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會(huì)計(jì)學(xué)1CP測(cè)試簡(jiǎn)單介紹實(shí)用CP測(cè)試的意義和作用提高FTyield,降低封裝成本。幫助foundry控制工藝。裸片測(cè)試。第1頁/共6頁CP測(cè)試的工具proberATE探針Probecard固定在loadboard上面,一起裝在ATE上面。裝上loadboard后ATE的測(cè)試頭翻轉(zhuǎn),如右圖,然后扣在prober上面第2頁/共6頁P(yáng)robecard制作前的準(zhǔn)備工作1.選ATE和prober。prober廠家TEL,TSK,EPSON國(guó)內(nèi)裝機(jī)比較多的是TEL-P8,P12,TSK-UF200,UF30002.同測(cè)數(shù)和芯片PAD的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。3.Loadboard和probecard制作廠家的選擇。probecard的制作廠家

(1)日本廠家有JEM,MMS(旺杰芯),TCL

(2)美國(guó)廠家PROBERLOGIC,KNS,CASCADE,multitest

(3)臺(tái)灣probeleader,上海菁成

(4)國(guó)產(chǎn)沈陽的圣仁,上海依然,江陰JCAP根據(jù)針的數(shù)目,PAD的尺寸和間距來選擇合適的廠家,一般都能做到10um精度,但是5um以下的精度就要選擇比較好的廠家。第3頁/共6頁探針材質(zhì)選擇鎢針:優(yōu)點(diǎn):成本低,硬度/抗疲勞性佳,壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn):易沾粘異物或化學(xué)物質(zhì)造成阻抗增加,且不適用高電流測(cè)試。錸鎢針:優(yōu)點(diǎn):硬度/抗勞性佳,穩(wěn)定度佳適合長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試。缺點(diǎn):接觸電阻成本較高。BeCu針:優(yōu)點(diǎn):接觸電阻較不易沾粘異物。缺點(diǎn):易秏損,彈性較差。第4頁/共6頁P(yáng)robecard的制作和使用注意事項(xiàng)對(duì)于電流比較大的管腳,例如VCC和GND要使用雙針。測(cè)試程序里面ATE的DPS要限流,不然量產(chǎn)過程中針會(huì)碳化,導(dǎo)致針變黑提前老化。測(cè)試完一個(gè)lot的wafer,probecard都要進(jìn)行研磨,防止粘黏物附著。CP測(cè)試時(shí)會(huì)在PAD上留下pintouch,wafer不能測(cè)試太多次,不然就會(huì)影響bonding。由于接觸電阻的存在,對(duì)于電壓測(cè)試項(xiàng)目,CP和FT結(jié)果會(huì)有差異。Probecard是消耗品,量產(chǎn)的時(shí)候要有備用盡量多的測(cè)試項(xiàng)目放在CP測(cè)試,這樣可以大大降低封測(cè)成本。和

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