靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識(shí)課件

靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識(shí)審核：尹紀(jì)兵2008年２月２０日培訓(xùn)內(nèi)容１●

靜電防護(hù)的重要性２●靜電及其防護(hù)基本概念３●靜電危害４●靜電防護(hù)１●

靜電防護(hù)的重要性1.隨著科技進(jìn)步，超大規(guī)模集成電路廣泛應(yīng)用。2.由于元器件尺寸的變小和芯片內(nèi)部的氧化膜變薄，使器件承受靜電放電的能力下降。３.元器件的儲(chǔ)存，貼裝，焊接，測(cè)試直到包裝等工序可能發(fā)生因靜電放電造成對(duì)器件的損害。4防靜電保護(hù)區(qū)(EPA：ElectrostaticProtectionArea)由防靜電器材建造和裝配起來(lái)，能防止靜電釋放產(chǎn)生的損害并作出明顯標(biāo)記的供經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的人員操作ESDS產(chǎn)品的區(qū)域。

5接地(Grounding)電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體(常指大地)。6接地點(diǎn)(EBP:EarthBoundingPoint)

接地連接點(diǎn)２●２靜電的產(chǎn)生1摩擦起電(由物體的接觸摩擦產(chǎn)生靜電)2剝離起電（相互密切結(jié)合的物體剝離）3斷裂帶電（材料因機(jī)械破裂使帶電粒子分開(kāi)）4高速運(yùn)動(dòng)中的物體（高速運(yùn)動(dòng)的物體表面與空氣摩擦帶電）３●１靜電危害A：靜電吸附元器件制造過(guò)程中由于二氧化硅等材料易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體擊穿失效；B：靜電擊穿和軟擊穿靜電放電對(duì)靜電敏感器件損害的主要表現(xiàn)，一是硬擊穿，造成整個(gè)器件的失效和損壞；二是軟擊穿，造成器件的局部損傷，降低了器件的技術(shù)性能，而留下不易被人們發(fā)現(xiàn)的隱患，以致設(shè)備不能正常工作。４●１典型ESD控制工作系統(tǒng)1.防ESD地面2.防ESD臺(tái)面3.防ESD設(shè)備周轉(zhuǎn)、包裝、運(yùn)輸材料4.防ESD腕帶插孔5.個(gè)人ESD防護(hù)用品(腕帶、腳環(huán)、工服、手套等)6.可靠的接地系統(tǒng)EOS防護(hù)料盤(pán).料盒EOS防護(hù)臺(tái)面EOS防護(hù)地墊建筑地面手腕地共地點(diǎn)４●靜電防護(hù)４●２防靜電手腕帶1所有與靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施有直接接觸的人員在ＳＭＴ生產(chǎn)中必須佩戴腕帶；2作業(yè)員在每班開(kāi)始前必須用腕帶測(cè)試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進(jìn)行更換，直到檢測(cè)合格為止。佩戴防靜電手腕帶注意事項(xiàng)1手腕帶必須貼緊皮膚，不要戴在衣服或手套上；2皮膚干燥的員工，如果測(cè)試失敗，可在再次測(cè)試前，在戴手腕帶處抹一些專(zhuān)用皮膚霜，以增加皮膚的導(dǎo)電性；

3有手腕帶接地點(diǎn)的工位，在不影響操作的前提下，必須使用手腕帶。對(duì)轉(zhuǎn)件員及上料員因無(wú)法使用手腕帶，這些員工要使用防靜電工作手套；4員工在防靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)工作時(shí)，提倡盡可能使用手腕帶。４●３防靜電工作鞋1.除電工外，所有進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作鞋。電工因工作需進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時(shí)，應(yīng)盡量在距離防靜電保護(hù)區(qū)1.5米的區(qū)域內(nèi)活動(dòng)，工作完成后不得在生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留；2.除電工外，所有工作人員每日在進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，必須用靜電鞋測(cè)試儀檢查其連續(xù)使用性，并在ESD日檢表上作記錄。４●４防靜電工作服1.除電工外，所有進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作服。發(fā)長(zhǎng)過(guò)衣領(lǐng)的員工在進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，應(yīng)盤(pán)或扎起頭發(fā)，使發(fā)梢高于衣領(lǐng)，必要時(shí)，必須戴防靜電工作帽；

2.電工因工作需進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時(shí),應(yīng)盡量在距離防靜電保護(hù)區(qū)1.5米的區(qū)域內(nèi)活動(dòng),工作完成后不得在生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留。４●５防靜電地板1.指定的地板清潔工必須使用防靜電拖把來(lái)清除污跡，并使用防靜電清潔劑；2.防靜電地板的傳導(dǎo)是通過(guò)打蠟來(lái)維護(hù)的。ESD測(cè)試人員每周測(cè)一次生產(chǎn)作業(yè)區(qū)地板的電阻值。對(duì)于測(cè)試超標(biāo)的區(qū)域，廠務(wù)應(yīng)盡快安排人員進(jìn)行打蠟，對(duì)打蠟后的效果，ESD測(cè)試人員兩天內(nèi)應(yīng)安排時(shí)間再次進(jìn)行測(cè)量。3.人身安全工作臺(tái)面、坐椅等導(dǎo)靜電的ESD保護(hù)措施均應(yīng)通過(guò)限流電阻接到地線。保證減少電擊事故。即使有事故，必須使通過(guò)人體的電流低于5mA。4.部門(mén)合作當(dāng)移動(dòng)固定貨架、工作臺(tái)等物品時(shí)，及時(shí)通知廠房設(shè)備部門(mén)連接接地線。４●７

ESDS（靜電釋放敏感產(chǎn)品）產(chǎn)品的運(yùn)輸

存放和操作器具1.在運(yùn)輸和存放ESDS產(chǎn)品時(shí)應(yīng)使用防靜電貨架、防靜電推車(chē)和防靜電周轉(zhuǎn)容器；2.防靜電貨架的表面必須覆蓋上防靜電墊，并接地；

3.運(yùn)輸用的防靜手推車(chē)和轉(zhuǎn)運(yùn)車(chē)的表面必須覆蓋上防靜電墊，并且輪子必須是傳導(dǎo)輪；４●

８腕帶檢測(cè)方法：1.

把檢測(cè)儀面板上選擇開(kāi)關(guān)換至腕帶檢測(cè)檔；2.

按正確方法佩帶腕帶；3.

把腕帶插頭插入檢測(cè)儀面板上的腕帶插孔處；4.

按檢測(cè)