標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 20307-2006 納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則》是一項(xiàng)由中國發(fā)布的國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在為使用掃描電子顯微鏡（SEM）進(jìn)行納米尺度長度測量提供統(tǒng)一的方法指導(dǎo)和規(guī)范。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)闡述了測量原理、儀器要求、樣品制備、測量步驟、數(shù)據(jù)處理以及測量不確定度評(píng)估等方面，以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可比性。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：標(biāo)準(zhǔn)明確了適用范圍，即規(guī)定了使用掃描電子顯微鏡進(jìn)行納米級(jí)別（一般指1到100納米之間）長度測量時(shí)應(yīng)遵循的一般原則和方法。

  2. 術(shù)語和定義：對(duì)涉及的術(shù)語進(jìn)行了明確界定，包括掃描電子顯微鏡的基本概念、納米級(jí)長度測量相關(guān)的專業(yè)術(shù)語等，確保讀者對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中的表述有共同的理解基礎(chǔ)。

  3. 引用文件：列出了實(shí)施該標(biāo)準(zhǔn)時(shí)需要參考的其他標(biāo)準(zhǔn)文獻(xiàn)，這些文件可能包含了更具體的技術(shù)細(xì)節(jié)或測試方法。

  4. 測量原理：解釋了掃描電子顯微鏡如何通過電子束與樣品相互作用來獲取表面形貌信息，并基于此進(jìn)行長度測量的基本物理原理。

  5. 儀器要求：詳細(xì)描述了進(jìn)行納米級(jí)長度測量所用掃描電鏡的性能要求，包括分辨率、穩(wěn)定性、放大倍數(shù)范圍等關(guān)鍵參數(shù)，以保證測量精度。

  6. 樣品制備：提供了樣品制備的一般指南，包括清潔、切割、固定、鍍膜等步驟，因?yàn)闃悠返臓顟B(tài)直接影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

  7. 測量步驟：詳細(xì)說明了從設(shè)置實(shí)驗(yàn)條件、選擇合適的測量區(qū)域、獲取圖像到實(shí)際長度測量的具體操作流程。

  8. 數(shù)據(jù)處理：涵蓋了測量數(shù)據(jù)的收集、分析方法及校正措施，確保測量結(jié)果的可靠性和準(zhǔn)確性。包括如何處理圖像噪聲、幾何校正和量化的具體方法。

  9. 不確定度評(píng)估：指導(dǎo)用戶如何評(píng)估測量結(jié)果的不確定度，考慮所有可能影響測量精度的因素，如儀器誤差、樣品制備不確定性、操作者差異等。

  10. 報(bào)告：規(guī)定了測量結(jié)果報(bào)告應(yīng)包含的內(nèi)容和格式，確保測量信息的完整傳遞，便于結(jié)果的交流和復(fù)核。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2006-07-19 頒布
  • 2007-02-01 實(shí)施
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GB/T 20307-2006納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則_第1頁
GB/T 20307-2006納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則_第2頁
GB/T 20307-2006納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則_第3頁
GB/T 20307-2006納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則_第4頁
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文檔簡介

ICS37.020.17.040N33中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T20307—2006納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則Generalrulesfornanometer-scalelengthmeasurementbySEM2006-07-19發(fā)布2007-02-01實(shí)施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T20307一2006三次前言范圍2規(guī)范性引用文件3基本原理4標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備5操作方法6數(shù)據(jù)處理？測量結(jié)果附錄A（規(guī)范性附錄)被測長度方向的確認(rèn)和調(diào)節(jié)附錄B（規(guī)范性附錄)標(biāo)準(zhǔn)樣品的擴(kuò)展附錄C（規(guī)范性附錄)長度實(shí)測值的不確定度的評(píng)定與表示附錄D（資料性附錄）原始記錄格式附錄E（資料性附錄)側(cè)量報(bào)告格式·.

GB/T20307—2006前本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A、附錄B和附錄C為規(guī)范性附錄，附錄D、附錄E為資料性附錄本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所,同濟(jì)大學(xué),中國科學(xué)院化學(xué)所,中國地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所,上海理工大學(xué)等。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張訓(xùn)彪、曾榮樹、廖宗廷、盧德生、劉芬、李戎、周劍雄、鄧保慶等

GB/T20307-2006納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測量納米級(jí)長度的基本原則適用于測量10nm～500nm的點(diǎn)或線的間距規(guī)規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用本標(biāo)準(zhǔn),然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是舌可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件.其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。JJF1059—1999測量不確定度評(píng)定與表示BIPMIECIFCCISOIUPACIUPAPOiML-1993《GuidetotheExpressionofUncertaintyinMeasurement》(測量不確定度表示指南)基本原理用掃描電鏡在相同的狀態(tài)下,獲取被測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的二次電子像,然后測量出被測樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品圖像中的長度。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)樣品的已知長度,計(jì)算出被測樣品的長度。A標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)樣品：首選國家級(jí)有證標(biāo)準(zhǔn)樣品，4.1其其次選用省級(jí)以上（包括省級(jí)）計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)標(biāo)定的樣品4.2掃描電鏡：二次電子分辨力優(yōu)于2nm.4.3正置立式金相顯微鏡：放大倍數(shù)不小于300倍4.4可調(diào)樣品柱：工作面的高度可以調(diào)節(jié)。4.5圖像測量設(shè)備：量程不小于圖像尺度：讀數(shù)不確定度可以忽略不計(jì)5操作方法5.1被測樣品的確認(rèn)5.1.1被測長度方向的確認(rèn)5.1.1.1對(duì)于有方向性的精確測量，需要按照附錄A,確認(rèn)被測長度的方向。5.1.1.2對(duì)于通過統(tǒng)計(jì)規(guī)律,可以消除傾斜誤差和畸變誤差的顆粒樣品?？梢圆淮_認(rèn)被測長度的方向，直接進(jìn)行下步操作。5.1.1.3對(duì)于被測長度方向處于被測平面上的樣品。可以不確認(rèn)被測長度的方向,直接進(jìn)行下步操作。5.1.2估計(jì)被測長度值5.1.2.1將被測樣品固定在高度可調(diào)的樣品柱上5.1.2.2用用掃描電鏡觀察被測長度.根

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