多晶硅生產(chǎn)物料平衡技術(shù)附件

技術(shù)附件目錄附件1. 設(shè)計(jì)基礎(chǔ)附件2. 工藝描繪附件3. 工藝要求附件4. 工作范圍及交托進(jìn)度附件5. 設(shè)計(jì)范圍及主體設(shè)施附件6. 性能保證值附件7. 公用工程條件附件8. 性能查核附件9. 技術(shù)服務(wù)

設(shè)計(jì)基礎(chǔ)1.1復(fù)原尾氣的總量及組份 (3000t/a)1.1.1按物料均衡計(jì)算：序號(hào)物質(zhì)T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H212231.361.6446115.7x1038221841279.08%2SiHCl3158678.0921.32771171.1 X1(3157.4353915.20%3SiCl441814.295.6202246.0 X1(333.06740.53.18%4HCl7015.30.9429192.2 X1(325.83578.672.48%5SiH2Cl2462.770.06224.6X1030.61613.70.06%共計(jì)220201.8129.5977729.6X1031038.90623283.87100.00%1.1.2按物料均衡擴(kuò)大20%計(jì)算:序號(hào)物質(zhì)T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H214677.631.9737338.8X1(3986.422094.479.08%2SiHCl3190413.7125.5931405.3X103188.884246.815.20%3SiCl450177.156.744295.2 X1(339.67888.63.18%4HCl8416.91.131230.6 X1(331.00694.42.48%5SiH2Cl2555.320.07465.5X1030.73916.440.06%共計(jì)264240.7135.51569275.4X1031246.6927940.64100.00%1.1.3復(fù)原尾氣回收系統(tǒng)進(jìn)口參數(shù)溫度：W45°C壓力：N3kg/cm2(A)

1.2氫化尾氣的總量及組份 (3000t/a)1.2.1按物料均衡計(jì)算序號(hào)物質(zhì)T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H283181.1184159X1035591252270.6%2SiHCl3356234.7883263X1035.37924.5%3SiCl420435727.4671202X103161.6361920.4%4HCl96311.2943263X1035.37924.5%5SiH2Cl2/—//共計(jì)25792934.66735887X10791.2177：15100%1.2.2按物料均衡擴(kuò)大20%計(jì)算序號(hào)物質(zhì)T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H29981.61.3424990.8X103670.8115026.170.6%2SiHCl342747.65.746315.5X10342.40949.84.5%3SiCl4245228.432.9611442.5X103193.894343.120.4%4HCl11557.21.553315.5X10342.40949.84.5%5SiH2Cl2//共計(jì)309514.841.6027064.3X10歡3949.5021268.8100%1.2.3氫化尾氣回收系統(tǒng)進(jìn)口參數(shù)溫度：W45°C壓力：N3kg/cm2(A)

