GB/T 33523.602-2022產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第602部分：非接觸(共聚焦色差探針)式儀器的標(biāo)稱特性

ICS1704020

CCSJ0.4.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS表面結(jié)構(gòu)

()

區(qū)域法第602部分非接觸

:

共聚焦色差探針式儀器的標(biāo)稱特性

()

GeometricalroductsecificationsGPS—SurfacetextureAreal—Part602

pp()::

Nominalclaracteristicsofnon-contactconfocalchromaticrobe

(p)

instruments

ISO25178-6022010IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-04-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

計量特性概述

4……………13

附錄規(guī)范性區(qū)域表面結(jié)構(gòu)掃描儀器不同結(jié)構(gòu)的分類

A()……………15

附件資料性一般原理

B()………………16

附錄規(guī)范性概念圖

C()…………………23

附錄資料性與矩陣模型的關(guān)系

D()GPS……………24

參考文獻(xiàn)

……………………25

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法的第部分

GB/T33523《(GPS)》602。

已經(jīng)發(fā)布了以下部分

GB/T33523:

第部分表面結(jié)構(gòu)的表示法

———1:;

第部分術(shù)語定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

———2:、;

第部分規(guī)范操作集

———3:;

第部分表面結(jié)構(gòu)測量方法的分類

———6:;

第部分實(shí)物測量標(biāo)準(zhǔn)

———70:;

第部分軟件測量標(biāo)準(zhǔn)

———71:;

第部分文件格式

———72:XMLx3p;

第部分接觸觸針式儀器的標(biāo)稱特性

———601:();

第部分非接觸共聚焦色差探針式儀器的標(biāo)稱特性

———602:();

第部分非接觸相移干涉顯微式儀器的標(biāo)稱特性

———603:();

第部分非接觸相干掃描干涉式儀器的標(biāo)稱特性

———604:();

第部分非接觸點(diǎn)自動對焦探針式儀器的標(biāo)稱特性

———605:();

第部分非接觸變焦式儀器的標(biāo)稱特性

———606:();

第部分接觸觸針式儀器的校準(zhǔn)與測量標(biāo)準(zhǔn)

———701:()。

本文件等同采用產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第部

ISO25178-602:2010《(GPS)602

分非接觸共聚焦色差探針式儀器的標(biāo)稱特性

:()》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC240)。

本文件起草單位哈爾濱工業(yè)大學(xué)華中科技大學(xué)上海市計量測試技術(shù)研究院山東省計量科學(xué)研

:、、、

究院清華大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司中機(jī)研標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院北京有限公司廣東皓辰旺科

、、、()、

技有限公司廣東錦亞科技有限公司陜西潤正檢測科技有限公司浙江昂華新材料有限公司西安凱益

、、、、

金電子科技有限公司

。

本文件主要起草人劉儉盧文龍瞿潮慶明翠新劉辰光曹叢尉昊赟朱悅曹世磊鄭德燦

:、、、、、、、、、、

張德軍向偉明王光建向梅

、、、。

Ⅰ

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

引言

隨著國家產(chǎn)品質(zhì)量提升計劃的實(shí)施對產(chǎn)品設(shè)計制造測量和檢驗(yàn)過程中使用的統(tǒng)一規(guī)范或原則

,、、

的需求越來越迫切原有產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范中表面結(jié)構(gòu)的表示方法及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)已不能滿足產(chǎn)品制造過

。

程中的表面質(zhì)量控制要求

。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法基于新一代產(chǎn)品幾何規(guī)范體

GB/T33523《(GPS)》GPS

系通過數(shù)字化測量技術(shù)軟件分析技術(shù)及計量評定等手段構(gòu)建一套全新的三維表面結(jié)構(gòu)測量與分析

,、,

的推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)在提出表面結(jié)構(gòu)表示法表面結(jié)構(gòu)參數(shù)及規(guī)范操作集的基礎(chǔ)上分析

