第4章變磁阻式傳感器

1、第3章 變磁阻式傳感器 3.1 自感式傳感器自感式傳感器 3.2 差分變壓器式傳感器差分變壓器式傳感器3.3 電渦流式傳感器電渦流式傳感器 變磁阻式傳感器的工作基礎(chǔ)：電磁感應(yīng) 即利用線圈電感或互感的改變來實現(xiàn)非電量測量 分為自感式、差分變壓器式、渦流式等 特點： 工作可靠、壽命長 靈敏度高，分辨力高 精度高、線性好 性能穩(wěn)定、重復(fù)性好3.1 自感式傳感器自感式傳感器一、一、 工作原理工作原理 變磁阻式傳感器由線圈、鐵芯和銜鐵三部分組成。鐵芯和銜鐵由導(dǎo)磁材料制成。在鐵芯和銜鐵之間有氣隙，傳感器的運動部分與銜鐵相連。當銜鐵移動時，氣隙厚度發(fā)生改變，引起磁路中磁阻變化，從而導(dǎo)致電感線圈的電感值變化，

2、因此只要能測出這種電感量的變化，就能確定銜鐵位移量的大小和方向。 圖3 1 自感式傳感器 S1l1L1W23l21線 圈 ；2鐵 芯 (定 鐵 芯 )；3銜 鐵 (動 鐵 芯 )S2先看一個實驗：先看一個實驗： 將一只將一只380V交流接觸器線圈與交流毫安表串聯(lián)交流接觸器線圈與交流毫安表串聯(lián)后，接到機床用控制變壓器的后，接到機床用控制變壓器的36V交流電壓源上，如交流電壓源上，如圖所示。這時毫安表的示值約為幾十毫安。用手慢圖所示。這時毫安表的示值約為幾十毫安。用手慢慢將接觸器的活動鐵心（稱為銜鐵）往下按，我們慢將接觸器的活動鐵心（稱為銜鐵）往下按，我們會發(fā)現(xiàn)毫安表的讀數(shù)逐漸減小。當銜鐵與固定鐵

3、心會發(fā)現(xiàn)毫安表的讀數(shù)逐漸減小。當銜鐵與固定鐵心之間的氣隙等于零時，毫安表的讀數(shù)只剩下十幾毫之間的氣隙等于零時，毫安表的讀數(shù)只剩下十幾毫安。安。 電感傳感器的基本工作電感傳感器的基本工作原理演示原理演示F F220V準備工作準備工作電感傳感器的基本工作電感傳感器的基本工作原理演示原理演示氣隙變小，電感變大，電流變小氣隙變小，電感變大，電流變小F F 氣隙很小，可以認為氣隙中的磁場是均勻的。氣隙很小，可以認為氣隙中的磁場是均勻的。 若忽若忽略磁路磁損，略磁路磁損， 則則磁路總磁阻磁路總磁阻為為 ：002221112SSlSlRm（3-1） 通常通常氣隙磁阻遠大于鐵芯和銜鐵的磁阻氣隙磁阻遠大于鐵芯和

4、銜鐵的磁阻， 即即 222001110022SlSSlS則： 002SRm可得： （3-2） 20 2NAL 上式表明：當線圈匝數(shù)為常數(shù)時，電感上式表明：當線圈匝數(shù)為常數(shù)時，電感L僅僅是磁僅僅是磁路中磁阻路中磁阻Rm的函數(shù)，改變的函數(shù)，改變或或S0均可導(dǎo)致電感變化，因均可導(dǎo)致電感變化，因此變磁阻式傳感器又可分為此變磁阻式傳感器又可分為變氣隙厚度變氣隙厚度的傳感器和的傳感器和變變氣隙面積氣隙面積S0的傳感器。的傳感器。 目前使用最廣泛的是目前使用最廣泛的是變氣隙厚度式變氣隙厚度式電感傳感器。電感傳感器。 （一）（一） 變間隙型變間隙型L與與之間是之間是非線性非線性關(guān)系，關(guān)系， 特性曲線如圖所示。

