第2講真空技術(shù)基礎(chǔ)(4課時(shí))

第二講真空技術(shù)基礎(chǔ)Fundamentalsofvacuumtechnology

要點(diǎn)

氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本概念真空獲得的手段真空度的測(cè)量1、氣體分子的運(yùn)動(dòng)速度及其分布?xì)怏w分子運(yùn)動(dòng)論認(rèn)為：氣體的大量分子每時(shí)每刻都處于無(wú)規(guī)則的熱運(yùn)動(dòng)之中，其平均速度取決于氣體所具有的溫度；同時(shí)，在氣體分子之間以及氣體分子與容器壁之間，發(fā)生著不斷的碰撞過(guò)程，這種碰撞過(guò)程的結(jié)果之一是使氣體分子的速度服從一定的統(tǒng)計(jì)分布。氣體分子的運(yùn)動(dòng)速度υ服從麥克斯韋爾-玻耳茲曼（Maxwell-Boltzmann）分布：（1-1）

式中，M為氣體分子的相對(duì)原子質(zhì)量，T為熱力學(xué)溫度，R為氣體常數(shù)。上式表明：氣體分子的速度分布只取決于分子的相對(duì)原子質(zhì)量M與氣體熱力學(xué)溫度T的比值2.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本概念根據(jù)式1-1，還可以求出氣體分子的平均運(yùn)動(dòng)速度：

可見(jiàn)：溫度越高、氣體分子的相對(duì)原子質(zhì)量越小，則分子的平均運(yùn)動(dòng)速度越大；不同種類(lèi)氣體分子的平均運(yùn)動(dòng)速度也只與T/M的平方根成正比。

在常溫條件下，一般氣體分子的運(yùn)動(dòng)速度是很高的。比如在T=300K時(shí)，空氣分子的平均運(yùn)動(dòng)速度υa≈

460m/s。

同時(shí)由氣體的速度分布函數(shù)還可以證明，每摩爾氣體分子的動(dòng)能等于（3/2）RT，也只與其熱力學(xué)溫度有關(guān)。薄膜材料的制備過(guò)程是:

atombyatom

幾乎所有的現(xiàn)代薄膜材料都是在真空或是在較低的氣體壓力下制備的，都涉及到氣相的產(chǎn)生、輸運(yùn)以及氣相反應(yīng)的過(guò)程。薄膜材料與真空技術(shù)

大氣壓:atm,kg/cm2,barPa:N/m2Torr:mm·Hg氣體壓力的單位與換算1atm=1000mbar=0.1MPa1Torr=133Pa薄膜技術(shù)領(lǐng)域：從10-7Pa到105Pa，覆蓋了12個(gè)數(shù)量級(jí)描述氣體壓強(qiáng)的單位很多，如下表：注：1托就是指在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，1毫米汞柱對(duì)單位面積上的壓力。本書(shū)采用我國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定采用的Pa（或MPa、Gpa）作為氣體壓力的基本單位。單位帕/Pa托/Torr毫巴/mba標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1Pa17.5×10-3

1×10-2

9.87×10-6

1Torr133.311.3331.316×10-3

1mba1000.7519.87×10-4

1atm1.013×1057601.013×103

1

氣體的壓力:

理想氣體的狀態(tài)方程氣體分子的速度分布:Maxwell-Boltzmann分布?xì)怏w分子的自由程、碰撞頻率:

分子運(yùn)動(dòng)學(xué)的基本概念2、氣體的壓力和氣體分子的平均自由程（1）氣體的壓力氣體分子與容器壁的不斷碰撞對(duì)外表現(xiàn)為氣體具有一定的壓力。理想氣體的壓力p與氣體分子的動(dòng)能，或者說(shuō)是與氣體的熱力學(xué)溫度成正比，用理想氣體狀態(tài)方程式描述：

