2023年捷佳偉創(chuàng)研究報(bào)告 光伏電池片設(shè)備龍頭-全面布局N型電池技術(shù)

2023年捷佳偉創(chuàng)研究報(bào)告光伏電池片設(shè)備龍頭_全面布局N型電池技術(shù)公司概況：光伏電池片設(shè)備龍頭，全面布局N型電池技術(shù)光伏電池片設(shè)備龍頭，全方位布局電池片技術(shù)路線公司是光伏電池片設(shè)備制造龍頭，全方位布局電池片技術(shù)路線。捷佳偉創(chuàng)成立于2003年，總部位于深圳，并在常州設(shè)有子公司。主要產(chǎn)品包括PECVD設(shè)備、擴(kuò)散爐、制絨設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、自動(dòng)化配套設(shè)備等。目前公司設(shè)備主要用于光伏電池片環(huán)節(jié)，具備PERC、TOPCon、HJT的整線設(shè)備供應(yīng)能力，同時(shí)可提供IBC、鈣鈦礦關(guān)鍵設(shè)備，此外公司清洗設(shè)備也拓展至半導(dǎo)體設(shè)備。深耕光伏產(chǎn)業(yè)，積極向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)拓展。公司2003年在深圳成立，成立之初公司產(chǎn)品主要包括汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件、壓縮機(jī)零部件、金屬器件、玻璃器件的清洗設(shè)備等。2005年6月，公司正式進(jìn)軍光伏行業(yè)，推出單晶槽式制絨酸洗設(shè)備，憑借產(chǎn)品高性價(jià)比，公司開始迅速搶占市場(chǎng)。2006-2008年，公司先后進(jìn)入硅片、硅料、硅芯、硅棒清洗領(lǐng)域，并成功研制出高溫?cái)U(kuò)散爐。2009年，公司PECVD設(shè)備推向市場(chǎng)，性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，提高光電轉(zhuǎn)換效率0.2%。2010年，公司收購(gòu)常州捷佳創(chuàng),并將市場(chǎng)拓展至印度。2011-2017年，公司持續(xù)研發(fā)提高清洗、鍍膜設(shè)備性能和產(chǎn)能，同時(shí)成功推出自動(dòng)化設(shè)備、正反面電池片色差分選等設(shè)備。2018年，公司在創(chuàng)業(yè)板成功上市，同年產(chǎn)品進(jìn)入土耳其、埃及、新加坡市場(chǎng)。2019年，常州捷佳創(chuàng)智能裝備有限公司成立。2020-2021年，公司實(shí)施股權(quán)激勵(lì)，并相繼推出HJT關(guān)鍵設(shè)備RPD、PECVD。2022年公司推出PE-Poly設(shè)備、鈣鈦礦RPD設(shè)備。同時(shí)公司研發(fā)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備成功導(dǎo)入積塔半導(dǎo)體。公司客戶資源優(yōu)質(zhì)。公司是較早進(jìn)入太陽(yáng)能光伏行業(yè)的設(shè)備提供商之一，公司憑借在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品性能、服務(wù)質(zhì)量方面的綜合優(yōu)勢(shì)，使得公司產(chǎn)品的穩(wěn)定性和高效率在行業(yè)中位居領(lǐng)先地位。公司能夠把握客戶對(duì)設(shè)備的需求，主要產(chǎn)品已經(jīng)獲得龍頭廠商的充分認(rèn)可，客戶覆蓋國(guó)內(nèi)外大多數(shù)電池片廠商，客戶包括隆基股份、晶科能用、天合光能、通威太陽(yáng)能等。一致行動(dòng)協(xié)議提高決策效率，股權(quán)激勵(lì)彰顯長(zhǎng)期發(fā)展信心實(shí)控人簽訂一致行動(dòng)協(xié)議有助提高決策效率。2022年公司管理層調(diào)整，李時(shí)俊先生辭去其擔(dān)任的公司董事、總經(jīng)理等職務(wù)，后續(xù)將在公司擔(dān)任戰(zhàn)略研究辦公室主任及榮譽(yù)董事；伍波先生辭去董事、副總經(jīng)理等職務(wù)，后續(xù)將在公司擔(dān)任事業(yè)部總經(jīng)理。目前，左國(guó)軍先生為公司副董事長(zhǎng)，余仲先生為公司總經(jīng)理，公司實(shí)控人為余仲、左國(guó)軍、梁美珍，三人在2022年簽訂一致行動(dòng)人協(xié)議，提高公司決策效率。截止2022年06月30日，三人合計(jì)直接、間接持有110.93萬(wàn)股，占總股本31.85%（蔣婉同、蔣澤宇為梁美珍子女，享有的股東權(quán)利由梁美珍代為行使），整體股權(quán)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。深圳捷佳偉創(chuàng)主要生產(chǎn)干法設(shè)備，常州子公司負(fù)責(zé)濕法設(shè)備。公司直接持股四個(gè)子公司，兩個(gè)聯(lián)營(yíng)公司。常州捷佳創(chuàng)主要生產(chǎn)光伏濕法設(shè)備、半導(dǎo)體濕法設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備；捷佳創(chuàng)智能裝備公司主要生產(chǎn)絲網(wǎng)印刷、激光、自動(dòng)化設(shè)備。深圳捷佳有限主要生產(chǎn)干法光伏設(shè)備（擴(kuò)散爐、PECVD）、RPD、PVD、蒸發(fā)鍍膜設(shè)備等。聯(lián)營(yíng)公司中，湖北天合光能控股股東為常州天合光能，屬于公司中試基地，現(xiàn)為純財(cái)務(wù)投資，不參與經(jīng)營(yíng)與管理；晟光硅研主要產(chǎn)品包括圍繞第三代半導(dǎo)體晶圓材料的滾圓、切片、劃片等設(shè)備。