CDG025D電容膜片真空規(guī)說明書

電容膜片真空計(jì)CDG025DCDG025D-S使用說明書包括:產(chǎn)品符合規(guī)定的聲明tina49e-a(200-03) 1產(chǎn)品標(biāo)識與IIO,.為便于參考,請將信息填入下面各攔的空格中.NFCNAG,-96zr: : : : V 2 tina9e1-a(206-0)有效性本文件適用于下列件號的產(chǎn)品:35-00

0-1N16S-2N16-38VR

無開關(guān)功能01帕2毫巴帶有兩個開關(guān)功能34帕7510…00(S761…00(.S771…0(S781…1S791….1(.S822×0…00(S832×0…0S842×0…2S8525×0….5(S751.310…1322帕.)7613×1…1322帕F.)771310…13.2帕F.)781310…1332帕F.)7913×1…1.332帕F.)82266×10…26644帕F.S.)83266×10…266.4帕.S.)84266×10…26.64帕.S.)85333×10…3.335帕.S.)751.11…100毫巴(S)761…10毫巴S771…10毫巴..)781…1毫巴(.S)791…01毫巴S.)822×0…00毫巴(.S832×0…0毫巴(.S842×0…0毫巴(.S8525×0….5毫巴(FS

5毫巴件號(N)可從產(chǎn)品名牌上看到.tina9e1-a(206-0) 3如圖例中未另有表示,本文插圖中CDG025D-S規(guī)管的真空連接為DN16ISO-KF.應(yīng)用于其它真空的連接均類似.我們保留不事先通知進(jìn)行技術(shù)修改的權(quán)利.全部尺寸以毫米為單位.用途電容膜片真空計(jì)CDG025系列用于各自測量范圍3.真空計(jì)屬于K?Smart傳感器系列,可與INFICON(VGC系列)的真空計(jì)控制器或其它適當(dāng)?shù)臏y量儀器連接.功能電容膜片真空計(jì)包含由氧化鋁陶瓷和電子學(xué)元件組成的電容傳感元件,電子學(xué)元件將電容轉(zhuǎn)換成直流電壓輸出訊號.輸出訊號與測量的壓強(qiáng)為線性關(guān)系,而與氣體類型無關(guān).商標(biāo)SK? IFICONGmbHVC? SagelokMaketigCo.4 tina9e1a2060)目錄產(chǎn)品標(biāo)識 2有效性 3用途 4功能 4商標(biāo) 41安全 61.1使用符號 61.2人員要求 61.3一般安全規(guī)則 71.4責(zé)任和保用 72技術(shù)參數(shù) 83安裝 133.1真空連接 133.2電連接 154運(yùn)行 174.1顯示器 174.2真空計(jì)調(diào)零 184.3開關(guān)功能(僅CDG05D-S) 214.4啟用工廠設(shè)定值(工廠復(fù)位) 235卸裝 246維護(hù),檢修 257返回產(chǎn)品 268廢物處理 27附加信息 28污染申報表 29產(chǎn)品符合規(guī)定的聲明 30本文內(nèi)的相互參照,使用符號X),參照其它文件,使用"附加信息"或符號([]).tina9e1a2060) 51 安全1.1 使用符號危險防止任何危及人身安全的信息.警告防止損傷設(shè)備與環(huán)境的信息.注意正確掌握使用的信息.不注意將導(dǎo)致誤功能或設(shè)備受損..2 人員要求授權(quán)人員本說明書中所述的全部工作必須由經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn)和有經(jīng)驗(yàn)或由產(chǎn)品的最終用戶授權(quán)的人員執(zhí)行.6 tina9e1a2060)1.3 一般安全規(guī)則遵守適用的規(guī)程和對使用的過程介質(zhì)采取必要的防護(hù)措施.考慮與產(chǎn)品材料可能引起的反應(yīng).遵守適用的規(guī)程和對全部要做的工作采取必要的防護(hù)措施,并遵守本文件中的安全規(guī)定.在工作開始前,檢查是否任何真空元件已污染.遵守相關(guān)的規(guī)程和對污染部件采取必要的防護(hù)措施.將安全規(guī)則通知全部其它用戶..4 責(zé)任和保用INFICON無視本文件中的信息不適當(dāng)?shù)姆绞绞褂卯a(chǎn)品對產(chǎn)品進(jìn)行任何介入(,變更等.)使用未列入產(chǎn)品文件中的附件.最終用戶對使用的過程介質(zhì)承擔(dān)全部責(zé)任tina9e1a2060) 72 技術(shù)參數(shù)測量范圍 "有效性"精度375XX…378XX379XX382XX385XX零點(diǎn)的溫度效應(yīng)375XX…377XX378XX379XX382XX385XX滿刻度的溫度效應(yīng)375XX…378XX379XX382XX385XX