5、特性曲線如圖所示。變隙式的L-特性曲線2002ANL 靈敏度靈敏度為：為： 0001LLK可見：可見：變間隙式電感傳感器的測量范圍與靈敏度及線性度相變間隙式電感傳感器的測量范圍與靈敏度及線性度相矛盾矛盾，因此變隙式電感式傳感器，因此變隙式電感式傳感器適用于測量微小位移適用于測量微小位移的場合。的場合。 （二）變面積型（二）變面積型變面積型變面積型（三）螺管型（三）螺管型（四）差分式電感傳感器（四）差分式電感傳感器 請分析：靈敏度、請分析：靈敏度、 線性度線性度有何變化有何變化曲線曲線1、2為為L1、L2 的特性，的特性，3為差動特性為差動特性 在變隙式差動電感傳感器中，當在變隙式差動電感傳感器

6、中，當銜鐵隨被測量移動而偏離中間位銜鐵隨被測量移動而偏離中間位置時，兩個線圈的電感量一個增置時，兩個線圈的電感量一個增加，一個減小，形成差動形式。加，一個減小，形成差動形式。 1-1-差動線圈差動線圈 2-2-鐵心鐵心 3-3-銜鐵銜鐵 4-4-測桿測桿 5-5-工件工件 從曲線圖可以看出，差動式電感傳感器的線性較好，從曲線圖可以看出，差動式電感傳感器的線性較好，且輸出曲線較陡，靈敏度約為非差動式電感傳感器的兩倍。且輸出曲線較陡，靈敏度約為非差動式電感傳感器的兩倍。 二、二、 測量電路測量電路 電感式傳感器的測量電路有電感式傳感器的測量電路有交流電橋交流電橋式、式、 變壓器變壓器式交式交流電橋

7、以及流電橋以及諧振式諧振式等。等。 從結(jié)構(gòu)圖可以看出，差動式電感傳感器對外界影響，如從結(jié)構(gòu)圖可以看出，差動式電感傳感器對外界影響，如溫度的變化、電源頻率的變化等基本上可以互相抵消，銜鐵溫度的變化、電源頻率的變化等基本上可以互相抵消，銜鐵承受的電磁吸力也較小，從而減小了測量誤差。承受的電磁吸力也較小，從而減小了測量誤差。 1. 電阻平衡電橋電阻平衡電橋 把傳感器的兩個線圈作為電橋的兩個橋臂把傳感器的兩個線圈作為電橋的兩個橋臂Z1和和Z2，另，另外兩個相鄰的橋臂用純電阻外兩個相鄰的橋臂用純電阻R代替。設(shè)代替。設(shè)Z1=Z+Z1, Z2=ZZ2，Z是銜鐵在中間位置時單個線圈的復(fù)阻抗，是銜鐵在中間位置時

8、單個線圈的復(fù)阻抗， Z1, Z2分別是銜鐵偏離中心位置時兩線圈阻抗的變化量。對于差分別是銜鐵偏離中心位置時兩線圈阻抗的變化量。對于差動式電感傳感器，動式電感傳感器， 有有Z1+Z2j(L1+L2)， 則電橋輸出則電橋輸出電壓為：電壓為： 1212()2(Z )2ZoZZUUULLZ (3-4) Z1Z2Z3 RZ4 RoUU1012ZRUUZZRR1212()2(Z )2ZoZZUUULLZ 2. 變壓器式交流電橋變壓器式交流電橋 變壓器式交流電橋測量電路如圖4-6所示，電橋兩臂Z1、Z2為傳感器線圈阻抗，另外兩橋臂為交流變壓器次級線圈的1/2阻抗。 當負載阻抗為無窮大時， 橋路輸出電壓 22

9、11212122oZZZ UUUUZZZZ(3-6) 當傳感器的銜鐵處于中間位置，即Z1=Z2=Z，此時有 ， 電橋平衡。 0oUUC2U2UZ1Z2oUABD圖3-5 變壓器式交流電橋當傳感器銜鐵上移：如Z1=Z+Z，Z2=ZZ， 22ULLUZZUo當傳感器銜鐵下移：如Z1=ZZ，Z2=Z+Z， 此時 22ULLUZZUo可知：銜鐵上下移動相同距離時，輸出電壓相位相反，大小隨銜鐵的位移而變化。由于 是交流電壓， 輸出指示無法判斷位移方向，必須配合相敏檢波電路來解決。 U三、自感式傳感器的應(yīng)用三、自感式傳感器的應(yīng)用 一、位移測量位移測量 軸向式電感軸向式電感 測微器測微器航空插頭航空插頭紅寶

