電子工廠 晶圓廠 TFT 廠 面板廠廠務(wù)系統(tǒng)概述.

1、廠務(wù)系統(tǒng)概述0.電子廠名言0.電子廠名言 唯一的不變就是永遠(yuǎn)在變 唯一確定的就是還沒(méi)決定所以接下來(lái)介紹的在現(xiàn)場(chǎng)都不是絕對(duì)的1.廠務(wù)系統(tǒng)功能水系統(tǒng)在制程中的功能PCW制程冷卻水制程機(jī)臺(tái)冷卻UPW/DIW超純水補(bǔ)水/清洗/稀釋Chill Water冰水冷卻用冷源/空調(diào)用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自來(lái)水原水/一般用水氣體系統(tǒng)在制程中的功能CDA壓縮干燥空氣搬運(yùn)器/儀器之氣壓缸/一般沖吹GN2一般氮?dú)釶urge/CDA Backup/潔凈沖吹PN2純化氮?dú)釶urge/空間填充/超潔凈沖吹其他B-GAS大宗氣體制程需求/Purge/空間填充/超潔凈沖吹S-GAS特殊氣體制程Chamb

2、er填充需求/干蝕刻制程需求化學(xué)系統(tǒng)在制程中的功能Chemical化學(xué)藥品清潔清洗/濕式蝕刻制程需求真空系統(tǒng)在制程中的功能PV制程真空基板吸引般移HV清潔真空塵屑吸引清潔/真空吸筆Pump Line制程高真空Chamber制程轉(zhuǎn)換之高真空建立Exhaust排氣系統(tǒng)Chamber制程轉(zhuǎn)換之廢氣排除Drain排水系統(tǒng)機(jī)臺(tái)制程使用之廢DI/Chemical排放排氣/排水系統(tǒng)在制程中的功能2.廠務(wù)系統(tǒng)使用材質(zhì)水系統(tǒng)使用材質(zhì)PCW制程冷卻水SUS 304禁油處理/高壓軟管UPW/DIW超純水CPVC/PVDF/PFA TubeChill Water冰水SUS 304RW回收水SUS 304CW自來(lái)水SU

3、S 304CDA壓縮干燥空氣SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮?dú)釹US 316L BA/EPPN2純化氮?dú)釹US 316L EP其他B-GAS大宗氣體SUS 316L EP/PH2有時(shí)用雙套管(EP/AP)S-GAS特殊氣體SUS 316L EP/雙套管/加熱套氣體系統(tǒng)使用材質(zhì)-(除特氣外機(jī)臺(tái)端都可能用Teflon軟管)化學(xué)系統(tǒng)使用材質(zhì)有機(jī)類化學(xué)藥品例如溶劑類SUS 316 BA一般酸堿化學(xué)藥品例如H2SO4/NaOHPVC/CPVC其他化學(xué)藥品CPVC/PFA/PVDF/PTFE真空系統(tǒng)使用材質(zhì)PV制程真空PVC SCH80/SUS 304HV清潔真空PVC SCH80

4、/SUS 304Pump Line制程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排氣鍍鋅螺旋風(fēng)管排氣系統(tǒng)使用材質(zhì)Solvent有機(jī)排氣SUS 304全焊式不銹鋼風(fēng)管Acid/Ak酸堿排氣不銹鋼Teflon Coating風(fēng)管(Tefpass)排水系統(tǒng)使用材質(zhì)Drain一般排水PVC/PVC SCH80Solvent有機(jī)排水SUS 304不銹鋼管Acid/Ak酸堿排水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA3.廠務(wù)系統(tǒng)流程制程冷卻水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程原水補(bǔ)水膨脹水箱冰水出冰水進(jìn)板 熱制程管線機(jī)臺(tái)冷卻進(jìn)水回水冰水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大 氣冰水主機(jī)冷媒循環(huán)RCUAHU其他空調(diào)箱DC

5、C板 熱冷卻水純水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程City Water自來(lái)水DM Filter去除鈣鎂Decarbonator去除CO2WA Tower去除碳酸鈣SA Tower去除碳酸鈣RO TankRO進(jìn)水槽HeatExchange熱交換器UVSterilizer紫外線殺菌SafetyFilter過(guò)濾器RO Unit逆滲透膜PermeatePit逆滲透底槽Mixed Bed去除SiO2MembraneDegasifier去除O2UPW Tank純水儲(chǔ)槽Cooler冷卻器UV Oxidizer破壞有機(jī)鏈UF Unit超限過(guò)濾膜H2UPW Tank純水儲(chǔ)槽H2 CoolerH2冷卻器H2 M.D.H2去除膜H2

6、DesolveMembraneH2除溶膜H2W UF Unit超限過(guò)濾膜P.O.U使用點(diǎn)回水回水自來(lái)水/回收水系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程自來(lái)水外管水表/隔離閥供應(yīng)管線使用點(diǎn)自來(lái)水空氣中水份冷盤(pán)/空調(diào)箱回收管線回收水槽回收水使用點(diǎn)3.5 CDA/GN2/PN2系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程CDAGN2/PN2大氣空壓機(jī)蓄壓槽初級(jí)過(guò)濾器冷凍式干燥機(jī)吸附式干燥機(jī)精密過(guò)濾器大氣氮?dú)猱a(chǎn)生器液氮槽蒸發(fā)器減壓站過(guò)濾器純化器使用點(diǎn)一/二次管二次盤(pán)CQC使用點(diǎn)一/二次管二次盤(pán)CQC其他大宗氣體/特氣系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程O(píng)2Specialty Gas鋼瓶Cabinet氣瓶柜VMB/P閥箱管線使用點(diǎn)液氧儲(chǔ)槽減壓站過(guò)濾器純化器CQCHe/Ar/Kr/H2鋼

7、瓶/BundleTrunker減壓站過(guò)濾器一/二次管二次盤(pán)使用點(diǎn)蒸發(fā)器使用點(diǎn)一/二次管二次盤(pán)純化器CQC管線高真空/排氣系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程Pumping LineOthers Exhaust機(jī)臺(tái)制程ChamberVacuumPump高真空管路ScrubberGEX機(jī)臺(tái)出口Damper風(fēng)管風(fēng)機(jī)高真空管路大氣Exhaust風(fēng)管機(jī)臺(tái)出口Damper風(fēng)管風(fēng)機(jī)Scrubber大氣真空系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程PV制程機(jī)臺(tái)使用點(diǎn)真空管路真空儲(chǔ)槽真空PumpHV一/二次管二次盤(pán)配置需求使用點(diǎn)真空管路真空清潔儲(chǔ)槽真空Pump開(kāi)關(guān)盒化學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程Chemical化學(xué)品供應(yīng)槽車傳送系統(tǒng)供應(yīng)槽分配系統(tǒng)化學(xué)品儲(chǔ)槽VMB/P化學(xué)管路使用點(diǎn)回收管線廢液回收槽廢水收集系統(tǒng)簡(jiǎn)略流程Drain