上線酸槽蝕刻參數(shù)DOE分析

1、意力（廣州）電子科技有限公司EELY ECW Technology LtdI8000上線酸槽蝕刻參數(shù)DOE分析一、實驗?zāi)康尼槍λ岵畚g刻的不良，研究分析影響蝕刻不良的各種因子，首先通過第一階段實驗找 出影響酸槽蝕刻不良的顯著因子，再通過第二階段實驗去尋找最優(yōu)參數(shù)組合。二、因子篩選1、酸槽蝕刻原理介紹酸槽蝕刻為ITO觸摸屏制作的關(guān)鍵步驟。針對I8000這個機種的上線為日東雙層FILM材料（1220-2L-V270-TFME-340），它的酸溶液配置成分為HCL （36-38%）:HNO3（65-68%） : H2O （純水），分別按照50： 1： 50的比率配制。酸槽的主要目的是利用酸溶液將FIL

2、M上多余的ITO導(dǎo)電膜蝕刻掉。請看下面的截面圖所示位置:ITO導(dǎo)電膜2、因子選擇根據(jù)以往不良記錄，產(chǎn)生的酸槽蝕刻不良現(xiàn)象的原因有：耐酸印刷時透版、滲透、套版偏差，耐酸厚度過大或偏小，傳動速度太快或太慢，酸溶液的濃度過大過過小，噴壓過 大或過小，溶液溫度過高或過低，材料放進蝕刻槽時操作不當?shù)鹊取Ｒ陨喜涣贾?，耐酸印刷時透版、滲透、套版偏差；材料放進蝕刻槽時操作不當；這些 是前工序的不良或者人員的問題，因此在第一階段實驗可以忽略這些項目不良。同時，耐酸的印刷厚度要求為812 m。在第一階段實驗只考慮以下5個因子：速度，酸液濃度，溫度，蝕刻噴壓和耐酸厚度。三、第一階段實驗設(shè)計1、因子水平對照表-.水平

3、因子_-一一一_水平12父互作用A酸槽速度（m/min）1.52.5B酸液濃度（mol/L）4.05.0VC溶液溫度（C）35.045.0XD蝕刻噴壓（kg/cm2）0.51.5F耐酸厚度/ m8.012.02、找顯著因子每個實驗號做50次實驗，用L （27）統(tǒng)計實驗結(jié)果如下:8列號 實驗號12345產(chǎn)量xkABCDF1111113021112233312211394122224252121243621221447221124382212146K1144150152155159總產(chǎn)量320K2176170168165161Q322016102此得出：S =128.000，SB =50.000，

4、SC =32.000，SD=12.500，S =0.500計算總離差平方和：Q 廣13024.00，S 廣224.00，S 歸=1.0003、整理成方差分析表如下：方差來源向方平 方和自由度平均離差 平方和F值臨界值顯著性貝獻率A128.0001128.000384.000F 001 (1,3) 二34.12*57.14%B50.000150.000150.000*22.32%C32.000132.00096.000*14.29%D12.500112.50037.500*5.58%F0.50010.5001.5000.22%誤差1.00030.3330.45%總和224.0008100%各因子

5、貢獻率統(tǒng)計120.00%100.00%80.00%60.00%40.00%20.00%0.00%4、第一階段實驗結(jié)論由前面可以得出A, B, C, D為顯著因子，它們總貢獻率為99.33%, F為隱性因子。四、第二階段實驗設(shè)計為了找出最佳的參數(shù)組合，故將第一階段實驗找出的顯著因子A、B、C、D再進行第二階段實驗，每個因子擬3個水平，每個實驗號做50次實驗，實驗結(jié)果如下：1、因子水平對照表-水平 因子-水平123父互作用A酸槽速度（m/min）1.01.82.6B酸液濃度（mol/L）4.05.06.0C溶液溫度（C）354555VD蝕刻噴壓（kg/cm2）0.51.01.52、點線圖3、用L

6、(313)統(tǒng)計實驗結(jié)果如下:27列號 實驗號12345678911產(chǎn)量X KAB(A*B) 1(A*B) 2C(A*C) 1(A*C) 2(B*C) 1D(B*C) 2111111111111421111222222233111133333321412221112232251222222331326122233311223713331113322681333222113309133333322119102123123121301121232312323512212331231333132231123233391422312313113615223131212236162312123312201

7、723122311232718231231223129193132132131322031322132123421313232132336223213132213352332132133214424321332113244253321132322302633212131334227332132121120K1210258257261248280260278245256總產(chǎn)量812K 2285311267255303274280256267271K 3317243288296261258272278300285Q107683141552220225529由此得出:SA =670.30, SB =

8、283.63, S =183.63, SD=170.30, SA*B =81.48, SA怔=130.37, SB怔=214.37計算總離差平方和：Q廣26074.00, S 廣1653.85, S =47.564、整理成方差分析表如下:方差來源離差平方和自由度平均離差平方和F值臨界值顯著性優(yōu)方案A670.2962335.14842.285F 001 (2,12)=6.93*A3B283.6302141.81517.893*B2C183.630291.81511.584*C2D170.296285.14810.743*D3A*B164.593441.1485.192F 001 (4,12)=5.41A*C51.259412.8151.617B*C82.593420.6482.605誤差47.55667.926總和1653.852265、第二階段實驗結(jié)論經(jīng)過第二階段實驗，A、B、C、D都是顯著因子，而它們之間的相互作用為隱性；所 以，最佳參數(shù)組合為A3B2C2D3。五、實驗確認為了對最優(yōu)參數(shù)進行驗證，考慮到質(zhì)量