GB/T 25915.8-2021潔凈室及相關受控環(huán)境第8部分：按化學物濃度劃分空氣潔凈度(ACC)等級

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標準

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

代替GB/T259158—2010

.

潔凈室及相關受控環(huán)境

第8部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度

:

ACC等級

()

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part8ClassificationofaircleanlinessbchemicalconcentrationACC

:y()

ISO14644-82013IDT

(:,)

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

分級

4………………………3

合格性的證明

5……………5

附錄資料性影響的因素

A()ACC………………………6

附錄資料性常見污染物

B()……………9

附錄資料性常用測量方法

C()…………12

附錄資料性隔離裝置的特殊要求

D()…………………15

參考文獻

……………………16

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下部分

GB/T25915《》8。GB/T25915:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

———2:;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設計建造啟動

———4:、、;

第部分運行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

———9:;

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級

———10:;

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術要求

———12:。

本文件代替潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣分子污染分級與

GB/T25915.8—2010《8:》,

相比主要技術變化如下

GB/T25915.8—2010,:

增加了按化學物濃度劃分空氣潔凈度按化學物濃度劃分表面潔凈度和按化學物濃度劃

a)“”“”“

分空氣潔凈度等級的術語和定義見

(ACC)”(3.1.2、3.1.4、3.1.8);

修改了術語分子污染為化學污染物空氣分子污染為空氣化學污染和表面分子污

b)“”“”、“”“”“

染為表面化學污染物見年版的

”“”(3.1.1、3.1.3、3.1.5,20103.1.1、3.1.2、3.1.3);

修改了描述符的形式為見年版的

c)“ISO-AMC”“ISO-ACC”(4.1、4.2、5.1、5.3,20104.1、4.2、

5.1、5.3);

增加了空白流轉(zhuǎn)樣本見

d)(5.2);

增加了影響的因素見

e)ACC(A.3.4、A.4.3、A.5.4、A.6、A.7、A.8、A.9);

增加了化學污染物氯三甲胺等刪除了乙醇胺三氯乙基磷酸酯等見表年版的

f)、,、(B.1,2010

表

B.1);

增加了隔離裝置關于檢測方面的考慮見

g)(D.2.5~D.2.7)。

本文件等同采用潔凈室及相關受控環(huán)境第部分按化學物濃度劃分空氣潔

ISO14644-8:2013《8:

凈度等級

(ACC)》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國電子工程設計院有限公司蘇州市計量測試院蘇州安泰空氣技術有限公司

:、、、

江蘇嘉合建設有限公司中國標準化協(xié)會中國合格評定國家認可中心煙臺寶源凈化有限公司愛美克

、、、、

空氣過濾器蘇州有限公司南京天加環(huán)境科技有限公司美埃中國環(huán)境科技股份有限公司賀氏蘇

()、、()、(

州特殊材料有限公司吳江市華宇凈化設備有限公司常州祥明智能動力股份有限公司中國計量科學

)、、、

研究院中電投工程研究檢測評定中心有限公司深圳新科特種裝飾工程有限公司

、、。

本文件主要起草人王堯婁宇張秀春王大千李啟東朱蘭金真孫玉澄王小兵葉偉強

:、、、、、、、、、、

耿新顏翟傳明汪洪軍吳小泉高正石小雷楊云濤張敏徐小浩袁月劉璐殷曉冬

、、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2010GB/T25915.2—2010;

本次為第一次修訂

———。

Ⅱ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

引言

是采用系列國際標準各部分設置與國際標準保持一致擬由個部

GB/T25915ISO14644,,15

分構成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測目的是指導監(jiān)測粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風險

。

第部分檢測方法目的是指導對潔凈室內(nèi)各種污染和相關環(huán)境要素的檢測

———3:。。

第部分設計建造啟動目的是指導潔凈室的設計建造啟動

———4:、、。、、。

第部分運行目的是指導潔凈室的運行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術術語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分空氣化學污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面化學污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術要求目的是提出納米級別的粒子污染的檢測

———12:。

要求

。

第部分達到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學污染的風險

。

第部分按粒子污染濃度評估設備適用性目的是通過對相關設備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子

———14:。

污染的測試確定設備的適合性

,。

第部分按化學污染物濃度評定設備及材料的適合性目的是通過對相關設備可能在潔凈

———15:。

室產(chǎn)生化學污染的測試確定設備的適合性

,。

第部分提高潔凈室和空氣凈化裝置能效目的是節(jié)約潔凈室運行的能源消耗

———16:。。

還要注意潔凈室及相關受控環(huán)境生物污染控制

GB/T25916《》:

第部分一般原理和方法

———1::

第部分生物污染報告的評估與分析

———2:。

本文件的空氣化學污染分階段第一階段是產(chǎn)生即外部源工藝的泄漏建筑材料或人身上材

3,“”,、、

料的氣體釋放第二階段是空氣化學污染的傳播第三階段是敏感表面的吸附此階段的表面化學

;“”;“”,

污染可以量化

。

除了實際空氣污染外能釋放出氣體的材料及有吸附能力的表面對產(chǎn)生和吸附個階段也有

,“”“”2

很大的影響因此對于這兩個階段不僅需明確污染物還需明確所涉及的材料和表面為了制定適

。,,,。

用于各類潔凈室及相關受控環(huán)境的通用標準決定按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級

,(ACC)。

在潔凈室及相關受控環(huán)境中有空氣化學污染危害產(chǎn)品或工藝的情況本文件所確定的等級可

,ISO

用來規(guī)定其中的濃度水平

ACC。

為分級的目的本文件限于規(guī)定的濃度范圍并考慮到化合物檢測和分析方法時間加權系

,ACC,、、

數(shù)等因素給出了說明濃度的標準方法

,。

本文件包含下述資料性附錄

:

附錄影響的因素

———A:ACC;

Ⅲ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

附錄常見污染物

———B:;

附錄常用測量方法

———C:;

附錄隔離裝置的特殊要求

———D:。

本文件是有關潔凈室及相關受控環(huán)境的的個部分除外潔凈室及相關受控

GB/T259151,ACC,

環(huán)境的設計技術要求運行和控制中尚有許多其他需要考慮的因素它們包含在編制

、、,,SAC/TC319

的其他國家標準中要特別注意的所有部分有些情況下相關管理機構可能會規(guī)定某

。GB/T25915。,

些補充政策或限制此時可能需要對本文件進行適當修改

,。

Ⅳ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

潔凈室及相關受控環(huán)境

第8部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度

:

ACC等級

()

1范圍

本文件依據(jù)潔凈室及相關受控環(huán)境空氣中具體化學物質(zhì)種組或類的濃度對空氣化學污染進行

(、),

分級同時本文件分級技術要求給出了包括檢測方法分析方法和時間加權系數(shù)在內(nèi)的規(guī)程

。,,、。

本文件目前只考慮潔凈室運行工況下空氣中03-123的化學污染物濃度

10g/m~10g/m。

本文件不涉及那些空氣中雖有化學物質(zhì)存在但不認為對產(chǎn)品或工藝有危害風險的行業(yè)工藝和

、、

生產(chǎn)

。

本文件無意探討空氣化學污染物的特性

。

本文件不包含對表面化學污染的分級

。

2規(guī)范性引用文件