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第三章晶體生長(zhǎng)第一節(jié)前言第二節(jié)晶體生長(zhǎng)熱力學(xué)第三節(jié)相圖及其在晶體生長(zhǎng)中的應(yīng)用第四節(jié)晶體生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)第五節(jié)晶體生長(zhǎng)方法第一節(jié)你所熟悉的晶體生長(zhǎng)天然晶體人工晶體天然晶體全世界海鹽產(chǎn)量5000萬(wàn)噸,其中我國(guó)生產(chǎn)1300多萬(wàn)噸,居世界第一。早在3000多年前,我國(guó)就采用海水煮鹽了,是世界上制鹽最早的國(guó)家。1977年我國(guó)在山東發(fā)現(xiàn)了迄今為止的世界上最大的金剛石--常林鉆石。
天然鉆石The101.4695-carat(20.2939grams)diamond29.4millimetresinlengthand17.853millimetresinheightwasdiscoveredinMayinadiamondmineinMengyin,EastChinasShandongProvince.Thethreelargerdiamonds,weighing158.786(常林鉆石,1977),124.27(陳埠一號(hào),1981)and119carats(蒙山一號(hào),1983),werediscoveredin1977,1981and1983,alsoInShandongProvince,YeDanian葉大年院士,anacademicianattheChineseAcademyofSciences,saidatanewsconferenceyesterday.TwoofthemwerestillinthepossessionofthePeoplesBankofChina中國(guó)人民銀行,andthe124.27-caratonewasboughtbyacompanyinShanghai.
本文報(bào)道的金剛石為101.4695-carat,黃色,半透明,橢圓八面體,2006年5月發(fā)現(xiàn)于山東蒙陰建材701礦,屬于中國(guó)材料工業(yè)科工集團(tuán)公司,存放于中央人民銀行。文章為中國(guó)日?qǐng)?bào)社授權(quán)轉(zhuǎn)載,文章來(lái)源:Cao,Desheng(ChinaDaily),2006,Chinas4thlargestdiamondtoglitterincapitalcity.ChinaDaily,2006-10-11;人工晶體公元前200--公元后400年中國(guó)煉丹術(shù)興起。魏伯陽(yáng)的《周易參同契》和葛洪的《抱撲子》記錄了汞、鉛、金、硫等元素和數(shù)十藥物的性狀與配制。公元750年中國(guó)煉丹術(shù)傳入阿拉伯。1965年,我國(guó)在世界上第一個(gè)用人工的方法合成活性蛋白質(zhì)--結(jié)晶牛胰島素(由于署名原因,諾貝爾化學(xué)獎(jiǎng)與國(guó)人擦肩而過(guò))。
第二節(jié)晶體生長(zhǎng)熱力學(xué)一、相變驅(qū)動(dòng)力二、成核相變驅(qū)動(dòng)力相變的判斷標(biāo)準(zhǔn):G=G2–G10?G稱為相變驅(qū)動(dòng)力。相變驅(qū)動(dòng)力由氣相生長(zhǎng)晶體由溶液生長(zhǎng)晶體由熔體生長(zhǎng)晶體
