海力士工藝管道注意事項

海力士工藝管道施工注意事項1．H2SO44DRAIIN系統(tǒng)管材為為內(nèi)襯PTFE的SUS3004管（工廠預(yù)預(yù)制），采用用法蘭連接。墊墊片為四氟包包覆石棉墊。H2SO44DRAIIN系統(tǒng)閥門等等，應(yīng)選用內(nèi)內(nèi)襯PTFE的產(chǎn)品，SOL//ACID//ALKALLI/DI--REC/HHF/NH44OHDRRAIN系統(tǒng)閥門，水水泵軟接頭等等，應(yīng)選用內(nèi)內(nèi)涂TEFLOON的產(chǎn)品或者者使用PVC閥門。2．工藝管道道安裝時，位位置，標(biāo)高應(yīng)應(yīng)符合圖紙要要求。TAKEOOFF點三通口應(yīng)應(yīng)在一條直線線上，并垂直直向上。三通通高度應(yīng)考慮慮HOOKUUP接管方便，應(yīng)應(yīng)與上方障礙礙物保持一定定距離。排水水管道敷設(shè)有有坡度時，一一定要特別注注意管道標(biāo)高高最高點和最最低點不得與與其它管線沖沖突，并要考考慮兩處HOOKUUP時接管方便便。3．管道安裝應(yīng)應(yīng)排列整齊，間間距合理。排排水管道應(yīng)有有3‰坡度，絕對對不得出現(xiàn)倒倒坡。4．SUS3004管道焊接時時，管內(nèi)應(yīng)充充氬氣保護(hù)。焊焊口應(yīng)平滑，波波紋均勻，不不得有咬肉錯錯邊等現(xiàn)象，并并保證焊透。焊焊接完成后應(yīng)應(yīng)用酸洗膏消消除焊縫周圍圍氧化色，并并鈍化焊縫。5．所有PVCC管道和不銹銹鋼管道，固固定用U型卡均要套套熱塑管；管管道與支架間間要墊橡膠板板。6．閥門的安裝裝位置、標(biāo)高高、進(jìn)出口方方向必須符合合設(shè)計要求，且且要方便操作作，在成排安安裝時，如間間距不夠要考考慮錯開安裝裝。在高架地地板下安裝時時，應(yīng)考慮閥閥門手柄不得得與高架地板板腿打架。7．PV管道鉆鉆三通孔后，要要將里外的毛毛邊修干凈，并并將管內(nèi)的碎碎屑清理干凈凈。PN2，CDA，PO2等氣體管路路支干管因管管內(nèi)壁有潔凈凈要求，不得得用開孔三通通。一般是采采用LIKERRTEE。焊縫離閥閥門較近的，要要用濕毛巾包包住閥門后再再焊接，保證證閥門不損壞壞。8．氣體管路吹吹掃：氣體管道壓力試試驗和吹掃時，一般般使用PN2作為介質(zhì)。接入臨時PN22前，須將充充氣點與系統(tǒng)統(tǒng)主管之間的的閥門關(guān)閉。防防止臨時氣將將主管的氣體體污染。吹掃掃試壓時，臨臨時PN2與系統(tǒng)之間間要接入氣體體過濾器（0.01μm）后再進(jìn)行行充氣試壓和和吹掃，以保保證管道內(nèi)氣氣體的純凈度度。吹掃壓力為0..6MPa，每條支路路和閥門都要要依次進(jìn)行吹吹掃，吹掃過過程中反復(fù)打打開關(guān)閉閥門門，用橡膠錘錘敲打震動管管路。吹掃時時間不得低于于3分鐘。9．吹掃試壓完完成后，充入入正式氣之前前，支路上的TAKEOOFF閥要全部關(guān)關(guān)閉，氣體管管路系統(tǒng)要繼繼續(xù)充氣，管管內(nèi)須保持24小時不間斷斷充PN2，流量為5－10L/mmin。保持管道內(nèi)內(nèi)正壓，防止止灰塵進(jìn)入。在在非潔凈室內(nèi)內(nèi)施工時尤其其要注意這一一點。10．在潔凈室室內(nèi)打孔作業(yè)業(yè)時要使用吸吸塵器，膨脹脹螺栓要用密密封膠澆注，防防止灰塵擴散散。11．管路施工工時，附近如如有高壓/易燃/易爆管路時時，手工氬弧弧焊地線和把把線一定接到到施焊位置，并并且一定要有有遮擋隔離措措施，絕對不不能在高壓/易燃/易爆管路上上起弧。