光伏電池設(shè)備行業(yè)分析

1、 光伏電池設(shè)備行業(yè)分析：大趨勢(shì)、大分化、大機(jī)會(huì) 核心觀(guān)點(diǎn)： 2020 年綜述：大尺寸強(qiáng)勢(shì)來(lái)襲，異質(zhì)結(jié)濃墨登場(chǎng)。2020 年，在大尺寸+ 垂直一體化競(jìng)爭(zhēng)加劇等因素推動(dòng)下，PERC 產(chǎn)能再度大規(guī)模擴(kuò)張。PERC 電池片設(shè)備企業(yè)新簽訂單飽滿(mǎn)，2021 年業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)確定性較強(qiáng)。從電池廠(chǎng) 競(jìng)爭(zhēng)格局來(lái)看，目前大尺寸（182&210）電池需求旺盛；中小尺寸（166 及以下）電池供過(guò)于求，競(jìng)爭(zhēng)激烈。隨著新投建的大尺寸產(chǎn)能陸續(xù)投產(chǎn)， 2021 年 PERC 電池產(chǎn)能過(guò)剩加劇（產(chǎn)能超過(guò) 200GW，需求約 150GW）， 電池價(jià)格承壓，光伏電池廠(chǎng)將不得不轉(zhuǎn)向下一代電池技術(shù)異質(zhì)結(jié) （HJT）。2020 年，NBB-H

2、JT（無(wú)主柵異質(zhì)結(jié)電池）效率突破 25%，市場(chǎng) 對(duì)于 HJT 認(rèn)可度顯著提高，投建中試線(xiàn)企業(yè)明顯增多。2020 年底，通威 開(kāi)啟了 GW 級(jí) HJT 大試線(xiàn)建設(shè)，HJT 大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)在即。從已經(jīng)招標(biāo)的 HJT 設(shè)備情況來(lái)看，海外設(shè)備商基本出局，國(guó)產(chǎn)設(shè)備商成為主流。 2021 年展望：技術(shù)與格局未定，機(jī)遇與風(fēng)險(xiǎn)并存。展望 2021 年，我們認(rèn) 為，HJT 將成為光伏電池主角，設(shè)備行業(yè)迎歷史機(jī)遇。一方面，越來(lái)越多 的光伏電池片企業(yè)將進(jìn)入 HJT 領(lǐng)域，HJT 有望開(kāi)啟 10GW 量級(jí)的招標(biāo)； 另一方面，隨著通威 1GW 的 4 條 HJT 產(chǎn)線(xiàn)陸續(xù)投建，國(guó)產(chǎn) HJT 設(shè)備商 經(jīng)歷產(chǎn)業(yè)化“大練兵”。預(yù)

3、計(jì) 2021-2024 年，HJT 設(shè)備市場(chǎng)分別為 45 億 元、160 億元、210 億元、300 億元，4 年累計(jì)規(guī)模超 700 億元。然而， 異質(zhì)結(jié)電池不同于 PERC 電池，對(duì)工藝和設(shè)備要求更高。HJT 設(shè)備中，無(wú) 論是非晶硅鍍膜設(shè)備（PECVD）、TCO 鍍膜設(shè)備（PVD&RPD）還是金屬 化制程設(shè)備（絲網(wǎng)印刷機(jī)），技術(shù)路線(xiàn)和競(jìng)爭(zhēng)格局尚未穩(wěn)定，HJT 設(shè)備公 司機(jī)遇與風(fēng)險(xiǎn)并存。 投資建議：建議關(guān)注市場(chǎng)預(yù)期差較大的 PERC 電池激光開(kāi)槽設(shè)備龍頭帝爾 激光，公司積極布局 HJT 激光轉(zhuǎn)印、激光修復(fù)、無(wú)損劃片設(shè)備，有望在 HJT 設(shè)備領(lǐng)域找到新的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn)。建議持續(xù)關(guān)注率先布局 HJT

4、設(shè)備的 上市公司捷佳偉創(chuàng)、邁為股份和金辰股份，非上市公司理想萬(wàn)里暉和鈞石 能源。 風(fēng)險(xiǎn)提示：（1）行業(yè)政策風(fēng)險(xiǎn)。全球光伏行業(yè)一直由政策推動(dòng)發(fā)展。在平 價(jià)上網(wǎng)尚未完全到來(lái)之際，政策變化對(duì)行業(yè)影響較大。（2）疫情加劇風(fēng)險(xiǎn)。 如果全球新冠疫情加劇，全球經(jīng)濟(jì)受到強(qiáng)烈沖擊，行業(yè)需求將受到顯著影 響。（3）PERC 電池價(jià)格下降過(guò)快風(fēng)險(xiǎn)。2021 年 PERC 電池產(chǎn)能過(guò)剩加 劇，若價(jià)格出現(xiàn)過(guò)快下降， 電池廠(chǎng)盈利下滑，將影響資本開(kāi)支預(yù)期。（4） 市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)風(fēng)險(xiǎn)。光伏設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)企業(yè)較多，如果市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)加劇，將會(huì)帶來(lái)盈 利能力下滑風(fēng)險(xiǎn)。一、 前言2020 年，光伏電池行業(yè)異常精彩。一方面，PERC電池企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加?。?/p>

