標準解讀

《GB/T 25915.8-2010 潔凈室及相關受控環(huán)境 第8部分:空氣分子污染分級》是針對潔凈室及相關受控環(huán)境中存在的空氣分子污染進行定義、測量方法以及分級標準的規(guī)范性文件。該標準適用于需要控制空氣中化學污染物濃度的各種場合,如半導體制造、制藥行業(yè)等。

根據(jù)此標準,空氣分子污染(AMC)是指在空氣中存在可能對產(chǎn)品或工藝產(chǎn)生不利影響的氣體狀態(tài)下的化學物質(zhì)。這些污染物可以是揮發(fā)性有機化合物、酸性氣體、堿性氣體或其他類型的有害化學物質(zhì)。對于不同應用場景下,由于生產(chǎn)工藝的不同,對AMC的要求也會有所差異。

本標準提供了基于不同類型AMC物質(zhì)的濃度水平來劃分等級的方法,并規(guī)定了相應的測試條件和程序。通過設定不同的級別,幫助用戶根據(jù)自身需求選擇合適的潔凈度等級,從而有效管理和控制生產(chǎn)環(huán)境中潛在的風險因素。同時,還詳細介紹了采樣技術與分析方法,包括直接法和間接法兩大類,以確保能夠準確地檢測出環(huán)境中微量存在的各種AMC成分。


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....

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  • 2011-01-14 頒布
  • 2011-06-01 實施
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GB/T 25915.8-2010潔凈室及相關受控環(huán)境第8部分:空氣分子污染分級_第1頁
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文檔簡介

ICS1304035

C70..

中華人民共和國國家標準

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

潔凈室及相關受控環(huán)境

第8部分空氣分子污染分級

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part8Classificationofairbornemolecularcontamination

:

(ISO14644-8:2006,IDT)

2011-01-14發(fā)布2011-06-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

目次

前言…………………………

引言…………………………

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術語和定義………………

31

分級………………………

42

合格的證明………………

54

附錄資料性附錄所需考慮的因素…………………

A()6

附錄資料性附錄常見污染物………………………

B()9

附錄資料性附錄常用測量方法……………………

C()11

附錄資料性附錄隔離裝置的特殊要求……………

D()14

參考文獻……………………

15

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

前言

潔凈室及相關受控環(huán)境分為八個部分

GB/T25915《》:

第部分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分證明持續(xù)符合的檢測與監(jiān)測技術條件

———2:GB/T25915.1;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設計建造啟動

———4:、、;

第部分運行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分空氣分子污染分級

———8:。

本部分是的第部分

GB/T259158。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣分子污染

ISO14644-8:2006《8:

分級

》。

本部分由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本部分由中國電子工程設計院北京世源希達工程技術公司北京希達建設監(jiān)理有限責任公司負責

、、

起草中電投工程研究檢測評定中心蘇州華泰空氣過濾器有限公司蘇州市恩威特環(huán)境技術有限公司

,、、、

美埃凈化科技上海有限公司參加起草

()。

本部分主要起草人王堯蔡杰王大千張利群張申元徐勤劉衛(wèi)紅徐小浩張凱葉偉強姚東

:、、、、、、、、、、、

秦學禮呂希洲劉玥

、、。

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

引言

潔凈室及相關受控環(huán)境將空氣中的顆粒物控制在適當?shù)乃揭酝瓿蓪ξ廴久舾械淖鳂I(yè)航空航

,。

天微電子制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對空氣污染的控制

、、、、、。

有些行業(yè)存在源自外部工藝或其他來源的空氣分子污染它們會影響甚至破壞產(chǎn)品或工藝

、、,。

的本部分中懸浮于空氣中的分子用空氣分子污染表示分子污染分階段

GB/T25915,(AMC)。3,

第一階段是產(chǎn)生即外部源工藝的泄漏建筑材料或人身上材料的氣體釋放第二階段是的

“”,、、;AMC

傳播第三階段是敏感表面的吸附此階段的表面分子污染可以量化

“”;“”,(SMC)。

除了實際外釋放氣體的材料及吸附表面對產(chǎn)生和吸附個階段也有很大的影響因

AMC,“”“”2。

此對于這兩個階段不僅需明確還需明確所涉及的材料和表面為了制定適用于各類潔凈室

,,AMC,。

及相關受控環(huán)境的通用標準選擇對進行分級

,AMC。

在潔凈室及相關受控環(huán)境中的分子污染危害產(chǎn)品或工藝的場合本部分所確定的等級用來規(guī)

,ISO

定其中的濃度限值

AMC。

為分級的目的本部分局限于規(guī)定的濃度范圍并考慮到化合物檢測和分析方法時間加權(quán)

,AMC,、、

系數(shù)等因素給出規(guī)定濃度的標準規(guī)程

本部分包含下述資料性附錄

:

附錄需要考慮的參數(shù)

———A:;

附錄常見污染化學品和物質(zhì)

———B:;

附錄常用測量和分析方法

———C:;

附錄隔離裝置的特殊要求

———D:。

本部分是有關潔凈室與污染控制標準中的一部分潔凈室及受控環(huán)境的設計技術

GB/T25915。、

要求運行和控制中除外尚有許多其他需要考慮的因素那些問題包含在編制的

、,AMC,,SAC/TC319

其他國家標準中要特別注意所有部分有些情況下相關管理機構(gòu)可能會規(guī)定某些

。GB/T25916()。,

補充政策或限制此時可能需要對本部分進行適當修改

,。

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

潔凈室及相關受控環(huán)境

第8部分空氣分子污染分級

:

1范圍

的本部分依據(jù)潔凈室及相關受控環(huán)境空氣中具體化學物質(zhì)種組類的濃度對空

GB/T25915(、、),

氣分子污染進行分級同時本部分在分級技術要求中給出了包括檢測方法分析方法和時間

(AMC)。,,、

加權(quán)系數(shù)的規(guī)程

。

本部分目前只考慮潔凈室運行工況下03-123的濃度

10g/m~10g/mAMC。

本部分不涉及那些雖有空氣分子物質(zhì)存在但不認為對產(chǎn)品或工藝有風險的行業(yè)工藝和生產(chǎn)

、、。

本部分無意探討空氣分子污染物的特性

。

本部分不包含對表面分子污染的分級

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分詞匯

GB/T25915.66:(GB/T25915.6—2010,ISO14644-6:

2007,IDT)

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