儀器使用者手冊

儀器使用者手冊98年04月10日製作目錄相關(guān)網(wǎng)址-------------------------------------P.3相關(guān)事項聯(lián)絡(luò)人-------------------------------P.3新手上路-------------------------------------P.5線上開課注意事項-----------------------------P.5收費標準-------------------------------------P.6付款方式-------------------------------------P.7對外開放服務(wù)時間預(yù)約時段---------------------P.7無塵室一般守則-------------------------------P.8相關(guān)網(wǎng)址實驗室網(wǎng)址：.tw/Physics/ncf/線上註冊網(wǎng)址：39:81/nano/ncf/facilities.asp?TP=6儀器預(yù)約及課程報名系統(tǒng)：39:81/nano/ncf/facilities.asp?TP=4工安及自行操作訓練認證通過名單查詢：.tw/Physics/ncf/order.php?TP=6最新消息及儀器運轉(zhuǎn)狀況公告：39:81/nano/ncf/ncfindex.asp實驗室負責人員聯(lián)絡(luò)一覽表中山大學總機：(07)525-2000服務(wù)專線：(07)525-3708姓名主要負責項目分機e-mial陳惠華預(yù)約系統(tǒng)及網(wǎng)站管理/帳號、識別證、磁卡申請審核/開課管理、FIB、工安課程收費/儀器使用費月結(jié)通知及收費、實驗室參觀申請安排3702lychen@.tw陳彥文FIB機臺委託操作、維護、使用時數(shù)登錄及教育訓練、耗材購買、現(xiàn)場參觀解說3746ahbay@.tw陳韋銘無塵室磁卡開通及門禁管理、假日及夜間進入申請審核、工安訓練、廠務(wù)機臺維護管理、現(xiàn)場參觀紀錄3748cum@.tw賴新枝無塵室自行操作認證通過機臺開通、上課通知及收費、儀器使用時數(shù)記錄登錄及現(xiàn)金收費、臨時證申請、現(xiàn)場參觀解說、耗材購買、機臺維護處理3746vickylai@.tw機臺負責人員聯(lián)絡(luò)一覽表中山大學總機：(07)5252000機臺簡稱姓名分機連絡(luò)手機e-mialCVD楊伯鈞37080955131359blades-y@.tw戴志豪37080958720271m953050006@.tw陳敏甄37080933685522sogaha@.twICP張冠張37080922146578doubleccc@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@Sputter曹書瑋37080939890087d943050011@.tw陳敏甄37080933685522sogaha@.twE-beam郭原瑞37080927106596d943050018@.tw林佳盛37080988321611uk0601@楊伯鈞37080955131359blades-y@.twRTA黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@WetBench張冠張37080922146578doubleccc@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.twMask-Aligner曹耀中37220919682808eddy0715@葉向榮37220932562091S919094@林政邦37220928772266chengpanglin@.twLaserAnnealing楊恭尚37220937404992m972030020@.tw黃文宏37220933073619m972030031@.tw黃伽佳37220937399366ada1112@LaserAblation黃伽佳37220937399366ada1112@楊恭尚37220937404992m972030020@.tw黃文宏37220933073619m972030031@.twFIB陳彥文37460958537538ahbay@.tw4pointprobe黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@N&K戴志豪37080958720271m953050006@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.twAlpha-Step徐詠恩37080960161600syu.yong.en@黃正杰37080921641037m952030007@.tw新手上路本共同實驗室儀器已全面開放使用，校內(nèi)與校外一般人士均可申請使用。

新申請者請先至《線上註冊》建立新帳號，輸入基本資料，以方便建檔之用。在您建立新帳號之後，系統(tǒng)會自動寄發(fā)審核確認信到您的E-mail，因此請確實填寫有效的E-mail。完成線上註冊，委託操作者與儀器負責人員聯(lián)絡(luò)後可逕行上網(wǎng)預(yù)約儀器(FIB首次委託須列印委託操作申請表)。自行操作者請至本單位網(wǎng)站線上報名參加各項《工安及儀器訓練》與《儀器檢定》，並列印申請表單

