標(biāo)準(zhǔn)解讀

《JJG 77-2006 干涉顯微鏡》與《JJG 77-1983》相比，在多個方面進(jìn)行了更新和改進(jìn)，以適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和實際應(yīng)用需求的變化。主要變化包括但不限于：

  1. 適用范圍的擴(kuò)展：新標(biāo)準(zhǔn)不僅適用于傳統(tǒng)的光學(xué)干涉顯微鏡，還涵蓋了基于數(shù)字處理技術(shù)的新一代干涉顯微鏡系統(tǒng)，這反映了近年來干涉測量技術(shù)的發(fā)展趨勢。

  2. 術(shù)語定義的更新：隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，《JJG 77-2006》對部分專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了重新定義或增加了新的定義項，旨在更加準(zhǔn)確地描述相關(guān)概念和技術(shù)特點，確保行業(yè)內(nèi)交流的一致性和準(zhǔn)確性。

  3. 技術(shù)要求及檢驗方法的調(diào)整：針對不同類型的干涉顯微鏡，《JJG 77-2006》提出了更為詳細(xì)的技術(shù)指標(biāo)要求，并且對于如何進(jìn)行這些指標(biāo)的檢測給出了具體指導(dǎo)。比如，增加了對非接觸式三維形貌測量系統(tǒng)的性能評價內(nèi)容，以及相應(yīng)的測試條件、步驟等。

  4. 增加了安全性和環(huán)境保護(hù)方面的要求：考慮到設(shè)備使用過程中可能涉及到的安全問題以及對環(huán)境的影響，《JJG 77-2006》特別強(qiáng)調(diào)了產(chǎn)品設(shè)計時應(yīng)考慮的人體工程學(xué)因素、電磁兼容性等安全性要求；同時，也提到了關(guān)于廢棄電子產(chǎn)品回收處理的相關(guān)規(guī)定。

  5. 附錄信息的補(bǔ)充：為了更好地幫助使用者理解和執(zhí)行該標(biāo)準(zhǔn)，《JJG 77-2006》在附錄中提供了更多實用性的參考資料，如典型應(yīng)用案例分析、常見故障排除指南等，增強(qiáng)了標(biāo)準(zhǔn)的實際操作指導(dǎo)意義。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2006-05-23 頒布
  • 2006-11-23 實施
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JJG 77-2006干涉顯微鏡_第1頁
JJG 77-2006干涉顯微鏡_第2頁
JJG 77-2006干涉顯微鏡_第3頁
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文檔簡介

中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程

JJG77—2006

干涉顯微鏡

InterferenceMicroscopes

2006-05-23發(fā)布2006-11-23實施

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

JJG77—2006

干涉顯微鏡檢定規(guī)程??

??????????????

?JJG77—2006?

??

VerificationRegulationof?代替JJG77—1983?

?????????????

??

??

InterferenceMicroscopes

本規(guī)程經(jīng)國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局年月日批準(zhǔn)并自

2006523,

年月日起施行

20061123。

歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會

起草單位:中國計量科學(xué)研究院

本規(guī)程委托全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋

JJG77—2006

本規(guī)程主要起草人:

杜華中國計量科學(xué)研究院

()

高思田中國計量科學(xué)研究院

()

參加起草人:

趙有祥中國計量科學(xué)研究院

()

朱小平中國計量科學(xué)研究院

()

JJG77—2006

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計量性能要求…………

4(3)

干涉濾光片的特性…………………

4.1(3)

測微鼓輪微分筒刻線錐面的內(nèi)棱邊與固定套管刻線面之間的距離……………

4.2(3)

測微目鏡十字線分劃板的指標(biāo)線與毫米分劃板刻線的相對位置………………

4.3(3)

測微目鏡測微鼓輪刻線與毫米分劃板刻線的相符性……………

4.4(3)

測微目鏡的示值誤差………………

4.5(3)

光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量…………………

4.6(3)

工作臺與主光軸的相互位置………

4.7(4)

輔助成像裝置的特性………………

4.8(4)

儀器的示值誤差……………………

4.9(4)

通用技術(shù)要求…………

5(4)

計量器具控制…………

6(5)

檢定條件……………

6.1(5)

檢定項目……………

6.2(6)

檢定方法……………

6.3(6)

檢定結(jié)果的處理……………………

6.4(10)

檢定周期……………

6.5(10)

附錄干涉顯微鏡示值誤差檢定結(jié)果的不確定度評定……………

A(11)

附錄檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式…………………

B()(16)

JJG77—2006

干涉顯微鏡檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于雙光束干涉顯微鏡的首次檢定后續(xù)檢定和使用中檢驗

、。

2引用文獻(xiàn)

本規(guī)程引用下列文獻(xiàn)

:

通用計量術(shù)語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

測量儀器特性評定技術(shù)規(guī)范

JJF1094—2002

干涉濾光片檢定規(guī)程

JJG812—1993

使用本規(guī)程時應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

干涉顯微鏡由干涉和顯微系統(tǒng)組成利用光波干涉原理來測量表面粗糙度參數(shù)它

,。

是以范圍為的光波波長為標(biāo)尺將被測表面與標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)鏡面相比較

(530~600)nm,,

再經(jīng)顯微系統(tǒng)高倍放大后來觀察和測量被測表面的微觀幾何形狀特性雙光束干涉顯

,。

微鏡主要用于表面粗糙度評定參數(shù)Rz的測量該儀器可用來測量精密加工零件的表面

。

如平面圓柱面等外表面也可用來測量零件表面刻線鍍層等深度目前常用的儀器

、,

溫馨提示

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