股權(quán)激勵(lì)+員工持股彰顯長(zhǎng)期發(fā)展信心。公司先后于2019、2021年推出兩次股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃，在2021年推出的股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃中，公司向副總經(jīng)理金晶磊、董秘譚湘萍等123位公司核心管理及技術(shù)骨干授予的限制性股票58.90萬(wàn)股，價(jià)格60元/股，占總股本的0.17%，2021-2023年考核目標(biāo)為凈利潤(rùn)增長(zhǎng)率相較2020年分別不低于30%/60%/80%。此外公司2022年2月推出員工持股計(jì)劃，計(jì)劃籌資不超過(guò)1億元，融資金額與員工持股計(jì)劃員工自籌金額的比例不超過(guò)1:1，公司控股股東余仲（董事長(zhǎng)、總經(jīng)理）和左國(guó)軍（副董事長(zhǎng)、副總經(jīng)理）擬以自籌資金分別認(rèn)購(gòu)1500萬(wàn)份，占總份額的60%，彰顯對(duì)公司長(zhǎng)期發(fā)展的信心。營(yíng)收快速增長(zhǎng)，盈利能力企穩(wěn)回升公司業(yè)績(jī)維持快速增長(zhǎng)，2018-2021年?duì)I收/凈利潤(rùn)C(jī)AGR為50.09%/32.82%。2016年公司營(yíng)收和凈利潤(rùn)大幅增長(zhǎng)主要系2015-2016年國(guó)內(nèi)光伏市場(chǎng)全面回暖，印度等海外市場(chǎng)蓬勃興起，同時(shí)為規(guī)避“雙反”，國(guó)內(nèi)企業(yè)到境外投資設(shè)廠對(duì)光伏設(shè)備需求大幅增長(zhǎng)，公司2015-2016訂單大幅增長(zhǎng)。2019-2020年公司受益PERC產(chǎn)線持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，營(yíng)收和凈利潤(rùn)維持快速增長(zhǎng)。2021年公司營(yíng)收50.47億元，同比增長(zhǎng)24.80%，凈利潤(rùn)7.17億元，同比增長(zhǎng)37.16%。2021年公司凈利率有所回升，盈利能力有所修復(fù)。2018年之前公司盈利能力呈現(xiàn)上升趨勢(shì)，主要系PERC技術(shù)處于導(dǎo)入階段，公司新產(chǎn)品毛利較高，同時(shí)高毛利的境外銷售占比較高所致。2019-2021年公司毛利率為32.06%/26.43%/24.60%，凈利率14.82%/12.65%/14.14%，整體呈現(xiàn)下滑趨勢(shì)。2019年毛利率下降主要系：1）2019Q4確認(rèn)的“531”訂單較多，毛利率較低；2）公司海外銷售占比有所下降；3）PERC技術(shù)逐步成熟，單GW設(shè)備投資額下降。2020年毛利率下降主要系：1）PERC技術(shù)逐步成熟，單GW設(shè)備投資額下降；2）新會(huì)計(jì)準(zhǔn)則下，現(xiàn)場(chǎng)安裝服務(wù)費(fèi)重分類到成本。2021年毛利率下降主要系：自動(dòng)化設(shè)備業(yè)務(wù)毛利率由21.84%下降至9.38%，拉低公司整體毛利率。公司自動(dòng)化設(shè)備與主工藝設(shè)備搭配銷售，標(biāo)準(zhǔn)化程度較低,競(jìng)爭(zhēng)激烈。2022Q1-Q3：毛利率、凈利率回升至25.46%/19.24%，同比變動(dòng)-0.24%/+3.24%,盈利能力有所回升，未來(lái)隨著TOPCon產(chǎn)品逐步放量，公司盈利能力有望持續(xù)改善。公司期間費(fèi)管控良好，呈現(xiàn)持續(xù)下降趨勢(shì)。銷售費(fèi)用率方面，2015-2018年公司銷售費(fèi)用率8%左右波動(dòng)，2016年大幅上升主要系公司新簽境外訂單金額增長(zhǎng)較快，差旅費(fèi)、運(yùn)輸費(fèi)、銷售傭金快速上漲所致。2019-2021公司銷售費(fèi)用率隨著公司規(guī)模擴(kuò)大持續(xù)下降，其中2020年下降5.07%，主要系新會(huì)計(jì)準(zhǔn)則下，現(xiàn)場(chǎng)安裝服務(wù)費(fèi)重分類到成本所致。管理費(fèi)用率方面，2015年公司管理費(fèi)用率較高主要系營(yíng)業(yè)收入相對(duì)較小，2016-2021公司管理費(fèi)用率呈現(xiàn)穩(wěn)中有降的趨勢(shì)，主要系公司規(guī)模效應(yīng)所致。財(cái)務(wù)費(fèi)用率方面，公司整體財(cái)務(wù)費(fèi)用率較為穩(wěn)定，2022Q1-Q3財(cái)務(wù)費(fèi)用率大幅下降主要系匯兌收益所致。工藝設(shè)備占比超過(guò)80%，2021年工藝設(shè)備毛利率企穩(wěn)。公司產(chǎn)品包括工藝設(shè)備和自動(dòng)化設(shè)備兩類，工藝設(shè)備包括刻蝕設(shè)備、PECVD、制絨設(shè)備、清洗設(shè)備、激光設(shè)備等；自動(dòng)化設(shè)備主要指自動(dòng)化裝卸片機(jī)、自動(dòng)化上下片機(jī)等輔助設(shè)備。從營(yíng)收占比來(lái)看，公司工藝設(shè)備占比保持在80%以上，是公司主要的收入來(lái)源。從毛利率角度來(lái)看，工藝設(shè)備毛利率2019-2020呈現(xiàn)下降趨勢(shì)，主要系PERC技術(shù)成熟，設(shè)備投資額下降所致，2021年工藝設(shè)備毛利率企穩(wěn)。