JJF 1916-2021掃描電子顯微鏡校準規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術規(guī)范

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforScanningElectronicMicroscopes(SEM)

2021-07-28發(fā)布2022-01-28實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準規(guī)范??

??????????????????

?JJF1916—2021?

CalibrationspecificationforScanning??

????????????????

?代替JJG5501988?

?—?

ElectronicMicroscopes(SEM)

歸口單位全國幾何量長度計量技術委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

參加起草單位廣州市計量檢測技術研究院

:

浙江省計量科學研究院

上海市計量測試技術研究院

山東省計量科學研究院

本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術委員會負責解釋

JJF1916—2021

本規(guī)范主要起草人

:

李偉中國計量科學研究院

()

高思田中國計量科學研究院

()

施玉書中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

古耀達廣州市計量檢測技術研究院

()

茅振華浙江省計量科學研究院

()

傅云霞上海市計量測試技術研究院

()

趙東生山東省計量科學研究院

()

JJF1916—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和定義

3……………(1)

標準樣板

3.1……………(1)

概述

4……………………(1)

計量特性

5………………(1)

校準條件

6………………(2)

環(huán)境條件

6.1……………(2)

校準用標準器

6.2………………………(2)

校準項目和校準方法

7…………………(2)

測長示值誤差

7.1………………………(2)

正交畸變

7.2……………(3)

線性失真度

7.3…………(3)

校準結果表達

8…………(4)

復校時間間隔

9…………(4)

附錄掃描電子顯微鏡測長示值誤差的不確定度評定示例

A………(5)

附錄比例尺校準值

B…………………(7)

附錄校準證書內容及內頁格式

C……………………(8)

Ⅰ

JJF1916—2021

引言

國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則通用計量術語及定義和

JJF1071《》、JJF1001《》

測量不確定度評定與表示共同構成支撐本規(guī)范制修訂工作的基礎性系列

JJF1059.1《》

規(guī)范

。

本規(guī)范是對掃描電子顯微鏡試行的修訂修訂過程中參照

JJG550—1988《()》。

了納米級長度的掃描電鏡測量方法通則和

GB/T20307—2006《》GB/T27788—2011

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則與相比除編輯性修

《》。JJG550—1988,

改外主要技術變化如下

,:

增加了掃描電鏡測長示值誤差的校準

———;

增加了Y方向的測長示值誤差校準

———;

刪除了真空度的測量

———;

刪除了射線泄漏量的測量

———X;

增加了附錄比例尺校準值

———B“”。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況為

:

———JJG550—1988。

Ⅱ

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于掃描電子顯微鏡的校準

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則

JJF1071—2010

納米級長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T20307—2006

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術語和定義

下列術語和定義適用于本規(guī)范

。

標準樣板

3.1referenceartifact

具有多個等間距柵格的樣板其柵格間距經過國家法定計量檢定機構校準間距值

,,

溯源到國家基準

。

4概述

掃描電子顯微鏡以下簡稱電鏡利用聚焦的電子束在樣品表面逐點掃描電

(“