5、大尺寸、垂直一體化競(jìng)爭(zhēng)倒 逼 PERC產(chǎn)能擴(kuò)張；另一方面，異質(zhì)結(jié)（HJT）電池技術(shù)獲得越來(lái)越多廠(chǎng)家認(rèn)可，進(jìn)入 GW 級(jí)別投 建期。PERC電池設(shè)備企業(yè)新簽訂單飽滿(mǎn)，積極研發(fā) HJT新型設(shè)備；HJT設(shè)備商嶄露頭角，獲得資 本市場(chǎng)越來(lái)越多的關(guān)注。展望 2021 年，從電池技術(shù)方向而言，市場(chǎng)對(duì) HJT 認(rèn)可度越來(lái)越高。從設(shè)備技術(shù)方向而言，部分投 資者認(rèn)為 HJT核心設(shè)備技術(shù)路線(xiàn)已經(jīng)確定，行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局將趨向穩(wěn)定。然而，事實(shí)真的如此嗎？2020 年光伏電池設(shè)備市場(chǎng)發(fā)生了哪些變化，2021 年又有哪些新的機(jī)會(huì)呢？本文將逐步展開(kāi)分析。二、 2020 年綜述：大尺寸強(qiáng)勢(shì)來(lái)襲，異質(zhì)結(jié)濃墨登場(chǎng)2.1 PERC 電

6、池：大尺寸+垂直一體化競(jìng)爭(zhēng)加劇，倒逼 PERC 產(chǎn)能擴(kuò)張光伏硅片尺寸直接影響下游電池片和組件尺寸。當(dāng)前光伏硅片有 5種主流尺寸，分別為 156.75mm、 158.75mm、166mm、182mm、210mm。大尺寸硅片通過(guò)增大硅片面積，放大組件尺寸，從而攤薄 各環(huán)節(jié)加工成本。從原理上來(lái)說(shuō)，硅片尺寸越大越好，然而結(jié)合產(chǎn)業(yè)鏈配套情況，硅片尺寸又存在 上限。對(duì)于大尺寸的選擇，目前市場(chǎng)形成 182和 210兩大陣營(yíng)：182陣營(yíng)包括隆基、晶科、晶澳、 阿特斯、江蘇中宇光伏、潞安太陽(yáng)能等企業(yè)；210 陣營(yíng)包括中環(huán)、天合光能、通威、愛(ài)旭、愛(ài)康、 東方日升等企業(yè)。大尺寸硅片將成為主流。根據(jù)PVinfolin

7、k預(yù)測(cè)，2021-2025年 182mm硅片產(chǎn)量占比將分別達(dá)到 25%、 38%、41%、37%、30%；210mm 硅片產(chǎn)量占比將分別達(dá)到 18%、32%、43%、58%、60%。182 和 210 兩類(lèi)大尺寸占比將迅速提高，成為硅片的主流尺寸。電池廠(chǎng)加速改擴(kuò)建大尺寸產(chǎn)能。大尺寸之爭(zhēng)起于 2019年，2020年開(kāi)始白熱化。由于成本優(yōu)勢(shì)，大 尺寸的電池片更受到組件廠(chǎng)青睞，中小尺寸的電池片市場(chǎng)需求迅速下降。對(duì)于新建產(chǎn)能而言，2020 年新擴(kuò)產(chǎn)的 PERC電池廠(chǎng)多數(shù)采用 210設(shè)備，向下兼容 182等尺寸。對(duì)于原有產(chǎn)能而言，部分廠(chǎng)家 通過(guò)改建將產(chǎn)能升級(jí)至 166尺寸（166電池片需求有望延續(xù) 2年