成核在恒溫恒壓下發(fā)生相變第三節(jié)相圖及其在晶體生長(zhǎng)中的應(yīng)用相圖就是用來(lái)表示材料相的狀態(tài)和溫度及成分關(guān)系的綜合圖形,其所表示的相的狀態(tài)是平衡狀態(tài)。什么是相圖?認(rèn)識(shí)相圖(1)純鐵的同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變金屬的多晶型性(同素異構(gòu)現(xiàn)象)多晶型性轉(zhuǎn)變(同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變)純鐵的同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變?chǔ)?Feγ-Feα-Fe認(rèn)識(shí)相圖(2)鐵碳合金平衡相圖相與相平衡1.相(Phase)在一個(gè)系統(tǒng)中,成分、結(jié)構(gòu)相同,性能一致的均勻的組成部分叫做相,不同相之間有明顯的界面分開,該界面稱為相界面。2.組元(Component)組元通常是指系統(tǒng)中每一個(gè)可以單獨(dú)分離出來(lái),并能獨(dú)立存在的化學(xué)純物質(zhì),在一個(gè)給定的系統(tǒng)中,組元就是構(gòu)成系統(tǒng)的各種化學(xué)元素或化合物?;瘜W(xué)元素:Cu,Ni,Fe等化合物:Al2O3,MgO,Na2O,SiO2等按組元數(shù)目,將系統(tǒng)分為:一元系,二元系,三元系,…3.相平衡在某一溫度下,系統(tǒng)中各個(gè)相經(jīng)過(guò)很長(zhǎng)時(shí)間也不互相轉(zhuǎn)變,處于平衡狀態(tài),這種平衡稱為相平衡。AB各組元在各相中的化學(xué)勢(shì)相同。熱力學(xué)動(dòng)態(tài)平衡吉布斯相律(GibbsPhaseRule)處于熱力學(xué)平衡狀態(tài)的系統(tǒng)中自由度與組元數(shù)和相數(shù)之間的關(guān)系定律,通常簡(jiǎn)稱為相律。只考慮溫度和壓力對(duì)系統(tǒng)平衡狀態(tài)的影響:F=C-P+2凝聚系統(tǒng):F=C-P+1式中:F是自由度數(shù);C是組成材料系統(tǒng)的獨(dú)立組元數(shù);P是平衡相的數(shù)目。相圖的類別單組分體系相圖,如冰、鐵二元體系相圖,如Cu-Ni,Al2O3-Cr2O3三元體系相圖單組分體系相圖組元數(shù)C=1根據(jù)相律:F=1-P+2=3-P∵F≥0,∴P≤3若,P=1,則F=2∴可以用溫度和壓力作坐標(biāo)的平面圖(p-T圖)來(lái)表示系統(tǒng)的相圖。若,F(xiàn)=0,則P=3,即最多有三相平衡。例水的相圖狀態(tài)點(diǎn)水的相圖—相圖分析3條線:C=1,P=2,F(xiàn)=1OA是水與冰兩相平衡線OB是冰與蒸汽兩相平衡線OC是水與蒸汽兩相平衡線3個(gè)單相區(qū):C=1,P=1,F(xiàn)=2固相區(qū)、液相區(qū)和氣相區(qū)O點(diǎn)是氣、液、固三相的平衡共存點(diǎn)F=0水的相圖—相圖分析如果外界保持一個(gè)大氣壓,根據(jù)相律,C=1,P=1則F=1。系統(tǒng)中只有一個(gè)獨(dú)立可變的變數(shù)。因此單元系相圖可以只用一個(gè)溫度軸來(lái)表示。二元體系相圖二元系統(tǒng)有兩個(gè)組元,根據(jù)相律:F=C-P+1,二元系統(tǒng)最大的自由度數(shù)目F=2,這兩個(gè)自由度就是溫度和成分。故二元凝聚系統(tǒng)的相圖,仍然可以采用二維的平面圖形來(lái)描述。即以溫度和任一組元濃度為坐標(biāo)軸的溫度-成分圖表示。成分的表示方法材料的成分是指材料各組元在材料中所占的數(shù)量。質(zhì)量分?jǐn)?shù)wB摩爾分?jǐn)?shù)
