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文檔簡介
96/96設(shè)備精度調(diào)整1.2機(jī)器參數(shù)的示教步驟在進(jìn)行示教前,請確認(rèn)偏振光板沒有安裝在吸頭照相機(jī)上。各“機(jī)器參數(shù)的示教”畫面可以按以下步驟打開。1.按<主菜單>畫面的<機(jī)器參數(shù)菜單>畫面將顯示出來2.按[機(jī)器參數(shù)示教]鍵
3.按操作面板的<機(jī)器參數(shù)的示教菜單>畫面將顯示出來4.按進(jìn)行示教的參數(shù)鍵?此處舉一個(gè)例子,按[基板識(shí)別照相機(jī)XY軸原點(diǎn)偏移量]鍵5.選擇進(jìn)行示教的工作臺(tái)6.按照畫面的提示,開始機(jī)器參數(shù)的示教
1.2.1基板識(shí)別照相機(jī)·XY軸原點(diǎn)偏移量1.按[基板識(shí)別照相機(jī)XY軸原點(diǎn)偏移量]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.按操作面板的+[固定標(biāo)志位置移動(dòng)]鍵吸頭照相機(jī)將移動(dòng)到標(biāo)記位置4.按操作面板的+[照相機(jī)角度示教]
5.按操作面板的+[XY軸原點(diǎn)偏移量照相機(jī)倍率示教]鍵。?重復(fù)步驟2.~5的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作。6.按功能鍵?;氐?lt;機(jī)器參數(shù)示教菜單>畫面
1.2.2Z軸原點(diǎn)偏移量A)高速吸頭(8個(gè)吸嘴)時(shí)A)在使用8根130號(hào)吸嘴時(shí)(整體示教)1.按[Z軸原點(diǎn)偏移量]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.按操作面板的+[原點(diǎn)復(fù)歸]鍵
4.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵5.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)6.打開安全蓋7.在整個(gè)吸嘴位置上安裝130號(hào)吸嘴8.關(guān)閉安全蓋9.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)10.按操作面板的+[高度原點(diǎn)示教]鍵11.按操作面板的+[卸下夾具]鍵12.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)13.打開安全蓋14.取下吸嘴15.關(guān)閉安全蓋16.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~16.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作
17.按功能鍵18.按操作面板的+[執(zhí)行]鍵
B)使用1根130號(hào)吸嘴時(shí)(每個(gè)吸嘴的示教)1.按[Z軸原點(diǎn)偏移量]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.按[每個(gè)吸嘴]鍵4.按操作面板的+[原點(diǎn)復(fù)歸]鍵5.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵
6.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)7.打開安全蓋8.在畫面所顯示的吸嘴位置上安裝130號(hào)吸嘴9.關(guān)閉安全蓋10.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)11.按操作面板的+[高度原點(diǎn)示教]鍵12.重復(fù)步驟5.~11.的操作,在吸嘴位置2到吸嘴位置8之間進(jìn)行示教
13.按操作面板的+[卸下夾具]鍵14.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)15.打開安全蓋16.取下吸嘴17.關(guān)閉安全蓋18.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~18.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作19.按功能鍵
20.按操作面板的+[執(zhí)行]鍵?吸頭移向原點(diǎn)位置
B)多功能吸頭(3個(gè)吸嘴)時(shí)A)使用3根1003號(hào)吸嘴時(shí)(整體示教)1.按[Z軸原點(diǎn)偏移量]鍵。2.選擇示教工作臺(tái)。3.按操作面板的+[原點(diǎn)復(fù)歸]鍵。
4.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵5.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)6.打開安全蓋7.將1003號(hào)吸嘴安裝在全部吸嘴位置上8.關(guān)閉安全蓋9.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)10.按操作面板的+[高度原點(diǎn)示教]鍵
11.按操作面板的+[卸下夾具]鍵12.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)13.打開安全蓋14.取下吸嘴15.關(guān)閉安全蓋16.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~16.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作17.按功能鍵