0.20%0.50%0.20%0.50%0.0050%F.S./°C0.015%F./°C0.020%F./°C0.0050%F.S./°C0.020%F./°C0.01%/°0.03%/°0.01%/°0.03%/°分辨率 0.003%F..與氣體類型的關(guān)系 無 輸出訊號模擬(測量訊號)電壓范圍 –5…+12V測量范圍 0…+10V電壓-壓強(qiáng)的關(guān)系 線性輸出阻抗 0防短路)負(fù)載阻抗 >10響應(yīng)時間 30毫秒規(guī)管 與電源公共端的電阻為13.2k(接腳電壓05V)8 tina9e1a2060)開關(guān)功能 SP1,SP2設(shè)定范圍 0…10V滯后 1%..繼電器觸點(diǎn) 60VDC/0.5ADC浮動(常開)閉合 在低壓強(qiáng)下(LED)開啟 在高壓強(qiáng)下(LED)開關(guān)時間 50毫秒RS232C接口傳輸率連接

9600波特二進(jìn)制8數(shù)據(jù)位一個停止位無奇偶位無信號交換"電連接"有關(guān)RS232C[3電源危險與真空計(jì)連接的電源,儀器或控制單元必須符合極低壓保護(hù)接地的要求(SLVEEN61010規(guī)程).規(guī)管的連接必須通過保險絲1).1)INFICON控制器滿足此要求.tina9e1a2060) 9電源電壓規(guī)管紋波

+14…+30VDC≤1Vpp電流 <500毫安(最大啟動電流)功耗(取決于電源電壓) ≤1瓦保險絲2) 1AT慢熔)規(guī)管保護(hù)于電源的極性變更. 15腳D-Sub,傳感器電纜

5芯,帶屏蔽9芯,帶屏蔽電纜長度 0米42對于較長的電纜,(電纜.– "電連接"–;0暴露于真空的材料法蘭,管,防護(hù)室,等離子屏蔽傳感器和膜片傳感器膜片連接陶瓷–金屬連接

不銹鋼ISI316L陶瓷(A2O39.5%玻璃陶瓷釬焊u,n%,%,%內(nèi)部容積 6厘米3容許壓強(qiáng)(絕對)375XX,32XX376XX…378XX379XX,35XX

3巴2巴1.3巴爆裂壓強(qiáng)絕對) 5巴10 tina9e1a2060)允許溫度貯存工作烘烤(非工作下)

–40°C…+65°C+10°C…+50°C110°C在法蘭處相對濕度 80%+31°C在+4°C時減至50%使用 僅室內(nèi),海拔高至2000米NN保護(hù)等級 IP0尺寸[毫米]55AD?"3XX-X00

DN16IO-KF3XX-X01

DN16CF-R3X-X02

8VCR插座型3XX-X03重量 300克tina9e1a2060) 11模擬測量訊號與壓強(qiáng)的關(guān)系壓強(qiáng)p1.1×F.S.1.0×F.S0.9×F.S0.8×F.S0.7×F.S..............0.5×F.S.0.4×F.S.0.3×F.S.0.2×F.S0.1×F.S0.0×F.S0

