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1、2)NO.作業(yè)程序掃描電子顯微鏡作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書版本號A0修訂號接收部門編號XXX-WI-RD-20簡圖要點程序目的明確掃描電子顯微鏡的操作規(guī)程,確保測量結(jié)果準(zhǔn)確有效。適用范圍適用于應(yīng)用于陶瓷材料分析、金屬材料失效分析,主要進(jìn)行顯微形貌分析。規(guī)定經(jīng)培訓(xùn)的員工可進(jìn)行操作和點檢,其他人員禁止操作。作業(yè)流程序號項目圖示作業(yè)事項1、開機(jī)械泵、壓縮機(jī),確保VI閥關(guān)閉。2、開控制柜總開關(guān),開啟電器控制系統(tǒng)電源開關(guān)。3、開啟計算機(jī),運行KYKY-EM6X00軟件系統(tǒng),并按下控制面板中的“啟動”按鈕,使按鈕變?yōu)榧t色,真空系統(tǒng)自動進(jìn)入預(yù)抽真空狀態(tài),真空指示值將顯示在控制面板上。4、控制面板上的真空指示值背景由棕色變?yōu)?/p>
2、綠色,可以開始工作。2試樣準(zhǔn)備根據(jù)實際情況選擇合適的樣品臺,制備試樣。序號項目掃描電子顯微鏡作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書版本號A0修訂號接收部門編號|XXX-WI-RD-20作業(yè)事項圖示3看像O.DV-S22441S144532501024粗謂410242.38DA燈生電釜200X8.6rnm1、點擊“V1”按鈕,按鈕變?yōu)榫G色,V1閥打開2、操作高壓滾動條加高壓,導(dǎo)電好的樣品可加到2025KV,導(dǎo)電性不好的樣品加到15KV。注意,10KV以上要慢慢逐步增加高壓,束流值為0再點擊進(jìn)度條,直到所需的數(shù)值。3、調(diào)節(jié)對比度,直到在屏幕上能看到“小麻點”,或者將數(shù)值調(diào)到50左右。操作燈絲滾動條加燈絲電流,加至2.3A后要
3、慢慢加,直至電流飽和。4、一般情況下,束流指示應(yīng)該在100左右。如果太高的話,可以調(diào)節(jié)偏壓來控制束流;太低的話,可能需要重新調(diào)節(jié)燈絲安裝位置。5、調(diào)節(jié)電對中,拖動控制面板上的電對中X、Y兩個方向的滑塊,使圖像最亮。6、調(diào)節(jié)工作距離為812,擰X、Y、R旋鈕,調(diào)節(jié)樣品位置,聚焦,消像散,使圖像清楚。1、需要更換樣品時,點擊“清零”,確認(rèn)燈絲電流、對比度和高壓都?xì)w零;關(guān)VI,按下控制面板上的“樣品室”按鈕,使按鈕變?yōu)辄S色,樣品室自動放氣。4更換樣品2、拉出樣品臺更換樣品,然后推入樣品臺,再次按下“樣品室”按鈕,按鈕變?yōu)榛疑?,樣品室自動開始抽真空;當(dāng)真空指示值背景變?yōu)榫G色,則可以開始工作。掃描電子顯
4、微鏡作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書接收部門版本號A0修訂號編號XXX-WI-RD-20序號項目作業(yè)事項更換燈絲設(shè)備運行停止關(guān)閉程序圖示1、正??聪駮r,若圖像突然變黑,彈出提示燈絲斷了的窗口,說明此時應(yīng)更換新燈絲。2、確認(rèn)燈絲電流、對比度和高壓都?xì)w零,關(guān)閉V1;按下“電子槍”按鈕,使按鈕變?yōu)辄S色,電子槍自動放氣。3、約半小時后,取下電子槍蓋帽,卸下燈絲組件,將舊燈絲拆下,用棉簽蘸上氨水仔細(xì)清洗柵帽孔周圍,換上新燈絲,燈絲組件和電子槍蓋帽重新裝好。4、按下“電子槍”按鈕,使按鈕變?yōu)榛疑?,系統(tǒng)開始抽真空,當(dāng)控制面板上的真空指示值背景由棕色變?yōu)榫G色,則可以開始工作。5、更換燈絲后一般需要進(jìn)行機(jī)械對中以及電對中的操作。1、測試完成,清零,關(guān)V1,樣品時放氣,取出樣品并清理樣品臺。再次按下“樣品室”按鈕,樣品室自動開始抽低真空;當(dāng)真空指示值背景變?yōu)榫G色。2、清零,關(guān)V1。單擊“啟動”按鈕,按鈕變?yōu)榛疑?,軟件系統(tǒng)將自動關(guān)閉各真空閥門;退出軟件,關(guān)計算機(jī)。3、關(guān)電器控制系統(tǒng)電源開關(guān),關(guān)控制柜總開關(guān),關(guān)壓縮機(jī),關(guān)機(jī)械泵。1、襯管內(nèi)裝有光闌,根據(jù)使用情況清洗
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