多晶硅潔凈室施工工法

多晶硅干凈室施工工法多晶硅干凈室施工工法多晶硅干凈室施工工法四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司多晶硅生產(chǎn)車間干凈室施工工法1．前言隨著電子、化工行業(yè)的飛迅發(fā)展，對產(chǎn)品純度的要求日益提高，而生產(chǎn)、加工環(huán)境的干凈度直接影響著產(chǎn)品的純度。干凈室從最初的生物醫(yī)藥行業(yè)漸漸擴(kuò)展至電子、化工行業(yè)。近幾年，對產(chǎn)品純度要求極高的多晶硅行業(yè)的發(fā)展與盛履行得干凈室更充分的應(yīng)用于化工領(lǐng)域。我單位依照所承建的江蘇中能硅業(yè)多晶硅一期、二期及三在即三萬平方米干凈室的施工經(jīng)驗(yàn)，總結(jié)編定本工法。其中一期、二期干凈室已查收、檢測合格，投入使用，順利產(chǎn)出合格的多晶硅，獲取了優(yōu)異的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益；三期干凈室正在緊張、有序施工?！抖嗑Ч枭a(chǎn)車間干凈室施工工法》被我公司評為2008年度施工工法一等獎(jiǎng)。2.特點(diǎn)2．1干凈室的建筑需要多個(gè)專業(yè)共同配合達(dá)成。土建專業(yè)要為建筑干凈室供應(yīng)合格的外面護(hù)結(jié)構(gòu)。干凈室的裝修資料要求壁板平坦、接縫嚴(yán)實(shí)且平坦圓滑，嚴(yán)禁有凸凹造型，陰陽角全部做成R＞50mm的圓弧角；窗戶應(yīng)與墻面平齊，不應(yīng)設(shè)置凸出墻面的踢腳；風(fēng)口、燈具采用帶密閉罩的凈化燈吸頂安裝；地面采用不產(chǎn)塵資料整系統(tǒng)作，且平坦、圓滑、防靜電。在干凈室內(nèi)明裝的管道均應(yīng)采用不銹鋼管，其連接采用氬電連焊。2．2采用本工法施工，能夠保證干凈室的施工質(zhì)量，并可大大提高工效、減少資料耗資，降低施工成本，獲取更大的經(jīng)濟(jì)效益。頁腳內(nèi)容-0-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司3.適用范圍本工法適用于以多晶硅干凈廠房為代表、其凈化要求為千級至十萬級的精巧化工、醫(yī)藥車間、電子車間等生產(chǎn)車間的施工，不適用于有特別要求的生物工程實(shí)驗(yàn)室的施工。本工法要點(diǎn)介紹干凈室裝修工程的施工內(nèi)容，對干凈室施工中的通風(fēng)、電氣、給排水等專業(yè)的施工工藝不做詳細(xì)說明。4.工藝原理經(jīng)過二次排版設(shè)計(jì)和資料采用、節(jié)點(diǎn)選型進(jìn)行施工，使干凈室內(nèi)不出現(xiàn)污染死角或氣流過濾不到的部位，沒有揚(yáng)塵。經(jīng)過凈化妝修保證干凈室達(dá)到不產(chǎn)塵、不集塵要求，擁有必然的密閉性能，保證室內(nèi)保持必然的正壓，防范外界非干凈空氣浸透造成污染。5.施工工藝流程及操作要點(diǎn)5.1施工流程施工流程依照先有塵后無塵、先上后下的原則。詳細(xì)施工順序以下：施工準(zhǔn)備→測量放線→二次排版→資料加工→可調(diào)治吊桿安裝→槽鋁安裝→壁板安裝→T型鋁安裝→頂板安裝→彩鋼板調(diào)平并固定→門窗安裝→陰陽角安裝→風(fēng)口安裝→燈具安裝→地面施工→過濾器安裝→硅膠密封→保護(hù)膜拆掉→干凈→干凈度檢測→竣工查收5.2操作要點(diǎn)5.2.1施工條件經(jīng)圖紙會(huì)審及施工現(xiàn)場勘探，土建工程屋面防水及保溫頁腳內(nèi)容-1-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司已竣工；室外門窗安裝達(dá)成，室內(nèi)易產(chǎn)生粉塵的施工內(nèi)容結(jié)束，水、電已進(jìn)入施工現(xiàn)場，廠房周圍能經(jīng)過8t以上載重汽車。