1.3合成尾氣的總量及組份 （3000t/a）按物料均衡計(jì)算序號(hào)物質(zhì)T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H251669.35258X10334.68776.7748.69%2SiHCl3293723947.85216.8X10329.14652.6341.08%3SiCl42876386.5616.9X1032.2750.933.21%4HCl772103.7621.2X1032.8463.684.01%5SiH2Cl21580212.3715.6X1032.1047.103.01%共計(jì)351164719.89528.5X10371.031591.11100.00%1.3.2按物料均衡擴(kuò)大20%計(jì)算序號(hào)物質(zhì)T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H2619.283.23309.6X10341.61932.1348.69%2SiHCl335246.44737.42260.1X10334.96783.1641.08%3SiCl43451.2463.8720.3X1032.7361.123.21%4HCl926.4124.5225.4X1033.4176.424.01%5SiH2Cl21896254.8418.8X1(32.5256.523.01%共計(jì)42139.25663.88634.2X10385.231909.35100.00%1.3.3合成尾氣回收系統(tǒng)進(jìn)口參數(shù)：溫度：W45°C壓力：N2.5kg/cm2(A)工藝描述尾氣回收系統(tǒng)接收反響爐排出的尾氣，并把它們分別成為 氯硅烷混淆液、HCL和H2。從反響爐排出的熱的尾氣在管殼式換熱器內(nèi)冷卻，將氣態(tài)氯硅烷冷凝為氯硅烷液體。節(jié)余的氣體送入壓縮機(jī)。壓縮氣體冷卻后進(jìn)入HCL汲取塔。在此處HCL氣體被低溫液態(tài)氯硅烷加壓汲取。（壓縮機(jī)為2級(jí)來去式壓縮機(jī)，設(shè)計(jì)壓力可以知足將HCL和H2分別回收。）氯硅烷富液被送到 HCL分析塔，在此HCL以液態(tài)形式與H2分別回收。從HCL加壓汲取塔出來的氫氣被送到活性碳吸附柱，除掉節(jié)余的雜質(zhì)。干凈的氫氣將被回收用于復(fù)原爐中。碳吸附柱經(jīng)過熱重生的方式工作。工藝要求3.1合成系統(tǒng)的尾氣按3000t/a一套回收系統(tǒng)考慮；回收系統(tǒng)的氫壓機(jī)按2臺(tái)50%考慮（2X50%），設(shè)一臺(tái)備用機(jī)（50%）。3.2氫化系統(tǒng)的尾氣按1500t/a線一套回收系統(tǒng)考慮（即3000t/a氫化需兩套回收系統(tǒng)）；每套回收系統(tǒng)的氫壓機(jī)按2臺(tái)50%考慮（2X50%），每套回收系統(tǒng)設(shè)一臺(tái)備用機(jī)（50%）。3.3復(fù)原系統(tǒng)的尾氣按1500t/a線一套回收系統(tǒng)考慮（即3000t/a復(fù)原需兩套回收系統(tǒng)）；每套回收系統(tǒng)的氫壓機(jī)按3臺(tái)33%考慮（3X33%），每套回收系統(tǒng)設(shè)一臺(tái)備用機(jī)（33%）。3.4復(fù)原和氫化的尾氣回收系統(tǒng)（各兩套回收系統(tǒng)）需考慮在一套出現(xiàn)問題的狀況下，另一套可以辦理有問題套系統(tǒng)對(duì)應(yīng)的尾氣（即考慮兩套回收系統(tǒng)用管道互聯(lián)）。3.5每套回收系統(tǒng)均在系統(tǒng)前增設(shè)一個(gè)尾氣的儲(chǔ)罐； 在系統(tǒng)后增設(shè)H2、HCl的儲(chǔ)罐，體積另議。3.6依據(jù)中國(guó)國(guó)內(nèi)實(shí)質(zhì)運(yùn)轉(zhuǎn)的經(jīng)驗(yàn)，中方建議 CDI尾氣回收系統(tǒng)中的R22的蒸發(fā)冷凝器采納滿液式構(gòu)造。3.7依據(jù)中國(guó)國(guó)內(nèi)實(shí)質(zhì)運(yùn)轉(zhuǎn)的經(jīng)驗(yàn)，中方建議CDI尾氣回收系統(tǒng)中設(shè)置3個(gè)活性炭吸附柱。3.8整個(gè)CDI尾氣回收系統(tǒng)溫度W—20°C的部分采納牌號(hào)316的不銹鋼材質(zhì)；〉—20C的部分采納一般碳鋼材質(zhì)。3.9中方建議在泵前面增強(qiáng)過濾，采納2個(gè)過濾器并聯(lián)的構(gòu)造。3.10中方建議在主要設(shè)施出口加過濾器。3.11中方建議在重點(diǎn)設(shè)施處加裝閥門，以便于維修。附件4工作范圍及交托進(jìn)度4.1以下規(guī)定的日期為估計(jì)提交技術(shù)資料的時(shí)間。CDI企業(yè)將盡可能提早一周交托技術(shù)資料。CDI企業(yè)將經(jīng)過電子郵件提交PDF版本的資料供買方審察。終版技術(shù)資料將提交電子版和紙質(zhì)版，包含全尺寸圖紙。進(jìn)度付款要求的技術(shù)資料 交托進(jìn)度（合同奏效后）TOC\o"1-5"\h\z工藝流程圖（PFD圖） 4周第一版管線儀表流程圖（P&ID圖） 4周壓縮機(jī)規(guī)格 4周冷凍機(jī)規(guī)格 4周容器（設(shè)施）部署圖紙和設(shè)計(jì)參數(shù) 8周公用工程清單 8周管道規(guī)格參數(shù) 8周電力單線圖 8周第一版平面部署圖 8周泵數(shù)據(jù)表 14周R22蒸發(fā)冷凝器 14周換熱器數(shù)據(jù)表 14周換熱器平面布局圖 14周終版平面部署圖 14周自動(dòng)閥門數(shù)據(jù)表 20周控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) 10周地基土建設(shè)計(jì)（收到中方反應(yīng)資料后） 16周構(gòu)造設(shè)計(jì)（收到中方反應(yīng)資料后） 16周管道詳盡設(shè)計(jì)（收到中方反應(yīng)資料后） 16周

24周24周24周減壓閥計(jì)算書減壓閥數(shù)據(jù)表閥門清單24周儀表清單28周儀表數(shù)據(jù)表28周絕熱規(guī)格參數(shù)8周電氣原理圖（閉路）16周吸附柱程序圖表16周操作說明28周帶設(shè)定值的I/O數(shù)據(jù)表28周終版管線儀表流程圖（P&ID圖）28周不限于以上如出現(xiàn)文件遲交的狀況，將處于每周補(bǔ)償相應(yīng)工程進(jìn)度款 0.2%的罰款，最大限額為合同總價(jià)款的2.0%。中方提早90天通知CDI企業(yè)，CDI企業(yè)保證90天內(nèi)將活性炭ChlorsorbRL-13運(yùn)抵中國(guó)天津。ChlorsorbRL-13的供貨條件兩方將經(jīng)過傳真最后約定ChlorsorbRL-13的供貨條款和條件。全部壓力容器、塔等設(shè)施由CDI企業(yè)供給設(shè)施參數(shù)，這些資料可以知足由中國(guó)制造商轉(zhuǎn)變并制造設(shè)施。設(shè)計(jì)范圍及主要設(shè)施5.1設(shè)計(jì)范圍CDI企業(yè)依據(jù)合同規(guī)定，應(yīng)供給的系統(tǒng)設(shè)計(jì)系指為了保證復(fù)原尾氣回收、氫化尾氣回收和合成尾氣回收系統(tǒng)可以獨(dú)立工作的完好系統(tǒng)設(shè)計(jì)。CDI企業(yè)應(yīng)供給尾氣回收系統(tǒng)下述主要設(shè)施的必需的和充足的工程

