(jié)OB旋鈕，獲得高分辨晶格像高分辨電子顯微像拍攝順序 電子顯微鏡的合軸 尋找試樣薄區(qū)和合適的區(qū)域 大致設(shè)定衍射條件 物鏡消像散 檢查樣品漂移 衍射條件的最終設(shè)定 設(shè)定拍攝放大倍率 設(shè)定最佳離焦量 設(shè)定合適的曝光時間 拍攝使用電鏡必須牢記的內(nèi)容使用電鏡必須牢記的內(nèi)容TEM是一臺高真空設(shè)備是一臺高真空設(shè)備TEM 總是保持在高真空狀態(tài)，因此總是保持在高真空狀

11、態(tài)，因此,插拔樣品桿時一定要精心插拔樣品桿時一定要精心TEM 是一臺高電壓設(shè)備是一臺高電壓設(shè)備200 kV的高電壓用于加速電子運(yùn)動，任何不合適的操作都很容易通過電的高電壓用于加速電子運(yùn)動，任何不合適的操作都很容易通過電子的放電損壞設(shè)備。子的放電損壞設(shè)備。場發(fā)射場發(fā)射TEM的電子槍必須保持在高真空狀態(tài)的電子槍必須保持在高真空狀態(tài)場發(fā)射場發(fā)射TEM的電子槍必須時刻保持在的電子槍必須時刻保持在10-7MPa的高真空下，否者就被損壞的高真空下，否者就被損壞.TEM 樣品桿是一個脆弱的環(huán)節(jié)樣品桿是一個脆弱的環(huán)節(jié)樣品桿頻繁的從電鏡中插入和拔出，很容易造成樣品桿的損壞，必須及時樣品桿頻繁的從電鏡中插入和拔出，很容易造成樣品桿的損壞，必須及時復(fù)位，同時還對電鏡的真空造成破壞，導(dǎo)致電鏡故障，維修費(fèi)用昂貴。復(fù)位，同時還對電鏡的真空造成破壞，導(dǎo)致電鏡故障，維修費(fèi)用昂貴。TEM CCD 很容易被損壞很容易被損壞強(qiáng)電子束強(qiáng)電子束的照射很容易損壞的照射很容易損壞CCD，其