式中，n單位體積內(nèi)的分子數(shù)；NA

為阿伏加德羅（Avogadro)常數(shù)；n/NA

即等于單位體積內(nèi)氣體分子的摩爾數(shù)。

真空：宇宙空間所存在的“自然真空”；利用真空泵抽取所得的“人為真空”。絕對(duì)真空：完全沒(méi)有氣體的空間狀態(tài)。

一般意義上的“真空”并不是指“什么物質(zhì)都不存在”。目前，即使用最先進(jìn)的真空制備手段所能達(dá)到的最高真空度下，每立方厘米體積中仍有幾百個(gè)氣體分子。因此，平常所說(shuō)的真空均指“相對(duì)真空狀態(tài)”。在真空技術(shù)中，常用“真空度”習(xí)慣用語(yǔ)和“壓強(qiáng)”物理量表示真空程度，通常說(shuō)成“某空間的真空度為多大的壓強(qiáng)”。某空間的壓強(qiáng)越低意味著真空度越高，反之，壓強(qiáng)高的空間則真空度低。（2）氣體分子的平均自由程

分子平均自由程：氣體分子在兩次碰撞的間隔時(shí)間里走過(guò)的平均距離。假設(shè)某種氣體分子的有效截面直徑為d，則該氣體分子的平均自由程應(yīng)該等于

因此，氣體分子的平均自由程與單位體積內(nèi)的氣體分子數(shù)n成反比。在常溫常壓的條件下，氣體分子的平均自由程是極短的。例如，在此條件下，空氣分子的有效截面直徑d≈0.5nm,平均自由程λ≈50nm。由平均自由程還可以求出氣體分子的平均碰撞頻率=υa/λ。在常溫常壓的條件下，每個(gè)氣體分子每秒鐘內(nèi)要經(jīng)歷1010

次碰撞。由于氣體分子的運(yùn)動(dòng)軌跡是一條在不斷碰撞的同時(shí)不斷改變方向的折線，因此，盡管它的平均運(yùn)動(dòng)速度很高，但是單位時(shí)間里，其定向運(yùn)動(dòng)的距離卻較小。

由于氣體分子的平均自由程與單位體積內(nèi)的氣體分子數(shù)n成反比，而壓強(qiáng)p與n成正比，因此自由程隨氣體壓力的下降而增加。在真空度優(yōu)于0.1Pa時(shí)，氣體分子間的碰撞幾率已很小，主要是氣體分子與容器壁之間的碰撞。分子平均自由程的概念在真空和薄膜技術(shù)中有著非常重要的作用。在薄膜材料的制備過(guò)程中，薄膜的沉積主要是通過(guò)氣體分子對(duì)襯底的碰撞過(guò)程來(lái)實(shí)現(xiàn)的。H2和Al原子在不同溫度下的速度分布典型值：在T=300K時(shí)，空氣分子的平均運(yùn)動(dòng)速度:

va460m/s氣體分子的自由程

空氣分子的有效截面半徑d0.5nm。在常溫常壓下，氣體分子的平均自由程

50nm，每個(gè)空氣分子每秒鐘內(nèi)要經(jīng)歷1010次碰撞。在氣體壓力低于10-4Pa的情況下，其平均自由程

>50m，每個(gè)空氣分子每秒鐘內(nèi)只經(jīng)歷10次碰撞；氣體分子間的碰撞幾率已很小，氣體分子的碰撞將主要是其與容器器壁之間的碰撞。粘滯態(tài)氣流的兩種不同的流動(dòng)狀態(tài)根據(jù)Reynolds準(zhǔn)數(shù)Re:

Re>2200紊流狀態(tài)

Re<1200層流狀態(tài)在薄膜技術(shù)領(lǐng)域，人為地將真空環(huán)境粗略地劃分為:低真空

>102Pa中真空

10210-1Pa高真空

10-110-5Pa超高真空

<10-5Pa真空度的劃分

為獲得真空環(huán)境，需要選用不同的真空泵，而它們的一個(gè)主要指標(biāo)是其抽速Sp，其定義為

(L/s)真空泵的抽速Sp與管路的流導(dǎo)有著相同的物理量綱，且二者對(duì)維持系統(tǒng)的真空度起著同樣重要的作用真空泵的抽速2.2真空獲得的手段真空的獲得真空設(shè)備