10、石測頭紅寶石測頭其他電感測微頭其他電感測微頭軸向式電感測微器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)軸向式電感測微器的內(nèi)部結(jié)構(gòu) 11引線電纜引線電纜 22固定磁筒固定磁筒 33銜鐵銜鐵 44線圈線圈 55測力彈簧測力彈簧 66防轉(zhuǎn)銷防轉(zhuǎn)銷 77鋼球?qū)к墸ㄖ本€軸承）鋼球?qū)к墸ㄖ本€軸承） 88測桿測桿 99密封套密封套 1010測端測端 1111被測工件被測工件 1212基準面基準面 實例：電感式滾柱直徑分選裝置實例：電感式滾柱直徑分選裝置 滾柱直徑分選裝置滾柱直徑分選裝置 11氣缸氣缸 22活塞活塞 33推桿推桿 44被測滾柱被測滾柱 55落料管落料管 66電感測電感測微器微器 77鎢鋼測頭鎢鋼測頭 88限位擋板限位擋板 9

11、9電磁翻板電磁翻板 1010容器（料斗）容器（料斗） 電感式滾柱直徑分選裝置電感式滾柱直徑分選裝置 測微儀測微儀圓柱滾子圓柱滾子電感式滾柱直徑分選裝置電感式滾柱直徑分選裝置（外形）（外形） 滑道滑道分選倉位分選倉位軸承滾子外形軸承滾子外形（參考中原量儀股份有限公司資料）（參考中原量儀股份有限公司資料）實例：電感傳感器在仿形銑床中的應(yīng)用實例：電感傳感器在仿形銑床中的應(yīng)用 11標準靠模樣板標準靠模樣板 22測端（靠模輪）測端（靠模輪） 33電感測微器電感測微器 44銑刀龍門框架銑刀龍門框架 55立柱立柱 66伺服電動機伺服電動機 77銑刀銑刀 88毛坯毛坯 仿形銑床外形仿形銑床外形仿形機床仿形機床

12、采用采用 閉環(huán)工作方式閉環(huán)工作方式仿形頭仿形頭主主軸軸實例：仿形車床原理實例：仿形車床原理實例：電感式不圓度計原理實例：電感式不圓度計原理 該圓度計采用該圓度計采用旁向式電感測微頭旁向式電感測微頭電感式不圓度測量系統(tǒng)外形電感式不圓度測量系統(tǒng)外形（參考（參考洛陽匯智測控技術(shù)有限公司資料）洛陽匯智測控技術(shù)有限公司資料）旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)盤測量測量頭頭不圓度測量打印不圓度測量打印實例：電感式輪廓儀實例：電感式輪廓儀 旁向式電感旁向式電感 測微頭測微頭實例：自感式傳感器在粗糙度測量中的應(yīng)用實例：自感式傳感器在粗糙度測量中的應(yīng)用 手持式粗糙度儀手持式粗糙度儀 觸針觸針: : 金剛石圓錐；金剛石圓錐； 針尖圓弧半

13、徑：針尖圓弧半徑：5m5m； 可存儲可存儲500500個粗糙度參數(shù)值及個粗糙度參數(shù)值及4 4組輪廓數(shù)據(jù)；組輪廓數(shù)據(jù)； 可進行粗糙度參數(shù)的打印；可進行粗糙度參數(shù)的打?。?可對外圓、內(nèi)孔、軸肩、圓錐面等各種復(fù)雜表面進行測試；可對外圓、內(nèi)孔、軸肩、圓錐面等各種復(fù)雜表面進行測試；粗糙度儀外形粗糙度儀外形金剛石測頭金剛石測頭粗糙度測量結(jié)果打?。ù植诙葴y量結(jié)果打印（1）粗糙度測量結(jié)果打?。ù植诙葴y量結(jié)果打?。?）3.2 差分變壓器式傳感器差分變壓器式傳感器 把被測的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感變化的傳感器稱為互感式傳感器。這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成的，并且次級繞組用差動形式連接， 故稱差分變壓器式傳