8、時(shí)間）；部分廠(chǎng)家將產(chǎn)能升級(jí)至 182、 210 尺寸。 2020 年專(zhuān)業(yè)電池廠(chǎng)如通威、愛(ài)旭、潤(rùn)陽(yáng)、展宇等公司的擴(kuò)產(chǎn)都選擇 210 向下兼容的形式 寧晉晶澳、上海晶澳對(duì)原有產(chǎn)能進(jìn)行了較大的改造。根據(jù)產(chǎn)業(yè)鏈信息，166 及以下尺寸的電池 廠(chǎng)改建為 182、210尺寸，7-8成的設(shè)備均要更換，僅有部分自動(dòng)化及非核心設(shè)備無(wú)需更換。大 尺寸推動(dòng)光伏電池片設(shè)備訂單激增。垂直整合企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇，擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃超預(yù)期。除專(zhuān)業(yè)電池廠(chǎng)擴(kuò)產(chǎn)外，2020年，隨著眾多光伏企業(yè)成功 融資，垂直一體企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇，倒逼了更多的擴(kuò)張計(jì)劃。 2020 年 4月，晶科能源啟動(dòng)“再倍增”計(jì)劃，擬投資 145億元，建設(shè) 10GW 金剛線(xiàn)切片、

9、10GW 高效電池片、10GW 高效光伏組件生產(chǎn)及研發(fā)總部。 2020 年 6月，東方日升與義烏經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽署了 15GW 高效電池+15GW 組件 項(xiàng)目框架協(xié)議。 2020 年 9 月，阿特斯與宿遷市經(jīng)開(kāi)區(qū)宣布簽訂 10GW 光伏組件及 10GW 光伏電池投資協(xié)議， 總投資 102 億元。 2020 年 10 月，晶澳科技完成非公開(kāi)發(fā)行，募資 52 億元投資年產(chǎn) 5GW 高效電池和 10GW 高 效組件及配套項(xiàng)目及補(bǔ)充流動(dòng)資金。 2020 年 11月，通威和天合光能達(dá)成合作協(xié)議，雙方計(jì)劃建設(shè)年產(chǎn) 4萬(wàn)噸高純晶硅項(xiàng)目（投資 40 億元）、年產(chǎn) 15GW 拉棒項(xiàng)目（投資 50 億元

10、）、年產(chǎn) 15GW 切片項(xiàng)目（投資 15 億元）、年 產(chǎn) 15GW 高效晶硅電池項(xiàng)目（投資 45億元）。通威股份作為國(guó)內(nèi)硅料和電池片雙龍頭，天合光 能作為國(guó)內(nèi)組件領(lǐng)先企業(yè)，雙方將通過(guò)優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，開(kāi)啟新一輪垂直整合之路。 2020 年 11 月，國(guó)內(nèi)硅片龍頭、垂直一體化代表企業(yè)隆基股份發(fā)布公告，規(guī)劃在曲靖投資建設(shè) 年產(chǎn) 30GW 單晶電池建設(shè)項(xiàng)目，一期建設(shè) 10GW（投資 56 億元）。2020 年 PERC 設(shè)備企業(yè)新簽訂單飽滿(mǎn)。在大尺寸+垂直一體化競(jìng)爭(zhēng)加劇雙重因素的推動(dòng)下，2020 年 PERC 電池大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)及改建。PERC 電池設(shè)備企業(yè)新簽訂單飽滿(mǎn)，有力支撐 2021 年業(yè)績(jī)的持 續(xù)增長(zhǎng)。

11、2021 年 PERC 產(chǎn)能過(guò)剩加劇將倒逼更多電池企業(yè)轉(zhuǎn)向 HJT。然而，到 2021 年，隨著新投 PERC 電池產(chǎn)能投產(chǎn)，TOP5 垂直一體化的 PERC 電池產(chǎn)能將達(dá)到 124.9GW（PVinfolink 數(shù)據(jù)），加上通 威、愛(ài)旭、潤(rùn)陽(yáng)等專(zhuān)業(yè)電池廠(chǎng)產(chǎn)能，國(guó)內(nèi)總產(chǎn)能將突破 200GW。根據(jù)我們測(cè)算，2021 年全球需求 有望達(dá)到 150GW（其中國(guó)內(nèi)約 50GW），PERC 電池產(chǎn)能過(guò)剩進(jìn)一步加劇，PERC 電池價(jià)格承壓， 電池廠(chǎng)將不得不轉(zhuǎn)向新一代電池技術(shù)HJT。2.2 HJT 電池：GW 級(jí)別招標(biāo)開(kāi)啟，國(guó)產(chǎn)設(shè)備成為主流異質(zhì)結(jié)（HJT）電池是 N 型電池，是一種利用晶體硅（c-Si）和非