自動(dòng)化設(shè)備由于競(jìng)爭(zhēng)激烈，公司產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化程度較低，因此毛利率整體呈現(xiàn)持續(xù)下降趨勢(shì)。目前光伏電池片行業(yè)處于技術(shù)迭代交替期，未來(lái)隨著TOPCon產(chǎn)品逐步放量，毛利率有望回升。公司研發(fā)費(fèi)用率穩(wěn)定，研發(fā)人員持續(xù)增長(zhǎng)。捷佳偉創(chuàng)研發(fā)費(fèi)用率維持4%-6%，研發(fā)費(fèi)用絕對(duì)值持續(xù)上升，2018-2021年CAGR為45.93%。2021年捷佳偉創(chuàng)研發(fā)費(fèi)用2.38億元，研發(fā)費(fèi)用率4.71%，研發(fā)人員698人，占公司員工23.07%。存貨、合同負(fù)責(zé)持續(xù)增長(zhǎng)，反映公司在手訂單充足。公司結(jié)算模式為“預(yù)收款―發(fā)貨款一驗(yàn)收款―質(zhì)保金”，預(yù)收款計(jì)入合同負(fù)債，發(fā)貨款記入發(fā)出商品，因此發(fā)出商品、合同負(fù)債能夠體現(xiàn)公司在手訂單情況。公司2021/2022Q3年合同負(fù)債37.49/46.17億元，同比增長(zhǎng)12.75%/27.69%，2021/2022H1發(fā)出商品33.03/34.41億元,均處于歷史高位，說(shuō)明公司在手訂單充足，未來(lái)業(yè)績(jī)確定性較高。行業(yè)分析：N型電池片時(shí)代到來(lái)，TOPCon率先放量全球光伏新增裝機(jī)容量持續(xù)增長(zhǎng)，N型電池片時(shí)代到來(lái)“氣候變化”+“成本下降”+“能源安全”驅(qū)動(dòng)光伏持續(xù)發(fā)展。氣候變化已成為全球亟待解決的問(wèn)題，光伏作為清潔能源，在全球減排作用受到認(rèn)可。2021年全球可再生能源裝機(jī)容量為302GW，光伏占比56%，超過(guò)一半。同時(shí)，近兩年隨著光伏技術(shù)的不斷發(fā)展，發(fā)電成本不斷下降，根據(jù)Lazard測(cè)算，全球光伏發(fā)電成本2009-2021年降幅約90%，2021年相較2020年降低3%。地面集中式光伏發(fā)電成本已低于其他可再生能源以及傳統(tǒng)能源。此外，2022年爆發(fā)的俄烏沖突引發(fā)歐洲各國(guó)的能源供應(yīng)危機(jī)，進(jìn)一步加速各國(guó)對(duì)清潔、獨(dú)立能源的需求，從而加速光伏發(fā)展。根據(jù)SolarPowerEurope統(tǒng)計(jì)，全球前19個(gè)光伏發(fā)展地區(qū)中，有16個(gè)對(duì)光伏持有積極態(tài)度。全球光伏裝機(jī)容量持續(xù)增加。2011-2020年，全球光伏新增裝機(jī)容量持續(xù)上升，根據(jù)中國(guó)光伏行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，2021年全球光伏新增裝機(jī)容量為170GW，同比增長(zhǎng)30.77%,2016-2021年全球光伏新增裝機(jī)容量CAGR為19.41%。根據(jù)CPIA預(yù)計(jì),2022/2026年全球光伏新增裝機(jī)205-250GW/310-370GW；根據(jù)SolarPowerEurope預(yù)測(cè)，2022/2026年181-271GW/244-459GW；彭博BNFE中性預(yù)期,2022/2026年全球光伏新增裝機(jī)容量預(yù)計(jì)268GW/391GW。全球80%光伏產(chǎn)品來(lái)源于中國(guó)。2021年中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)產(chǎn)量全球第一，其中多晶硅產(chǎn)量占全球79%，硅片產(chǎn)量占全球97%，電池片產(chǎn)量占全球88%，組件產(chǎn)量占全球82%，因此，全球光伏裝機(jī)容量的增加帶動(dòng)中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)鏈的快速發(fā)展，進(jìn)而帶動(dòng)光伏相關(guān)設(shè)備企業(yè)發(fā)展。N型電池片提效空間廣闊，已成擴(kuò)產(chǎn)主流。根據(jù)CPIA統(tǒng)計(jì)，2021年，P型單晶電池平均轉(zhuǎn)換效率達(dá)到23.1%，N型TOPCon電池平均轉(zhuǎn)換效率達(dá)到24%，HJT電池平均轉(zhuǎn)換效效率24.2%，N型電池片轉(zhuǎn)換效率明顯高于P型電池。根據(jù)德國(guó)哈梅林太陽(yáng)能研究所(ISFH)的研究，PERC、HJT、TOPCon電池的理論極限效率分別為24.5%、28.5%、28.7%（雙面，單面效率極限27.1%）。目前PERC型單晶電池平均轉(zhuǎn)換效率已接近理論效率上限，未來(lái)提升空間有限，而N型未來(lái)均有較大提升空間。目前來(lái)看TOPCon是擴(kuò)產(chǎn)主力，HJT雖理論效率更高，但目前成本較高，大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)仍需一段時(shí)間。TOPCon：當(dāng)下N型電池技術(shù)的擴(kuò)產(chǎn)主力我們認(rèn)為TOPCon是目前N型電池片擴(kuò)產(chǎn)主力，主要基于：1）技術(shù)成熟度高；2）具備一定的經(jīng)濟(jì)性；3）已有一定擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模；4）新老玩家均有布局。