xB二元體系相圖的建立物理方法熱分析法金相組織法X射線分析法硬度法電阻法熱膨脹法磁性法計(jì)算方法相圖熱力學(xué)計(jì)算熱分析法時(shí)間溫度凝固開始凝固終了LL+SSCu-Ni相圖Cu30%Ni50%Ni70%NiNi時(shí)間溫度CuNi305070wNi(%)Lα杠桿規(guī)則ABCoCLCαTATBt1LαL+αabo杠桿規(guī)則示意圖8.3.3二元相圖的基本類型1.勻晶相圖當(dāng)兩個(gè)組元化學(xué)性質(zhì)相近,晶體結(jié)構(gòu)相同,晶格常數(shù)相差不大時(shí),它們不僅可以在液態(tài)或熔融態(tài)完全互溶,而且在固態(tài)也完全互溶,形成成分連續(xù)可變的固溶體,稱為無(wú)限固溶體或連續(xù)固溶體,它們形成的相圖即為勻晶相圖(Isomorphoussystem)。二元?jiǎng)蚓鄨DABTATBLαL+α二元?jiǎng)蚓鄨D1)相圖分析液相線固相線液相區(qū)固相區(qū)兩相共存區(qū)ABTATBLαL+α2條線:C=2,P=2,F(xiàn)=1
液相線固相線2個(gè)單相區(qū):C=2,P=1,F(xiàn)=2固相區(qū)、液相區(qū)1個(gè)兩相區(qū):C=2,P=2,F(xiàn)=1認(rèn)識(shí)相圖CaO穩(wěn)定的立方ZrO2相圖重要點(diǎn)N、G——同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變點(diǎn)H、E、P、Q——最大溶解度點(diǎn)J、C、S——包晶、共晶、共析點(diǎn)A、D——Fe、Fe3C熔點(diǎn)包晶反應(yīng)共晶反應(yīng)共析反應(yīng)鐵碳合金相圖分析LdLdPPδL+AFAL+Fe3CA+FF+Fe3CA+Fe3Cδ+Lδ+ALAB0.53C4.3DE2.11FGS0.77P0.02KQJ0.17HFeFe3C0.096.69鐵碳合金分類
鐵碳合金的結(jié)晶過(guò)程分析共析鋼[wc=0.77%]鐵碳合金相圖分析室溫平衡組織:100%P(F和Fe3C)組成相的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:亞共析鋼[0.0218%<wc<0.77%]鐵碳合金相圖分析0.20%C組成相的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:0.40%C室溫平衡組織:F+P,其相對(duì)量為:過(guò)共析鋼[0.077%<wc<2.11%]鐵碳合金相圖分析硝酸酒精侵蝕苦味酸侵蝕室溫平衡組織:P+Fe3CⅡ,其相對(duì)量為:工業(yè)純鐵[wc<0.02%]鐵碳合金相圖分析室溫平衡組織:F+Fe3CⅢ
共晶白口鐵[wc=4.3%]鐵碳合金相圖分析室溫平衡組織:100%亞共晶白口鐵[2.11%<wc<4.3%]鐵碳合金相圖分析室溫平衡組織:P+Fe3CⅡ+過(guò)共晶白口鐵[4.3%<wc<6.69%]鐵碳合金相圖分析室溫平衡組織:+Fe3C成分過(guò)冷
平衡分配系數(shù):在一定溫度下,固、液兩平衡相中溶質(zhì)濃度的比值。k0=Cs/Cl
成分過(guò)冷
成分過(guò)冷及其對(duì)晶體生長(zhǎng)形態(tài)的影響(1)成分過(guò)冷:由成分變化與實(shí)際溫度分布共同決定的過(guò)冷。(2)形成:界面溶質(zhì)濃度從高到低→液相線溫度從低到高。
(圖示:溶質(zhì)分布曲線→勻晶相圖→液相線溫度分布曲線→實(shí)際溫度分布曲線→成分過(guò)冷區(qū)。)成分過(guò)冷