14、感器。在非電量測量中， 應(yīng)用最多的是螺線管式差動變壓器， 它可以測量1100mm 機械位移，并具有測量精度高、靈敏度高、 結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠等優(yōu)點。 一、工作原理一、工作原理 差分變壓器結(jié)構(gòu) 5461231 活 動 銜 鐵 ；2 導(dǎo) 磁 外 殼 ；3 骨 架 ；4 匝 數(shù) 為W1的 初 級 繞 組 ；5 匝 數(shù) 為W2a的 次 級 繞 組 ；6 匝 數(shù) 為W2b的 次 級 繞 阻差動變壓器式傳感器的等效電路差動變壓器式傳感器的等效電路 結(jié)構(gòu)特點：結(jié)構(gòu)特點： 兩個二次線圈反兩個二次線圈反向串聯(lián)，組成差動向串聯(lián)，組成差動輸出形式。輸出形式。 請將二次線圈請將二次線圈N21、N22的有關(guān)端的有關(guān)端點

15、正確地連接起來，點正確地連接起來，并指出哪兩個為輸并指出哪兩個為輸出端點。出端點。兩個次級線圈反相串聯(lián)，并且在忽略鐵損、導(dǎo)磁體磁阻和線圈分布電容的理想條件下, 其等效電路如圖所示。 當初級繞組加以激勵電壓U時, 根據(jù)變壓器的工作原理,在兩個次級繞組N21和N22中便會產(chǎn)生感應(yīng)電勢U21和U22。 如果工藝上保證變壓器結(jié)構(gòu)完全對稱,則當活動銜鐵處于初始平衡位置時, 必然會使兩互感系數(shù)M1=M2。根據(jù)電磁感應(yīng)原理, 將有U21 = U22 。由于變壓器兩次級繞組反相串聯(lián), 因而Uo= U21 - U22 =0, 即差動變壓器輸出電壓為零。 當活動銜鐵向上移動時,由于磁阻的影響， N21中磁通將大于

16、N22 ，使M1M2，因而U21增加，而U22減小。反之， U22增加， U21減小。因為Uo= U21 - U22 ，所以當U21、U22 隨著銜鐵位移x變化時， Uo也必將隨x而變化。差分變壓器輸出電壓的特性曲線差分變壓器輸出電壓的特性曲線 N1N21N22U0 x-x 由圖可以看出，由圖可以看出， 當銜鐵位于中心位置當銜鐵位于中心位置時，差動變壓器輸出時，差動變壓器輸出電壓并不等于零，我電壓并不等于零，我們把差動變壓器在零們把差動變壓器在零位移時的輸出電壓稱位移時的輸出電壓稱為為零點殘余電壓零點殘余電壓，記，記作作Uo，它的存在使，它的存在使傳感器的輸出特性不傳感器的輸出特性不經(jīng)過零點，

17、造成實際經(jīng)過零點，造成實際特性與理論特性不完特性與理論特性不完全一致全一致。靈敏度與線性度靈敏度與線性度 差動變壓器的靈敏度一般可達差動變壓器的靈敏度一般可達0.55V/mm，行程，行程越小，靈敏度越高。越小，靈敏度越高。 為了提高靈敏度，勵磁電壓在為了提高靈敏度，勵磁電壓在10V左右為宜。電源左右為宜。電源頻率以頻率以110kHz為好。為好。 差動變壓器線性范圍約為線圈骨架長度的差動變壓器線性范圍約為線圈骨架長度的1/10左右左右。 例：欲測量例：欲測量20mm 2mm軸的直徑誤差，應(yīng)選擇線軸的直徑誤差，應(yīng)選擇線圈骨架長度為多少的差動變壓器（或電感傳感器）圈骨架長度為多少的差動變壓器（或電感

18、傳感器）為宜為宜 ？ 零點殘余電壓產(chǎn)生原因零點殘余電壓產(chǎn)生原因： 主要是由傳感器的兩次級繞組的電氣參數(shù)和幾何尺寸不對主要是由傳感器的兩次級繞組的電氣參數(shù)和幾何尺寸不對稱，以及磁性材料的非線性等引起的。稱，以及磁性材料的非線性等引起的。 零點殘余電壓一般在幾十毫伏以下，在實際使用時，零點殘余電壓一般在幾十毫伏以下，在實際使用時，應(yīng)設(shè)法減小應(yīng)設(shè)法減小UxUx，否則將會影響傳感器的測量結(jié)果。，否則將會影響傳感器的測量結(jié)果。 二、差動變壓器式傳感器測量電路二、差動變壓器式傳感器測量電路 問題：（1）差動變壓器的輸出是交流電壓(用交流電壓表測量，只能反映銜鐵位移的大小，不能反映移動的方向); （2）測量