1.低真空的獲得及設(shè)備（旋片式機(jī)械泵和羅茨泵）

水環(huán)式真空泵齒輪泵工作原理噴射泵工作原理真空泵的分類(lèi)（1）輸運(yùn)式真空泵：以壓縮方式將氣體輸送到系統(tǒng)之外。

a、機(jī)械式氣體輸運(yùn)泵：旋片式機(jī)械真空泵、羅茨泵、渦輪分子泵。

b、氣流式氣體輸運(yùn)泵：油擴(kuò)散泵。（2）捕獲式真空泵：依靠凝結(jié)或吸附氣體分子的方式將氣體捕獲，并排出系統(tǒng)之外，如低溫吸附泵、濺射離子泵。輸運(yùn)式（排出式）機(jī)械式氣流式捕獲式（內(nèi)消式）可逆式不可逆式旋片式真空泵旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)旋片泵）是一種油封式真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325-1.33×10-2Pa屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門(mén)。獲得低真空常采用機(jī)械泵，機(jī)械泵是運(yùn)用機(jī)械方法不斷地改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹，從而獲得真空的裝置。它可以直接在大氣壓下開(kāi)始工作，極限真空度一般為1.33~1.33×10-2Pa，抽氣速率與轉(zhuǎn)速及空腔體積V的大小有關(guān)，一般在每秒幾升到每秒幾十升之間。旋片式機(jī)械泵通常由泵體、轉(zhuǎn)子、定子、旋片、端蓋、彈簧等結(jié)構(gòu)構(gòu)成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，偏心轉(zhuǎn)子置于定子的圓柱形空腔內(nèi)切位置上（轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切，二者有很小的間隙），空腔上連接進(jìn)氣管和出氣閥門(mén)。轉(zhuǎn)子中鑲有兩塊旋片，旋片間用彈簧連接，使旋片緊壓在定子空腔的內(nèi)壁上。轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)是由馬達(dá)帶動(dòng)的，定子置于油箱中，油起到密切、潤(rùn)滑與冷卻的作用。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。當(dāng)轉(zhuǎn)子順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，空氣由被抽容器通過(guò)進(jìn)氣管被吸入，旋片隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)使與進(jìn)氣管相連的區(qū)域不斷擴(kuò)大，而氣體就不斷地被吸入。當(dāng)轉(zhuǎn)子達(dá)到一定位置時(shí)，另一旋片把被吸入氣體的區(qū)域與被抽容器隔開(kāi)，并將氣體壓縮，直到壓強(qiáng)增大到可以頂開(kāi)出氣口的活塞閥門(mén)而被排出泵外，轉(zhuǎn)子的不斷轉(zhuǎn)動(dòng)使氣體不斷地從被抽容器中抽出。旋片式機(jī)械真空泵的抽速曲線

極限真空度可達(dá)10-1Pa左右，但有油污染問(wèn)題旋片式機(jī)械真空泵的外形圖雙級(jí)旋片式真空泵雙級(jí)油封機(jī)械真空泵，它是用于密封容器抽除氣體獲得真空的基本設(shè)備，適用于電子、制冷、電光源、化工、醫(yī)院、瓶膽、包裝、脫水、干燥等行業(yè)。（但不能用于抽除含氧過(guò)高的有爆炸性的、對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)的以及有顆粒，塵埃的氣體，也不能作為輸送泵及壓縮泵使用）。羅茨真空泵工作原理（2）羅茨（Roots）真空泵a、工作原理：兩個(gè)8字形的轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子始終保持相切合，咬合精度很高，切合處氣體始終不能通過(guò)，只能從上、下兩邊被掃出真空系統(tǒng)。b、極限真空度：10-2Pa左右；

c、優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)油氣回流，抽速很大。d、缺點(diǎn)：泵體與轉(zhuǎn)子發(fā)熱、膨脹，造成泵體損壞；當(dāng)氣體壓力低于

10-1Pa時(shí)，氣體回流造成抽速降低。e、適用壓力范圍：10-1～1000Pa。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間V0內(nèi)，再經(jīng)過(guò)排氣口排出。由于吸氣后V0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。但在轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，V0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間V0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。一般來(lái)說(shuō)，羅茨泵具有以下特點(diǎn)：在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速；啟動(dòng)快，能立即工作；對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸汽不敏感；轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油；振動(dòng)小，轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡條件較好，沒(méi)有排氣閥；驅(qū)動(dòng)功率小，機(jī)械摩擦損失??；結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積??；運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門(mén)得到廣泛的應(yīng)用。羅茨泵的外形圖