成分過(guò)冷對(duì)生長(zhǎng)形態(tài)的影響成分過(guò)冷越大-生長(zhǎng)形態(tài):平面狀-胞狀-樹枝狀。組分過(guò)冷問(wèn)題生長(zhǎng)純的晶體材料,一般不用考慮組分過(guò)冷問(wèn)題。在通常條件下,組分過(guò)冷是晶體生長(zhǎng)工作者所遇到的主要問(wèn)題。問(wèn)題解決之道:降低生長(zhǎng)速度;提高溫度梯度;加強(qiáng)對(duì)流。如何提高晶體生長(zhǎng)速率?原則:確保不發(fā)生組分過(guò)冷。有效分凝系數(shù)ke越接近1,生長(zhǎng)速率越快;原料純度越高,生長(zhǎng)速率可以越快;液相線斜率越大,生長(zhǎng)速率應(yīng)越慢;溫度梯度越大,生長(zhǎng)速率越快。晶體的熱處理工藝退火將晶體加熱到其固相線以下的某個(gè)溫度(一般為固相線以下50100C),恒溫一段時(shí)間后再緩慢地降至室溫的熱處理工藝稱為退火。目的:均勻化退火;去應(yīng)力退火淬火將晶體從某個(gè)高溫的狀態(tài)被快速降至室溫或更低溫度,以便保持其高溫狀態(tài)或亞穩(wěn)態(tài)的熱處理工藝稱為淬火。第四節(jié)晶體生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)周期鍵鏈理論(periodicbondchain,PBC)在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中,于生長(zhǎng)界面上形成一個(gè)鍵所需要的時(shí)間隨著鍵合能的增加而減少,因而生長(zhǎng)界面的法向生長(zhǎng)速率隨鍵合能的增加而增加,因而晶體生長(zhǎng)最快的方向是化學(xué)鍵最強(qiáng)的方向。(按照Bravais法則)在晶體生長(zhǎng)到最后階段保留下來(lái)的一些主要晶面是原子密排面。晶面生長(zhǎng)速度與面網(wǎng)密度關(guān)系面網(wǎng)密度小生長(zhǎng)速度快,晶面消失快;面網(wǎng)密度大生長(zhǎng)速度慢,易保留下來(lái)成為晶面。生長(zhǎng)速度面網(wǎng)密度小
晶體生長(zhǎng)過(guò)程示意圖擴(kuò)散活化能質(zhì)點(diǎn)由液相向固相遷移原子在光滑面(001)上所有
可能的不同生長(zhǎng)位置晶體生長(zhǎng)過(guò)程實(shí)際上就是基元從周圍環(huán)境中不斷地通過(guò)界面進(jìn)入晶格格位的過(guò)程123456基元優(yōu)先進(jìn)入順序:扭折1>臺(tái)階2>平面3三面凹角二面凹角一般位置晶體生長(zhǎng)晶體生長(zhǎng)晶體的FSK平面:晶體生長(zhǎng)過(guò)程中所出現(xiàn)的平面分為三種類型:平坦面F(flatfaces)臺(tái)階面S(steppedfaces)扭折面K(kinkedfaces)FFFSKK面:生長(zhǎng)速度最快,消失快F面:生長(zhǎng)速度最慢易成為晶面四種晶體生長(zhǎng)界面(1)完整光滑界面;(2)非完整光滑界面;(3)粗糙界面;(4)擴(kuò)散面。完整光滑界面的生長(zhǎng)r--環(huán)境相與晶相之間的化學(xué)勢(shì)差
/2--每個(gè)原子的臺(tái)階能