（一）技術(shù)成熟性：TOPCon可兼容PERC生產(chǎn)線，工藝設(shè)備成熟。TOPCon工藝設(shè)備兼容性好、成熟度高。TOPCon基本結(jié)構(gòu)與PERC相似，主要區(qū)別在于：1）TOPCon為N型硅片；2）TOPCon多了隧穿氧化層和摻雜非晶硅層。結(jié)構(gòu)相似決定了TOPCon工藝中大部分設(shè)備與PERC一樣，因此TOPCon產(chǎn)線可基于現(xiàn)有PERC生產(chǎn)線升級(jí)改造實(shí)現(xiàn)，從而相較其他N型電池技術(shù)，TOPCon工藝和設(shè)備都更為成熟。TOPCon工藝與PERC不同點(diǎn)主要體現(xiàn)在兩個(gè)技術(shù)上：1）隧穿氧化層以及摻雜非晶硅層鍍膜技術(shù)；2）硼擴(kuò)技術(shù)。鍍膜技術(shù)主要包括PECVD和LPCVD兩種路線，目前整體技術(shù)和設(shè)備較為成熟。硼擴(kuò)技術(shù)方面，目前二次擴(kuò)硼能夠滿足TOPCon需求，同時(shí)激光SE技術(shù)的突破進(jìn)一步提高TOPCon效率,降低成本。因此，從技術(shù)角度來(lái)看，TOPCon技術(shù)不存在技術(shù)瓶頸。1、鍍膜技術(shù)：PECVD、LPCVD是主流工藝，目前較為成熟。TOPCon主要通過(guò)隧穿氧化層+摻雜多晶硅層提升效率。相比PERC電池，TOPCon電池通過(guò)在電池片背面制備超薄氧化硅層（隧穿層）+摻雜多晶硅薄層，從而形成鈍化接觸結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)作用：1）允許多子電子隧穿進(jìn)入，阻擋少子空穴；2）減少金屬／半導(dǎo)體接觸面積，進(jìn)而降低金屬接觸復(fù)合電流，提升電池轉(zhuǎn)化效率。LPCVD和PECVD是制備隧穿氧化硅層+摻雜多晶硅薄層主要工藝。TOPCon的核心工藝在于氧化硅層+多晶硅層制備，基本過(guò)程為：1）制備氧化硅層；2）制備本征非晶硅+磷擴(kuò)/制備摻雜非晶硅（原位摻雜）。薄膜沉積設(shè)備按照工藝原理的不同可分為物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）。目前TOPCon鈍化層制備方法主要有LPCVD、PECVD、PVD和PEALD，其中LPCVD和PECVD是主流工藝。LPCVD路線市占率約47%，PECVD路線占比約46%。根據(jù)PV-InfoLink統(tǒng)計(jì)，目前在建+在產(chǎn)的TOPCon產(chǎn)能中，47%的用戶選擇了LP，主要用戶為晶科和捷泰，兩者占LPCVD路線的85%；PECVD路線占比約46%，主要廠商包括潤(rùn)陽(yáng)、沐邦、通威和天合，相對(duì)比較分散；PVD占比較低，用戶主要是中來(lái)、日升。1）LPCVD：主要利用熱場(chǎng)進(jìn)行鍍膜，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展領(lǐng)先。LPCVD是通過(guò)降低壓強(qiáng)，提高溫度方式實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣象沉積。降低氣體壓強(qiáng)能夠減緩氣體的傳輸擴(kuò)散速度，讓氣體有充足的時(shí)間反應(yīng)，提高薄膜純度、致密度和均勻性。但低壓強(qiáng)會(huì)降低氣體活性，LPCVD通過(guò)提高氣體溫度增加氣體活性，從而進(jìn)行有效沉積。LPCVD優(yōu)點(diǎn)是技術(shù)成熟、成膜質(zhì)量好、電池效率高；缺點(diǎn)主要是成膜速率低、耗材（石英管）損耗大、繞度嚴(yán)重。LPCVD目前路線較多，主要區(qū)別在于擴(kuò)磷方式。LPCVD可分為兩大類，第一類是先進(jìn)行本征非晶硅鍍膜，然后進(jìn)行擴(kuò)磷，具體擴(kuò)磷方式又包括高溫?cái)U(kuò)磷以及離子注入兩種方式；第二類是制備多晶硅薄膜的同時(shí)進(jìn)行原位摻雜，即在沉積多晶硅的同時(shí)通入含有雜質(zhì)的氣體。2）PECVD：利用等離子體場(chǎng)進(jìn)行鍍膜，設(shè)備技術(shù)優(yōu)勢(shì)明顯。與LPVCD不同，PEVCD是通過(guò)降低壓強(qiáng)、外加電場(chǎng)方式實(shí)現(xiàn)化學(xué)沉積，因此是在較低的環(huán)境溫度下實(shí)現(xiàn)薄膜沉積。PECVD優(yōu)點(diǎn)是沉積速率快、繞度較輕且容易去除、無(wú)石英管耗材、可大幅降低成本；缺點(diǎn)主要是穩(wěn)定性仍有待提升，存在脫膜現(xiàn)象，目前已逐步解決。3）PVD：在真空條件下，用真空濺射鍍膜技術(shù)（物理方法）完成薄膜制備。PVD是指在真空條件下采用物理方法將材料源（固體或液體）表面氣化成氣態(tài)原子或分子，或部分電離成離子，并通過(guò)氣壓氣體（或等離子體）過(guò)程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)。PVD鍍膜技術(shù)主要分為三類：真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜。PVD的優(yōu)點(diǎn)是工藝少、不涉及石英器件，因此運(yùn)維成本低、不存在繞度現(xiàn)象；缺點(diǎn)是目前技術(shù)仍不夠成熟，均勻性較差，且退火溫度相對(duì)較高，資本支出和占地面積較大。4）PEALD：結(jié)合ALD和PECVD，目前處于產(chǎn)業(yè)驗(yàn)證階段。PEALD是將PECVD與ALD設(shè)備相結(jié)合，同一臺(tái)設(shè)備可完成電池Al2O3膜和SiNx膜，以及TOPCon電池超薄SiOx隧穿層和摻雜多晶硅薄膜的制備，目前該技術(shù)已處于產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。