YS/T 898-2013高純鉭化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

ICS7712099

H63..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T898—2013

高純鉭化學(xué)分析方法

痕量雜質(zhì)元素的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Methodsforchemicalanalysisofthehighpuritytantalum—

Determinationoftraceimpurityelementcontent—

Inductivelycoupledplasmamassspectrometry

2013-10-17發(fā)布2014-03-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T898—2013

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位北京有色金屬研究總院金川新材料科技股份有限公司東方電氣集團峨嵋半導(dǎo)

:、、

體材料有限公司

。

本標準主要起草人李艷芬張殿凱劉英孫澤明童堅臧慕文張江峰邱平文英

:、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T898—2013

高純鉭化學(xué)分析方法

痕量雜質(zhì)元素的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

1范圍

本標準規(guī)定了高純鉭中鋰鈹硼鎂鈦釩錳鐵鈷鎳銅鋅鎵砷鍶鋯鈮鉬鎘錫銻

、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、

鉿鎢鉛和鉍量的測定方法

、、。

本標準適用于高純鉭中痕量雜質(zhì)的測定測定范圍

,:0.0001%~0.010%。

2方法提要

試料用硝酸和氫氟酸溶解以銫內(nèi)標進行校正用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀直接測定按工作曲線

,,,

法計算各元素的質(zhì)量濃度以質(zhì)量分數(shù)表示測定結(jié)果

,。

3試劑

除非另有說明分析中所用的試劑均為優(yōu)級純所用水為一級水

,;。

31氫氟酸ρ

.(=1.16g/mL)

32硝酸ρ

.(=1.42g/mL)

33硝酸

.(1+1)。

34鋰鈹硼鎂鈦釩錳鐵鈷鎳銅鋅鎵砷鍶鋯鈮鉬鎘錫銻鉿鎢鉛鉍和銫單元

.、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、

素標準貯存溶液國家標準樣品國家標準物質(zhì)質(zhì)量濃度為

(/),1000μg/mL。

35混合標準溶液分別移取各元素標準貯存溶液銫元素除外于塑料

.A:10.00mL()(3.4)1000mL

容量瓶中補加氫氟酸硝酸用水稀釋至刻度混勻此溶液含鋰鈹

,2mL(3.1),20mL(3.3),,。1mL、、

硼鎂鈦釩錳鐵鈷鎳銅鋅鎵砷鍶鋯鈮鉬鎘錫銻鉿鎢鉛和鉍各

、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、10μg。

36混合標準溶液移取混合標準溶液于塑料容量瓶中補加硝酸

.B:10.00mLA(3.5)100mL,2mL

用水稀釋至刻度混勻此溶液含鋰鈹硼鎂鈦釩錳鐵鈷鎳銅鋅鎵砷鍶

(3.3),,。1mL、、、、、、、、、、、、、、、

鋯鈮鉬鎘錫銻鉿鎢鉛和鉍各用時現(xiàn)配

、、、、、、、、1μg,。

37銫內(nèi)標溶液移取銫元素標準貯存溶液于塑料容量瓶中用水稀釋至刻

.:1.00mL(3.4)1000mL,

度混勻此溶液含銫

,。1mL1μg。

4儀器

41電感耦合等離子體質(zhì)譜儀質(zhì)量分辨率優(yōu)于在峰高處配備耐氫氟酸進樣系統(tǒng)配備

.:0.8u(10%);;

能夠消除干擾離子如381+4