羅茨泵組成的真空機(jī)組的外形圖

羅茨泵可與旋片式機(jī)械泵串聯(lián)成真空機(jī)組使用，降低每臺(tái)泵的負(fù)荷，擴(kuò)大可獲得的真空度范圍羅茨泵組成的真空機(jī)組的抽速曲線組成機(jī)組使其極限真空度提高到10-2Pa水環(huán)式真空泵水環(huán)式真空泵葉片的葉輪偏心地裝在圓柱形泵殼內(nèi)。泵內(nèi)注入一定量的水。葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，將水甩至泵殼形成一個(gè)水環(huán)，環(huán)的內(nèi)表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環(huán)間的進(jìn)氣空間4逐漸擴(kuò)大，從而形成真空，使氣體經(jīng)進(jìn)氣管進(jìn)入泵內(nèi)進(jìn)氣空間。隨后氣體進(jìn)入左半部，由于轂環(huán)之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強(qiáng)，于是氣體經(jīng)排氣空間及排氣管被排至泵外。齒輪泵工作原理齒輪泵具有一對(duì)互相嚙合的齒輪，如圖，齒輪主動(dòng)輪固定在主動(dòng)軸上，軸的一端伸出殼外由原動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)齒輪從動(dòng)輪裝在另一個(gè)軸上，齒輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，液體沿吸油管進(jìn)入到吸入空間，沿上下殼壁被兩個(gè)齒輪分別擠壓到排出空間匯合（齒與齒嚙合前），然后進(jìn)入壓油管排出?；钊谬X輪泵，螺桿泵噴射泵工作原理將高壓的工作流體，由壓力管送入工作噴嘴，經(jīng)噴嘴后壓能變成高速動(dòng)能，將噴嘴外圍的液體（或氣體）帶走。此時(shí)因噴嘴出口形成高速使擴(kuò)散室的后部吸入室造成真空。利用偏心軸的轉(zhuǎn)動(dòng)通過(guò)連桿裝置帶動(dòng)活塞的運(yùn)動(dòng)，將軸的圓周轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)?；钊粩嗤鶑?fù)運(yùn)動(dòng)，泵的吸水與壓水過(guò)程就連續(xù)不斷地交替進(jìn)行。2.高真空的獲得及設(shè)備

油擴(kuò)散泵和分子泵

目前，廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是利用氣體擴(kuò)散現(xiàn)象來(lái)抽氣的，它不能直接在大氣壓下工作，而需要一定的預(yù)備真空度（1.33~0.133Pa）。油擴(kuò)散泵的極限真空度主要取決于油蒸汽壓和氣體分子的反擴(kuò)散，一般能達(dá)到1.33×10-5Pa。抽氣速率與結(jié)構(gòu)有關(guān)，每秒幾升~幾百升不等。油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)如示意圖

油擴(kuò)散泵的外形圖

加油標(biāo)準(zhǔn)：內(nèi)徑300mm：1.6升內(nèi)徑200mm：0.7升內(nèi)徑150mm：0.5升油擴(kuò)散泵a、工作原理：將油加熱至高溫蒸發(fā)狀態(tài)（約2000C），讓油蒸氣呈多級(jí)狀向下定向高速噴出時(shí)不斷撞擊氣體分子，并將部分動(dòng)量傳遞給這些氣體分子，使其被迫向排氣口方向運(yùn)動(dòng)，在壓縮作用下排出泵體。同時(shí)，被泵體冷卻后的油蒸氣又會(huì)凝結(jié)起來(lái)返回泵的底部。b、極限真空度：10-6Pa；c、優(yōu)點(diǎn)：極限真空度高，抽速很大，根據(jù)口徑大小，抽速可以從每秒幾升至每秒上萬(wàn)升不等。d、缺點(diǎn)：油蒸氣回流，污染。e、工作狀態(tài)：分子流狀態(tài)的真空狀態(tài)不能與大氣直接相連，使用油擴(kuò)散泵之前，需要采用各種形式的機(jī)械泵將系統(tǒng)預(yù)抽至1Pa左右。f、適用壓力范圍：1～10-6Pa泵的底部—是裝有真空泵油的蒸發(fā)器，真空泵油經(jīng)電爐加熱沸騰后，產(chǎn)生一定的油蒸汽，蒸汽沿著蒸汽導(dǎo)流管傳輸?shù)缴喜?，?jīng)由三級(jí)傘形噴口向下噴出。噴口外面的壓強(qiáng)較油蒸汽壓低，于是便形成一股向出口方向運(yùn)動(dòng)的高速蒸汽流，使之具有很好的運(yùn)載氣體分子的能力。油分子與氣體分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的結(jié)果是油分子把動(dòng)量交給氣體分子自己慢下來(lái)，而氣體分子獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量后便迅速往下飛去．并且，在射流的界面內(nèi)，氣體分子不可能長(zhǎng)期滯留，因而界面內(nèi)氣體分子濃度較?。捎谶@個(gè)濃度差，使被抽氣體分得以源源不斷地?cái)U(kuò)散進(jìn)入蒸汽流而被逐級(jí)帶至出口，并被前級(jí)泵抽走．慢下來(lái)的蒸汽流在向下運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中碰到水冷的泵壁，油分子就被冷凝下來(lái)，沿著泵壁流回蒸發(fā)器繼續(xù)循環(huán)使用．冷阱的作用是減少油蒸汽分子進(jìn)入被抽容器。渦輪分子泵的外形圖