19、值中將包含零點殘余電壓。為了達到能辨別移動方向和消除零點殘余電壓的目的，實際測量時，常常采用差動整流電路和相敏檢波電路。 (1) 差動整流電路 這種電路是把差動變壓器的兩個次級輸出電壓分別整流， 然后將整流的電壓或電流的差值作為輸出。圖4-18 差動整流電路（a） 半波電壓輸出；（b） 半波電流輸出； （c） 全波電壓輸出； （d） 全波電流輸出 1UR02U(a)x1UR0(b)xTT2U2UR011abcdC1C21Uxc)T1Ux2UR0(d ) 從圖4-18（c）電路結(jié)構(gòu)可知，不論兩個次級線圈的輸出瞬時電壓極性如何，流經(jīng)電容C1的電流方向總是從2到4，流經(jīng)電容

20、C2的電流方向總是從6到8， 故整流電路的輸出電壓為 68242UUU(4-35) 當銜鐵在零位時，因為U24=U68，所以U2=0；當銜鐵在零位以上時，因為U24 U68 ，則U2 0；而當銜鐵在零位以下時， 則有U24 U68，則U2 0，不論u2與us是正半周還是負半周，負載電阻RL兩端得到的電壓uo始終為正。 當x0時：u2與us為同頻反相。不論u2與us是正半周還是負半周，負載電阻RL兩端得到的輸出電壓uo表達式總是為 (4-39)波形圖（a） 被測位移變化波形圖; （b） 差動變壓器激磁電壓波形; （c） 差動變壓器輸出電壓波形 (d) 相敏檢波解調(diào)電壓波形； (e) 相敏檢波輸出

21、電壓波形 xoou1ttu2oK1u1xusouoottt(a)(b)(c)(d )(e) 三、三、 差動變壓器式傳感器的應(yīng)用差動變壓器式傳感器的應(yīng)用可直接用于位移測量，也可以測量與位移有關(guān)的任何機械量，如振動、加速度、應(yīng)變、比重、張力和厚度等。 差分變壓器位移傳感器差分變壓器位移傳感器案例：案例：板的厚度測量板的厚度測量 案例：案例：張力測量張力測量3.3 3.3 渦流式傳感器渦流式傳感器原理原理: :渦流效應(yīng)渦流效應(yīng)電渦流的應(yīng)用電渦流的應(yīng)用 在我們?nèi)粘Ｉ钪薪?jīng)?？梢杂龅皆谖覀?nèi)粘Ｉ钪薪?jīng)常可以遇到 干凈、高效的干凈、高效的 電磁爐電磁爐電磁爐內(nèi)部的勵磁線圈電磁爐內(nèi)部的勵磁線圈電磁爐的工作原

22、理電磁爐的工作原理 高頻電流高頻電流通過勵磁通過勵磁線圈，產(chǎn)線圈，產(chǎn)生交變磁生交變磁場，在鐵場，在鐵質(zhì)鍋底會質(zhì)鍋底會產(chǎn)生無數(shù)產(chǎn)生無數(shù)的電渦流，的電渦流，使鍋底自使鍋底自行發(fā)熱，行發(fā)熱，燒開鍋燒開鍋 內(nèi)內(nèi) 的的 食食 物。物。一、電渦流傳感器的工作原理一、電渦流傳感器的工作原理 原線圈的等效阻抗原線圈的等效阻抗Z Z變化：變化：),(ZZ 二、二、 電渦流傳感器結(jié)構(gòu)及特性電渦流傳感器結(jié)構(gòu)及特性 電渦流探頭電渦流探頭外形外形交變磁場交變磁場電渦流探頭電渦流探頭內(nèi)部結(jié)構(gòu)內(nèi)部結(jié)構(gòu) 1電渦流線圈電渦流線圈 2探頭殼體探頭殼體 3殼體上的位置調(diào)節(jié)螺紋殼體上的位置調(diào)節(jié)螺紋 4印制線印制線路板路板 5夾持螺母