12．安裝卡套套時管子插進(jìn)進(jìn)卡套后先用用手?jǐn)Q緊，然然后用板手?jǐn)Q擰11/4圈?？ㄌ走B接時，前前后金屬圈位位置要正確?？ㄌ走B接件拆拆除后，不得得重復(fù)使用（會會漏）。VCR接頭安裝GASKEET（不銹鋼）裝裝在公頭（MALENUT）上用手?jǐn)Q擰緊后再用板板手?jǐn)Q1/4圈。13．氣體管路路焊接時，管管道內(nèi)一定要要充內(nèi)保護(hù)氣氣（高純氬），充充入管道內(nèi)氣氣體必須經(jīng)過過過濾（充氣氣管路上安裝裝0.01μm過濾器）。不銹鋼管道焊接接時不論管內(nèi)內(nèi)管外都需要要氬氣保護(hù)，來來防止焊點的的氧化。管外外保護(hù)是把氬氬氣通入焊把把內(nèi)腔保護(hù)焊焊點，管內(nèi)保保護(hù)是把氬氣氣直接通入管管內(nèi)保護(hù)焊接接點。14．氣體管道道安裝時鋁條條支架應(yīng)及時時固定，排管管轉(zhuǎn)彎處兩邊邊設(shè)鋁條支架架。1/4”管道支架間間距800mm，3/8管道支架間間距1000mmm，1/2”管道支架間間距1200mmm。排管安裝裝時支架安裝裝時按最小管管徑間距安裝裝，不銹鋼角角鋼切割完畢畢后，一定要要倒角，不能能有毛刺。單單根管道安裝裝時3m加固定支架架。15．工藝排氣氣二次配管道道時，主風(fēng)管管上開洞要隨隨開隨裝管道道,并馬上密封封。不得一次次開多個洞。開開洞后如果不不能及時與管管道連接，應(yīng)應(yīng)用薄膜封好好，防止主管管內(nèi)負(fù)壓升高高，影響工藝藝設(shè)備運行。16．二次配管管完成后，管管路上要正確確張貼標(biāo)簽和和標(biāo)牌。閥門門處要掛閥門門標(biāo)牌。標(biāo)牌牌上應(yīng)有對應(yīng)應(yīng)的機臺名稱稱和管道名稱稱，不得有錯錯。如果因標(biāo)標(biāo)牌有誤，導(dǎo)導(dǎo)致閥門誤動動作，會影響響生產(chǎn)，損失失巨大。17．管材和預(yù)預(yù)制好的管道道不得直接放放在地面上，應(yīng)應(yīng)擺放在管架架上，并堆放放整齊。所有有管道兩端必必須要封口，防防止灰塵及雜雜物進(jìn)入。18．配管時，如如果管道上或或設(shè)備出口處處有軟接，必必須在附近加加固定支架。否否則易造成軟軟接破裂。19．潔凈室內(nèi)內(nèi)禁止使用角角磨機（因其其產(chǎn)塵）。切切割管道用帶帶鋸/GF鋸等，清理理焊口用不銹銹鋼刷。作業(yè)業(yè)時，必須要要使用吸塵器器。20．特殊氣體體管路（如NF3，SiH4，N2O，NH3等）一般不不允許使用3R彎管器（尤尤其是1/4“管）,應(yīng)使用5R彎管器。原原因有：1）．曲率半徑徑太小，使介介質(zhì)流動時局局部阻力過大大，造成壓力力下降。易凝凝結(jié)的氣體（NH3等）在此可可能也會出現(xiàn)現(xiàn)冷凝現(xiàn)象，影影響氣體輸送送。2)．因曲率半半徑太小，管管道會產(chǎn)生嚴(yán)嚴(yán)重彎曲變形形,造成管道內(nèi)內(nèi)壁損壞,產(chǎn)生金屬粉粉塵,影響氣體純純度。21．設(shè)備配管管作業(yè)不得影影響設(shè)備檢修修門,檢查孔等開開啟。22.設(shè)備上上氣體閥箱(GASBOX),,一般應(yīng)設(shè)工工藝排風(fēng)。目目的是：排除除因滲漏或故故障產(chǎn)生的有有害氣體，避避免影響潔凈凈室純度和產(chǎn)產(chǎn)生人身傷害害。23．二次配管管時，吹掃用用氣體（GN2）應(yīng)與設(shè)備備工藝用氣體體（GN2）分別敷設(shè)設(shè)，不得在同同一根支管上上開三通安裝裝。