5.2.2施工準(zhǔn)備施工技術(shù)準(zhǔn)備：依照業(yè)主供應(yīng)的合格施工圖及收集到的現(xiàn)場資料，結(jié)合工程特點(diǎn)，確定工程施工的管理技術(shù)人員組成、管理系統(tǒng)；熟悉、消化技術(shù)文件、設(shè)計(jì)圖紙及相關(guān)規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)，做好設(shè)計(jì)交底和圖紙會(huì)審工作，對各施工班級進(jìn)行詳細(xì)的施工技術(shù)交底。資料及設(shè)施的準(zhǔn)備：所使用資料必定吻合設(shè)計(jì)要求和施工規(guī)范規(guī)定，且擁有出廠合格證明書或相關(guān)質(zhì)量證明文件。依照設(shè)計(jì)要求擬定不同樣施工階段的供應(yīng)計(jì)劃，落實(shí)貨源，組織運(yùn)輸，安排好現(xiàn)場儲備，保證項(xiàng)目施工連續(xù)、有序進(jìn)行。施工人員的準(zhǔn)備：包括項(xiàng)目經(jīng)理部管理人員和施工工人，及由此二者組成的工程施工管理層及作業(yè)層。5.2.3測量放線測量放線是干凈室裝修施工的的基礎(chǔ)，有多個(gè)專業(yè)共同安裝施工的干凈室裝修工程施工正確性至關(guān)重要，而測量放線是施工正確性能否獲取保證的要點(diǎn)條件。由于施工中專業(yè)多、交織施工復(fù)雜，干凈室裝修測量需按一致的安裝基準(zhǔn)線進(jìn)行，以縱橫兩方向的軸線為原始基準(zhǔn)，確定一條對各專業(yè)施工最有利的安裝基準(zhǔn)線。采用激光水平儀或精度較高的水平儀進(jìn)行測量放線。在測量放線中，必定采用多點(diǎn)法確定每一個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)和基準(zhǔn)線，以保證精確度，在地面盡可能低的地方搜尋確定最高點(diǎn)，并在柱中央相對頁腳內(nèi)容-2-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司于地面最高點(diǎn)繪出500mm高的水平測量點(diǎn)。彈墨線前應(yīng)用棉線校核基準(zhǔn)點(diǎn)或參照點(diǎn)，墨線彈好后及時(shí)做好相關(guān)標(biāo)記。5.2.4二次排版依照現(xiàn)場測量放線的尺寸認(rèn)識達(dá)成的建筑實(shí)體與圖紙的誤差進(jìn)行二次排版，排版內(nèi)容包括頂板、壁板及高效過濾器、燈具、門窗的安裝地址及尺寸規(guī)格，繪出結(jié)點(diǎn)大樣圖和各部分的的詳細(xì)尺寸。排版時(shí)特別要注意考慮門窗、高效過濾器、燈具、通訊、消防、工藝管道所開孔洞與彩鋼夾芯板間的模數(shù)、地址關(guān)系及強(qiáng)度、結(jié)構(gòu)要求。對原設(shè)計(jì)圖中的門窗尺寸及地址，在二次排版時(shí)可能依照現(xiàn)場實(shí)質(zhì)進(jìn)行必然調(diào)整。在排版過程中不能夠完好依照土建工程中的建筑模數(shù)，若是門窗口寬度沒有特別嚴(yán)格的尺寸要求，能夠?qū)㈤T窗的寬度改為彩鋼板的有效寬度并提前預(yù)留，裁下的板正好可做門扇資料，這樣不僅節(jié)約資料，而且門窗縫與彩鋼夾芯板拼接縫相重合，收效雅觀。