1 2 345 678 9 0 測量訊號U[V]p=(ut/10V)×p(..)轉(zhuǎn)換乇帕乇毫巴2)帕2)c1.001013.25/760=1.333…101325/760=133.322…例: 真空計(jì)滿量程為10乇.測量訊號out=6p=(6V/10V)×0乇=0.6×10=6乇2)源自:PL)壓強(qiáng)和真空測量指南,ISBN0047x/19812 tina9e1a2060)3 安裝.1 真空連接危險危險:真空系統(tǒng)中的過剩壓力>1巴當(dāng)真空系統(tǒng)中存在壓力時,打開夾環(huán),可導(dǎo)致松脫的部件或泄放的工藝氣體傷害人身.在真空系統(tǒng)處于壓力的情況下,不要打開任何夾環(huán)..危險危險:真空系統(tǒng)中的過剩壓力>2.5使用橡膠密封如O-圈)的KF連接法蘭不能經(jīng)受這樣的壓力.規(guī)程介質(zhì)可能泄漏損害人身健康.使用帶有外對中環(huán)的-圈.tina9e1a2060) 13危險危險:保護(hù)接地未正確接地的產(chǎn)品在事故情況下是十分危險的.將規(guī)管連接到接地的真空室上.連接必須符合規(guī)程EN6100中規(guī)定的保護(hù)要求:CF和VCR法蘭滿足這個要求.帶有KF法蘭的規(guī)管,.帶有?"管的規(guī)管,采取適當(dāng)?shù)拇胧M足這個要求.注意注意:污染和損壞影響真空元件的功能.拿取真空元件時,采取適當(dāng)?shù)拇_保清潔與防止損壞的措施.注意注意:對污染敏感的區(qū)域用手接觸產(chǎn)品或部件將增大退吸率.在這個區(qū)域工作時,始終使用清潔的,無纖維手套和清潔的工具.14 tina9e1a2060)安裝規(guī)管使它無震動發(fā)生.規(guī)管可任意方位安裝.為防止凝聚物和微粒進(jìn)入測量室,最好選取水平至直立的位置,并使用帶對中環(huán)和過濾件的密封圈.如規(guī)管安裝后需要調(diào)整,要保證安裝后可插入針桿調(diào)整按鈕(18).取下保護(hù)蓋,將產(chǎn)品連接在真空系統(tǒng)上.帶對中環(huán)的密封圈or夾環(huán)

帶對中環(huán)與過濾件的密封圈將.3.2 電連接確保真空連接已正確完成(13.tina9e1a2060) 15如無傳感器電纜,按下圖做一根.帶開關(guān)功能的規(guī)管4189

D D 2751,4繼電器P1,閉合觸點(diǎn)2 或閾值SP1/25 電源公共端,GND7,11 電源

外殼9 18,9繼電器P2,閉合觸點(diǎn)10規(guī)管識別Inficon12 訊號公共端13 RS232,TxD14 RS232,RxD15 管殼(機(jī)架接地)外殼 管殼(機(jī)架接地)