防止吹掃掃時，設(shè)備工工藝用氣體壓壓力下降，影影響生產(chǎn)。24．不銹鋼管管道焊接作業(yè)業(yè)時，焊絲應(yīng)應(yīng)采用成品SUS3008焊絲，管內(nèi)必必須充氬氣保保護(hù)。真空和和工藝排氣等等管道焊接時時，焊縫必須須要焊透。焊焊接兩遍時要要進(jìn)行層間打打磨，并用濕濕布等降溫，減減少熱影響區(qū)區(qū)對管材的影影響。因為真真空和工藝排排氣等成份復(fù)復(fù)雜，有的腐腐蝕性很強，如如果焊接不良良，在熱影響響區(qū)會出現(xiàn)腐腐蝕孔，嚴(yán)重重的會有焊口口開裂等現(xiàn)象象。THIN//FILM區(qū)尤其要注注意焊接質(zhì)量量！25．PVC軟軟管排氣管道道（晶圓廠CNC區(qū)），因排排氣含水量大大，敷設(shè)時應(yīng)應(yīng)特別注意不不得有低洼處處，防止因積積水形成存水水彎，影響正正常排氣。26．二次配管管時，雙重管管敷設(shè)，外管管曲率半徑不不得小于5R。內(nèi)管中間間避免有接頭頭，內(nèi)管（PFA管）不得有有死折。PFA管道擴管時時，應(yīng)盡量采采用熱擴。冷冷擴易滲漏。27．氣體管路路VCR連接FEMALLE-NUTT上的小孔，是是為了氦檢漏漏時使用。氦氦檢漏：1）用真空設(shè)備備抽真空。晶晶圓廠多數(shù)機機臺自備氦檢檢漏設(shè)備(pumpplinee)。2）將氦氣噴涂涂在待檢焊口口或接頭（VCR）小孔上。3）觀察真空度度變化及氦檢檢測儀是否報報警。28．真空排氣氣管道（SUS3004BA）拆除后應(yīng)應(yīng)先進(jìn)行清洗洗，否則不得得再次焊接使使用。因為再再次施焊時，焊焊接高溫會使使附著在內(nèi)壁壁上的有害物物質(zhì)揮發(fā)到空空氣中，引起起人員中毒。29．DIW管管路在加設(shè)閥閥門時，應(yīng)盡盡量減少盲區(qū)區(qū)。避免因管管路內(nèi)純水不不流動，導(dǎo)致致水質(zhì)變壞，使使管路不能使使用。DIW系統(tǒng)與設(shè)備備連接后，首首次送水時，應(yīng)應(yīng)先開回水閥閥，待水充滿滿管道后，再再打開供水閥閥門。因為供供水壓力過高高，會使大量量的氣體形成成高壓積存在在設(shè)備內(nèi)，容容易損壞設(shè)備備。純水管路路投入使用前前不得打開預(yù)預(yù)留閥，防止止水質(zhì)變壞。30．IPA，SOL，THIN，ACT9335等揮發(fā)性強強的化學(xué)品管管路，不能用用卡套連接。因因為揮發(fā)性物物質(zhì)會腐蝕卡卡套中的墊圈圈，導(dǎo)致泄漏漏。應(yīng)采用VCR連接方式。此此類管路和一一些氣體管路路（如NF3，N2O，NH3等特殊氣體體）也不易用用PFA管。因PFA管材易老化化，最重要的的是PFA管材易吸附附解析氣體，透透氣性強，會會影響氣體的的純度。31．IPA，SOLVEENT，THIN，ACT9335等有機溶劑劑管路（供液液或排放）需需要焊接時，應(yīng)應(yīng)采用遮擋隔隔離措施與已已送液（或已已排放）的管管路隔離，如如應(yīng)用橡膠板板等物封堵管管口等。防止止焊接火花或或高溫等引燃燃管路中有機機溶劑，發(fā)生生爆炸。32．PCW供供水管路敷設(shè)設(shè)時，不得敷敷設(shè)在發(fā)熱物物體（如電纜纜等）上方或或附近。因為為水溫升高會會影響工藝?yán)淅鋮s效果。33．真空管道道敷設(shè)時，應(yīng)應(yīng)盡量避免使使用彎頭。如如必須使用，則則要用45度彎頭。因因為管路阻力力過大，會影影響抽真空效效果。34．工藝排氣氣管道如設(shè)備備接口處或設(shè)設(shè)備內(nèi)部無風(fēng)風(fēng)閥時，需在在接口處或主主管處安裝風(fēng)風(fēng)閥。