若是工藝要求門洞寬度大于彩鋼夾芯板的有效寬度，做成雙扇門且門洞地址于兩板相鄰壁板中間，裁下來的資料可做門扇。彩鋼夾芯板上電氣、工藝管道、消防、通訊等專業(yè)洞口的定位要防范在彩鋼夾芯板企口地址而降低強(qiáng)度，同時(shí)要考慮陰陽角的安裝尺寸。彩鋼夾芯板上的高效過濾器泂口口邊的寬度不得太窄，若洞口邊寬度太窄，人上吊頂時(shí)，由于彩鋼板頂板的強(qiáng)度降低而存在嚴(yán)重的安全隱患。5.2.5已完裝修工程的保護(hù)保護(hù)好已達(dá)成的裝修工程表面，不得因撞擊、敲打、踩踏、頁腳內(nèi)容-3-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝修的污染。壁板安裝過程中不得撕下壁板表面塑料保護(hù)膜，嚴(yán)禁撞擊和踩踏板面。全部穿過干凈室的管道、設(shè)施在與彩鋼夾芯板接口處均密封辦理。5.2.6節(jié)點(diǎn)彩鋼板安裝中主要的節(jié)點(diǎn)有：彩板與干凈燈具的節(jié)點(diǎn)、彩板與過濾器的接點(diǎn)、彩板與密閉窗門的接點(diǎn)、彩板與百頁風(fēng)口的接點(diǎn)、頂板的節(jié)點(diǎn)、壁板的節(jié)點(diǎn)等。節(jié)點(diǎn)連接形式有多種，這里僅以其中一類為例說明（詳見圖），詳細(xì)接點(diǎn)形式的采用，可依照現(xiàn)場情況靈便采用。液槽密封高效送風(fēng)口燈具安裝節(jié)點(diǎn)回風(fēng)墻迎風(fēng)管節(jié)點(diǎn)墻與吊頂節(jié)點(diǎn)墻與地面節(jié)點(diǎn)墻與玻璃節(jié)點(diǎn)門與地面節(jié)點(diǎn)回風(fēng)口節(jié)點(diǎn)5.2.6.1壁板與地面：按圖紙開間尺寸彈出墨線，用電錘間距300mm～500mm鉆眼，用膨脹螺栓固定槽鋁，壁板依照公母口方向按序次安裝。在壁板和地面施工達(dá)成后安裝陰角條，最后用硅膠密閉縫隙。墻角應(yīng)垂直交接，防范累積誤差造成壁板傾斜扭曲，壁板的垂直度誤差不應(yīng)大于０.２％。（如圖）頁腳內(nèi)容-4-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司凈化彩鋼板壁板密封膠槽鋁鋁合金陰角條環(huán)氧自流平川面膨脹螺栓0（PVC地面）5土建地坪壁板與地面節(jié)點(diǎn)5.2.6.2壁板與頂板連接：在壁板上端用抽芯固定槽鋁并用自攻螺絲與頂板連接，室內(nèi)側(cè)安裝鋁合金陰陽角，用硅膠密封（如圖）。槽鋁凈化彩鋼板頂板凈化彩鋼板頂板陰角條密封膠陰角條陰角條凈化彩鋼板壁板固定架凈化彩鋼板壁板壁板與頂板節(jié)點(diǎn)5.2.6.3頂板與現(xiàn)澆板：依照二次排版的頂板部署圖用電錘在現(xiàn)澆板上間距1.2m～1.5m鉆眼，吊桿一般采用鍍鋅或不銹鋼拉絲柑，吊桿上端焊接50mm的角鋼。用膨脹螺栓固定在現(xiàn)澆板上。頁腳內(nèi)容-5-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司吊桿中間設(shè)置花籃調(diào)治螺栓，用以調(diào)治頂板的水平或起坡坡度。吊桿下端焊接T型鋁，頂板放置在T型鋁上，并用角鋁壓緊，角鋁與T型鋁用抽芯鉚釘固定，并用膠密封。（如圖）。膨脹螺栓調(diào)治螺栓專用特種鋁型定位螺帽材大梁T形型連接角鋁凈化彩鋼板頂板頂板與建筑墻面：工藝同壁板與地面節(jié)點(diǎn)（如圖）。用乳膠漆封閉墻柱面后方可安裝彩鋼板，陰陽角安裝達(dá)成后縫隙用硅膠密封（如圖）。