15 8D-Sub,15-腳插座焊接側(cè)規(guī)管腳3和腳6未用.電纜必須如上圖和接地概念中所述的屏蔽和接地."技術(shù)參數(shù)"16 tina9e1a2060)連接傳感器電纜至規(guī)管上,并用鎖緊螺絲鎖住.連接傳感器電纜至控制器.4 運(yùn)行將真空計(jì)投入運(yùn)行.如使用INFICN控制器,調(diào)整測量范圍([1,2]).預(yù)熱時間至少?小時;如要求精確的壓強(qiáng)測量預(yù)熱時間至少需要2小時.4.1 顯示器指示燈狀態(tài)含義<RUN><1>(僅CDG025D-S)<2>(僅CDG025D-S)亮閃亮閃亮閃測量模式其它模式,誤差p≤設(shè)點(diǎn)值1調(diào)整設(shè)點(diǎn)<1>p≤設(shè)點(diǎn)值2調(diào)整設(shè)點(diǎn)<2>tina9e1a2060) 17.2 規(guī)管調(diào)零當(dāng)規(guī)管第一次工作時,應(yīng)執(zhí)行調(diào)零.由于長期工作或污染,可發(fā)生零點(diǎn)漂移,必須調(diào)整零點(diǎn).為調(diào)整零點(diǎn),將規(guī)管工作在相同的室溫條件下和同樣的常規(guī)安裝方位. ZER將規(guī)管抽空至如下表的壓強(qiáng):推薦用于調(diào)零的最終壓強(qiáng)375XX376XX377XX378XX379XX382XX383XX384XX385XX<510-2Torr<510-3Torr<510-4Torr<510-5Torr<510-6Torr<10-2Torr<10-3Torr<10-4Torr<10-5Torr<6.65100Pa<6.6510-1Pa<6.6510-2Pa<6.6510-3Pa<6.6510-4Pa<1.3310-0Pa<1.3310-1Pa<1.3310-2Pa<1.3310-3Pa<510-2mbar<510-3mbar<510-4mbar<510-5mbar<510-6mbar<10-2mbar<10-3mbar<10-4mbar<10-5mbar(如規(guī)管的最終壓強(qiáng)過高,零點(diǎn)不能達(dá)到,<RUN>指示燈閃.如此情況,啟用工廠設(shè)定值重新調(diào)零(2).)運(yùn)行規(guī)管至少?小時直到訊號穩(wěn)定).18 tina9e1a2060)(?1.1毫米)壓下<ZERO>按鈕.零點(diǎn)調(diào)整將自動運(yùn)行.<RUN>指示燈閃直到調(diào)整完成.壓下按鈕最大?1.1毫米零點(diǎn)調(diào)整后,規(guī)管自動回到測量模式.也可通過RS232C接口調(diào)整零點(diǎn).如訊號輸出是負(fù)值,<RUN>指示燈閃. 帶基壓-ZER運(yùn)行規(guī)管至少?小時直到訊號穩(wěn)定).(?1.1毫米)壓下<ZERO>按鈕,并保持壓下狀態(tài).<RUN>指示燈開始閃.5秒鐘后,零點(diǎn)調(diào)整值,從當(dāng)前的輸出值開始,保持連續(xù)改變爬坡)直到釋放按鈕或直到達(dá)到設(shè)定值(最小0%..).tina9e1a2060) 19保持按鈕壓下最大?1.1毫米再次壓下<ZERO>按鈕0...3秒內(nèi):零點(diǎn)調(diào)整值改變一個單元(細(xì)調(diào))3...5秒內(nèi):零點(diǎn)調(diào)整值改變它的方向(<RUN>指示燈的閃爍頻率短暫地變化).如釋放<ZERO>按鈕大于5秒,規(guī)管回到測量模式.基壓偏移的零點(diǎn)調(diào)整也可通過RS22C接口調(diào)整.如訊號輸出為負(fù)值,指示燈<RUN>閃.20 tina9e1a2060)4.3 (僅CDG05D-S)兩個開關(guān)功能可調(diào)節(jié)至整個壓強(qiáng)范圍內(nèi)的任何壓強(qiáng)12.當(dāng)前的閾值將代替壓強(qiáng)值在D-ub連接件上輸出(15),并能用電壓表測量.,相應(yīng)的(<1>或<2>)亮相應(yīng)的繼電器(15).測量訊號(p)設(shè)點(diǎn)