(1)FIB須列印自行操作訓練申請表

(2)無塵室機臺須列印(a.使用者基本資料表b.實驗室使用者安全承諾切結(jié)書及健康告知)，資料準備齊全(如下所列)後，請至物理系D4009室物理系辦繳交資料及報名費。識別證及磁卡申辦請於儀器認證通過主動告知助理辦理，請務(wù)必配合及遵守本無塵室一切規(guī)定(附件一)，如有任何問題，請電(07)525-2000#3702#3746(07)525-3708，或E-mail:lychen@.tw謝謝。

a.「使用者基本資料表」

b.「實驗室使用者安全承諾切結(jié)書及健康告知」

c.學生證或身分證影本乙份

d.學保或一般保險或勞保證明影本乙份

e.識別證申請須附相片2吋2張

f.磁卡申請須支付押金300元(已有物理館磁卡者不須再支付)若要取消預(yù)約，請於2天前設(shè)定，違者使用費照預(yù)約時間全額收費(FIB半價)。自行操作儀器滿15小時且領(lǐng)卡滿30日才可預(yù)約非上班日時段(FIB不在此限)工安與機臺訓練考核通過者若連續(xù)3個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核，費用以半價計。實際使用時數(shù)未達預(yù)約時數(shù)，而兩者間時數(shù)相差超過1小時，其餘時間以單價之50%計算。線上開課注意事項請先上網(wǎng)註冊取得帳號、密碼始能預(yù)約工安及各課程。每一課程開課前二天下午12:00時為報名截止時間，該課程之線上報名及取消系統(tǒng)將自動關(guān)閉，若有疑問請洽本單位助理賴小姐:(07)525-2000#3746。本單位每月二十日將公佈下月課表，請密切注意本網(wǎng)站儀器預(yù)約及課程報名系統(tǒng)資訊。上課前請先至奈米中心櫃檯賴小姐處繳費，並領(lǐng)取收據(jù)。若臨時有事請於二天前上網(wǎng)取消課程報名。若您有報名本實驗室課程、檢定或儀器訓練課程，而未至本實驗室上課，本單位將不予以退費。通過認證人員名單將公佈於網(wǎng)頁上，請上網(wǎng)查詢。收費標準

製程機臺優(yōu)惠25折(最低收費375元/時)，訓練認證費5折，F(xiàn)IB機臺4hr送1hr，

工安訓練認證：600元(3.5hr含WetBench訓練認證)。

機臺名稱自行操作收費

(元/hr)委託操作收費(元/hr)包含上課+儀器工程師，(需另外練習操作，依委託操作費率計)陪同練習校內(nèi)外校/研究單位營利單位訓練/認證(時數(shù))訓練費認證費高密度電漿化學氣相沉積系統(tǒng)(HDP-CVD)

HighDensityPlasmaChemicalVaporDeposition1,5001,8002,4002,7003/0.53,0001,200感應(yīng)耦合式電漿蝕刻系統(tǒng)(ICP-Etcher)

InductiveCouplePlasmaEtcher1,5001,8002,4002,7003/0.53,0001,200多靶磁控濺鍍系統(tǒng)(Sputter)

Multi-TargetSputter1,0001,2001,5001,8002/0.52,000750雙電子束蒸鍍系統(tǒng)(E-Beam)

DualE-BeamEvaporator1,0001,2001,5001,8003/0.52,000750雷射退火系統(tǒng)

LaserAnnealingsystem1,0001,3001,5002,0003/12,0001,500雷射濺鍍系統(tǒng)

LaserAblationsystem1,5002,0002,2003,0003/0.752,0001,650快速退火系統(tǒng)(RTA)

RapidThermalAnnealingSystem5006007509001/0.5500500光罩對準機(MaskAligner)

MaskAlignerandExposureSystem5008001,0001,5003/0.5500500薄膜特性分析儀(N&K)

N&Kanalyzer200/15min250/15min300/15min400/15min1/0.5500600三維輪廓儀(Alpha-Step)

3DAlpha-StepProfilometer200/15min250/15min300/15min400/15min1/0.5500600四點探針(4PointProbe)