因有真真空度要求，需需要調(diào)節(jié)。GASBBOX上排氣一般般不裝風(fēng)閥。工工藝設(shè)備排氣氣一般均有排排氣真空度指指示。35．DIW((PVDF))管路因焊接接設(shè)備不能使使用在現(xiàn)場。應(yīng)應(yīng)測量好尺寸寸后，在潔凈凈加工間預(yù)制制，再到現(xiàn)場場安裝。這種種方式，需要要使用法蘭和和活接等管件件。36．VCR連連接方式的GASKEET應(yīng)安裝在MALENUT側(cè)的GLAND上。自動焊焊接管路中間間要盡量避免免用VCR接頭,應(yīng)用對焊連連接。原因：1.節(jié)省省材料考慮。22.防止?jié)B漏,便于檢查管管路。37.工藝管道道施工時,臨時氣(如Ar,GNN2)要用臨時氣氣源或鋼瓶.臨時電源應(yīng)應(yīng)用施工電源源.均不得與工工藝生產(chǎn)氣源源電源混用.否則容易引引起生產(chǎn)氣源源電源不穩(wěn)定定,影響生產(chǎn)。38.機臺配管管布局要合理理,交叉管路應(yīng)應(yīng)確定合適標(biāo)標(biāo)高,避免沖突。機機臺配管盡量量使用本機臺臺的空間位置置,并考慮便于于檢查和操作作.不得侵占其其它設(shè)備配管管位置。因3F高架地板下下空間有限且且管線較多，晶晶圓廠設(shè)備配配管應(yīng)盡量布布置在2F輔助區(qū)的頂頂板上，在合合適的位置再再敷設(shè)到3F。閥箱安裝位置應(yīng)應(yīng)便于操作并并與設(shè)備整體體布局協(xié)調(diào),閥門安裝時時注意手柄要要便于啟閉。39．在已運行行的黃光區(qū)（如Photo區(qū)等）配管作業(yè)時，管道應(yīng)先預(yù)制再到現(xiàn)場組裝，盡量避免現(xiàn)場焊接作業(yè)，產(chǎn)生焊接弧光。40．二次配管管敷設(shè)完成后后，所有閥門門必須處于關(guān)關(guān)閉狀態(tài)。在在經(jīng)業(yè)主或廠廠家確認(rèn)后，方方可打開閥門門。純水管路路應(yīng)在機臺內(nèi)內(nèi)部管路可以以循環(huán)后，由由業(yè)主開閥放放水。41．純水管路路和氣體管路路管件存放時時不得破壞包包裝。在預(yù)制制安裝完成后后必須可靠封封口，防止灰灰塵進(jìn)入。在在非潔凈環(huán)境境下，未運行行的純水管路路和氣體管路路內(nèi)應(yīng)持續(xù)充充N2，保持管道道內(nèi)正壓，防防止灰塵進(jìn)入入，純水管路路和氣體管路路管件不得用用清水和溶劑劑清洗，要用用PN2等純凈氣體體吹掃處理。42．在生產(chǎn)設(shè)設(shè)備使用排液液泵排放廢水水的系統(tǒng)，排排水主管應(yīng)預(yù)預(yù)留閥門或管管徑加大。否否則如果有設(shè)設(shè)備運行，其其它設(shè)備二次次配時無法與與主管連接（會會很麻煩，必必須在不排水水的時間內(nèi)完完成安裝）。43．在可燃性性工藝排氣等等風(fēng)管內(nèi)（主主要是FRP風(fēng)管），應(yīng)應(yīng)設(shè)計消防噴噴淋管道。防防止因自燃發(fā)發(fā)生火災(zāi)事故故。在燃燒型型濕式洗滌塔塔（BURNTTWETSCRUBBBER）等存在可可燃性氣體的的設(shè)備內(nèi)，也也應(yīng)設(shè)計消防防噴淋管道。使使用易燃易爆爆氣體且有自自燃危險的機機臺內(nèi)部，應(yīng)應(yīng)設(shè)CO2自動滅火保保護(hù)設(shè)施（外外置CO2鋼瓶）。44．