2、硼擴(kuò)：激光SE突破實(shí)現(xiàn)一次擴(kuò)硼，有望持續(xù)提高轉(zhuǎn)換效率。TOPCon硼擴(kuò)難于傳統(tǒng)磷擴(kuò)。硼擴(kuò)（TOPCon）與磷擴(kuò)（PERC）工藝相似，但硼在硅中的固溶度較低，因此硼擴(kuò)相較磷擴(kuò)難度更高，擴(kuò)散的溫度需要達(dá)到900-1100℃。擴(kuò)硼的硼源包括三溴化硼和三氯化硼，其中三溴化硼擴(kuò)散性好，但副產(chǎn)物對(duì)石英器件損傷嚴(yán)重；三氯化硼的副產(chǎn)物對(duì)石英器件損傷低，但擴(kuò)散均勻性較弱。二次硼擴(kuò)是目前TOPCon的硼擴(kuò)方式，但存在能耗大、性價(jià)比低的缺點(diǎn)。激光SE（一次摻雜）為PERC摻雜標(biāo)配，但由于硼擴(kuò)散難度高，因此TOPCon激光SE摻雜困難，目前TOPCon使用二次摻雜方案較多。二次硼擴(kuò)的主要工序?yàn)椋?）使用硼擴(kuò)散爐進(jìn)行第一次硼擴(kuò)；2）激光開槽將表面BSG硼硅玻璃擊穿，露出摻雜區(qū)域；3）使用硼擴(kuò)爐進(jìn)行第二次硼擴(kuò)，形成重?fù)絽^(qū)域。二次硼擴(kuò)的溫度高，能耗大，并且需要增加額外的硼擴(kuò)爐、清洗設(shè)備。TOPCon激光SE技術(shù)已實(shí)現(xiàn)大幅突破，有望成為TOPCon標(biāo)配工藝。一次硼擴(kuò)的主要工序?yàn)椋?）使用硼擴(kuò)爐進(jìn)行一次硼擴(kuò)散；2）提高表面硼濃度，方法有硼漿印刷、改變溫度進(jìn)行二次沉積；3)激光摻雜形成重參區(qū)域。一次硼擴(kuò)的核心難點(diǎn)有兩個(gè)：1）提高表面硼濃度；2）激光擴(kuò)硼時(shí)，需要避免高功率帶來(lái)額外電池片損傷。目前針對(duì)第一個(gè)難點(diǎn)，各公司已研發(fā)出各類解決方案。針對(duì)第二個(gè)難點(diǎn)，目前海目星、帝爾激光、捷佳偉創(chuàng)、英諾激光均推出了針對(duì)一次硼擴(kuò)設(shè)備激光SE設(shè)備，目前TOPCon提效大約在0.3%，未來(lái)有望提高到0.4%。截止2023年2月15日，根據(jù)各家公司的公告，海目星取得晶科能源TOPCon激光微損設(shè)備中標(biāo)通知書，中標(biāo)金額為10.67億元（含稅），帝爾激光TOPConSE訂單產(chǎn)能累計(jì)突破100GW。預(yù)期TOPCon激光SE技術(shù)有望快速發(fā)展，成為TOPCon技術(shù)標(biāo)配。（二）經(jīng)濟(jì)性：TOPCon電池已體現(xiàn)出一定的盈利能力TOPCon理論效率為27.1%-28.7%，量產(chǎn)效率約25%，未來(lái)仍有較大提升空間。理論效率方面，背面鈍化接觸結(jié)構(gòu)的TOPCon電池的理論極限效率為27.1%，雙面鈍化TOPCon電池最高28.7%，PERC理論效率為24.5%，HJT理論效率為28.5%。實(shí)驗(yàn)室效率方面，目前晶科能源實(shí)驗(yàn)室TOPCon電池的轉(zhuǎn)化效率高達(dá)26.4%（截止2022年12月09日）。量產(chǎn)效率方面，晶科TOCPon量產(chǎn)效率已達(dá)25.1%，其他廠家量產(chǎn)效率集中在24%-25%，其中頭部廠商接近25%，相較理論效率仍有較大提升空間。TOPCon非硅+硅片成本相較PERC增加約0.03元/W，已體現(xiàn)出一定的盈利能力。硅片成本方面，N型硅片比P型硅片貴6%-8%，但TOPCon硅片厚度相較PERC更薄，以中環(huán)2023年2月4日?qǐng)?bào)價(jià)來(lái)看，P型182（150μm）硅片價(jià)格為6.22元/片，N型182（140μm）價(jià)格6.52元(TOPCon),N型182（130μm）價(jià)格6.39元(HJT)，TOPCon硅片成本比PERC低0.01元/W。目前TOPCon硅片厚度持續(xù)下降，已有領(lǐng)先企業(yè)測(cè)試120μm，同時(shí)硅料價(jià)格也在持續(xù)下降，預(yù)期未來(lái)TOPCon硅片成本仍有下降空間。非硅成本方面，TOPCon相較PERC增加主要體現(xiàn)在折舊成本、銀漿成本。TOPCon目前設(shè)備投資額在1.6-1.8億元左右，未來(lái)仍有降低空間，假設(shè)以8年折舊計(jì)算，TOPCon折舊成本約比PERC高0.005元/W；銀漿方面，目前182PERC電池片銀漿耗用量約60-80mg/片（背面銀漿占比約26%），TOPCon銀漿耗用量約100-120mg/片（背面銀漿占比約48%），根據(jù)最新銀漿價(jià)格估算，TOPCon銀漿成本相較PERC高約0.03元/W。總體來(lái)看，目前TOPCon電池片成本端比PERC高約0.03元/W，結(jié)合目前TOPCon的市場(chǎng)售價(jià)，相比PERC，其溢價(jià)大概在0.07元/W，TOPCon電池已體現(xiàn)出一定的盈利能力。（三）產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展：頭部廠商、新勢(shì)力均宣布擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，在建+規(guī)劃產(chǎn)能近400GW在建+規(guī)劃產(chǎn)能近400GW。擴(kuò)產(chǎn)方面，根據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，目前在建TOPCon產(chǎn)能超過(guò)170GW，規(guī)劃產(chǎn)能超過(guò)200GW。