12、晶體硅（-Si）薄膜制成的光伏 電池。HJT有望成為下一代 N 型電池的主流。HJT電池具有更高的光電轉(zhuǎn)換效率、更短的工藝流程、更低的衰減性、更高的雙面率、薄片化等優(yōu) 勢(shì)。1) 光電轉(zhuǎn)換效率更高。PERC電池轉(zhuǎn)換效率為 22%-23%，HJT電池量產(chǎn)效率已經(jīng)達(dá)到 24%-25%， 理論效率更是高達(dá) 27%。2) 工藝流程短。相比 PERC 電池 7 步的核心工藝，HJT電池核心工藝僅有 4 步。3) 衰減性更低。首先 HJT采用 N型電池，不存在 LID 現(xiàn)象；其次 HJT電池表面沉積 TCO薄膜， 沒(méi)有絕緣層，因此無(wú)表面帶電機(jī)會(huì)，因此不存在 PID（電勢(shì)誘導(dǎo)衰減）效應(yīng)。4) 雙面率更高。HJ

13、T電池雙面率可以達(dá)到 90%以上，PERC 一般為 75%。5) 薄片化。PERC電池厚度約 170微米，HJT電池目前主流厚度為 150微米，未來(lái)仍有進(jìn)一步下 降空間。薄片化可以降低單片電池含硅成本。6) 技術(shù)可拓展性強(qiáng)。HJT電池可以和大尺寸技術(shù)結(jié)合，未來(lái)也有望與鈣鈦礦疊層技術(shù)結(jié)合。NBB-HJT 效率突破 25%。2020 年 11月，在 2020年第十六屆中國(guó)太陽(yáng)級(jí)硅及光伏發(fā)電研討會(huì)上， 中威新能源（通威成都線(xiàn)）發(fā)布中威 HJT電池生產(chǎn)線(xiàn)效率：采用 9BB（9主柵）的 HJT電池效率已 經(jīng)突破 24%，采用 NBB（無(wú)主柵）的 HJT電池效率已經(jīng)突破 25%。25%效率的 HJT產(chǎn)品逐

14、步到來(lái)。2020年 11月，捷佳偉創(chuàng)和潤(rùn)陽(yáng)集團(tuán)簽訂了戰(zhàn)略合作框架，捷佳偉 創(chuàng)宣布已經(jīng)建立了轉(zhuǎn)換效率 23%-24%-25%的梯隊(duì)化產(chǎn)品，可為市場(chǎng)客戶(hù)提供個(gè)性化的設(shè)備解決方 案。我們預(yù)計(jì)，25%轉(zhuǎn)換效率的產(chǎn)品主要是高效 HJT產(chǎn)品。2020 年 HJT招標(biāo)提速。2020 年，由于 HJT 效率提升顯著，市場(chǎng)對(duì)于 HJT認(rèn)可度逐步提高，投建 中試線(xiàn)、大試線(xiàn)的企業(yè)明顯增多，2020 年被稱(chēng)為異質(zhì)結(jié)電池元年。2020 年下半年以來(lái)，多個(gè) HJT 項(xiàng)目正式開(kāi)啟設(shè)備招標(biāo)。 2019 年，通威在成都（和三峽資本合資成立中威公司開(kāi)展）和合肥分別建設(shè)了兩條中試線(xiàn)，吹 響了國(guó)內(nèi)電池龍頭企業(yè)布局 HJT 電池的號(hào)角

15、。2020 年，兩條中試線(xiàn)陸續(xù)發(fā)布試驗(yàn)數(shù)據(jù)，顯著 提振了市場(chǎng)信心。 2020 年 7 月，阿特斯宣布 250MW 的 HJT電池中試線(xiàn)項(xiàng)目開(kāi)工，隨后開(kāi)啟設(shè)備招標(biāo)。 2020 年 8 月，安徽宣城經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)啟了 500MW 高效HJT電池項(xiàng)目設(shè)備招標(biāo)。 2020 年 10 月，通威股份招標(biāo)了 1GW 大試線(xiàn)項(xiàng)目，多家設(shè)備公司中標(biāo)。 2020 年底至 2021 年初，山煤集團(tuán)、東方日升、愛(ài)康均有望開(kāi)啟新一輪 HJT電池設(shè)備招標(biāo)。HJT生產(chǎn)流程主要包括制絨清洗、生長(zhǎng)非晶硅薄膜（PECVD鍍膜）、雙面鍍透明導(dǎo)電薄膜（PVD或 RPD 鍍膜）、金屬化制程（絲網(wǎng)印刷）。近期，國(guó)內(nèi) HJT電池中試線(xiàn)、大試