4PointProbe0不受理不受理不受理1/0.25500500聚焦離子束(FIB)

FocusedIonBeam2,2503,0003,000/5,0007,00036/47,0003,000繳款方式：月結(jié)

校內(nèi)：1.現(xiàn)金2.計畫轉(zhuǎn)帳

校外：1.現(xiàn)金2.電匯3.開票

研究單位及營利事業(yè)單位請當日繳交現(xiàn)金或即期支票

繳款帳戶：戶名：國立中山大學校務(wù)基金401專戶

帳號：011036032059(臺灣銀行高雄分行)

備註欄請註明「奈米核心設(shè)施分機3702」

支票抬頭：國立中山大學(即期支票)對外開放服務(wù)時間預(yù)約時段：委託操作開放時間為非假日白天時段:09:00~17:00。自行操作儀器滿15小時且領(lǐng)卡滿30日才可預(yù)約非上班日時段(FIB不在此限)

附註：若內(nèi)部維護或技術(shù)發(fā)展與訓練則不接受預(yù)約。時間星期一星期二星期三星期四星期五星期六星期日09:00-12:00自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作

自行操作12:00-17:00

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作

自行操作17:00-09:00

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作附件一國科會高屏地區(qū)奈米核心設(shè)施共同實驗室一般守則中華民國95中華民國96年一、人員進入潔淨室資格二、進入潔淨室前之注意事項三、進入潔淨室之程序四、潔淨室危害預(yù)防五、離開潔淨室之程序六、其他相關(guān)規(guī)定一、人員進入潔淨室資格：(一)、申請人需具備以下資格，且經(jīng)核心設(shè)施設(shè)備使用資格審核查檢核可及安全衛(wèi)生教育訓練合格、並附上投保證明單，始得進入潔淨室：1：奈米核心設(shè)施相關(guān)指導(dǎo)教授及研究助理。2：奈米核心設(shè)施技術(shù)人員及工作人員。3：領(lǐng)有識別證的學生及其他研究單位之研究人員、工作人員。(二)、未經(jīng)認可、但需進入潔淨室者(如廠商、儀器工程師…等)，應(yīng)先於研究助理處取得臨時證，配掛於胸前；並有合格人員陪同在場(一名具識別證人員至多伴隨兩名臨時證人員，並需負責其安全及行為)，於本潔淨室上班時間內(nèi)始得進出。(三)、嚴禁將潔淨室磁卡轉(zhuǎn)借他人、或夾帶未經(jīng)核準的人員進入潔淨室。二、進入潔淨室前之注意事項：(一)、人員方面：1：進行實驗前，需熟讀所使用化學品之MSDS(物質(zhì)安全資料表)，了解其危害、及應(yīng)變處理方法…等相關(guān)內(nèi)容，以人員安全為最高原則。2：學生出入本實驗室進行各項作業(yè)，均須登記起訖時間及使用機臺。(二)、行為方面：1：在實驗室工作時，必須確切的了解每一個動作可能發(fā)生的危險，及應(yīng)採取之安全防護工作。2：潔淨室內(nèi)外均為禁煙區(qū)，吸煙者須於抽後30分鐘後，並漱口方可進入潔淨室。3：進入潔淨室應(yīng)保持身體潔淨，頭髮應(yīng)常梳洗，長髮請綁好、並無掉落之虞，並禁止使用香水及化粧品。4：嚴禁劇烈運動後，立刻進入潔淨室，需待呼吸平穩(wěn)、及不再流汗後，方得進入潔淨室。