從擴(kuò)產(chǎn)玩家看，頭部玩家、新勢(shì)力均有布局，頭部廠家中晶科、中來(lái)、天合、晶澳等均有較大規(guī)模的擴(kuò)產(chǎn)規(guī)劃；新勢(shì)力玩家中沐邦高科、皇氏集團(tuán)等均有較大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃。HJT：成本偏高制約HJT大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化，目前擴(kuò)產(chǎn)以新玩家為主（一）技術(shù)性：全新工藝路徑，非晶硅薄膜沉積、TCO膜的沉積為其核心工藝異質(zhì)結(jié)（HJT）是在晶體硅上沉積非晶硅薄膜形成的電池。PERC、TOPCon等電池是PN結(jié)在相同的半導(dǎo)體材料（晶體硅）中摻雜磷或硼得到的，即“同質(zhì)結(jié)”。異質(zhì)結(jié)的PN結(jié)是在晶體硅上沉積非晶硅得到的，即由兩種不同半導(dǎo)體材料（晶體硅和非晶硅）結(jié)合形成的。其正面結(jié)構(gòu)為本征非晶硅薄膜+P型非晶薄膜+TCO膜+電極，背面結(jié)構(gòu)為本征非晶硅薄膜+N型非晶薄膜+TCO膜+電極。HJT電池正背面結(jié)構(gòu)對(duì)稱，適合于雙面發(fā)電。HJT工藝較少，非晶硅薄膜沉積和TCO膜的沉積是核心工藝。HJT工藝僅有四步：清洗制絨、非晶硅薄膜沉積、TCO薄膜制備和絲網(wǎng)印刷，對(duì)應(yīng)的設(shè)備分別是濕法化學(xué)清洗設(shè)備、PECVD、PVD/RPD、絲網(wǎng)印刷/激光轉(zhuǎn)印/銅電鍍?cè)O(shè)備。其中清洗制絨和絲網(wǎng)印刷與PERC類似，但是HJT要求更高。HJT獨(dú)特的工藝在于非晶硅薄膜沉積和TCO膜的沉積。從價(jià)值量看，PECVD設(shè)備占據(jù)價(jià)值量的50%，TCO沉積設(shè)備占價(jià)值量的25%，絲網(wǎng)印刷占比15%，清洗制絨占比10%。PECVD是非晶硅薄膜沉積主流方式。非晶硅鍍膜主要作用是形成PN結(jié)，目前非晶硅鍍膜方法主要是PECVD和CAT-CVD（熱絲化學(xué)反應(yīng)氣象沉積），PECVD是主流技術(shù)。PECVD具備基本溫度低，沉積速度快，成膜質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)。CAT-CVD技術(shù)的鈍化效果更好，氣體利用率更高，但由于熱絲需要定期更換，目前運(yùn)行成本較高。PECVD又可以分成管式PECVD和板式PECVD，管式PECVD具有投資成本低、占地面積小、開機(jī)率高、維護(hù)保養(yǎng)成本低的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是異質(zhì)結(jié)管式PECVD技術(shù)成熟度沒(méi)有板式高，鍍膜均勻性較差，且容易產(chǎn)生繞度。目前行業(yè)中捷佳偉創(chuàng)布局了管式PECVD、板式PECVD、CAT-CVD，邁為、鈞石、理想、金辰股份均布局板式PECVD，但是在技術(shù)上有所不同。（二）經(jīng)濟(jì)性：成本偏高仍是制約量產(chǎn)主要因素，未來(lái)降本思路明確理論效率為28.5%，量產(chǎn)平均效率24.7%。理論效率方面，HJT理論效率為28.5%,遠(yuǎn)高于PERC和TOPCon(單面）。實(shí)驗(yàn)室效率方面，目前HJT實(shí)驗(yàn)室效率達(dá)26.7%，且還在不斷突破。量產(chǎn)方面，目前HJT的平均量產(chǎn)效率約24.7%，未來(lái)隨著雙面微晶工藝的推進(jìn)，效率有望進(jìn)一步提升。成本偏高制約HJT大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)，但未來(lái)降本路徑清晰。HJT成本主要由硅片、漿料、設(shè)備折舊和靶材構(gòu)成，根據(jù)表6測(cè)算來(lái)看，單瓦成本高于PERC約0.13元，其高出部分主要來(lái)自于銀漿和靶材。從未來(lái)降本路徑來(lái)看，HJT短期降本路徑包括：1）硅片成本：目前N型硅片成本仍比P型硅片貴約6%左右，未來(lái)隨著N型硅片規(guī)模增加，價(jià)差有望縮小；2）薄片化：硅片厚度每下降10um，成本可降低約0.16元。HJT硅片目前厚度約130微米，短期有望達(dá)到120微米，未來(lái)有望向80μm發(fā)展；3）制造費(fèi)用：PERC單體投建通常為5-7GW，目前HJT還沒(méi)有形成大規(guī)?；慨a(chǎn)，其制造成本偏高，未來(lái)隨著HJT規(guī)模擴(kuò)大，有望進(jìn)一步降低制造成本。4）半片技術(shù)：目前半片主要在組件端實(shí)現(xiàn)，未來(lái)降半片技術(shù)前置到硅片環(huán)節(jié)。半片前置一方面能夠降有效降低電池片效率的損失，另一方面硅片半片能夠有效利用硅棒切方時(shí)候產(chǎn)生的邊角料。5）銀漿：銀漿降本主要來(lái)源于兩個(gè)方面，一方面，隨著銀漿國(guó)產(chǎn)化、銀包銅技術(shù)的成熟，銀漿價(jià)格有望進(jìn)一步降低；另一方面，隨著銅電鍍、激光轉(zhuǎn)印、多主柵、鋼板印刷等技術(shù)的發(fā)展，單片銀漿使用量有望進(jìn)一步下降。6）靶材：未來(lái)以及低氤靶材的應(yīng)用有望降低靶材成本。鈣鈦礦：疊層鈣鈦礦理論效率40%+，目前仍處于產(chǎn)業(yè)早期階段鈣鈦礦電池是利用鈣鈦礦作為吸光層的薄膜太陽(yáng)能電池。鈣鈦礦通常是指ABX3型化合物，鈣鈦礦電池是將ABX3作為吸光層制成的薄膜型太陽(yáng)能電池。