滯后(1%F.S.)閾值Off On

Of

時間t 危險危險:誤功能如過程由通過訊號輸出控制,記住:按下<SP>按鈕時測量訊號被抑制而輸出的是相應(yīng)的閾值.這可導(dǎo)致誤功能僅當(dāng)您確認(rèn)不會因誤功能引起損害時,才按下<SP>按鈕.tina9e1a2060) 21<1>(?1.1毫米)按下<SP>按鈕.10秒鐘下,(指示燈<1>閃.壓下按鈕最大?1.1毫米為更改閾值,壓下<ZERO>按鈕,并保持壓下狀態(tài).閾值保持更改從當(dāng)前值()直至釋放按鈕或直至達(dá)到設(shè)定范圍的限值.保持壓下按鈕最大?1.1毫米22 tina9e1a2060)再次壓下<ZERO>按鈕0...3秒內(nèi):零點(diǎn)調(diào)整值改變一個單元(細(xì)調(diào))3...5秒內(nèi):零點(diǎn)調(diào)整值改變它的方向(<RUN>指示燈的閃爍頻率短暫地變化).如釋放<ZERO>按鈕大于5秒,規(guī)管回到測量模式.閾值上限自動設(shè)定于下限以上%.S.(滯后).<2>壓下<SP>按鈕兩次(指示燈<2>閃).調(diào)整順序與設(shè)點(diǎn)<1>相同.設(shè)點(diǎn)也可通過RS32C接口調(diào)整.4.4 (工廠復(fù)位)啟用工廠參數(shù)設(shè)定值可在真空計(jì)投入運(yùn)行(電源ON)時,保持<ZERO>按鈕壓下狀態(tài)至少5秒鐘.tina9e1a2060) 235 卸裝危險危險:污染的部件污染的部件可損害健康和環(huán)境.開始工作前,檢查是否有任何部件已被污染.當(dāng)拿取污染的部件時,必須遵守相關(guān)的規(guī)定和采取必要的措施.注意注意:污染和損壞影響真空元件的功能.拿取真空元件時,采取適當(dāng)?shù)拇_保清潔與防止損壞的措施.注意注意:對污染敏感的區(qū)域用手接觸產(chǎn)品或部件將增大退吸率.在這個區(qū)域工作時,始終使用清潔的,無纖維手套和清潔的工具.將真空系統(tǒng)放空.將真空計(jì)電源關(guān)斷.24 tina9e1a2060).從真空系統(tǒng)上卸下規(guī)管.蓋上保護(hù)蓋.6 維護(hù),檢修在清潔的工作條件下,本產(chǎn)品無需維護(hù).由于污染造成的規(guī)管損壞不包含在保修范圍內(nèi).如最終用戶或第三方對產(chǎn)品執(zhí)行過任何檢修工作,INFICON將.tina9e1a2060) 257 返回產(chǎn)品警告警告:發(fā)送污染的產(chǎn)品污染的產(chǎn)品(如放射性,毒性,腐蝕性或生物危害性)可損害健康和環(huán)境.返回INFICON的產(chǎn)品應(yīng)無危害性物質(zhì).符合全部有關(guān)國家和公司的發(fā)運(yùn)規(guī)程,并附有完整的污染申報表.無明確"無危害性物質(zhì)"申報的產(chǎn)品.全部去污染費(fèi)用由客戶承擔(dān).未附有完整污染申報表的產(chǎn)品將退回發(fā)送方,全部費(fèi)用由發(fā)送方承擔(dān).26 tina9e1a2060)8 處理危險注意:污染的部件污染的部件可損害健康和環(huán)境.開始工作前,檢查是否有任何部件已被污染.當(dāng)拿取污染的部件時,必須遵守相關(guān)的規(guī)定和采取必要的措施.警告注意:損害環(huán)境的物質(zhì)產(chǎn)品或部件(機(jī)械和電氣元件,工作液體等.)可損害環(huán)境.按照當(dāng)?shù)叵嚓P(guān)的規(guī)程處理這些物質(zhì).元件分類產(chǎn)品拆卸后,按下列標(biāo)準(zhǔn)將它的元件分類:污染的元件污染的元件(放射性,毒性,腐蝕性或生物危害性等.)必須按照相關(guān)的國家規(guī)定進(jìn)行去污染,按照它們的材料分類和處理.其它元件這些元件必須按它們的材料分類和回收.tina9e1a2060) 27附加信息[1]inficon使用說明書真空計(jì)控制器VGC02tinb02e1INFICONA,LI496Bazes,Licenstein[2]inficon使用說明書單通道控制器VGC41tinb01e1INFICONA,LI496Bazes,Licenstein[3]inficon通訊協(xié)議RS323C接口tira49e1INFICONA,LI496Bazes,Licenstein28 tina9e1a2060)污染申報表tina9e1a2060) 29產(chǎn)品符合規(guī)定的聲明我們,INFICON,聲明下述設(shè)備符合有關(guān)用于一定電壓限值下的電氣設(shè)備規(guī)程73/2/EEC89/33/E.電容膜片真空計(jì)CDG025DCDG025D-S件號375-000376-000377-000378-000379-000375-001376-001377-001378-001379-001375-002376-002377-002378-002379-002375-003376-003377-003378-003379-003375-100376-100377-100378-100379-100375-101376-101377-101378-101379-101375-102376-102377-102378-102379-102375-103376-103377-103378-103379-103375-200376-100377-200378-200379-200375-201376-101377-201378-201379-201375-202376-102377-202378-202379-202375-203376-103377-203378-203379-203375-300376-300377-300378-300379-300375-301376-301377-301378-301379-301375-302376-302377-302378-302379-302375-303376-303377-303378-303379-303375-400376-400377-400378-400379-400375-401376-401377-401378-401