槽鋁凈化彩鋼板頂4射釘板陰角條固定架陰角條5.2.6.5門窗節(jié)點(diǎn)：凈化彩鋼門一般采用不銹鋼或鋁合金門框，頁腳內(nèi)容-6-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司在門扇底端設(shè)置掃地密封條，材質(zhì)有橡膠類、皮革類等，底部縫隙高度5mm～10mm，掃地條長度約為縫隙的1.5倍～２.5倍（如圖－1）；密閉門門扇掃地密封條環(huán)氧自流平川面（PVC卷材地面）窗有單層密閉窗（如圖－2）和雙層密閉窗（如圖3）兩種，雙層密閉窗在彩鋼板壁板安裝時(shí)起初將窗洞口留設(shè)出來，用鋁合金型材進(jìn)行包邊，爾后按以下圖粘貼雙面膠，此后現(xiàn)場測量洞口尺寸，按尺寸下料白玻璃，玻璃尺寸要比洞口每邊少5mm，最后用扣條壓蓋并用硅膠密封。單層密閉窗同樣在安裝壁板時(shí)留設(shè)窗洞口，先將內(nèi)側(cè)不銹鋼框架安裝并用鉚釘固定打膠密封，爾后安裝白玻璃或防火玻璃。安裝外側(cè)不銹鋼框架，玻璃與框架間的縫隙用密封條密閉，框架與彩鋼板縫隙用膠密閉。頁腳內(nèi)容-7-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司6厚鋼化玻璃硅膠雙面膠密封條鋁合金雙層不銹鋼窗框玻璃窗5mm厚白玻璃龍骨門扇硅膠密封雙面膠密封條鋁合金型材金屬壁板密封條

6厚鋼化玻璃（20厚防火玻璃）不銹鋼框壁板回風(fēng)夾道依照設(shè)計(jì)凈化風(fēng)量設(shè)置回風(fēng)夾道的尺寸和地址（如圖－4）頁腳內(nèi)容-8-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司5.2.6.6過濾器、燈具與彩鋼板：干凈燈具及過濾器依照二次排版的平面部署圖在頂板安裝前開孔，留設(shè)過濾器和燈具的安裝地址（如圖5.2.6.6）。干凈燈具宜采用吸頂式、易干凈的、不易積塵的燈具。過濾器每個(gè)框架需設(shè)置四根吊筋，且吊筋不得承載其他構(gòu)件，過濾器框架從室內(nèi)用繩子吊上去人工校正后用螺栓固定到頂板上，防范位移，承重要靠吊筋，不得用頂板承重。安裝達(dá)成后進(jìn)行沖洗并用薄膜保護(hù)，過濾器在凈化系統(tǒng)調(diào)試運(yùn)轉(zhuǎn)48小時(shí)后方可進(jìn)行安裝。過濾器安裝后干凈室必定按規(guī)范要求進(jìn)行管理，防范管理不當(dāng)對過濾器造成耗費(fèi)或損壞。頁腳內(nèi)容-9-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司可調(diào)螺栓膨脹螺栓專用特種鋁可調(diào)螺栓型材大梁高效送風(fēng)口定位螺帽頂板上分線盒、穿線管凈化室密閉吸頂式凈化熒光燈單層窗戶5.2.6.7干凈室PVC地面：用石磨機(jī)打磨地面，并用吸塵器清理灰塵及沙粒；自流平水泥，經(jīng)充分?jǐn)嚢杈鶆蚝?，呈稀和狀倒在地面，用工具刮涂均勻，厚度約2-3mm。待干透后，表面用磨光機(jī)打磨一遍，灰塵清理干凈。地面干燥后進(jìn)行放線、涂膠：確定地板基準(zhǔn)線，采用雙組分防水膠，經(jīng)充分?jǐn)嚢韬蠊瓮坑诟蓛舻孛?，依照地面地址，涂膠先后序次，留出合理的施工通道。正常環(huán)境低等候時(shí)間為15－20分鐘后開始鋪設(shè)；將資料鋪設(shè)在濕的膠水上，施預(yù)壓力使其粘接住，地板安裝達(dá)成一部分后，要馬上使用50公斤組合滾筒將地板壓平；安裝達(dá)成后，打掃或使用吸塵器將地面全部殘留物除去干凈，保證房間通風(fēng)，使膠水干燥，剛鋪好24小時(shí)后進(jìn)行打臘，沖洗機(jī)對竣工PVC地面進(jìn)行完好沖洗，地面水吸干后用專用蠟水涂抹均勻。打蠟后8小時(shí)即可投入使用，竣工前宜用薄膜覆蓋防范污染。6．