23、夾持螺母 6電源指示燈電源指示燈 7閾值指示燈閾值指示燈 8輸出屏蔽電輸出屏蔽電纜線纜線 9電纜插頭電纜插頭 CZF-1系列傳感器的性能系列傳感器的性能 分析上表請得出結(jié)論：分析上表請得出結(jié)論： 探頭的直徑與測量范圍及分辨力之間有何關(guān)系？探頭的直徑與測量范圍及分辨力之間有何關(guān)系？ 三、電渦流傳感器的測量電路三、電渦流傳感器的測量電路 1、電橋電路、電橋電路 2、諧振電路、諧振電路 ：調(diào)幅式（：調(diào)幅式（AM）電路）電路 石英振蕩器產(chǎn)生穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓石英振蕩器產(chǎn)生穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓(100kHz1MHz）用于激勵電）用于激勵電渦流線圈。金屬材料在高頻磁場中產(chǎn)生電渦流，引起電渦流線圈端電

24、壓的渦流線圈。金屬材料在高頻磁場中產(chǎn)生電渦流，引起電渦流線圈端電壓的衰減，再經(jīng)高放、檢波、低放電路，最終輸出的直流電壓衰減，再經(jīng)高放、檢波、低放電路，最終輸出的直流電壓Uo反映了金屬體反映了金屬體對電渦流線圈的影響（例如兩者之間的距離等參數(shù)）。對電渦流線圈的影響（例如兩者之間的距離等參數(shù)）。部分常用材料對振蕩器振幅的衰減系數(shù)部分常用材料對振蕩器振幅的衰減系數(shù) 人的手、泥土或裝滿水的玻璃杯能對振蕩器的振人的手、泥土或裝滿水的玻璃杯能對振蕩器的振幅產(chǎn)生明顯的衰減嗎？為什么？幅產(chǎn)生明顯的衰減嗎？為什么？ 圖3-15 CFZ1型電渦流傳感器測量電路放 大檢 波指 示RioLCUo四、四、渦流傳感器應(yīng)用

25、實例渦流傳感器應(yīng)用實例1. 板厚檢測板厚檢測 圖3-16 測厚儀測試系統(tǒng)圖 厚 度 給 定 系 統(tǒng)S1檢 波比 較 電 壓檢 波S2加 法 器指 示 儀 表帶 材xx1x2應(yīng)用實例：應(yīng)用實例：大直徑電渦流探雷器大直徑電渦流探雷器 應(yīng)用實例：應(yīng)用實例：420mA電渦流位移傳感器外形電渦流位移傳感器外形（參考德國圖爾克公司資料）（參考德國圖爾克公司資料）應(yīng)用實例：位移測量應(yīng)用實例：位移測量1、偏心和振動檢測、偏心和振動檢測2 2、通過測量間隙來測量徑向跳動、通過測量間隙來測量徑向跳動3 3、測量彎曲、波動、變形、測量彎曲、波動、變形 對橋梁、絲桿等機械結(jié)構(gòu)的對橋梁、絲桿等機械結(jié)構(gòu)的振動測量，須使用

26、多個傳感器。振動測量，須使用多個傳感器。4 4、測量金屬薄膜、板材厚度電渦流測厚儀、測量金屬薄膜、板材厚度電渦流測厚儀 測量冷軋板厚測量冷軋板厚度度5 5、測量尺寸、公、測量尺寸、公差及零件識別差及零件識別 通過測量間隙來通過測量間隙來測定測定 熱膨脹引起的上下平熱膨脹引起的上下平移移6 6、振動測量、振動測量 汽輪機葉片測試汽輪機葉片測試測量懸臂梁的測量懸臂梁的振幅及頻率振幅及頻率案例：連續(xù)油管的橢圓度測量案例：連續(xù)油管的橢圓度測量Coiled TubeEddy Sensor Reference Circle應(yīng)用實例：轉(zhuǎn)速測量應(yīng)用實例：轉(zhuǎn)速測量 若轉(zhuǎn)軸上開若轉(zhuǎn)軸上開z z 個槽個槽( (或齒或齒) )，頻率計