高靈敏度陣列氣敏傳感器的制備與氣敏特性分析課件

1、“挑戰(zhàn)杯”西安郵電大學(xué)高靈敏度陣列氣敏傳感器的制備 與氣敏特性研究 答辯人：楊銳強(qiáng)、衛(wèi)怡、康穎通過以下圖片我們能得出什么？ 1.酒后駕車這樣生活真累2、環(huán)境污染3、煤礦安全 圖一 消防隊(duì)員處理泄露事故 圖二 硫化氫有毒氣體泄露4、氣體泄漏本項(xiàng)目使用納米材料薄膜，比表面積大，表面能高，具有傳統(tǒng)材料所不具備的物理化學(xué)特性。比普通薄膜有更快的響應(yīng)速度，具有高靈敏度。目錄1、氣敏傳感器的簡介2、本項(xiàng)目的研究意義以及研究目標(biāo)3、高靈敏度陣列氣敏傳感器的制備工藝4、數(shù)據(jù)分析及總結(jié)5、未來前景展望1、氣敏傳感器的簡介敏感元件傳感元件非電量電參量電量 傳感器組成框圖被測量氣敏傳感器的基本結(jié)構(gòu)：轉(zhuǎn)換電路氣敏傳感

2、器的基本原理：氣敏薄膜基底氣敏薄膜加熱電極叉指電極 氣敏傳感器的分類氣敏傳感器半導(dǎo)體氣敏傳感器催化燃燒式氣敏傳感器電化學(xué)氣敏傳感器熱導(dǎo)池式氣敏傳感器磁性氧氣傳感器2、本項(xiàng)目的研究意義以及研究目標(biāo)由于單個(gè)氣敏器件對(duì)多種氣體都有響應(yīng)，我們對(duì)單個(gè)敏感器件的這一特點(diǎn)加以研究，制備出高靈敏度陣列氣敏傳感器。它不僅能克服單個(gè)氣敏傳感器的缺點(diǎn)，更能夠?qū)旌蠚怏w加以辨別。存在多種應(yīng)用和潛在應(yīng)用。半導(dǎo)體氣敏傳感器陣列（1）氧化高溫氧化爐3、高靈敏度陣列氣敏傳感器的制備工藝（2）勻膠光刻膠氧化層涂膠機(jī)（3）光刻光刻機(jī)（4）刻蝕和除膠（5）摻雜硅晶片的蝕刻掩膜去除后叉指電極摻雜（硼）（6）劃片及印刷制備的薄膜激光切

3、割機(jī) 我們?cè)谥谱骱玫墓杵贤磕ㄌ囟ǖ募{米材料薄膜，然后封裝。制成我們所要的氣敏傳感器！涂膜前涂膜后納米氧化鋅的生長二氧化鈦4、數(shù)據(jù)分析及總結(jié)ZnO氣敏傳感器V-G特性TiO2氣敏傳感器V-G特性工作總結(jié)根據(jù)半導(dǎo)體工藝以及相關(guān)技術(shù)，結(jié)合先進(jìn)的測試方法和理論分析，建立智能化識(shí)別模式使之適應(yīng)復(fù)雜環(huán)境中氣體的檢測，實(shí)現(xiàn)高精度、低功耗和集成化氣體傳感器陣列結(jié)構(gòu)和不同選擇性的氣敏薄膜的制備。提出項(xiàng)目創(chuàng)新點(diǎn)1、提出高靈敏度傳感器陣列設(shè)計(jì)與制備，以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜成分氣體的檢測。2、利用半導(dǎo)體工藝等技術(shù)，在本征硅片上陣列結(jié)構(gòu)電極和納米氣敏薄膜，有效提高氣體測量的準(zhǔn)確性、響應(yīng)速度和靈敏度。3、建立智能化的識(shí)別模式使之適應(yīng)復(fù)雜環(huán)境中混合氣體種類和含量測量。后期目標(biāo)本項(xiàng)目初步得出陣列化的氣敏傳感器,能夠?qū)旌蠚怏w有良好的選擇性。但是還存在一些不足，為了能夠更有效更方便更準(zhǔn)確的識(shí)別混合氣體，在后續(xù)工作中我們準(zhǔn)備在同一基底上陣列更多的氣敏傳感器，對(duì)其進(jìn)行更加完善的測試。構(gòu)建復(fù)式圖，對(duì)比數(shù)據(jù)庫相關(guān)信息得到更準(zhǔn)確的信息。石墨烯5、未來前景展望本設(shè)計(jì)結(jié)合高性能氣體傳感器發(fā)展的需要和最新的研究成果，通過陣列結(jié)構(gòu)、氣敏薄膜和識(shí)別模式的不斷完善，可實(shí)現(xiàn)國防、工業(yè)及日常生活發(fā)展對(duì)選擇性強(qiáng)和測量精度高的新型氣體傳感器需求，對(duì)提高國民經(jīng)濟(jì)有很大的應(yīng)用價(jià)值，具有很大的現(xiàn)實(shí)意義。Thank you for