資料及施工機(jī)具干凈室壁板及頂板要求防靜電、耐腐化、易干凈、不產(chǎn)塵、頁腳內(nèi)容-10-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司不集塵、接縫少，依照工藝要求不同樣采用不同樣材質(zhì)的彩鋼夾芯板，一般有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯資料、石膏板、巖棉板、紙蜂窩板、鋁蜂窩板等。厚度一般50mm～80mm不等。地面裝修資料要求擁有優(yōu)異的耐磨性能、防滑、防靜電、耐腐化、易干凈、不易起塵開裂、二次施工簡略、接縫少或無接縫。干凈室常用的裝修資料有嵌銅條水磨石地面、環(huán)氧自流平川面、防靜電PVC地板和聚氯乙烯軟板等。干凈室施工的主要工機(jī)具見下表6-1序號名稱1交流焊機(jī)2氬弧焊機(jī)3液壓起落機(jī)4工業(yè)吸塵器5切割機(jī)6沖擊鉆7手電鉆8鉚釘槍9水平尺、線垂10灰塵粒子計(jì)數(shù)器11熱球式風(fēng)速儀12補(bǔ)償式微壓計(jì)13通風(fēng)干濕球溫度計(jì)

規(guī)格型號單位數(shù)量BX3-300臺2NSA4-300臺1YSD-300臺1GM80臺1TC-4QPVC臺1GBH3-28E臺3φ6臺8YWJ-D把13把6y09-6臺1EY3-2A只2YJB-150臺2DHM2只1頁腳內(nèi)容-11-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司7.工程質(zhì)量控制措施7.1資料控制措施進(jìn)場設(shè)施、資料的檢查查收。在訂購設(shè)施、資料前，詳細(xì)認(rèn)識生產(chǎn)廠家的各種有效證件；設(shè)施、資料進(jìn)場后，會(huì)同業(yè)主及監(jiān)理人員進(jìn)行查收。7.1.2彩鋼夾芯板分批次運(yùn)輸入場，依照尺寸大小分別水平存放在車間平坦地面處，下部墊防潮軟質(zhì)資料，并用彩條布覆蓋。堆放時(shí)起初依照二次設(shè)計(jì)圖的用料需求，按序次堆放，省得因多次翻找造成板面的劃痕。7.1.3彩鋼夾芯板在堆放時(shí)注明生產(chǎn)批次，省得在同一干凈室內(nèi)產(chǎn)生色差。安裝過程中安排專人打掃施工現(xiàn)場，省得造成板面的劃傷。7.1.4彩鋼夾芯板的配套型材，要依照種類分架放置，省得造成不能恢復(fù)的壓痕，影響安裝質(zhì)量。7.1.5在彩鋼夾芯壁板明顯地址張貼口號，提示其他專業(yè)施工單位做好成品保護(hù)，并在壁板轉(zhuǎn)角等易碰撞地址包裹橡塑板等軟質(zhì)資料，防范彩鋼夾芯板被撞損。7.2施工過程控制干凈室建筑擁有技術(shù)含量高、專業(yè)施工交織多等特點(diǎn)，若是采用傳統(tǒng)的“秋后算賬”式質(zhì)量控制方法，只重申中間查收、竣工查收的相關(guān)數(shù)據(jù)達(dá)標(biāo)，而對施工過程的動(dòng)向控制力度不夠，會(huì)造成查收資料合格但實(shí)質(zhì)工程不合格的現(xiàn)象。所以，經(jīng)過提高頁腳內(nèi)容-12-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司二次排版、資料采用、節(jié)點(diǎn)選型等施工技術(shù)，加強(qiáng)施工過程中動(dòng)態(tài)質(zhì)量控制是保證干凈室施工質(zhì)量的有效方法。施工過程中的動(dòng)態(tài)質(zhì)量控制也是干凈室施工的技術(shù)難點(diǎn)之所在。7.2.1施工前環(huán)境控制：凈化空調(diào)系統(tǒng)施工前，屋面防水工程和外面結(jié)構(gòu)達(dá)成，外門、外窗安裝達(dá)成。