設(shè)計(jì)資料。以下設(shè)施單是一套尾氣回收系統(tǒng)的內(nèi)容。CDI企業(yè)保證系統(tǒng)配置的完好性和獨(dú)立性，并保證達(dá)到設(shè)計(jì)基礎(chǔ)的要求。買方將依據(jù)CDI企業(yè)供給的規(guī)格參數(shù)采買和安裝全部設(shè)施。尾氣和重生氣體壓縮機(jī)組采買規(guī)格參數(shù)包含：壓縮機(jī)電機(jī)中間冷卻器后冷卻器脈沖除去裝置潤(rùn)滑油系統(tǒng)冷凍機(jī)組采買規(guī)格參數(shù)包含：容器：HCL汲取塔HCL分析塔吸附柱氯硅烷緩沖罐壓縮機(jī)汲取儲(chǔ)罐壓縮機(jī)排放儲(chǔ)罐膨脹罐回流罐重生氣體分別器回收氫器過濾器H2儲(chǔ)罐HCL儲(chǔ)罐尾氣儲(chǔ)罐換熱器（依據(jù)要求）泵氯硅烷泵氯硅烷泵熱液泵閥門自動(dòng)球閥數(shù)據(jù)表控制閥數(shù)據(jù)表釋壓閥數(shù)據(jù)表自控儀表數(shù)據(jù)表吸附塔次序圖表和邏輯圖吸附劑CDI將供給吸附塔最先運(yùn)轉(zhuǎn)所需的吸附劑 ChlorsorbRL-13。不限于上述范圍。5.2說明全部工程設(shè)計(jì)均采納英文，采納ASTM（美國(guó)資料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì)）資料等級(jí)。5.2.2.壓力容器制造商一定具備中華人民共和國(guó)特別設(shè)施制造允許證。可使用CDI企業(yè)指定資料同樣的當(dāng)?shù)刭Y料。施工指導(dǎo)和開機(jī)指導(dǎo)不包含在合同總價(jià)內(nèi)，但可在依據(jù)費(fèi)率付費(fèi)的狀況下供給有關(guān)服務(wù)。性能保證值每套CDI回收系統(tǒng)所回收的H2、HCL和氯硅烷都應(yīng)知足下邊的參數(shù):H,2壓力：N10kg/cm(A)質(zhì)量要求：回收率N98%H2N99.995%(V)HCLW0.005%(V)氯硅烷W0.001%(V)露點(diǎn)W—60°CHCL壓力：N7kg/cm2(A)溫度：N20C質(zhì)量要求：回收率N98%H2W5%(V)氯硅烷W0.5%(V)6.3氯硅烷壓力：N5kg/cm2(A)溫度：W40C質(zhì)量要求：回收率N99%HCLW1%(V)公用工程條件7.1蒸汽：7.2循環(huán)水：TOC\o"1-5"\h\z電：N22H2:27.6脫鹽水：7.7壓縮空氣及儀表空氣：7.8平面部署空間要求：7.9“三廢”辦理量及辦理方法：7.10冷凍鹽水：性能考核8.1性能查核8.1.1回收氫氣、HCL和氯硅烷的純度一定達(dá)到規(guī)定的值。 CDI企業(yè)將建議工藝改良和/或設(shè)施的改換，以達(dá)到保證純度。關(guān)于由CDI企業(yè)設(shè)計(jì)并由買方供給的設(shè)施，假如一定改換設(shè)施才能知足工藝要求， CDI公司將肩負(fù)所述設(shè)施費(fèi)的25%，但最多不超出合同總金額的5%。8.1.2假如回收的氫肚量少于98%，CDI企業(yè)將肩負(fù)氫氣減少許的25%的花費(fèi)，但最多不超出合同總金額的5%。8.1.3假如回收的HCL量少于95%，CDI企業(yè)將肩負(fù)HCL減少許的25%的花費(fèi)，但最多不超出合同總金額的5%。8.1.4假如回收的氯硅烷量少于98%，CDI企業(yè)將肩負(fù)氯硅烷減少許的25%的花費(fèi)，但最多不超出合同總金額的5%。8.2查核說明CDI企業(yè)僅對(duì)本合同項(xiàng)下由CDI企業(yè)供給設(shè)計(jì)的設(shè)施進(jìn)行擔(dān)保。責(zé)任的限制。無論任何原由，CDI企業(yè)肩負(fù)的最大責(zé)任不超出合同總價(jià)的10%。技術(shù)服務(wù)9.1設(shè)計(jì)聯(lián)系會(huì)合同價(jià)錢包含兩次設(shè)計(jì)聯(lián)系會(huì)。兩方將約定設(shè)計(jì)聯(lián)