a--晶格常數(shù)生長(zhǎng)特點(diǎn):晶體層狀生長(zhǎng),層與層間的生長(zhǎng)不是一個(gè)連續(xù)過(guò)程非完整光滑面的生長(zhǎng)在光滑的生長(zhǎng)界面上開始的臺(tái)階源從何處來(lái)?--二維臨界晶核問(wèn)題,因而需要一定的過(guò)飽和度。根據(jù)螺型位錯(cuò)生長(zhǎng)模型,晶體在生長(zhǎng)過(guò)程中就不在需要形成二維臨界晶核,在螺型位錯(cuò)在界面上的露頭處便可提供一永不消失的臺(tái)階源。生長(zhǎng)特點(diǎn):晶體層狀生長(zhǎng),層與層間不是嚴(yán)格平行的生長(zhǎng)面,
呈連續(xù)過(guò)程
所謂位錯(cuò)是指晶體中一部分晶體相對(duì)另一部分晶體發(fā)生了一列或若干列原子有規(guī)律的錯(cuò)排現(xiàn)象。位錯(cuò)的類型有兩種即刃型位錯(cuò)和螺型位錯(cuò)。
螺旋生長(zhǎng)理論spiralgrowth
螺型位錯(cuò)F.C.Frank,W.K.Burton等人提出。凹角螺旋生長(zhǎng)模型
螺旋生長(zhǎng)理論---晶面上的螺旋紋
粗糙突變界面生長(zhǎng)界面上到處是臺(tái)階和扭折,各處位能相同,而且生長(zhǎng)幾率也相同,既不需要二維成核,也不需要位錯(cuò)露頭點(diǎn)。大多數(shù)熔體生長(zhǎng),有些溶液生長(zhǎng),接近于熔點(diǎn)的氣相生長(zhǎng),可以認(rèn)為是粗糙突變界面的生長(zhǎng)。第五節(jié)晶體生長(zhǎng)方法晶體生長(zhǎng)條件:(1)溫度要求:均勻(2)形核要求:?jiǎn)我痪Ш耍?)組成要求:均勻晶體生長(zhǎng)方法:(1)固相法;(2)溶液法;(3)熔體法;(4)助熔劑法;(5)氣相法晶體生長(zhǎng)方法溶液法:方法簡(jiǎn)單,生長(zhǎng)速度慢,晶體應(yīng)力小,均勻性好 降溫法 恒溫蒸發(fā)法 循環(huán)流動(dòng)法 溫差水熱法熔體法:生長(zhǎng)速度快,晶體的純度及完整性高 凝固析晶法 坩堝下降法 提拉法 泡生法 浮區(qū)法 焰熔法 助熔劑法 導(dǎo)模法氣相法:生長(zhǎng)速度慢,晶體純度高、完整性好,宜于薄膜生長(zhǎng) 升華法 反應(yīng)法 熱解法固相法:主要靠固體材料中的擴(kuò)散使非晶或多晶轉(zhuǎn)變?yōu)閱尉?,由于擴(kuò)散速度小,不宜于生長(zhǎng)大塊晶體 高壓法、再結(jié)晶法固相法固體材料在一定的溫度、壓力范圍內(nèi)具有一種穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),轉(zhuǎn)變前后,材料的力學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)等性能可能會(huì)發(fā)生質(zhì)的變化。如:碳 石墨結(jié)構(gòu)金剛石結(jié)構(gòu)(超硬性能)BaTiO3 立方結(jié)構(gòu)四方結(jié)構(gòu)(壓電性)VO2 單斜結(jié)構(gòu)(半導(dǎo)體)
金紅石結(jié)構(gòu)(金屬)V2O3 單斜結(jié)構(gòu)(反鐵磁體)剛玉結(jié)構(gòu)(順磁體)
固-固法生長(zhǎng)晶體,主要是依靠在固體材料中的擴(kuò)散,使多晶或非晶轉(zhuǎn)變?yōu)閱尉?。由于固體中的擴(kuò)散速率非常小,用此法難于得到大塊晶體。在晶體生長(zhǎng)中采用得不多。利用退火消除應(yīng)變的再結(jié)晶;(驅(qū)動(dòng)力來(lái)自應(yīng)變能)利用燒結(jié)生長(zhǎng);(驅(qū)動(dòng)力來(lái)自晶界應(yīng)變能;晶粒表面自由能;不同取向晶粒的自由能差)借助多形性轉(zhuǎn)變生長(zhǎng);(金剛石轉(zhuǎn)變)退玻璃化再結(jié)晶(局部再結(jié)晶)固相法溶液法原理:將原料(溶質(zhì))溶解在溶劑中,采取適當(dāng)?shù)拇胧┰斐扇芤旱倪^(guò)飽和狀態(tài),使晶體在其中生長(zhǎng)。