施工現(xiàn)場環(huán)境交由負(fù)責(zé)凈化工程施工的公司管理，組織人員對室內(nèi)地面、柱、墻、空間進(jìn)行一次完好打掃，達(dá)到干凈無塵后方可開始施工。7.2.2干凈室的密封控制：干凈工藝房間內(nèi)的空氣壓力必定保證有對于室外大氣為正壓，防范室外非干凈空氣浸透室內(nèi)影響室內(nèi)干凈度。干凈房間的嚴(yán)實(shí)性對房間正壓值的保持和干凈度的保證擁有決定性的影響。車間干凈區(qū)的房間采用凈化彩鋼夾心板作為房間圍護(hù)結(jié)構(gòu)資料，板材與板材之間的拼縫均涂密封膠，并要達(dá)到嚴(yán)實(shí)不漏風(fēng)。干凈房間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)按規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行工序交接查收，合格后方可對穿越圍護(hù)結(jié)構(gòu)的管線進(jìn)行開孔安裝。機(jī)電安裝工程中必定在壁板上開孔安裝的插座、開關(guān)、煙感探測器、廣播喇叭、監(jiān)控?cái)z像頭、照明開關(guān)箱、消火栓箱等部件，其箱體與壁板之間用密封膠進(jìn)行密封，箱體中各種管道與箱體之間必定采用可靠和有效的密封措施。7.2.3干凈房間空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管和設(shè)施的干凈控制：施工過程中必定重視對風(fēng)管和空調(diào)部件的沖洗，安裝后須防范再次污染。風(fēng)管制作前必定用中性沖洗劑擦洗其表面油污，再用清水沖洗晾干。風(fēng)管加工應(yīng)在干凈、無風(fēng)沙的室內(nèi)操作間進(jìn)行，工作臺上應(yīng)頁腳內(nèi)容-13-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司鋪設(shè)地毯或橡膠板，防范鐵皮表面鍍鋅層劃傷。應(yīng)用干凈半干抹布擦拭風(fēng)管內(nèi)表面，再用白綢布檢查內(nèi)表面沖洗質(zhì)量，白綢布揩擦后不留任何灰跡、油漬即為沖洗合格。風(fēng)管管段加工沖洗合格后，用塑料薄膜封好管段兩端再運(yùn)至安裝現(xiàn)場，全部風(fēng)管配件及設(shè)施在安裝前必定擦拭干凈，否則不得安裝。凈化空調(diào)的全部送風(fēng)管和回風(fēng)管均進(jìn)行漏風(fēng)量測試，檢測合格后方可進(jìn)行下一道工序施工。干凈室和空調(diào)送回風(fēng)管道應(yīng)在高效過濾器安裝前達(dá)到清潔要求，凈化空調(diào)系統(tǒng)必定連續(xù)試運(yùn)轉(zhuǎn)（空吹）12小時(shí)以上，空吹后再對送回風(fēng)管和組合式空調(diào)器內(nèi)進(jìn)行打掃和擦洗干凈。每臺安裝于5級干凈區(qū)的高效過濾器在安裝前應(yīng)進(jìn)行檢漏，檢漏合格后方可安裝。7.3竣工查收干凈室的工程查收分為兩個(gè)階段進(jìn)行，先進(jìn)行竣工查收，再進(jìn)行綜合性能全面評定。7.3.2竣工查收和綜合性能全面評定必定對干凈室進(jìn)行性能檢測。7.3.3干凈室的檢測在空態(tài)、靜態(tài)下進(jìn)行（動(dòng)向檢測因超出了干凈室施工單位控制的范圍，一般不做為干凈室竣工檢測依據(jù)。）?？諔B(tài)：設(shè)施已經(jīng)建成，全部動(dòng)力接通并運(yùn)轉(zhuǎn)，但無生產(chǎn)設(shè)備、資料及人員。