5：在潔淨室內(nèi)不得飲食、嘻鬧、閒逛、奔跑、團聚聊天，並不得使用銼鋸、砂紙及修正液…等工具，或從事其他與實驗無關(guān)事項。6：實驗室內(nèi)不得穿著短褲、裙子及拖鞋，並應(yīng)穿著乾淨襪子後著無塵鞋。7：勿在潔淨室內(nèi)踏步來回走動，非必要勿停留在潔淨室內(nèi)，並隨時保持潔淨室之整潔。8：請勿擅自切換各項開關(guān)，以免影響其他用電。9：嚴禁各種會影響潔淨室潔淨度之動作及行為。(三)、物品方面：1：不可攜入潔淨室的物品：手提袋、書籍、報紙、紙類製品(除實驗記錄本外)、食物、飲料、口香糖、各類罐頭瓶子、有煙物質(zhì)、打火機、收音機、CD音響、隨身聽、行動電話、呼叫器、鉛筆、橡皮擦、皮包、錢包…等，和其他類似物品。2：個人物品請放置於室外置物櫃、鞋櫃中，請勿放貴重物品，本中心不負保管責任；並於每週進行置物櫃、鞋櫃清理，實驗完畢離開前請帶走個人物品。3：非經(jīng)奈米核心設(shè)施助理同意，不得將私人物品及非潔淨室所使用的工具攜入潔淨室，若有特殊需求，如施工器具、機臺、設(shè)備零件…等較大型物品，各項化學品或必須進入潔淨室之物品，請?zhí)顚懳锲窋y入潔淨室申請單及切結(jié)書，待核準、並先進行清潔除塵後，方可搬運；維修用的手冊及工具，在使用完畢後應(yīng)立即收拾歸位。4：攜帶化學品至潔淨室內(nèi)使用儲存時，化學品外觀需有中文標示，並至奈米核心設(shè)施助理處登記，領(lǐng)取化學品儲存標籤，張貼於化學品容器上；並存放於指定位置，嚴禁隨處放置。三、進入潔淨室之程序：(一)、踏入實驗室前，先脫掉外鞋置於室外鞋櫃。每個人均須刷卡進入，以維護個人權(quán)利與義務(wù)。(二)、進入實驗室，於準備室登記個人資料及使用機臺，依序穿戴無塵衣帽。1：無塵衣穿著順序：(1)髮套，(2)口罩，(3)無塵帽，(4)無塵衣，(5)無塵鞋，(6)手套。2：頭髮必須能蓋在無塵帽之內(nèi)，必要時使用髮套。3：口鼻必須蓋在口罩之內(nèi)；口罩手套不可重覆使用。4：無塵帽下擺須完全紮入無塵衣之衣領(lǐng)內(nèi)。5：穿上無塵衣時，識別證必須掛在無塵衣外；不可將衣袖捲起。6：穿戴手套前須先充氣測試，確定無漏方可使用。7：手套穿戴後，手腕部份應(yīng)藏於無塵衣袖內(nèi)，使用後即應(yīng)丟棄，不可重覆使用。(三)、依規(guī)定進入空氣洗淨室做空氣?。?：進入潔淨室之前，必須先經(jīng)過空氣洗淨室吹洗。2：空氣洗淨室內(nèi)，不可超過2人同時進入。3：為避免影響空氣正常循環(huán)及除塵效果，人員不可倚靠在空氣洗淨室的門或牆上。4：人員必須站於空氣洗淨室中央，輕微搖動雙手、雙腿以幫忙灰塵掉落。5：風嘴方向正常應(yīng)為向下吹氣，勿隨意撥弄風嘴方向。四、潔淨室危害預(yù)防：(一)、化學品對人體的危害：1：在實驗室中，嚴禁抓頭、抹臉或搓手，手套若有破損應(yīng)即換新。2：使用配置各類液體時，需配戴安全眼鏡，並請於抽氣櫃中進行，儘量減少人員吸入揮發(fā)性液體。3：遭化學品噴濺時，應(yīng)依各化學品特性，進行大量沖水、清洗…等適當急救。(二)、預(yù)防汙染樣品：1：嚴禁在設(shè)備上書寫及刻劃。2：在潔淨室中使用專用紙筆。3：勿用手觸及晶片，勿對晶片呼氣、咳嗽及說話。4：使用氮氣槍時，必須低於工作桌之桌面，以免灰塵汙染晶片。5：勿觸動別人的儀器、樣品，勿任意扳動任何開關(guān)。(三)、其他：1：避免在儀器上使用膠帶黏貼紙張。2：為避免危險，有機溶劑不得與一般酸鹼或強氧化劑一同放置儲存。3：實驗上有特殊要求，須