優(yōu)點(diǎn):晶體可在遠(yuǎn)低于其熔點(diǎn)的溫度下生長(zhǎng)。有許多晶體不到熔點(diǎn)就分解或發(fā)生不希望有的晶型轉(zhuǎn)變,有的在熔化時(shí)有很高的蒸汽壓(高溫下某種組分的揮發(fā)將使熔體偏離所需要的成分)。在低溫下使晶體生長(zhǎng)的熱源和生長(zhǎng)容器也較易選擇。降低粘度。有些晶體在熔化狀態(tài)時(shí)粘度很大,冷卻時(shí)不能形成晶體而成為玻璃。溶液法采用低粘度的溶劑可避免這一問(wèn)題。容易長(zhǎng)成大塊的、均勻性良好的晶體,且有較完整的外形。在多數(shù)情況下,可直接觀察晶體生長(zhǎng)過(guò)程,便于對(duì)晶體生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)的研究。缺點(diǎn):組分多,影響晶體生長(zhǎng)的因素比較復(fù)雜,生長(zhǎng)速度慢,周期長(zhǎng)(一般需要數(shù)十天乃至一年以上);對(duì)控溫精度要求高(經(jīng)驗(yàn)表明,為培養(yǎng)高質(zhì)量的晶體,溫度波動(dòng)一般不易超過(guò)百分之幾,甚至是千分之幾度。降溫法原理:利用晶體物質(zhì)較大的正溶解度溫度系數(shù),將在一定溫度下配制的飽和溶液,于封閉的狀態(tài)下保持溶劑總量不變,而逐漸降低溫度,使溶液成為過(guò)飽和溶液,析出的溶質(zhì)不斷結(jié)晶在籽晶上。關(guān)鍵:在整個(gè)生長(zhǎng)過(guò)程中,掌握合適的降溫速度,使溶液始終處于亞穩(wěn)過(guò)飽和,并維持合適的過(guò)飽和度,使晶體正常生長(zhǎng)。適宜于降溫法生長(zhǎng)的幾種材料恒溫蒸發(fā)法在一定的溫度和壓力條件下,靠溶劑的不斷蒸發(fā),使溶液達(dá)到過(guò)飽和狀態(tài),以析出晶體。這種方法適合于生長(zhǎng)溶解度較大而溶解度溫度系數(shù)又很小的物質(zhì)。關(guān)鍵:需要仔細(xì)控制蒸發(fā)量,使溶液始終處于亞穩(wěn)過(guò)飽和,并維持一定的過(guò)飽和度,使析出的溶質(zhì)不斷在籽晶上長(zhǎng)成單晶-由于溫度保持恒定,晶體的應(yīng)力較小。適宜于蒸發(fā)法生長(zhǎng)的幾種材料溫差水熱法利用溫度差產(chǎn)生過(guò)飽和溶液的一種方法。利用溶劑在高溫高壓下會(huì)增加對(duì)溶質(zhì)的溶解度和反應(yīng)速度的特性,用來(lái)生長(zhǎng)常溫常壓下不易溶解的晶體。這種方法可以用來(lái)生長(zhǎng):紅寶石、氧化鋅、方解石、水晶以及一系列硅酸鹽、鎢酸鹽和石榴石等上百種晶體。水熱法的優(yōu)點(diǎn):由于存在相變(如-SiO2)或會(huì)形成玻璃體(如由于粘滯度很高而使結(jié)晶過(guò)程進(jìn)行得很慢的一些硅酸鹽),在熔點(diǎn)時(shí)不穩(wěn)定的結(jié)晶相;在接近熔點(diǎn)時(shí),蒸氣壓高的材料(如氧化鋅)或要分解的材料(如VO2);要求比熔體生長(zhǎng)的晶體有較高完整性的優(yōu)質(zhì)大晶體,或在理想配比困難時(shí),要更好地控制成分的材料。缺點(diǎn):需要特殊的高壓釜和安全防護(hù)措施;需要適當(dāng)大小的優(yōu)質(zhì)籽晶;整個(gè)過(guò)程不能觀察。