其工作原理為：陽(yáng)光照射到鈣鈦礦層時(shí)會(huì)產(chǎn)生電子和空穴，這些電子和空穴分別遷移到相鄰的電子傳輸層和空穴傳輸層，產(chǎn)生電流。效率高、成本低、應(yīng)用廣是鈣鈦礦電池特點(diǎn)。效率方面，單結(jié)鈣鈦礦電池理論效率可達(dá)31%，與異質(zhì)結(jié)等技術(shù)疊成后理論電池效率可達(dá)40%-50%，遠(yuǎn)高于目前晶硅電池30%的效率上限。成本方面，晶硅電池組件生產(chǎn)需要經(jīng)過(guò)硅料廠、硅片廠、電池片廠和組件廠，耗時(shí)最少需要三天，單結(jié)鈣鈦礦組件制備僅需要單一工廠即可完成所有工藝，生產(chǎn)時(shí)間大約在45分鐘，生產(chǎn)時(shí)間大幅縮短。此外，目前晶硅電池（PERC）生產(chǎn)從硅料到組件設(shè)備投資額約9.6億/GW，單結(jié)鈣鈦礦電池投資額約5億元/GW，未來(lái)隨著量產(chǎn)有望進(jìn)一步降低。應(yīng)用方面，鈣鈦礦電池易于修飾、改性，具備柔性化、輕量化特點(diǎn)，因此可用于BIPV、電動(dòng)汽車移動(dòng)電源，市場(chǎng)空間廣闊。鈣鈦礦與異質(zhì)結(jié)等晶硅電池技術(shù)疊層是目前產(chǎn)業(yè)主要關(guān)注點(diǎn)。鈣鈦礦電池能有效地利用紫外和藍(lán)綠可見(jiàn)光，晶硅電池可以有效地利用紅外光。將鈣鈦礦與HJT、IBC等晶硅電池疊層，可以更高效吸收光譜，進(jìn)一步提升光伏電池轉(zhuǎn)換效率。理論上，疊層鈣鈦礦電池效率可達(dá)40%以上，實(shí)驗(yàn)室方面，2022年7月，洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院（EPFL）和瑞士電子與微技術(shù)中心（CSEM）的鈣鈦礦-硅疊層光伏器件效率達(dá)到31.3%。單結(jié)鈣鈦礦處于產(chǎn)業(yè)化探索階段，疊層鈣鈦礦以中試線為主。單結(jié)鈣鈦礦方面，協(xié)鑫光電在2021年建成國(guó)內(nèi)首條百兆網(wǎng)產(chǎn)業(yè)化單結(jié)鈣鈦礦產(chǎn)線，2022年纖納光電100MW產(chǎn)線落地，極電光能150MW產(chǎn)線也在建設(shè)，預(yù)計(jì)于年內(nèi)投產(chǎn)。此外，目前協(xié)鑫、極電光能、纖納光電等廠商規(guī)劃GW級(jí)別以上的產(chǎn)線，預(yù)期23-24有望落地。整體來(lái)看，目前單結(jié)鈣鈦礦電池處于產(chǎn)業(yè)化探索階段。疊層鈣鈦礦方面，合特光電首條異質(zhì)結(jié)+鈣鈦礦疊層電池中試線計(jì)劃2023年投產(chǎn)，東方日升疊層鈣鈦礦電池目前處于實(shí)驗(yàn)室階段，仁爍光能的10MW鈣鈦礦疊層研發(fā)線已經(jīng)建設(shè)成功，正計(jì)劃建設(shè)150MW全鈣鈦礦疊層電池量產(chǎn)線。公司分析：當(dāng)下受益TOPCon擴(kuò)產(chǎn)加速，HJT、鈣鈦礦未來(lái)可期回顧歷史，公司在PERC時(shí)代的絕對(duì)龍頭，證明了公司的技術(shù)實(shí)力，同時(shí)積累了優(yōu)質(zhì)的客戶資源；聚焦當(dāng)下，TOPCon擴(kuò)產(chǎn)加速，公司PE-poly性能優(yōu)勢(shì)明顯，已獲得多家訂單公司，同時(shí)公司推出了激光SE硼摻雜設(shè)備，有助于進(jìn)一步提高TOPCon轉(zhuǎn)換效率；展望未來(lái)，公司在HJT、鈣鈦礦電池方面均有設(shè)備出貨，未來(lái)隨著HJT、鈣鈦礦大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化落地，公司有望受益。此外，公司半導(dǎo)體設(shè)備已獲得訂單，有望進(jìn)一步打開公司成長(zhǎng)空間?；仡櫄v史：PERC時(shí)代龍頭，積累優(yōu)質(zhì)客戶資源PERC電池片設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)，具備整線設(shè)備供應(yīng)能力。PERC工藝主要包括清洗制絨、擴(kuò)散、刻蝕、PECVD、激光開槽、絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)。在PERC時(shí)代，公司是為數(shù)不多的具備整線供應(yīng)能力的光伏設(shè)備公司（激光設(shè)備、絲網(wǎng)印刷非公司主要產(chǎn)品），彰顯其技術(shù)實(shí)力。從技術(shù)指標(biāo)來(lái)看，公司PERC設(shè)備公司主要產(chǎn)品的性能指標(biāo)均居國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平。公司PERC電池片設(shè)備整體市占率約55%，核心設(shè)備市占率均超過(guò)50%。根據(jù)捷佳偉創(chuàng)公告，2020年下游電池片廠商擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模為105GW，按照剔除絲網(wǎng)印刷、激光設(shè)備的PERC設(shè)備投資單GW1.24億元估算，2020年公司可獲得市場(chǎng)空間約130億元，2020年新簽合同金額為70.95億元，整體來(lái)看，公司2020年市占率約55%。分環(huán)節(jié)來(lái)看，公司核心覆蓋清洗制絨、擴(kuò)散、刻蝕和PECVD環(huán)節(jié)，公司在制絨、刻蝕環(huán)節(jié)市占率均超過(guò)70%，在擴(kuò)散和PECVD環(huán)節(jié)市占率超過(guò)50%。