Fab3 Cell 工程 ESD IPQC 作業(yè)規(guī)范

本文格式為Word版，下載可任意編輯——Fab3Cell工程ESDIPQC作業(yè)規(guī)范文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次1/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業(yè)規(guī)範(fàn)ME030-00051.0目的

規(guī)範(fàn)ESDMonitor監(jiān)控系統(tǒng)與KeyenceSensorESD監(jiān)控系統(tǒng)IPQC管制規(guī)格及異常時(shí)之反應(yīng)流程。

2.0適用範(fàn)圍

LCD南科廠：CELL工程各站

PI&Rubbing：ESDMonitor監(jiān)控系統(tǒng)、KeyenceSensorESD監(jiān)控ODF：ESDMonitor監(jiān)控系統(tǒng)、KeyenceSensorESD監(jiān)控2ndCut：ESDMonitor監(jiān)控系統(tǒng)

3.0IPQC項(xiàng)目：

站別IPQC項(xiàng)目執(zhí)行頻率執(zhí)行方式判斷標(biāo)準(zhǔn)SpecOOC規(guī)格:>800VOOS規(guī)格:>1200VOOC規(guī)格:>1000VOOS規(guī)格:>1500VOOC規(guī)格:>800VOOS規(guī)格:>1000VPI&RUBESD監(jiān)控1次/DailyESD監(jiān)控系統(tǒng)ODFESD監(jiān)控1次/DailyESD監(jiān)控系統(tǒng)2ndCutESD監(jiān)控

4.0IPQC項(xiàng)目說明

1次/DailyESD監(jiān)控系統(tǒng)4.1IPQC各項(xiàng)作業(yè)細(xì)項(xiàng)與規(guī)格4.1.1ESD監(jiān)控作業(yè)規(guī)範(fàn)A.點(diǎn)檢頻率與時(shí)機(jī)：

ESD點(diǎn)檢頻率：1次/Daily點(diǎn)檢值請記錄於各站ESD檢查記錄表B.ESD監(jiān)控方式

利用各Line裝設(shè)之ESDMonitor監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行檢查，監(jiān)控ESDChart之曲線及變化量以判定線上靜電狀況。

4.1.2ESDTrendChartOOC/OOS認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)：

本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經(jīng)瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可，不得以任何方式複製本文件，或?qū)⒈疚募炕虿糠輧?nèi)容透露予無權(quán)閱讀本文件之機(jī)構(gòu)或個人。文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次2/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業(yè)規(guī)範(fàn)ME030-00051.依各站製程需求訂定ESD判斷標(biāo)準(zhǔn)Spec值，均在OOC以內(nèi)為正常狀況，不需執(zhí)行OCAP流程。

2.ESD量測值每小時(shí)有10Peak超過OOC設(shè)定規(guī)格時(shí)列為OOC，需執(zhí)行OOCOCAP流程。

3.ESD量測值每小時(shí)有10Peak超過OOS設(shè)定規(guī)格及連續(xù)波幅小於100V時(shí)列為OOS，需執(zhí)行OOSOCAP流程。

ESD值+OOCv+OOSv-OOCv-OOSvOOSOOSESD值在此ESD值在此大於-SpecESD值在此範(fàn)圍內(nèi)為正常大於+Spec範(fàn)圍屬OOC範(fàn)圍屬OOC

4.1.4ESDSENSOR裝設(shè)位置圖

本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經(jīng)瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可，不得以任何方式複製本文件，或?qū)⒈疚募炕虿糠輧?nèi)容透露予無權(quán)閱讀本文件之機(jī)構(gòu)或個人。文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次3/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業(yè)規(guī)範(fàn)ME030-0005

4.1.5ESDMonitor異常處置

A.ESDMonitorOOC處理流程.

1.確認(rèn)線上所生產(chǎn)之產(chǎn)品類形

(TFT&CF&Dummy因本身材料不同，所以於Monitor上所監(jiān)控的靜電也不一致，因此只針對TFT產(chǎn)品有此規(guī)範(fàn)，CF及Dummy則不此限)。

2.確認(rèn)線上目前之生產(chǎn)狀況.

(確認(rèn)目前點(diǎn)檢時(shí)段是否處於換線後30分內(nèi)或PILineDummy下線30分鐘內(nèi))。3.檢查ESD異常之設(shè)備狀況及ESD監(jiān)控Sensor位置有無變異。

4.檢查設(shè)備上之HugleIonizerBar&KeyenceIonizerBar&X-Ray電源、位置是否正常及放電針使用狀況。

5.確認(rèn)FI，該產(chǎn)品是否有ESDIssue。

本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經(jīng)瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可，不得以任何方式複製本文件，或?qū)⒈疚募炕虿糠輧?nèi)容透露予無權(quán)閱讀本文件之機(jī)構(gòu)或個人。

文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次4/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業(yè)規(guī)範(fàn)ME030-0005

B.ESDMonitorOOS處理流程

1.確認(rèn)線上所生產(chǎn)之產(chǎn)品類形。

(TFT&CF&Dummy因本身材料不同，所以於Monitor上所監(jiān)控的靜電也不一致，因此只針對TFT產(chǎn)品有此規(guī)範(fàn)，CF及Dummy則不此限)。2.確認(rèn)線上目前之生產(chǎn)狀況。

(確認(rèn)目前點(diǎn)檢時(shí)段是否處於換線後30分內(nèi)或PILineDummy下線30分鐘內(nèi))。

3.檢查ESD異常之設(shè)備狀況及ESD監(jiān)控Sensor位置有無變異。

4檢查設(shè)備上之HugleIonizerBar&KeyenceIonizerBar&X-Ray電源、位置是否正常，放電針使用狀況及管球是否消耗。

5.確認(rèn)KeyenceIonizerBar是否正常，並協(xié)同ESDMonitor所呈現(xiàn)之波形進(jìn)行交互確認(rèn)。

6.ESDChart回復(fù)正常後，針對線上產(chǎn)品以1cst至FI進(jìn)行HotRun,產(chǎn)品均無ESDIssue後檢查頻率回復(fù)正常。

7.依上述之檢查調(diào)整作業(yè)後ESD波形仍無法回復(fù)至正常範(fàn)圍內(nèi)則需重新進(jìn)行ESD監(jiān)控Sensor校正。

8.Sensor校正後重新調(diào)整IonizerBar位置、高度和正離子數(shù)釋放比例或X-Ray管球的照射角度，並協(xié)同手持式量測器量測，確認(rèn)調(diào)整後的靜電值是否在Spec內(nèi)。9.手動校正作業(yè)後需至波形確認(rèn)，並進(jìn)行產(chǎn)品檢查，檢查頻率及方法同(步驟六)。

10.完成以上步驟，產(chǎn)品仍有ESDIssue請馬上中止生產(chǎn)，並通知權(quán)責(zé)工程處理。

4.1.6ESDMonitor異常處置流程圖

本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經(jīng)瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可，不得以任何方式複製本文件，或?qū)⒈疚募炕虿糠輧?nèi)容透露予無權(quán)閱讀本文件之機(jī)構(gòu)或個人。文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次5/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業(yè)規(guī)範(fàn)ME030-0005ESD監(jiān)測值oos設(shè)備確認(rèn)異常ooc設(shè)備確認(rèn)IonizerBarCheckNGIonizerBarCheckNG調(diào)整OK調(diào)整OKOKESD波