光柵式傳感器辯向

關于光柵式傳感器辯向第一頁，共二十七頁，2022年，8月28日什么是光柵在玻璃或者金屬上進行刻畫，可以得到一系列密集刻線，這種具有周期性的刻線分布的光學元件稱為光柵。光柵也稱衍射光柵。它是一塊刻有大量平行等寬、等距狹縫(刻線)的平面玻璃或金屬片。光柵的狹縫數(shù)量很大，一般每毫米幾十至幾千條。單色平行光通過光柵每個縫的衍射和各縫間的干涉，形成暗條紋很寬、明條紋很細的圖樣，這些銳細而明亮的條紋稱作譜線。譜線的位置隨波長而異，當復色光通過光柵后，不同波長的譜線在不同的位置出現(xiàn)而形成光譜。光通過光柵形成光譜是單縫衍射和多縫干涉的共同結果。第二頁，共二十七頁，2022年，8月28日計量光柵的種類第三頁，共二十七頁，2022年，8月28日莫爾條紋

計量光柵是利用光柵的莫爾條紋進行精密測量的。莫爾條紋就是光柵式傳感器工作的原理。莫爾條紋通常是由兩塊光柵疊加形成的。第四頁，共二十七頁，2022年，8月28日莫爾條紋原理圖在這些白色透光處兩光柵透光部分疊加所以形成了亮帶，而在黑色遮光處兩光柵不透光部分進行疊加形成了暗帶。這種由光柵重疊形成的圖案稱為莫爾條紋。第五頁，共二十七頁，2022年，8月28日長光柵莫爾條紋的周期為：其中：標尺光柵也稱主光柵1的光柵常數(shù)；：指示光柵2的光柵常數(shù)；：兩光柵的夾角；第六頁，共二十七頁，2022年，8月28日莫爾條紋重要的性質1.運動的對應關系當主光柵向右邊運動一個柵距時，莫爾條紋向下移動一個條紋間距B。反之亦然。所以光柵傳感在測量時，可以根據(jù)莫爾條紋的移動量和移動方向判定光柵的位置量和位移方向。主光柵移動一個光柵距=指示光柵上一個莫爾周期。在主光柵移動時指示光柵上就會有上下移動的明暗相間的條紋，所以我們只要數(shù)出明暗相間的次數(shù)就可以知道莫爾條紋經(jīng)過了多少周期，從而在間接的推斷出主光柵移動了多少了光柵距離。第七頁，共二十七頁，2022年，8月28日主光柵左右移動方向=指示光柵上下移動方向。指示光柵向上移動，主光柵則向坐移動，反之亦然。所以我們根據(jù)判定指示光柵上莫爾條紋的移動方向就可以判斷主光柵的移動方向了。2.位移的放大作用由于光柵角非常的小，根據(jù)公式可知：第八頁，共二十七頁，2022年，8月28日盡管柵距很小，很難觀察，但是我們的莫爾條紋卻清晰可見。這非常有利于布置接受莫爾條紋信號的光電器件。第九頁，共二十七頁，2022年，8月28日光柵式傳感器光柵式傳感器的基本工作原理是利用光柵的莫爾條紋進行測量的。光柵傳感器一般由光源，標尺光柵，指示光柵和光電器件組成，光電器件接受到的信號經(jīng)電路處理后可得到兩光柵的相對位移。光柵式傳感器有多種不同的光學系統(tǒng)，比較常見的就是透射式光柵傳感器和反射式光柵傳感器。第十頁，共二十七頁，2022年，8月28日透射式光柵指示光柵四裂相第十一頁，共二十七頁，2022年，8月28日裂相光柵產生的4路信號由四組光柵裂相以得到相位差依次為的四路信號。第十二頁，共二十七頁，2022年，8月28日去直流處理由于公式里含有直流信號，不方便信號的處理分析，所以要去掉直流信號。由公式可知兩兩對應相減，即可消除信號中的直流電平。得到：第十三頁，共二十七頁，2022年，8月28日辯向原理圖第十四頁，共二十七頁，2022年，8月28日辨

向

波

形圖第十五頁，共二十七頁，2022年，8月28日第十六頁，共二十七頁，2022年，8月28日細分電路為什么要使用細分電路光柵數(shù)字傳感器的測量分辨率等于一個柵距。但是在精密儀器中需要測量更精密的的位移。提高精確度的方法：1增加刻線密度減小柵距2采用細分技術，如直接細分，電橋細分，鎖相細分，調制信號細分，軟件細分等第十七頁，共二十七頁，2022年，8月28日細分原理圖第十八頁，共二十七頁，2022年，8月28日細分波形圖第十九頁，共二十七頁，2022年，8月28日反射式光柵第二十頁，共二十七頁，2022年，8月28日光柵傳感器的特點精度高，分辨率高。光柵在圓分度和角位移連續(xù)測量方面，光柵式傳感器屬于高精度的。但是他不適合于大量程長度測量?？蓪崿F(xiàn)動態(tài)測量，易于實現(xiàn)測量及數(shù)據(jù)處理的自動化。具有較強的抗干擾能力。但是油污和灰塵會影響他的可靠性，適用于環(huán)境較好的實驗室或車間。第二十一頁，共二十七頁，2022年，8月28日光柵式傳感器應用主要應用在精密測量長度，角位移中。此外還應用在測量振動，速度，應力應變等機械測量中。第二十二頁，共二十七頁，2022年，8月28日光學編碼器定義：它是一種絕對碼測量系統(tǒng)，即顯示的位置數(shù)值與編碼器的位置一一對應。它是位置的對應而不是累加脈沖的結果，所以掉電也不會有影響。編碼器的分類：1直線型（碼尺）2選轉型（碼盤）第二十三頁，共二十七頁，2022年，8月28日碼盤原理：絕對編碼器是通過讀取編碼盤上的圖案來表示軸的轉角位置。通過“１”和“０”的二進制編碼來將采集來的物理信號轉換為機器碼可讀取的電信號用以通訊、傳輸和儲存。

第二十四頁，共二十七頁，2022年，8月28日圖中棕色的為不透光部分為1，相反白色是透光部分為0.所以圓盤的每一側都可以用一組二進制唯一對應。在內環(huán)的二進制為高位。如圖A處唯一對應的二進制就是1000.圖中是四位的循環(huán)碼碼盤，它有種編碼，最小分辨率為。第二十五頁，共二十七頁，2022年，8月28日絕對編碼器特點：1可以直接讀出長度或角度坐標的絕對值。