GB/T 5226.33-2017機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第33部分：半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件

ICS29020

J09.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備

第33部分半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件

:

Electricalsafetyofmachinery—Electricalequipmentofmachines—

Part33Reuirementsforsemiconductorfabricationeuiment

:qqp

(IEC60204-33:2009,Safetyofmachinery—Electricalequipmentofmachines—

Part33:Requirementsforsemiconductorfabricationequipment,IDT)

2017-10-14發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

目次

前言

…………………………Ⅶ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………3

基本要求

4…………………11

一般原則

4.1……………11

電氣設(shè)備的選擇

4.2……………………11

電源

4.3…………………11

實(shí)際環(huán)境和運(yùn)行條件

4.4………………12

運(yùn)輸和存放

4.5…………………………12

設(shè)備搬運(yùn)

4.6……………12

安裝

4.7…………………12

引入電源線端接法和切斷開關(guān)

5…………12

引入電源線端接法

5.1…………………12

連接外部保護(hù)接地系統(tǒng)的端子

5.2……………………13

電源切斷隔離開關(guān)

5.3()………………13

附加切斷裝置

5.4………………………15

對未經(jīng)允許疏忽和錯(cuò)誤連接的防護(hù)

5.5、……………15

電擊防護(hù)

6…………………16

概述

6.1…………………16

直接接觸的防護(hù)

6.2……………………16

間接接觸的防護(hù)

6.3……………………17

采用的保護(hù)

6.4PELV…………………18

防止有技能人員和受訓(xùn)人員接觸危險(xiǎn)帶電部分

6.5…………………19

電氣設(shè)備的保護(hù)

7…………………………19

概述

7.1…………………19

過電流保護(hù)

7.2…………………………20

電動機(jī)的過熱保護(hù)

7.3…………………22

電動機(jī)的超速保護(hù)

7.4…………………22

異常溫度的檢測

7.5……………………23

對電源中斷或電壓降落隨后復(fù)原的保護(hù)

7.6…………23

接地故障殘余電流保護(hù)

7.7/…………23

相序保護(hù)

7.8……………23

閃電和開關(guān)浪涌引起過電壓的防護(hù)

7.9………………23

電解電容器

7.10………………………23

等電位聯(lián)結(jié)

8………………23

Ⅰ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

概述

8.1…………………23

保護(hù)聯(lián)結(jié)電路

8.2………………………25

功能聯(lián)結(jié)

8.3……………27

限制大泄漏電流影響的措施

8.4………………………27

控制電路緊急斷開和保護(hù)聯(lián)鎖電路

9,(EMO)…………27

控制電路

9.1……………27

緊急斷開

9.2(EMO)…………………28

緊急斷開之外的操作

9.3………………29

聯(lián)鎖保護(hù)

9.4……………30

安全功能和或保護(hù)措施的暫時(shí)停止

9.5()……………31

操作板和安裝在機(jī)械上的控制器件

10…………………31

總則

10.1………………31

按鈕

10.2………………32

指示燈

10.3……………33

光標(biāo)按鈕

10.4…………………………34

旋動控制器件

10.5……………………34

起動器件

10.6…………………………34

緊急斷開裝置

10.7……………………34

緊急停止裝置

10.8……………………35

使能控制器件

10.9……………………35

控制設(shè)備位置安裝和電柜

11:、…………35

一般要求

11.1…………………………35

位置和安裝

11.2………………………35

防護(hù)等級

11.3…………………………36

電柜

11.4………………36

導(dǎo)線和電纜

12……………38

一般要求

12.1…………………………38

絕緣

12.2………………39

載流容量

12.3…………………………39

導(dǎo)線和電纜的電壓降

12.4……………39

柔性電纜

12.5…………………………39

配線技術(shù)

13………………40

連接和布線

13.1………………………40

多插座組件

13.2………………………42

插頭插座組合件

13.3/…………………42

導(dǎo)線的標(biāo)識

13.4………………………42

電柜外配線

13.5………………………43

管道接線盒與其他線盒

13.6、…………45

電動機(jī)及有關(guān)設(shè)備

14……………………46

一般要求

14.1…………………………46

遠(yuǎn)程安裝的電動機(jī)

14.2………………46

Ⅱ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

電機(jī)尺寸

14.3…………………………46

電機(jī)的安裝與隔間

14.4………………46

附件和照明

15……………46

附件

15.1………………46

半導(dǎo)體設(shè)備的局部照明

15.2…………46

標(biāo)記警告標(biāo)志和參照代號

16、……………47

概述

16.1………………47

電擊危險(xiǎn)警告標(biāo)志

16.2………………47

功能識別

16.3…………………………47

設(shè)備的銘牌

16.4………………………48

參照代號

16.5…………………………48

技術(shù)文件

17………………48

概述

17.1………………48

提供的資料

17.2………………………48

適用于所有文件的要求

17.3…………49

安裝文件

17.4…………………………49

概略圖和功能圖

17.5…………………50

電路圖

17.6……………50

操作文件

17.7…………………………50

維修文件

17.8…………………………50

測試

18……………………51

概述

18.1………………51

接地連續(xù)性和保護(hù)聯(lián)結(jié)回路連續(xù)性試驗(yàn)