二次配時時，氣體管路路支管如果要要開三通，應(yīng)應(yīng)先核實流量量是否能滿足足工藝用氣的的要求。一般般來說，1/2＂及以下氣氣體管路支管管流速為6m/s--12m/ss,主管流速為2m/s--4m/s。45．分析表明明，氣體中的的水分主要來來自管路系統(tǒng)統(tǒng)。管材的透透氣性對氣體體質(zhì)量有很大大影響。透氣氣性能最小的的是不銹鋼管管和銅管。銅銅管表面對雜雜質(zhì)尤其是水水分的活性很很高。使用時時，切忌用溶溶劑或化學(xué)藥藥品清洗，而而應(yīng)用純凈氣氣體吹掃。46．微電子生生產(chǎn)中，砷化化鎵的操作管管路系統(tǒng)，不不允許使用銅銅質(zhì)管路及其其附件。銅管管焊接時，應(yīng)應(yīng)采用40%銀焊條。管管內(nèi)應(yīng)通入與與工藝氣體同同等純度的氮氮氣。在施焊焊前應(yīng)向管內(nèi)內(nèi)通入保護(hù)氣氣，用以排出出管內(nèi)氣體。47．不銹鋼管管優(yōu)于銅管的的耐磨性能，所所以在氣流沖沖刷下產(chǎn)生的的金屬粉塵相相對較少。48．在有干燥燥度，潔凈度度要求的氣體體管路中，不不提倡鋼管采采用螺紋連接接。因為螺紋紋密封填料殘殘渣和擰緊時時的金屬粉塵塵粒子，會污污染純凈氣體體。49．氣體管路路法蘭連接方方式：在必要要的法蘭連接接處，除H2，O2管道外，其其墊片應(yīng)采用用聚四氟乙烯烯板。為了確確保使用密封封效果，還應(yīng)應(yīng)在墊片上涂涂敷少量的氟氟橡膠（TEFLOON白色，室溫溫固化）。50．介紹THHIN/FIILM區(qū)常見的幾幾種錯誤配管管。如圖：A處錯誤有兩點點：1）.SCRUUBBER上的排氣管管插入風(fēng)管過過長，會導(dǎo)致致風(fēng)管內(nèi)阻力力過大，引起起系統(tǒng)排氣效效果不良。2）．SCRUUBBER上的排氣管管插入風(fēng)管時時,方向錯誤。排排氣管必須順順風(fēng)管氣流安安裝，否則排排氣阻力會很很大。B處錯誤：配管管時應(yīng)考慮配配管阻力均衡衡，使SCRUBBBER進(jìn)氣均勻。否否則會影響SCRUBBBER的正常工作作。。C處錯誤：真空空泵的吸入管管禁止使用90D彎頭，以減減小管路阻力力。D處錯誤：真空空泵的吸入管管禁止有來回回彎，使用彎彎頭過多，可可能導(dǎo)致真空空泵吸不上氣氣來。51．THINN/FILMM區(qū)（TBP，TSN設(shè)備）使用用特殊液體種種類及危險特特性介紹如下下：英文簡寫名稱中文名稱特性介紹分子式使用區(qū)域(機臺臺等)備注TEOS四氧乙基硅易燃液體,危險險C8H20O44SiTHIN/FIILME(DDCVD),,TBP和TSN系列機臺從LiquiddCabiinet到ChambberTEB三乙基硼烷易燃液體,危險險C6H15O33BTHIN/FIILME(DDCVD),,TBP和TSN系列機臺從LiquiddCabiinet到ChambberTEPO磷酸乙酯對眼睛有刺激性性C6H15O44PTHIN/FIILME(DDCVD),,TBP和TSN系列機臺從LiquiddCabiinet到Chambber52．真空泵與與SCRUBBBER之間的配管管連接時，如如果SCUBBBER的進(jìn)氣口在在上部，則應(yīng)應(yīng)盡量采用向向下翻配管。避避免使用向上上翻配管形式式。如圖：53．GAS二二次配管時，一一定要注意，機機臺接口與氣氣柜接口要一一一對應(yīng)，如如ChambberA上上用的O3，應(yīng)在O3發(fā)生器上找找到ChammberAA接口，然后后連接，不得得接反。NF3，N2O，SIH4，C2H6等特氣管路路都一樣，不不得接反。因因為氣柜（VMB）上都有固固定的程序，如如果接反，程程序調(diào)試起來來非常麻煩。