16、線(xiàn)的設(shè)備招標(biāo)中，國(guó)產(chǎn) HJT電池設(shè)備商捷佳偉創(chuàng)、邁為股份、理 想萬(wàn)里暉、鈞石等均有斬獲。從近期招標(biāo)的 HJT項(xiàng)目來(lái)看，釋放了兩點(diǎn)信號(hào)：1） 電池企業(yè)方面，HJT技術(shù)路線(xiàn)獲得越來(lái)越多電池廠(chǎng)認(rèn)可，開(kāi)始出現(xiàn) GW 級(jí)別的設(shè)備招標(biāo)，這對(duì) HJT大規(guī)模量產(chǎn)意義重大。山煤、愛(ài)康、東方日升、鈞石均有宣布 GW 級(jí)別的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，2021 年有望正式落地。2） 設(shè)備企業(yè)方面，早期 HJT產(chǎn)線(xiàn)多采用海外設(shè)備，隨著國(guó)產(chǎn)設(shè)備的不斷成熟，國(guó)產(chǎn)設(shè)備份額顯著 提升。在通威股份最近 1GW 的 4 條招標(biāo)線(xiàn)中，已經(jīng)出現(xiàn)純國(guó)產(chǎn)化的產(chǎn)線(xiàn)。我們判斷，2021 年 將出現(xiàn)越來(lái)越多的純國(guó)產(chǎn)化的 HJT 產(chǎn)線(xiàn)。2.3 本章小結(jié)2020

17、年，在大尺寸+垂直一體化競(jìng)爭(zhēng)加劇等因素推動(dòng)下，PERC 產(chǎn)能再度大規(guī)模擴(kuò)張。PERC 電池 片設(shè)備企業(yè)新簽訂單飽滿(mǎn)，2021 年業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)確定性較強(qiáng)。然而，從電池廠(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局來(lái)看，目前大尺寸（182&210）電池需求旺盛；中小尺寸（166 及以下） 電池供過(guò)于求，競(jìng)爭(zhēng)激烈。隨著新投建的大尺寸產(chǎn)能陸續(xù)投產(chǎn)，2021年 PERC電池產(chǎn)能過(guò)剩加劇（產(chǎn) 能超過(guò) 200GW，需求約 150GW），電池價(jià)格承壓，光伏電池廠(chǎng)將不得不轉(zhuǎn)向下一代電池技術(shù) 異質(zhì)結(jié)（HJT）。2020 年，NBB-HJT（無(wú)主柵）效率突破 25%，市場(chǎng)對(duì)于 HJT認(rèn)可度顯著提高，投建中試線(xiàn)企業(yè)明 顯增多。2020年底，通威開(kāi)啟了 GW

18、 級(jí) HJT大試線(xiàn)建設(shè)，HJT大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)在即。從已經(jīng)招標(biāo)的 HJT 設(shè)備情況來(lái)看，海外設(shè)備商基本出局，國(guó)產(chǎn)設(shè)備商成為主流。三、 2021 年展望：技術(shù)與格局未定，機(jī)遇與風(fēng)險(xiǎn)并存3.1 HJT 招標(biāo)進(jìn)入 10GW 量級(jí)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備商“大練兵”2020年 HJT擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃顯著增多。2020年，國(guó)內(nèi)有 2-3GW 的 HJT設(shè)備招標(biāo)，但宣布進(jìn)入 HJT領(lǐng)域 并計(jì)劃大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)的公司數(shù)量顯著增多。騰暉、愛(ài)康科技、山煤、東方日升、鈞石、廈門(mén)神科、潤(rùn) 陽(yáng)光伏等均計(jì)劃建設(shè) GW 級(jí)別的HJT項(xiàng)目。 2020 年 3月，中利集團(tuán)發(fā)布定增預(yù)案，計(jì)劃募資 15.75億元投產(chǎn) 1GW 異質(zhì)結(jié)電池及組件、1GW 高效 TO

19、PCON 電池及組件技改項(xiàng)目。實(shí)施主體為子公司騰暉光伏。 2020 年 3 月，愛(ài)康科技定增募資，計(jì)劃投資 15 億元建設(shè) 1.32GW HJT電池及組件項(xiàng)目。 2020 年 3 月，阿特斯簽約落戶(hù)嘉興秀洲高新區(qū)，規(guī)劃建設(shè) HJT電池中試線(xiàn)和組件產(chǎn)線(xiàn)。 2020 年 5月，東方日升 2.5GW 異質(zhì)結(jié)電池組件一期 500MW 項(xiàng)目已基本完成設(shè)備調(diào)試、小批 量生產(chǎn)。7 月，東方日升計(jì)劃義烏、滁州各投產(chǎn) 5GW 高效電池組件，技術(shù)路線(xiàn)包含 HJT。 2020 年 8 月，山煤國(guó)際、寧波齊賢企業(yè)管理咨詢(xún)有限公司計(jì)劃合資成立山煤國(guó)際光電，規(guī)劃 10GW 異質(zhì)結(jié)項(xiàng)目，一期投 3GW。 2020 年 9

