GB/T 34972-2017電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

ICS7104040

G86..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34972—2017

電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測(cè)定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Determinationofmetalcontentingases—

Inductivelycoupledplasmamassspectrometrymethod

2017-11-01發(fā)布2018-02-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34972—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司高麥儀器公司廣東

:、、、

華特氣體股份有限公司北京華宇同方化工科技開(kāi)發(fā)有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司上海華愛(ài)

、、、

色譜分析技術(shù)有限公司中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳鷹姜陽(yáng)周鵬云牛艷東傅鑄紅杜漢盛江羅許軍洲方華常俠

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34972—2017

電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測(cè)定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了應(yīng)用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測(cè)定電子工業(yè)用氣體中金屬元素含量的方法金屬元

。

素測(cè)定范圍見(jiàn)表

1。

本標(biāo)準(zhǔn)適用的電子工業(yè)用氣體種類氧氮?dú)搴浒甭然瘹涔柰楦呒兟攘蛉然?/p>

:、、、、、、、、、、

硼三氟化氮氧化亞氮六氟乙烷六氟丁二烯等氣體

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用的電子工業(yè)用氣體取樣狀態(tài)氣態(tài)

:。

表1金屬元素測(cè)定范圍

元素測(cè)定范圍元素測(cè)定范圍

/(μg/L)/(μg/L)

Li0.0001~100.0Ce0.0005~100.0

Be0.0005~100.0Pr0.0005~100.0

Na0.0001~100.0Nd0.0005~100.0

Mg0.0005~100.0Pm0.0005~100.0

Al0.001~100.0Sm0.0005~100.0

K0.001~100.0Eu0.0005~100.0

Ca0.001~100.0Gd0.0005~100.0

Sc0.001~100.0Tb0.0005~100.0

Ti0.0001~100.0Dy0.0005~100.0

V0.0001~100.0Ho0.0005~100.0

Cr0.0005~100.0Er0.0005~100.0

Mn0.0001~100.0Tm0.0005~100.0

Fe0.001~100.0Yb0.0005~100.0

Co0.0005~100.0Lu0.0005~100.0

Ni0.001~100.0Hf0.0005~100.0

Cu0.0005~100.0Ta0.0005~100.0

Zn0.0001~100.0W0.001~100.0

Ga0.001~100.0Re0.0005~100.0

Ge0.001~100.0Os0.0005~100.0

Rb0.0005~100.0Ir0.0001~100.0

Sr0.0001~100.0Pt0.001~100.0

Y0.0001~100.0