18.按操作面板的+[執(zhí)行]鍵
B)使用1根1003號(hào)吸嘴時(shí)(對每個(gè)吸頭進(jìn)行示教)1.按[Z軸原點(diǎn)偏移量]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.按[每個(gè)吸頭]鍵4.按[吸頭No]鍵。示教的號(hào)碼將顯示出來。反復(fù)按動(dòng)該鍵,一直到要進(jìn)行示教的吸頭的號(hào)碼顯示出來為止5.按操作面板的+[原點(diǎn)復(fù)歸]鍵
6.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵7.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)8.打開安全蓋9.將1003號(hào)吸嘴安裝在畫面所示的位置上10.關(guān)閉安全蓋11.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)12.按操作面板的+[高度原點(diǎn)示教]鍵13.重復(fù)步驟4.~12.的操作,在吸頭位置1到吸頭位置3之間進(jìn)行示教
14.按操作面板的+[卸下夾具]15.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)16.打開安全蓋17.取下吸嘴18.關(guān)閉安全蓋19.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~19.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作20.按功能鍵
21.按操作面板的+[執(zhí)行]鍵吸頭移向原點(diǎn)位置
1.2.3芯片識(shí)別照相機(jī)·θ軸原點(diǎn)偏移量高速吸頭(8個(gè)吸嘴)1.按[芯片識(shí)別照相機(jī)θ軸原點(diǎn)偏移量]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵吸頭移動(dòng)到量具設(shè)置位置之后,伺服開關(guān)將自動(dòng)置于OFF狀態(tài)4.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)5.打開安全蓋
6.將量具置于3號(hào)吸嘴位置上?多功能吸頭時(shí)將置于吸頭No1上7.關(guān)閉安全蓋8.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)9.按操作面板的+[θ軸原點(diǎn)偏移量照相機(jī)倍率示教]鍵
10.觀察吸嘴座的方向,不為0時(shí)按[是]鍵,0狀態(tài)時(shí)按[否]鍵高速吸頭(固定螺釘為正面=0)多功能吸頭(爪在左側(cè)=0)11.按操作面板的+[照相機(jī)角度示教]鍵?當(dāng)角度偏移量超過規(guī)定值時(shí),將會(huì)出現(xiàn)相應(yīng)的提示,裝置將停止運(yùn)行12.按操作面板的+[識(shí)別位置示教]鍵13.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)14.打開安全蓋15.將量具重新安裝在6號(hào)吸嘴位置上16.關(guān)閉安全蓋17.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)18.按操作面板的+[執(zhí)行]鍵
19.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵20.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)21.打開安全蓋22.將量具置于吸嘴位置4上(畫面上的顯示為pos4)此時(shí),pos顯示為4?多功能吸頭時(shí),置于吸嘴No1上23.關(guān)閉安全蓋24.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)
25.按操作面板的+[吸嘴角度原點(diǎn)偏移量]鍵26.重復(fù)步驟19.~25.的操作,進(jìn)行示教操作,一直到吸嘴位置顯示為2?多功能吸頭時(shí)所作示教應(yīng)使吸嘴位置一直顯示為3的狀態(tài)27.按操作面板的+[卸下夾具]鍵28.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)29.打開安全蓋30.卸下夾具31.關(guān)閉安全蓋32.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~32.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作33.按功能鍵34.按操作面板的+[執(zhí)行]鍵?吸頭移向原點(diǎn)位置
1.2.4寬度調(diào)整軸的原點(diǎn)偏移量請將支撐銷全部取下。1.按[寬度調(diào)整軸原點(diǎn)偏移量]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.按操作面板的+[原點(diǎn)復(fù)歸]鍵寬度調(diào)整軸將復(fù)歸到原點(diǎn)位置上4.按操作面板的+或者+轉(zhuǎn)動(dòng)寬度調(diào)整軸,在用游標(biāo)測量傳送帶寬度的同時(shí)將寬度調(diào)整到460.5mm~460.7mm按[鍵速率]鍵,可以改變每次按動(dòng)或者的動(dòng)作量0.01mm→0.1mm→1mm