20、月，廈門(mén)神科計(jì)劃在上饒投建 2GW 異質(zhì)結(jié)電池。 2020 年 10 月，愛(ài)康科技計(jì)劃和泰興市政府共同建設(shè) 6GW 高效異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池及高效組件 項(xiàng)目。 2020 年 11 月，鈞石能源和舟山市政府簽約，計(jì)劃投資80 億元建設(shè) 10GW 異質(zhì)結(jié)電池。 2020 年 11 月，潤(rùn)陽(yáng)集團(tuán)計(jì)劃投資建設(shè) 30GW 的 PERC+和 5GW 的 HJT。2021年 HJT招標(biāo)將進(jìn)入 10GW 量級(jí)。在效率提升的同時(shí)，單 GW 的 HJT整線(xiàn)設(shè)備造價(jià)從 2019年 8-10 億元，降低至 2020年 5億元，2021年有望降低至 4億元左右。HJT效率邁過(guò) 25%（NBB-HJT），單 GW 投資下滑，

21、性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)凸顯，電池企業(yè)大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)在即。我們預(yù)計(jì)，2021 年 HJT招標(biāo)有望 進(jìn)入 10GW 量級(jí)。未來(lái) 4年 HJT設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò) 700億元。假設(shè)2021-2024年 HJT新建產(chǎn)能分別為10GW、40GW、 60GW、100GW，單 GW 均價(jià)投資分別為 4.5 億元、4 億元、3.5 億元、3 億元，則 2021-2024 年 HJT設(shè)備市場(chǎng)分別為 45億元、160億元、210億元、300億元，4年累計(jì)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模超 700億元。對(duì)于 HJT電池設(shè)備商而言，2020年通威股份招標(biāo)的 4條線(xiàn)有望成為“練兵場(chǎng)”。捷佳偉創(chuàng)、邁為股 份、鈞石、理想萬(wàn)里暉幾家主流的 HJT 設(shè)備商各顯身手

22、。4 條線(xiàn)的調(diào)試數(shù)據(jù)有望在 2021 年發(fā)布， 幾家 HJT主流設(shè)備供應(yīng)商將在 2021 年分出差距。3.2 技術(shù)路線(xiàn)和競(jìng)爭(zhēng)格局未定，機(jī)遇和風(fēng)險(xiǎn)并存HJT 核心生產(chǎn)工藝雖然只有 4 步，但是各環(huán)節(jié)工藝設(shè)備技術(shù)路線(xiàn)尚未穩(wěn)定。技術(shù)路線(xiàn)的差異以及新 技術(shù)的不斷涌現(xiàn)，有望改變 HJT電池設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)格局。（1）制絨清洗制作 HJT電池第一步是對(duì)硅片進(jìn)行清洗并形成絨面以陷光。HJT電池要求形成具有高鈍化質(zhì)量的非 晶硅/晶硅界面，擁有較高的清潔度和合適的金字塔形貌。HJT電池對(duì)制絨清洗要求較高，通常有兩 種方法實(shí)現(xiàn)： RCA 清洗法：該工藝原本由美國(guó)無(wú)線(xiàn)電公司(Radio Corporation of Am

23、erica)開(kāi)發(fā)的針對(duì)半導(dǎo)體 晶圓的清洗工藝，分為 SC1和 SC2兩個(gè)步驟。SC1通過(guò)過(guò)氧化氫（H2O2）和氫氧化銨（NH4OH） 的混合液除去硅片表面的顆粒和有機(jī)污染物。SC2 在較高的溫度下用鹽酸（HCl）和過(guò)氧化氫 （H2O2）的混合溶液去除硅片表面的金屬污染。RCA方法滿(mǎn)足清洗要求，但由于使用的 NH4OH 和 H2O2揮發(fā)性很強(qiáng)，而 SC1和 SC2兩個(gè)步驟溫度都高于 60攝氏度，因此化學(xué)品消耗量特別 大，成本較高。 臭氧（O3）清洗：由于 RCA 方法成本過(guò)高，因此出現(xiàn)了一種用 O3為基礎(chǔ)的硅片清洗工藝。與 RCA 相比，在前清洗(Preclean)過(guò)程中使用臭氧去離子水溶液(D