。GB/T33523、,

了表面結(jié)構(gòu)測量的方法給出了使用的測量技術(shù)及儀器的標(biāo)稱特性特別是在涵蓋接觸

,。,GB/T33523

式測量儀器的同時重點(diǎn)引入了在高精度測量應(yīng)用中具有重要價值但缺乏標(biāo)準(zhǔn)支撐的多種非接觸式測

,

量儀器還規(guī)范了實(shí)物測量和軟件測量標(biāo)準(zhǔn)給出了軟件文件標(biāo)準(zhǔn)和表面結(jié)構(gòu)測量的計

。GB/T33523,

量特性實(shí)現(xiàn)了從二維輪廓測量到三維表面結(jié)構(gòu)測量的跨越為產(chǎn)品幾何規(guī)范體系

。GB/T33523,GPS

提供了計量測試支撐

。

擬由個部分構(gòu)成

GB/T3352314。

第部分表面結(jié)構(gòu)的表示法規(guī)定了產(chǎn)品技術(shù)文件例如圖紙規(guī)范合同和報告中利用圖

———1:。(、、)

形符號表示區(qū)域表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則

。

第部分術(shù)語定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)規(guī)定了用區(qū)域法評定表面結(jié)構(gòu)的術(shù)語定義和參數(shù)

———2:、。、。

第部分規(guī)范操作集規(guī)定了適用于區(qū)域法評定表面結(jié)構(gòu)尺度限定表面的完整規(guī)范操

———3:。()

作集

。

第部分表面結(jié)構(gòu)測量方法的分類規(guī)定了主要用于表面結(jié)構(gòu)測量方法的分類體系定義了

———6:。,

三類方法描述了三類方法之間的關(guān)系并對具體方法做了簡要說明

,,。

第部分實(shí)物測量標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于定期驗(yàn)證和調(diào)整區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)測量儀器的實(shí)物測量

———70:。

標(biāo)準(zhǔn)的特性

。

第部分軟件測量標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于測量儀器軟件校驗(yàn)的型和型軟件測量標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)

———71:。S1S2(

準(zhǔn)具的術(shù)語定義

)。

第部分文件格式規(guī)定了用于存儲和交換形貌及輪廓數(shù)據(jù)的文件格

———72:XMLx3p。XML

式

x3p。

第部分接觸觸針式儀器的標(biāo)稱特性規(guī)定了表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法接觸觸針式儀器的標(biāo)

———601:()。()

稱特性

。

第部分非接觸共聚焦色差探針式儀器的標(biāo)稱特性規(guī)定了使用基于白光軸向色散特

———602:()。

性的共聚焦色差探針測量表面結(jié)構(gòu)的非接觸式儀器的設(shè)計與計量特性

。

第部分非接觸相移干涉顯微式儀器的標(biāo)稱特性規(guī)定了相移干涉法輪廓和區(qū)域

———603:()。(PSI)

表面結(jié)構(gòu)測量顯微鏡的計量特性

。

第部分非接觸相干掃描干涉式儀器的標(biāo)稱特性規(guī)定了用于表面高度三維映射的相

———604:()。

干掃描干涉測量系統(tǒng)的計量特性

(CSI)。

第部分非接觸點(diǎn)自動對焦探針式儀器的標(biāo)稱特性規(guī)定了使用點(diǎn)自動對焦探針測量

———605:()。

表面結(jié)構(gòu)的非接觸式儀器的計量特性

。

第部分非接觸變焦式儀器的標(biāo)稱特性規(guī)定了使用變焦傳感器測量表面結(jié)構(gòu)的

———606:()。(FV)

非接觸式儀器的設(shè)計與計量特性

。

第部分接觸觸針式儀器的校準(zhǔn)與測量標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)接觸觸針式儀

———701:()。()

器用作測量標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)物量具的特性殘余誤差的評定方法校準(zhǔn)驗(yàn)收和周期檢定的檢測方法

,,、。

Ⅱ

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS表面結(jié)構(gòu)

()

區(qū)域法第602部分非接觸

:

共聚焦色差探針式儀器的標(biāo)稱特性

()

1范圍

本文件規(guī)定了使用基于白光軸向色散特性的共聚焦色差探針測量表面結(jié)構(gòu)的非接觸式儀器的設(shè)計

與計量特性

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸觸針式儀器的標(biāo)稱特性

ISO3274(GPS)()[Geo-

metricalProductSpecifications(GPS)—Surfacetexture:Profilemethod—Nominalcharacteristicsof

contact(stylus)instruments]

注產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸觸針式儀器的標(biāo)稱特性

:GB/T6062—2009(GPS)()(ISO3274:

1996,IDT)

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

ISO4287(GPS)、[Geomet-

ricalProductSpecific