分子泵渦輪分子泵a、工作原理：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀，在它以20000～30000r/min的高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，葉片將動(dòng)量傳給氣體分子，同時(shí)，渦輪分子泵中裝有很多級(jí)葉片，上一級(jí)葉片輸送過(guò)來(lái)的氣體分子又會(huì)受到下一級(jí)葉片的作用而被進(jìn)一步壓縮至更下一級(jí)。像油擴(kuò)散泵一樣，也是靠對(duì)氣體分子施加作用力，并使氣體分子向特定的方向運(yùn)動(dòng)的原理來(lái)工作的。b、極限真空度：10-8Pa；c、優(yōu)點(diǎn)：極限真空度高，壓縮比高，油蒸氣的回流可以忽略，抽速可達(dá)1000L/s。d、缺點(diǎn)：價(jià)格較高。e、工作狀態(tài)：在使用中多用旋片式機(jī)械泵作為其前級(jí)泵。f、適用壓力范圍：1～10-8Pa分子真空泵它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：

1)牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。2)渦輪分子泵靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

3)復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。渦輪分子泵的抽速曲線

渦輪分子泵的極限真空度達(dá)10-8Pa，適用的壓力范圍在110-8Pa之間

低溫吸附泵a、工作原理：依靠氣體分子會(huì)在低溫下自發(fā)凝結(jié)或被其他物質(zhì)表面吸附的物理現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體分子的去除，進(jìn)而獲得高真空。b、極限真空度：10-1

～10-8Pa，取決于所采用的低溫溫度、吸附物質(zhì)的表面積、被吸附氣體的種類(lèi)等因素；c、優(yōu)點(diǎn)：極限真空度高，可獲得無(wú)油高真空；除H2、He、Ne外，對(duì)各種氣體抽速均很大。d、缺點(diǎn)：運(yùn)轉(zhuǎn)成本較高。e、工作狀態(tài)：既可以只配以旋片泵等低真空泵種作為惟一的高真空泵使用，又可以與其他高真空泵種，如渦輪分子泵等聯(lián)合使用，預(yù)真空度應(yīng)達(dá)到10-1

以下，以減少吸附泵的負(fù)荷并避免在泵體內(nèi)積聚過(guò)厚的氣體冷凝產(chǎn)物。濺射離子泵a、工作原理：高壓陰極發(fā)射出的高速電子與殘余氣體分子相互碰撞后引起氣體電離放電，而電離后的氣體分子在高速撞擊Ti陰極時(shí)又會(huì)濺射出大量的Ti原子。由于Ti原子的活性很高，因而它將以吸附或化學(xué)反應(yīng)的形式捕獲大量的氣體分子并使其在泵體內(nèi)沉積下來(lái)，從而在真空室內(nèi)造成無(wú)油的高真空環(huán)境。b、極限真空度：與其他泵種串聯(lián)使用，可達(dá)10-8Pa。抽速取決于所抽氣體的活性等因素。c、優(yōu)點(diǎn)：極限真空度高，可獲得無(wú)油高真空。d、缺點(diǎn)：壽命有限。2.3真空度的測(cè)量（熱電偶）①熱偶真空計(jì)是用在低氣壓下氣體的熱導(dǎo)率與氣體壓強(qiáng)間有依賴關(guān)系制成的。它通常用來(lái)測(cè)量低真空，可測(cè)范圍為13.33~0.1333Pa。其中有一根細(xì)金屬絲（鉑絲或鎢絲）以恒定功率