24、IO3)替代 SC1，在后清洗 (Postclean)工藝中使用臭氧/氫氟酸溶液(DIO3/HF)替代 SC1、氫氟酸/硝酸混合溶液(HF/HNO3)及 SC2 三個(gè)步驟。該方法減少了化學(xué)品消耗量，成本較低，但是對(duì)工藝穩(wěn)定性和可重復(fù)性要 求較高。2021 年臭氧清洗占比有望提高到 90%。相比而言，RCA 清洗方法擁有流程的穩(wěn)定性和可重復(fù)性、 需要擁有專(zhuān)業(yè)知識(shí)；臭氧清洗與其他工藝更好融合，同時(shí)能夠降低成本。根據(jù)東方日升預(yù)測(cè)，在制 絨清洗環(huán)節(jié)，2019年臭氧使用比例約為 30%，預(yù)計(jì) 2020年能夠提高到 80%，2021年有望提高到 90%，大大減少化學(xué)品消耗量，降低生產(chǎn)成本。制絨清洗環(huán)節(jié)，盡

25、管有兩種工藝差別，但設(shè)備整體差別不大。目前 HJT電池制絨清洗設(shè)備海外供應(yīng) 商包括 YAC、新格拉斯、RENA 等，國(guó)內(nèi)主要供應(yīng)商是捷佳偉創(chuàng)，邁為股份正通過(guò)參股江蘇偉星研 發(fā)具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的制絨清洗機(jī)臺(tái)。（2）生長(zhǎng)非晶硅薄膜生長(zhǎng)非晶硅薄膜是 HJT關(guān)鍵工藝。生長(zhǎng)高質(zhì)量的本征和摻雜氫化非晶硅薄膜，獲得高質(zhì)量的氫化非 晶硅/晶硅界面是制備異質(zhì)結(jié)電池的關(guān)鍵環(huán)節(jié)（晶體硅和非晶硅的結(jié)合是異質(zhì)結(jié)電池名字中“異質(zhì)” 的含義）。這層膜不僅要求薄（幾納米），且擁有異質(zhì)的界面。異質(zhì)結(jié)電池上表面自上而下一般為 p 層（摻硼非晶硅薄層）、i層（本征非晶硅薄層），下表面為 i層（本征非晶硅薄層）、n層（摻磷非晶 硅薄

26、層）。PECVD是 HJT生產(chǎn)的核心設(shè)備。HJT的 4層膜沉積順序一般為先鍍上表面的 i層，然后鍍 p層， 然后翻面，鍍下表面的 i層，最后鍍 n層（ip-in順序）。目前 PECVD是成長(zhǎng)非晶硅薄膜的主流設(shè)備。 從反應(yīng)腔角度，PECVD可以分為單真空和雙真空結(jié)構(gòu)；從傳輸角度，PECVD可以分為滾輪傳輸和 機(jī)械手傳輸。 單真空 VS 雙真空：?jiǎn)握婵帐且粋€(gè)開(kāi)放式的腔體，鍍膜時(shí)，等離子體充滿(mǎn)全部腔體。雙真空分 為外腔體和內(nèi)腔體，外腔體用于隔絕，內(nèi)腔體用于加熱鍍膜。雙真空結(jié)構(gòu)做到了需要鍍膜的地 方鍍膜，不需要鍍膜的地方不用鍍。其優(yōu)勢(shì)在于減少了氣體的使用、清洗相對(duì)簡(jiǎn)單，但缺點(diǎn)在 于結(jié)構(gòu)過(guò)于復(fù)雜。 滾輪

27、傳輸 VS 機(jī)械手傳輸：滾輪傳輸通過(guò)滾輪將載板傳輸?shù)椒磻?yīng)腔內(nèi)，反應(yīng)腔開(kāi)始鍍膜。機(jī)械 手傳輸指利用機(jī)械手將載板輸送到反應(yīng)腔內(nèi)，然后機(jī)械手撤出，反應(yīng)腔開(kāi)始鍍膜。滾輪傳輸對(duì) 于滾輪材質(zhì)要求高，機(jī)械手傳輸難點(diǎn)在于自動(dòng)化控制。PECVD技術(shù)路線(xiàn)有待市場(chǎng)檢驗(yàn)。邁為股份、捷佳偉創(chuàng)、鈞石大多采用單真空滾輪傳輸結(jié)構(gòu)，理想萬(wàn) 里暉采用雙真空機(jī)械手結(jié)構(gòu)。目前單真空滾輪傳輸結(jié)構(gòu)和雙真空機(jī)械手傳輸?shù)?PECVD 均獲得一些 客戶(hù)的認(rèn)可。至于哪種技術(shù)方向更適合 HJT大規(guī)模量產(chǎn)，還有待市場(chǎng)的演繹和檢驗(yàn)。（3）鍍 TCO薄膜：RPD 和 PVD 是鍍 TCO 薄膜的主要設(shè)備。在 HJT電池上，需要鍍一層具備良好導(dǎo)電性且擁有