5.調(diào)整結(jié)束后,按[偏移量設(shè)定]鍵示教結(jié)果將被保存?重復(fù)步驟2.~5.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作6.按功能鍵回到<機(jī)器參數(shù)示教菜單>畫面
1.2.5確定基板位置及實(shí)裝高度高速吸頭(8個(gè)吸嘴)請將支撐銷全部取下?在進(jìn)行基板定位、實(shí)裝高度示教前,請確認(rèn)偏振光板沒有安裝在吸頭照相機(jī)上。1.按[基板定位實(shí)裝高度]鍵在這里,有時(shí)可以進(jìn)行傳送帶寬度的調(diào)整2.選擇示教工作臺(tái)3.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵
4.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)5.打開安全蓋6.將吸嘴(130號(hào))安裝在吸嘴位置3號(hào)上?多功能吸頭時(shí)是1003號(hào)7.關(guān)閉安全蓋8.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)9.按操作面板的+[量具調(diào)整]鍵吸頭退避,第2實(shí)裝位置的基板止動(dòng)器將處于ON狀態(tài)10.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)11.打開安全蓋
12.將實(shí)裝高度量具1置于第2實(shí)裝位置上將量具孔置于下圖位置上自左到右,外側(cè)基準(zhǔn)自左到右,內(nèi)側(cè)基準(zhǔn)自右到左,外側(cè)基準(zhǔn)自右到左,內(nèi)側(cè)基準(zhǔn)13.關(guān)閉安全蓋14.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)15.按操作面板的+[基板定位示教]鍵。進(jìn)行示教操作16.按操作面板的[實(shí)裝高度示教]進(jìn)行示教操作17.按操作面板的+[量具調(diào)整]鍵吸頭退避,第1實(shí)裝位置的基板止動(dòng)器將處于ON狀態(tài)18.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)19.打開安全蓋20.卸下第2實(shí)裝位置上的實(shí)裝高度量具1將量具置于第1實(shí)裝位置上請將量具孔置于下圖位置上
自左到右,外側(cè)基準(zhǔn)自左到右,內(nèi)側(cè)基準(zhǔn)自右到左,外側(cè)基準(zhǔn)自右到左,內(nèi)側(cè)基準(zhǔn)21.關(guān)閉安全蓋22.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)23.按操作面板的+[基板定位示教]鍵進(jìn)行示教操作24.按操作面板的+[實(shí)裝高度示教]鍵。進(jìn)行示教操作
25.按操作面板的+[卸下夾具]鍵26.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)27.打開安全蓋28.拆卸吸嘴和實(shí)裝高度量具29.關(guān)閉安全蓋30.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)。?重復(fù)步驟2.~29.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作31.按功能鍵
32.按操作面板的[執(zhí)行]鍵?吸頭移向原點(diǎn)位置
1.2.6面補(bǔ)正?在進(jìn)行面補(bǔ)正示教前,請確認(rèn)偏振光板沒有安裝在吸頭照相機(jī)上1.按[面補(bǔ)正]鍵2.選擇示教工作臺(tái)?請選擇AF或BF?前側(cè)示教完之后接著示教后側(cè),以使整體都得到示教3.按操作面板的+[量具設(shè)置]鍵4.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)5.打開安全蓋
6.先將面補(bǔ)正量具暫時(shí)放到與止動(dòng)器相反方向的傳送帶上,然后使之滑動(dòng)到Z夾具的下方,推碰到止動(dòng)器上7.關(guān)閉安全蓋8.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)9.按操作面板的+[量具調(diào)整]鍵10.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)11.打開安全蓋12.使面補(bǔ)正量具緊貼在Y方向基準(zhǔn)導(dǎo)軌上
13.關(guān)閉安全蓋14.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)15.按操作面板的+[面補(bǔ)正示教]鍵?先進(jìn)行前側(cè)示教,接著進(jìn)行后側(cè)的示教16.按操作面板的+[卸下夾具]鍵17.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)18.打開安全蓋19.將量具拆下
20.關(guān)閉安全蓋21.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~21.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作22.按功能鍵23.按操作面板的+[執(zhí)行]鍵?吸頭移向原點(diǎn)位置
1.2.7吸著位置?在進(jìn)行吸著位置示教前,請確認(rèn)偏振光板沒有安裝在吸頭照相機(jī)上。1.按[吸著位置]鍵2.選擇示教工作臺(tái)此時(shí),請確認(rèn)是否已選擇好‘XY’和‘Z’(反轉(zhuǎn)表示)工作臺(tái)3.確認(rèn)是否處于‘左工作臺(tái)示教位置’狀態(tài)當(dāng)處在‘右工作臺(tái)示教位置’時(shí),按一下按鈕就會(huì)回到‘左工作臺(tái)示教位置’4.按操作面板上的+[量具設(shè)置]鍵5.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)6.打開安全蓋
