JJG 739-2005激光干涉儀

中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程

JJG739—2005

激光干涉儀

LaserInterferometers

2005-10-09發(fā)布2006-04-09實施

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中華人民共和國

國家計量檢定規(guī)程

激光干涉儀

JJG739—2005

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

*

中國質(zhì)檢出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第二版

201712

*

書號

:155026·J-2122

版權(quán)專有侵權(quán)必究

JJG739—2005

激光干涉儀檢定規(guī)程??

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LaserInterferometers

本規(guī)程經(jīng)國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局年月日批準(zhǔn)并自

20051009,

年月日施行

20060409。

歸口單位全國幾何量長度計量技術(shù)委員會

:

起草單位中國計量科學(xué)研究院

:

本規(guī)程委托全國幾何量長度計量技術(shù)委員會負責(zé)解釋

JJG739—2005

本規(guī)程起草人

:

許婕中國計量科學(xué)研究院

()

鄒玲丁中國計量科學(xué)研究院

()

JJG739—2005

目錄

范圍

1……………………(1)

引用文獻

2………………(1)

術(shù)語

3……………………(1)

概述

4……………………(1)

計量性能要求

5…………(1)

激光波長不確定度

5.1…………………(1)

位移測量示值誤差

5.2…………………(1)

環(huán)境參數(shù)示值誤差

5.3…………………(1)

角度分度誤差

5.4………………………(2)

直線度示值誤差

5.5……………………(2)

非線性

5.6………………(2)

通用技術(shù)要求

6…………(2)

外觀

6.1…………………(2)

儀器各部分相互作用

6.2………………(2)

預(yù)熱時間

6.3……………(2)

計量器具控制

7…………(2)

檢定條件

7.1……………(2)

檢定項目

7.2……………(3)

檢定方法

7.3……………(3)

檢定結(jié)果處理

7.4………………………(5)

檢定周期

7.5……………(5)

附錄檢定證書內(nèi)頁格式

()…………(6)

Ⅰ

JJG739—2005

激光干涉儀檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于激光干涉儀的首次檢定和后續(xù)檢定

。

2引用文獻

本規(guī)程引用下列文獻

:

蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器檢定規(guī)程

JJG353—1994He-Ne

壓力傳感器靜態(tài)檢定規(guī)程

JJG860—1994()

激光小角度測量儀檢定規(guī)程

JJG998—2005

通用計量術(shù)語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

測量儀器特性評定技術(shù)規(guī)范

JJF1094—2002

使用本規(guī)程時應(yīng)注意使用上述引用文獻的現(xiàn)行有效版本

,。

3術(shù)語

激光干涉儀非線性指激光干涉儀為了獲得高分辨力在一個干涉周期內(nèi)對干涉條

:,

紋進行細分時引起的測長誤差

。

4概述

激光干涉儀是以激光波長為測量標(biāo)準(zhǔn)進行位移直線度角度等幾何量測量的高

,、、

精度多功能計量儀器它是利用兩束單頻激光束或兩束具有微小固定頻差的雙頻激

、。,

光束進行干涉測量的儀器

,。

激光干涉儀包括激光頭電箱其中包括數(shù)據(jù)傳輸卡光學(xué)組件計算機環(huán)境

、()、、、

參數(shù)傳感器測量軟件等主要用于機床加工中心坐標(biāo)測量機等設(shè)備的檢測

、。、、。

5計量性能要求

激光波長不確定度

5.1

激光波長的相對擴展不確定度應(yīng)符合-7