熔體法許多物質(zhì)在常溫下是固體,當(dāng)溫度升到熔點(diǎn)以上時(shí)就熔化為液體。這種常溫下是固態(tài)的純物質(zhì)的液相稱為熔體。溶液和熔體,溶解和熔化,溶質(zhì)和溶劑有時(shí)很難嚴(yán)格區(qū)分。如:KNO3在少量水的存在下,在遠(yuǎn)低于其熔點(diǎn)的溫度下可化為液體,這樣形成的液體很難判斷是溶液還是熔體。如把它看成KNO3溶于水的溶液時(shí),溶劑太少;如稱為水在KNO3中的溶液時(shí)不符合習(xí)慣的叫法。通常稱該體系為熔體,即KNO3“熔化”在少量的水中。從熔體中生長(zhǎng)晶體是制備大單晶和特定形狀的單晶最常用和最重要的一種方法。電子學(xué)、光學(xué)等現(xiàn)代技術(shù)應(yīng)用中所需的單晶材料,大部分是用熔體生長(zhǎng)方法制備的。如:Si、Ge、GaAs、LiNbO3、Nd:YAG、Al2O3等。硅單晶年產(chǎn)量約1x108Kg(即1萬(wàn)噸,1997年)提拉法(Czochralski法)合適的生長(zhǎng)條件:固液界面附近氣體和熔體中垂直和水平方向上的溫度梯度、旋轉(zhuǎn)速度和提拉速度等大部分用提拉法生長(zhǎng)的晶體,由于種種原因只能在高真空或密閉充保護(hù)氣氛的單晶爐內(nèi)生長(zhǎng)。優(yōu)點(diǎn):便于精密控制生長(zhǎng)條件,可以較快速度獲得優(yōu)質(zhì)大單晶;可以使用定向籽晶,選擇不同取向的籽晶可以得到不同取向的單晶體;可以方便地采用“回熔”和“縮頸”工藝,以降低晶體中的位錯(cuò)密度,提高晶體的完整性;可以在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中直接觀察生長(zhǎng)情況,為控制晶體外形提供了有利條件缺點(diǎn):一般要用坩堝作容器,導(dǎo)致熔體有不同程度的污染;當(dāng)熔體中含有易揮發(fā)物時(shí),則存在控制組分的困難;不適合生長(zhǎng)冷卻過(guò)程中存在固態(tài)相變的材料下降法(Bridgman法)下降法與提拉法不同,它利用的是晶體的自發(fā)成核。其原理是依據(jù)晶體生長(zhǎng)中的幾何淘汰規(guī)律。優(yōu)點(diǎn):原料密封在坩堝內(nèi),減少了揮發(fā)造成的影響;操作簡(jiǎn)單,可以生長(zhǎng)大尺寸的晶體,可生長(zhǎng)的晶體品種多;易實(shí)現(xiàn)程序化生長(zhǎng);由于每個(gè)坩堝中的熔體都可以單獨(dú)成核,這樣可以在一個(gè)結(jié)晶爐中同時(shí)放入若干個(gè)坩堝;或者在一個(gè)大坩堝里放入一個(gè)多孔的柱形坩堝,每個(gè)孔都可以生長(zhǎng)一塊晶體。共用一個(gè)圓錐底部進(jìn)行幾何淘汰,大大提高了成晶率和工作效率。缺點(diǎn):不適宜生長(zhǎng)在冷卻時(shí)體積增大的晶體;與坩堝直接接觸,較大的內(nèi)應(yīng)力和較多的雜質(zhì);難于直接觀察,生長(zhǎng)周期也較長(zhǎng)水平區(qū)熔法-PfannW.G.1952主要用于材料的物理提純。優(yōu)點(diǎn):坩堝對(duì)熔體的污染小,加熱功率低。高純度的硅和鍺:純度8個(gè)9以上99.999999%浮區(qū)法-Keek、Golay,1953原理與水平區(qū)熔法相同。生長(zhǎng)的晶體和多晶原料棒之間的熔區(qū)是靠熔體的表面張力維持的。適宜生長(zhǎng)有較大表面張力和較低的熔態(tài)密度的材料。優(yōu)點(diǎn):不需坩堝,污染??;
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