7.把吸著位置量具1安裝在所選工作臺(tái)的左側(cè)第2個(gè)插槽上8.將130號(hào)吸嘴安裝在吸嘴位置3上多功能吸頭時(shí)是1003號(hào)吸嘴9.關(guān)閉安全蓋10.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)11.按操作面板上的+[吸著位置示教]鍵
12.按[示教位置左工作臺(tái)]鍵畫面的顯示將會(huì)切換為‘示教位置中工作臺(tái)’13.按操作面板上的+[量具設(shè)置]鍵14.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)15.打開安全蓋
16.將吸著位置治具1移至選擇工作臺(tái)的14號(hào)插槽17.關(guān)閉安全蓋18.將伺服開關(guān)置于ON19.按操作面板的[吸著位置示教]
20.按[示教位置中工作臺(tái)]21.按操作面板的[量具設(shè)置]22.將伺服開關(guān)置于OFF23.打開安全蓋
24.把吸著位置量具1移動(dòng)到所選的工作臺(tái)右端27號(hào)插槽上25.關(guān)閉安全蓋26.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)27.按操作面板上的+[吸著位置示教]鍵
28.按操作面板上的+[卸下夾具]鍵29.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)30.打開安全蓋31.卸下夾具32.關(guān)閉安全蓋33.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~33.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作34.按功能鍵
35.按操作面板上的+[執(zhí)行]鍵?吸頭將移到原點(diǎn)位置上
1.2.8吸嘴交換位置測定吸嘴交換器位置的量具?在進(jìn)行吸嘴交換位置示教前,請確認(rèn)偏振光板沒有安裝在吸頭照相機(jī)上。1.按[吸嘴交換位置]鍵
?以下畫面是高速吸頭時(shí)操作步驟的例示。多功能吸頭的操作步驟也與此一樣。2.選擇示教工作臺(tái)3.按操作面板上的+[量具設(shè)置]鍵
4.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)5.打開安全蓋6.清除吸嘴交換器內(nèi)全部吸嘴7.在11號(hào)和66號(hào)吸嘴交換器上安裝吸嘴交換器位置量具,是多功能吸頭時(shí),安裝11號(hào)和35號(hào)吸嘴8.在3號(hào)吸嘴位置上安裝吸嘴(130號(hào)),是多功能吸頭時(shí),在3號(hào)吸頭上安裝吸嘴(1003號(hào))9.關(guān)閉安全蓋10.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)11.按操作面板上的+[交換位置示教]鍵
12.按操作面板上的+[高度示教]鍵13.按操作面板上的+[卸下夾具]鍵14.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)15.打開安全蓋16.卸下吸嘴和吸嘴交換器位置上的量具17.關(guān)閉安全蓋18.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)?重復(fù)步驟2.~18.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作19.按功能鍵20.按操作面板上的+[執(zhí)行]鍵?吸頭將移動(dòng)到原點(diǎn)位置上
1.2.9照明亮度1.按[照明亮度]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.將量具安裝在吸嘴位置3號(hào)上1多功能吸頭用量具2高速吸頭用量具
4.按操作面板上的+[透射照明示教]鍵5.按操作面板上的+[卸下夾具]鍵?重復(fù)步驟2.~5.的操作,在其它工作臺(tái)上也要進(jìn)行同樣的操作
1.2.10負(fù)荷吸頭■只限多功能吸頭(3個(gè)吸嘴)1.按[負(fù)荷吸頭]鍵2.選擇示教工作臺(tái)3.按操作面板上的+[量具設(shè)置]鍵4.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)5.打開安全蓋
6.將量具1安裝在實(shí)裝工作臺(tái)上7.關(guān)閉安全蓋8.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)。9.確認(rèn)‘吸頭No’的顯示是否已變?yōu)槭窘涛^的號(hào)碼要轉(zhuǎn)換顯示狀態(tài)時(shí),請擊點(diǎn)按鈕一直到吸頭No顯示出想要的號(hào)碼10.按操作面板上的+[設(shè)置吸嘴]鍵
11.將伺服開關(guān)置于OFF狀態(tài)12.打開安全蓋13.將1003號(hào)吸嘴安裝到示教吸頭上14.關(guān)閉安全蓋15.將伺服開關(guān)置于ON狀態(tài)16.按量具顯示器上的ESC鍵1使MAX顯示旁邊的左側(cè)燈亮起17.按顯示器的RESET/TEACH鍵218.按操作面板上的+[負(fù)荷示教(50)]鍵
19.按[輸入示教數(shù)據(jù)]鍵20.在光標(biāo)(反轉(zhuǎn)表示)欄上,輸入量具顯示器的
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