而而且非常容易易出現(xiàn)誤操作作，影響生產(chǎn)產(chǎn)。54．特殊氣體體管道的安全全距離。55．二次配管管時，真空和和排氣等管路路靠近設(shè)備處處往往需要安安裝軟接頭。如如果軟接頭安安裝在管路中中間，則軟接接頭的兩端管管路上必須要要分別安裝固固定支架。因因為如果沒有有固定支架，由由于設(shè)備運行行中振動等原原因，會導(dǎo)致致軟接頭撕裂裂/脹開等，出出現(xiàn)質(zhì)量事故故。56．檢測是是高純氣體施施工的最后一一環(huán)，它是在在管道壓力試試驗、吹掃結(jié)結(jié)束后進(jìn)行。大大宗氣體的指指標(biāo)檢測一般般包括塵埃粒粒子、露點、含含氧量、水分分和碳?xì)浠虾衔锏?。特殊殊氣體檢測除除這些指標(biāo)外外，還要進(jìn)行行氦測漏。一般指標(biāo)的檢測測是指：往已已施工完畢的的管道中充入入介質(zhì)氣體，并并進(jìn)行充分的的吹掃。然后后連接水份分分析儀或激光光粒子計數(shù)分分析儀等儀器器進(jìn)行分析測測量。例如：：PN2管路的水份份測試要求在在30分鐘內(nèi)，管管路水份應(yīng)在在10ppb以下（PPb：10億分之一），并并保持穩(wěn)定或或有向下減小小的趨勢。PN2管路的Partiicle測試：連續(xù)續(xù)三次測量，取取平均值，直直徑0.1μm的粒子小于5個.氦測漏則是把管管道抽真空，利利用氦氣的高高滲透率（氦氦氣是所有氣氣體中滲透率率最高的）檢檢查每一道焊焊口，如果檢檢測到一道焊焊口有漏點時時，檢測儀器器的真空表就就會有顯示。57.潔凈廠房房內(nèi)樓板開洞洞方法：1．定位孔法2．二次施工法法58．氣體管道道在現(xiàn)場焊接接時，為防止止管道內(nèi)壁氧氧化，必須可可靠充氣。如如果是與原有有管道連接，不不方便充氣?？煽稍诤缚谂赃呥呌秒娿@打孔孔，先安裝一一個1/4“的UNION做為充氣孔孔。待施工完完畢后再用CAP等將充氣孔孔封堵。如圖圖：59．不銹鋼管管道焊接完成成后，為防止止管道內(nèi)壁氧氧化，必須持持續(xù)充氣一段段時間。充氣氣量及持續(xù)充充氣時間如下下表：焊接完成后吹掃掃充氣量標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)表TUBESIIZE2M基準(zhǔn)5M基準(zhǔn)10M基準(zhǔn)20M基準(zhǔn)50M基準(zhǔn)100M基準(zhǔn)200M基準(zhǔn)備注LPMTIME(seec)LPMTIME(seec)LPMTIME(seec)LPMTIME(seec)LPMTIME(seec)LPMTIME(seec)LPMTIME(seec)1/4"51051552553555558051203/8"71051552553555558051201/2"10107306455705105515552303/4"152510309458707105615552301"2030155014751311512170112551038511/2"25502530023450216751910151715201522802"256020300184501667514101513152012228021/2"3030030600279002413502220252030401845603"3530030600279002413502220252030401845604"40420~600035900~1200032900~1200029135027700233040~40050214560~600756"50420~600045900~1200041900~12000371