18.2………51

一體式電源線的接觸電流試驗(yàn)

18.3…………………52

耐壓試驗(yàn)

18.4…………………………52

電線防拉試驗(yàn)

18.5……………………53

電輸出源短路試驗(yàn)

18.6………………54

聯(lián)鎖保護(hù)電路功能試驗(yàn)

18.7…………54

儲能電容器放電試驗(yàn)見

18.8(6.2.4)…………………54

溫度試驗(yàn)

18.9…………………………55

電柜強(qiáng)度試驗(yàn)的穩(wěn)定力試驗(yàn)

18.10;30N……………55

電氣柜強(qiáng)度試驗(yàn)的穩(wěn)定力試驗(yàn)

18.11;250N………56

指型試具試驗(yàn)

18.12……………………56

導(dǎo)線彎曲試驗(yàn)

18.13……………………56

絕緣電阻試驗(yàn)

18.14……………………57

功能試驗(yàn)

18.15EMO…………………57

輸入電流試驗(yàn)

18.16……………………57

其他安全電路實(shí)驗(yàn)

18.17………………57

電動機(jī)溫度試驗(yàn)

18.18…………………57

附錄規(guī)范性附錄在系統(tǒng)中的基本保護(hù)間接接觸的防護(hù)來自

A()TN()(GB/T16895.21—2011

和

GB/T16895.23—2012)……………………59

Ⅲ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

附錄規(guī)范性附錄在系統(tǒng)中間接接觸的防護(hù)來自和

B()TT(GB/T16895.21—2011

GB/T16895.23—2012)…………62

附錄規(guī)范性附錄導(dǎo)體載流能力電氣間隙和爬電距離

C()、…………64

附錄規(guī)范性附錄標(biāo)準(zhǔn)試指

D()…………70

附錄資料性附錄系統(tǒng)接地型式引自

E()(IEC60364-1:2005)………72

參考文獻(xiàn)

……………………86

圖電氣設(shè)備等電位接地示例

1…………24

圖電氣外殼前面空間

2…………………38

圖故障環(huán)路阻抗測量典型配置

A.1……………………61

圖剛性試指

D.1…………………………70

圖鉸接試指

D.2…………………………71

圖整個(gè)系統(tǒng)的中性線和保護(hù)導(dǎo)體是分開的系統(tǒng)

E.1TN-S…………73

圖整個(gè)系統(tǒng)的接地相線和保護(hù)導(dǎo)體是分開的系統(tǒng)

E.2TN-S………73

圖有保護(hù)接地沒有配電中性導(dǎo)體的系統(tǒng)

E.3,TN-S…………………74

圖三相四線的系統(tǒng)中在裝置中某處和是分開的

E.4TN-C-S,PENPEN…………74

圖三相四線的系統(tǒng)中在進(jìn)線端分開成和

E.5TN-C-S,PENPEN………………75

圖單相兩線的系統(tǒng)中在進(jìn)線端分開成和

E.6TN-C-S,PENPEN………………75

圖系統(tǒng)整個(gè)系統(tǒng)中性導(dǎo)體和保護(hù)導(dǎo)體合一

E.7TN-C…………………76

圖在用電設(shè)備中保護(hù)導(dǎo)體和中性線分開的的多電源系統(tǒng)

E.8TN-C-S……………77

圖具有兩相或三相負(fù)載整個(gè)系統(tǒng)只有保護(hù)導(dǎo)體而沒有中線的多電源系統(tǒng)

E.9,TN………………78

圖在整個(gè)裝置中中性線和保護(hù)導(dǎo)體分開的系統(tǒng)

E.10TT……………79

圖在整個(gè)裝置中具有接地保護(hù)導(dǎo)體而沒有中線的系統(tǒng)

E.11TT……79

圖所有外露可導(dǎo)電部分通過一個(gè)共地的保護(hù)導(dǎo)體互連的系統(tǒng)

E.12IT……………80

圖外露可導(dǎo)電部分成組接地或單獨(dú)接地的系統(tǒng)

E.13IT……………80

圖直流系統(tǒng)

E.14TN-S…………………81

圖直流系統(tǒng)

E.15TN-C…………………82

圖直流系統(tǒng)

E.16TN-C-S………………83

圖直流系統(tǒng)

E.17TT……………………84

圖直流系統(tǒng)

E.18IT……………………85

表無熱保護(hù)的變壓器過電流保護(hù)

1……………………21

表帶熱保護(hù)的變壓器過電流保護(hù)