28、較高 透光率的導(dǎo)電膠（TCO）。這一方面是因?yàn)楸菊骱蛽诫s氫化非晶硅薄膜導(dǎo)電性很差，需要在表面制備 一層 TCO薄膜，用來(lái)收集光生載流子并將其運(yùn)輸?shù)浇饘匐姌O上；另一方面，迎光面 TCO薄膜需具備減反射功能，降低電池表面光反射損失，因此需要透明材質(zhì)。TCO薄膜沉積主要有兩種方法：RPD 和 PVD。 RPD：日本住友開(kāi)發(fā)的反應(yīng)等離子體沉積（Reactive plasma deposition，RPD）是一種低溫、 低損傷的 TCO薄膜鍍膜設(shè)備。該設(shè)備利用特定的磁場(chǎng)控制氬等離子體的形狀，從而產(chǎn)生穩(wěn)定、 均勻、高密度的等離子體。等離子體打在靶材上，讓靶材通過(guò)升華沉積到硅片上。 PVD：物理氣相沉積（P

29、VD）主要包括真空蒸鍍法和濺射法，HJT電池主要采用磁控濺射法（SP）。 濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電場(chǎng)作用下，對(duì)陰極靶材表面進(jìn) 行轟擊，把靶材表面的分子、原子、離子及電子等濺射出來(lái)，被濺射出來(lái)的粒子帶有一定的動(dòng) 能，沿一定的方向射向基體表面，在硅片表面形成鍍層。RPD和 PVD相比，主要有兩點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：1）RPD使用 W 摻雜 In2O3（IWO）靶材，相比 PVD使用的 Sn 摻雜 In2O3（ITO）靶材，IWO 靶材透光率更強(qiáng)、遷移率更高；2）PVD 制備需要離子轟擊，但 離子轟擊會(huì)導(dǎo)致離子損傷，影響最終轉(zhuǎn)換效率，RPD 不會(huì)導(dǎo)致這種效果。RPD 不足之處在于

30、IWO 靶材的專(zhuān)利屬于日本住友，成本較高。生產(chǎn) RPD 設(shè)備的廠(chǎng)家主要是日本住友、捷佳偉創(chuàng)，PVD 設(shè)備供應(yīng)商包括梅耶博格、鈞石、新格拉 斯、馮阿登納等。2020 年捷佳偉創(chuàng)推出新型 RPD 設(shè)備，公司正積極布局下一代 RPD 和 PVD 二合 一設(shè)備，TCO 鍍膜設(shè)備將進(jìn)入新一輪 PK 期。 2020 年 9 月，捷佳偉創(chuàng)通過(guò)引進(jìn)吸收日本住友 RPD 技術(shù)，推出自主研發(fā)的新型 RPD 設(shè)備 RPD5500A。相比日本住友 RPD，捷佳偉創(chuàng)推出的 RPD5500A 產(chǎn)能提升了 2.86倍（從 1920 片/h提升到 5500片/h），同時(shí)配備加熱板和深冷水氣捕集泵，使得工藝更具彈性，同時(shí)積極選

31、 擇了國(guó)產(chǎn)靶材供應(yīng)商，有望在常規(guī) HJT的基礎(chǔ)上為高效 HJT帶來(lái)保守 0.6%以上的效率增益。 公司正在布局下一代 RPD和 PVD二合一設(shè)備PAR5500A，正面采用 RPD鍍 TCO，背面 采用 PVD 鍍 TCO，性?xún)r(jià)比更高。（4）金屬化制程絲網(wǎng)印刷機(jī)是金屬化制程的主流設(shè)備。HJT 電池正反面均需要電極，以收集光產(chǎn)生的電流。制作電 極的材料一般是具有優(yōu)良導(dǎo)電性能、收集率高的 Ag、Cu、Al 等金屬材料。制作方法主要分為絲網(wǎng) 印刷和電鍍兩種方法。 絲網(wǎng)印刷：使?jié){料透過(guò)已制好柵線(xiàn)圖形的網(wǎng)膜漏印在硅片上形成上、下電極，加熱后使?jié){料中 有機(jī)溶劑揮發(fā)，形成太陽(yáng)能電池電極。 電鍍：電鍍指利用電解原理在電池片表面鍍上一層金屬薄層制作電極，它可以替代絲網(wǎng)印刷方 法制作電極。 電鍍方法技術(shù)更加復(fù)雜，同時(shí)會(huì)造成環(huán)境污染，沒(méi)有被多數(shù)光伏電池企業(yè)采納。絲網(wǎng)印刷是目 前 HJT電池金屬化制程的主流方法。HJT電池絲網(wǎng)印刷工藝和 PERC電池有差別。HJT電池由于采用了非晶硅薄膜，如果遇到高溫會(huì)導(dǎo) 致氫化效應(yīng)，影響鈍化效果，因此