公司在PERC時(shí)代積累了優(yōu)質(zhì)的客戶資源，有望延續(xù)至新一代電池技術(shù)領(lǐng)域。在PERC時(shí)代，公司憑借整線供應(yīng)能力獲得了客戶的認(rèn)可，同時(shí)持續(xù)進(jìn)行產(chǎn)品創(chuàng)新，先后推出堿拋光設(shè)備、二合一PECVD設(shè)備等，獲得了較高的客戶粘性。公司下游主要客戶包括隆基、天合、通威等，幾乎涵蓋了國(guó)內(nèi)外主要電池片廠商。光伏設(shè)備具有技術(shù)迭代更新快的特點(diǎn)，優(yōu)質(zhì)的客戶資源一方面有助于公司與下游客戶聯(lián)合研開發(fā)新的技術(shù)，從而保持技術(shù)領(lǐng)先性；另一方，當(dāng)電池片設(shè)備進(jìn)行技術(shù)更新迭代時(shí)，公司在PERC領(lǐng)域客戶優(yōu)勢(shì)有助于公司快速導(dǎo)入。聚焦當(dāng)下：受益TOPCon擴(kuò)產(chǎn)加速，PE-Poly、激光SE助力公司提升市占率公司具備TOPCon產(chǎn)線的整線供應(yīng)能力,有望充分受益TOPCon快速擴(kuò)產(chǎn)。2022年TOPCon電池?cái)U(kuò)產(chǎn)積極，根據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，目前在建+規(guī)劃TOPCon產(chǎn)能近400GW。公司作為電池片核心設(shè)備廠商，在TOPCon技術(shù)路線方面可提供清洗制絨、刻蝕、管式PECVD（PE-Poly）、激光設(shè)備等全產(chǎn)線電池片設(shè)備，預(yù)期公司有望充分受益TOPCon擴(kuò)產(chǎn)加速。TOPCon設(shè)備與PERC重疊較多，有利于維持較高市占率。首先，TOPCon工藝設(shè)備與PERC相似，公司在PERC設(shè)備領(lǐng)域市占率高，良好客戶資源有望延續(xù)至TOPCon領(lǐng)域，從而有望仍將保持較高市占率。其次，TOPCon新增加的隧穿氧化層制備和激光硼擴(kuò)工藝，公司也相應(yīng)推出了PE-Poly,激光SE設(shè)備，整體性能行業(yè)領(lǐng)先，并已取得行業(yè)龍頭訂單，因此公司在這兩個(gè)環(huán)節(jié)也有望獲得較高市占率。PE-Poly具有繞度輕、鍍膜時(shí)間短和成本低的優(yōu)勢(shì)，已獲多個(gè)頭部廠商訂單。公司率先推出的PE-Poly技術(shù)實(shí)現(xiàn)了隧穿層、Poly層、原位摻雜層的“三合一”制備，不僅避免了TOPCon電池生產(chǎn)過(guò)程中繞鍍嚴(yán)重、能耗高、石英件損耗高的問(wèn)題，而且PE-Poly路線的原位摻雜時(shí)間僅為常規(guī)LPCVD路線的五分之一。公司推出PE-Poly設(shè)備后即獲得潤(rùn)陽(yáng)、晶澳客戶等訂單，并在2022年7-8月多次獲得頭部訂單，示范效應(yīng)顯著，目前PE-Poly市場(chǎng)份額持續(xù)擴(kuò)大，相較于LPCVD路線，PE-Poly具有以下優(yōu)勢(shì)：繞度輕：LPCVD由于使用高溫?zé)岱磻?yīng)鍍膜，因此對(duì)鍍膜區(qū)域控制難度較大，會(huì)產(chǎn)生較為嚴(yán)重的繞度問(wèn)題，增加后續(xù)清洗難度，需要增加清洗設(shè)備。PE-Poly本質(zhì)上是PECVD，采用等離子鍍膜方式，因此繞度較輕；時(shí)間短：LPCVD能夠?qū)崿F(xiàn)隧穿氧化層沉積和多晶硅沉積做兩道工序的“二合一”，后續(xù)還需要配備磷擴(kuò)散設(shè)備完成磷擴(kuò)，整個(gè)工藝時(shí)間長(zhǎng)。捷佳偉創(chuàng)的PE-Poly能夠?qū)崿F(xiàn)三道（氧化層、多晶硅、磷擴(kuò)）工序在同一個(gè)設(shè)備內(nèi)完成，能夠大幅縮短工藝時(shí)間；石英管損耗低：LPCVD采用高溫?zé)岱磻?yīng)沉積，會(huì)在石英管上產(chǎn)生反應(yīng)，需要每2-3個(gè)月更換石英管；PE-Poly采用等離子沉積，基本沒(méi)有石英管損耗成本，進(jìn)而降低了整體的運(yùn)營(yíng)成本；PE-Poly占地面積?。篜E-Poly可以實(shí)現(xiàn)三合一，同時(shí)繞度輕，可以節(jié)省擴(kuò)散設(shè)備和繞度清洗設(shè)備，占地面積少。從訂單情況來(lái)看，捷佳偉創(chuàng)億中標(biāo)多家全球光伏頭部企業(yè)的訂單，多次獲得重復(fù)性訂單，標(biāo)志著公司PE-Poly形成了正向持續(xù)研發(fā)與批量生產(chǎn)的開放生態(tài)環(huán)境，客戶涵蓋境內(nèi)、境外。從產(chǎn)能情況來(lái)看，捷佳偉創(chuàng)提供PE-poly核心設(shè)備的產(chǎn)線年產(chǎn)能累計(jì)達(dá)100GW。公司積極布局激光SE，目前已獲頭部廠商訂單。激光擴(kuò)硼（激光SE）技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)”一次硼擴(kuò)”，設(shè)備價(jià)值量約1000萬(wàn)/GW，激光SE不僅能夠降低TOPCon設(shè)備投資額，同時(shí)能夠提升TOPCon轉(zhuǎn)換效率0.2%-0.4%，因此收到下游廠商高度關(guān)注。目前頭部廠商已積極推進(jìn)TOPCon激光SE，2022年10月4日，晶科能公布其TOPCon轉(zhuǎn)化效率達(dá)到26.1%，再次創(chuàng)造新的紀(jì)錄，其中就使用激光SE技術(shù)。公司向頭部客戶提供的TOPConSE激光設(shè)備已進(jìn)入交貨環(huán)節(jié)，未來(lái)隨著激光SE技術(shù)的成熟和推廣，公司激光