2……………………22

表按鈕操動器的顏色代碼及其含義

3…………………32

表按鈕符號

4……………33

表指示燈的顏色及其相對于半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)的含義

5………………34

表電氣設(shè)備部件可接受的溫度

6………………………55

表系統(tǒng)的最長切斷時(shí)間

A.1TN………………………59

表最長切斷時(shí)間

B.1……………………63

表的導(dǎo)體載流量環(huán)境溫度

C.1AWG30-4,30℃……………………64

表2的導(dǎo)體載流量環(huán)境溫度

C.225mm~600kcmil,30℃…………65

表降額載流量根據(jù)表和表22

C.3(C.1C.2)0.050mm~4.00mm…………………65

Ⅳ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

表環(huán)境溫度校正系數(shù)

C.4………………66

表非絕緣母線尺寸

C.5…………………66

表潔凈室等級或以下的電氣間隙和爬電距離

C.61000……………68

表印刷線路板爬電距離

C.7(PWB)……………………68

表潔凈室等級以上的電氣間隙和爬電距離

C.81000………………69

Ⅴ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

前言

機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備擬分成部分出版已經(jīng)發(fā)布如下幾部分

GB/T5226《》,:

第部分通用技術(shù)條件

———1:;

第部分建設(shè)機(jī)械技術(shù)條件

———6:;

第部分電壓高于或但不超過的高壓設(shè)備的技術(shù)條件

———11:1000Va.c.1500Vd.c.36kV;

第部分縫紉機(jī)縫制單元和系統(tǒng)的特殊安全和電磁兼容性方面的要求

———31:、;

第部分起重機(jī)械通用技術(shù)條件

———32:;

第部分半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件

———33:。

本部分為的第部分

GB/T522633。

本部分按給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用機(jī)械安全機(jī)械電氣設(shè)備第部分半導(dǎo)體設(shè)

IEC60204-33:2009《33:

備技術(shù)條件第版英文版

》(1,)。

與本部分中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對應(yīng)關(guān)系的我國文件如下

:

標(biāo)準(zhǔn)電壓

———GB/T156—2007(IEC60038:2002,MOD)

外殼防護(hù)等級代碼

———GB/T4208—2017(IP)(IEC60529:2001,IDT)

所有部分電氣簡圖用圖形符號所有部分

———GB/T4728()[IEC60617()]

信息技術(shù)設(shè)備安全第部分通用要求

———GB4943.1—20111:(IEC60950-1:2005,MOD)

電工電子產(chǎn)品著火危險(xiǎn)試驗(yàn)第部分試驗(yàn)火焰水平與垂

———GB/T5169.16—200816:50W

直火焰試驗(yàn)方法

(IEC60695-11-10:2003,IDT)

所有部分電氣設(shè)備用圖形符號所有部分

———GB/T5465()[IEC60417()]

所有部分機(jī)械安全控制系統(tǒng)有關(guān)安全部件所有部分

———GB/T16855()[ISO13849()]

機(jī)械安全控制系統(tǒng)有關(guān)安全部件第部分設(shè)計(jì)通則

———GB/T16855.1—20081:(ISO13849-

1:2006,IDT)

所有部分機(jī)械安全指示標(biāo)志和操作所有部分

———GB/T18209()、[IEC61310()]

變壓器電抗器電源裝置及其組合的安全第部分通用要求和試

———GB/T19212.1—2016、、1:

驗(yàn)

(IEC61558-1:2009,MOD)

機(jī)械安全雙手操縱裝置功能狀況及設(shè)計(jì)原則

———GB/T19671—2005(ISO13851:2002,

MOD)

所有部分電氣電子可編程電子安全相關(guān)系統(tǒng)的功能安全所有

———GB/T20438()//[IEC61508(

部分

)]

本部分做了下列編輯性修改

:

標(biāo)準(zhǔn)名稱改為機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第部分半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件

———《33:》。

本部分由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本部分由全國工業(yè)機(jī)械電氣系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC231)。

本部分負(fù)責(zé)起草單位中微半導(dǎo)體設(shè)備上海有限公司

:()。

本部分參加起草單位北京機(jī)床研究所上海微電子裝備有限公司北京北方微電子基地設(shè)備工藝

:、、

研究中心有限責(zé)任公司沈陽拓荊科技有限公司北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司中晟光電設(shè)備上

、、、(

海有限公司理想太陽能上海有限公司盛美半導(dǎo)體設(shè)備上海有限公司

)、()、()。

本部分主要起草人李天笑黃祖廣王海濤田保峽郭和平沈紅孫東曦潘菊鳳孫巖劉忠武

:、、、、、、、、、、

張志強(qiáng)李補(bǔ)忠薛瑞娟

、、。

Ⅶ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備

第33部分半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件

:

1范圍

的本部分規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)的制造測量組裝和測試的電氣電子和可編程電子

GB/T5226、、、

設(shè)備及系統(tǒng)的安全要求

。

注1本部分中的電氣一詞包括電氣電子和可編程電子設(shè)備三方面如電氣設(shè)備是指電氣設(shè)備電子設(shè)備和可編

:“”、(、

程電子設(shè)備

)。

注2就本部分而言人