標準解讀

《GB/T 37007-2018 電子級三甲基鎵》是中國國家標準之一，旨在為半導體工業(yè)中使用的高純度三甲基鎵提供質(zhì)量控制和技術要求。該標準詳細規(guī)定了電子級三甲基鎵的技術指標、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的要求。

在技術指標方面，標準明確了產(chǎn)品應達到的純度級別和其他關鍵物理化學性質(zhì)的具體數(shù)值范圍或限值，包括但不限于金屬雜質(zhì)含量、非金屬雜質(zhì)含量等，以確保其適用于高質(zhì)量半導體材料的制造過程。此外，還對不同級別的三甲基鎵（如6N、7N等級別）進行了區(qū)分，并給出了各自對應的規(guī)格參數(shù)。

對于試驗方法，本標準列舉了一系列科學準確的方法來檢測三甲基鎵的各項性能指標，比如使用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定金屬元素含量、氣相色譜法分析有機物組成等。這些方法的選擇基于它們能夠有效且可靠地反映樣品真實情況的原則。

關于檢驗規(guī)則，《GB/T 37007-2018》定義了批次的概念，并指出了如何從一個生產(chǎn)批中抽取代表性樣本進行測試。同時，也規(guī)定了當檢驗結果不符合規(guī)定時應采取的措施，如重新取樣復檢或者直接判定不合格等。

最后，在包裝、標志、運輸及貯存環(huán)節(jié)，《GB/T 37008-2018》提供了具體指導，強調(diào)了安全性和環(huán)境保護的重要性。例如，要求使用適合長途運輸且能防止泄漏的專業(yè)容器；所有包裝上都必須清晰標注產(chǎn)品名稱、制造商信息、危險警告標識等內(nèi)容；運輸過程中要避免劇烈震動和高溫環(huán)境；儲存時則需置于干燥通風處遠離火源。通過遵循這些建議，可以最大限度地保證電子級三甲基鎵在整個供應鏈中的品質(zhì)穩(wěn)定與安全。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2018-12-28 頒布
  • 2019-04-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T37007—2018

電子級三甲基鎵

Electronicgradetrimethylgallium

2018-12-28發(fā)布2019-04-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

電子級三甲基鎵

GB/T37007—2018

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20191

*

書號

:155066·1-61408

版權專有侵權必究

GB/T37007—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國電子技術標準化研究院

:、。

本標準主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T37007—2018

電子級三甲基鎵

1范圍

本標準規(guī)定了三甲基鎵的技術要求試驗方法檢驗規(guī)則包裝標志運輸貯存和安全

、、、、、、。

本標準適用于鎵鎂合金法三氯化鎵法格式試劑法三種化學合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基

、、

鎵該產(chǎn)品主要用于生長化合物半導體薄膜材料等

。。

分子式

:C3H9Ga

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算

:114.83(2013)

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運輸包裝通用技術條件

GB12463

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學危險品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設計規(guī)范

GB50073

3技術要求

三甲基鎵的技術指標應符合表要求

1。

表1技術指標

項目指標

三甲基鎵純度質(zhì)量分數(shù)-2

(C3H9Ga)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

金屬鋁含量

(Al)/(μg/g)<0.1

元素

砷含量

()/(/)

及Asμgg<0.5

硼含量

其他(B)/(μg/g)<0.2

鋇含量

元素

(Ba)/(μg/g)<0.1

含量鈹含量

(Be)/(μg/g)<

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