靜態(tài)：設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)施已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商贊成的狀態(tài)運(yùn)轉(zhuǎn)，但無生產(chǎn)人員。綜合性能全面評定的檢測狀態(tài)，由建設(shè)、設(shè)計(jì)和施工單位三方協(xié)商確定。檢測頁腳內(nèi)容-14-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司得出的干凈度級別，并注明檢測狀態(tài)。7.3.4在空態(tài)及靜態(tài)條件下檢測時(shí)，室內(nèi)檢測人員不多于２人，均必定穿干凈工作服，盡量少走動(dòng)。7.3.5綜合性能全面評定由建設(shè)單位負(fù)責(zé)，設(shè)計(jì)、施工單位配合，有資格的第三方檢測單位進(jìn)行綜合性能全面評定檢測。該項(xiàng)工作應(yīng)在干凈室各系統(tǒng)已調(diào)試達(dá)成，牢固運(yùn)轉(zhuǎn)24h以上后方可進(jìn)行。檢測前再次全面干凈干凈室，按以下內(nèi)容逐項(xiàng)進(jìn)行檢測：送風(fēng)量、靜壓差、空氣干凈度級別、室內(nèi)溫度和相對濕度、室內(nèi)噪聲級、室內(nèi)照度及均勻度，依照工藝需要如有必要還需加測：浮游菌和沉降菌、室溫顛簸范圍和地域溫差、室內(nèi)倍頻程聲壓級、室內(nèi)微振、表面導(dǎo)靜電性能、室內(nèi)氣流流型、自凈時(shí)間等。詳細(xì)檢測操作過程由第三方檢測單位進(jìn)行，這里不做說明。7.3.6竣工查收應(yīng)在對各分部工程做外觀檢查、單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)、系統(tǒng)結(jié)合試運(yùn)轉(zhuǎn)，空態(tài)或靜態(tài)條件下的干凈室性能檢測和調(diào)整以及對相關(guān)的施工檢查記錄審查合格后進(jìn)行。7.3.7竣工查收的檢測結(jié)果應(yīng)全部吻合設(shè)計(jì)要求，其檢測項(xiàng)目吻合室內(nèi)干凈度級別要求，滿足現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《干凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001、《干凈室施工及查收規(guī)范》JGJ71-90及《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量查收規(guī)范》GB50243-2002的要求。安全措施8.1建立完滿的安全生產(chǎn)組織機(jī)構(gòu)及規(guī)章制度，裝備專職安全員負(fù)責(zé)安全管理工作。8.2施工作業(yè)人員進(jìn)廠時(shí)必定經(jīng)過三級安全教育，教育施工頁腳內(nèi)容-15-四川新光硅業(yè)有限責(zé)任公司人員在施工過程中做到不傷害他人、不傷害自己、不被他人傷害?，F(xiàn)場設(shè)置安全警示牌。8.3進(jìn)入施工現(xiàn)場必定一致穿工作服，帶好安全帽，系好下額帶，登高作業(yè)必定系安全帶。在施工現(xiàn)場室內(nèi)工作時(shí)嚴(yán)禁吸煙，嚴(yán)禁酒后進(jìn)入施工現(xiàn)場。8.4施工需搭設(shè)腳手架時(shí)，所搭設(shè)的腳手架必定經(jīng)專職安全員確認(rèn)安全可靠后方可使用，施工所用工具應(yīng)放入工具袋內(nèi)，不能夠隨手放在腳手架上。8.5施工用電必定采用三相五線，配電箱必定牢固且有可靠接地。8.