標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 25898-2010《儀器化納米壓入試驗方法 薄膜的壓入硬度和彈性模量》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)定了使用儀器化納米壓入技術(shù)測定薄膜材料壓入硬度和彈性模量的方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度大于等于10nm的薄膜或涂層材料，包括但不限于金屬、陶瓷及聚合物等類型。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，測試過程主要依賴于專門設(shè)計的納米壓入儀，通過控制探針以特定方式壓入樣品表面，并記錄下壓力-位移曲線來獲取數(shù)據(jù)。關(guān)鍵參數(shù)如最大壓入深度、卸載時的接觸剛度等均需準(zhǔn)確測量，以此為基礎(chǔ)計算出薄膜材料的壓入硬度和彈性模量值。

標(biāo)準(zhǔn)中詳細(xì)描述了實驗前準(zhǔn)備、樣品制備要求、測試條件設(shè)定（例如加載速率）、數(shù)據(jù)分析方法等內(nèi)容。特別強調(diào)了對于不同性質(zhì)材料可能需要調(diào)整的具體參數(shù)設(shè)置以及如何處理異常情況。此外，還提供了關(guān)于結(jié)果報告格式的指導(dǎo)，確保信息傳遞的一致性和準(zhǔn)確性。


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....

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  • 2011-01-10 頒布
  • 2011-05-01 實施
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GB/T 25898-2010儀器化納米壓入試驗方法薄膜的壓入硬度和彈性模量_第1頁
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GB/T 25898-2010儀器化納米壓入試驗方法薄膜的壓入硬度和彈性模量_第4頁
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文檔簡介

ICS19060

A42.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25898—2010

儀器化納米壓入試驗方法

薄膜的壓入硬度和彈性模量

Instrumentednanoindentationtest—

Indentationhardnessandmodulusofthinfilm

2011-01-10發(fā)布2011-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T25898—2010

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語和定義符號…………………………

3、1

測試原理…………………

41

測試要求…………………

52

測試程序…………………

62

結(jié)果分析…………………

75

試驗報告…………………

89

參考文獻(xiàn)……………………

10

GB/T25898—2010

前言

請注意本標(biāo)準(zhǔn)的某些內(nèi)容有可能涉及專利本標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布機構(gòu)不應(yīng)承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國科學(xué)院提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC279)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位寶山鋼鐵股份有限公司中國科學(xué)院力學(xué)研究所

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王秀芳張?zhí)┤A宋洪偉楊曉萍楊榮郇勇

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T25898—2010

引言

薄膜的硬度和彈性模量測量經(jīng)常被作為一種控制其質(zhì)量的手段對于微納米尺度的薄膜采用常

。/,

規(guī)硬度試驗方法難以準(zhǔn)確地測定其硬度而且不能測定其彈性模量近年來儀器化納米壓入技術(shù)發(fā)展

,。,

迅速正逐漸成為納米力學(xué)表征領(lǐng)域最重要的試驗方法之一為測定薄膜的硬度和彈性模量提供了一種

,,

有效手段

。

利用儀器化納米壓入技術(shù)測定薄膜的硬度和彈性模量時除了受到儀器環(huán)境方法以及測試人員

,、、

等諸多因素的影響之外還可能受到樣品本身如支撐薄膜的基底薄膜與基底匹配關(guān)系的影響有關(guān)

,,、。

如何排除儀器等因素的影響并選擇合適的測試條件進(jìn)行儀器化納米壓入試驗在

,,《GB/T22458—2008

儀器化納米壓入試驗方法通則的相關(guān)條款中已經(jīng)做了詳盡的規(guī)定本標(biāo)準(zhǔn)的主要目的是提供盡可

》,。,

能排除基底影響的薄膜的壓入硬度和彈性模量測試方法

。

Ⅱ

GB/T25898—2010

儀器化納米壓入試驗方法

薄膜的壓入硬度和彈性模量

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測試薄膜壓入硬度和彈性模量的儀器化納米壓入試驗方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于附著在固體表面的薄膜壓入方向為垂直于試樣表面方向壓入深度范圍通常在納

。,

米量級也可以擴展至幾微米

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

儀器化納米壓入試驗方法通則

GB/T22458—2008

金屬材料硬度和材料參數(shù)的儀器化壓痕試驗第部分金屬和非金屬

GB/T21838.4—20084:

覆蓋層的試驗方法

(ISO14577-4:2007,MOD)

3術(shù)語和定義符號

、

31術(shù)語和定義

.

中界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)

GB/T22458—20083.1。

311

..

單一剛度測量singlestiffnessmeasurement

利用準(zhǔn)靜態(tài)加載方式獲得的載荷深度曲線的卸載部分確定出材料在最大壓入深度處的單一接

—,

觸剛度的測量方法

。

312

..

連續(xù)剛度測量continuousstiffnessmeasurement

在準(zhǔn)靜態(tài)加載方式的基礎(chǔ)上疊加一個微小的動態(tài)交變載荷使其產(chǎn)生的同頻交變位移保持微小的

,,

恒定振幅測量出交變載荷和交變位移信號的幅值和相位差由此確定出材料在加載階段隨壓入深度變

,

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