無(wú)塵室設(shè)計(jì)要求

半導(dǎo)體無(wú)塵室設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)第一章總則先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。條本標(biāo)準(zhǔn)適用于建和改建、擴(kuò)建的干凈廠房設(shè)計(jì)，但不適用24米的高層干凈廠房和地下干凈廠房的設(shè)計(jì)。條在利用原有建筑進(jìn)展干凈技術(shù)改造時(shí)，干凈廠房設(shè)計(jì)必需根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)分對(duì)待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。行制造必要的條件。條干凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)要求。其次章空氣干凈度等級(jí)規(guī)定劃分為四個(gè)等級(jí)。空氣干凈度 等級(jí)〔每升〕空氣中≥0.5微米塵粒數(shù)每立方米〔每升〕空氣中≥5微米塵粒數(shù)100級(jí)1000級(jí)≤35×100〔3.5〕≤35×1000〔35〕≤250〔0.25〕10000級(jí)≤35×10000〔350〕≤2500〔2.5〕100000級(jí)≤35×100000〔3500〕≤5000〔25〕:5微米塵粒的計(jì)數(shù)，應(yīng)進(jìn)展屢次采樣，當(dāng)其屢次消滅時(shí)，方可認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是牢靠的．?dāng)?shù)為依據(jù)。干凈室空氣干凈度的測(cè)試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。第三章總體設(shè)計(jì)第一節(jié)干凈廠房位置選擇和總平面布置后確定：一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域；二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地區(qū)。條對(duì)于兼有微振把握要求的干凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定分析比較。條干凈廠房最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時(shí)，干凈廠房與煙囪之12倍。50米。〔可利用交通道路〕。如有困難時(shí)，可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。條干凈廠房四周的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材。度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)，但不得阻礙消防操作。其次節(jié)工藝布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)條工藝布置應(yīng)符合以下要求：空氣干凈度等級(jí)要求的工序和工作室；二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣干凈度高的干凈室或干凈區(qū)宜靠近空處宜布置空氣干凈度等級(jí)較低的工作室；三、干凈室內(nèi)要求空氣干凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置；須進(jìn)展清潔處理。條干凈廠房?jī)?nèi)宜少設(shè)隔間，但在以下狀況下可予以分隔：或有防火分隔要求者；二、生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生較強(qiáng)噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采取局部措施加以把握者；三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并常常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。條干凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)，宜將干凈區(qū)、人員凈化、物料條干凈廠房設(shè)計(jì)必需合理確定各種管線的平面位置和堅(jiān)向標(biāo)高?！踩缢惋L(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等〕的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)的要求第三節(jié)噪聲把握條干凈室內(nèi)的噪聲級(jí)，應(yīng)符合以下要求：70A。60A；層流干凈室的噪65A。70A對(duì)生產(chǎn)無(wú)影響時(shí)，噪聲75A；〔人離開〕的測(cè)量值。對(duì)于變動(dòng)噪聲，則取一樣位置處在一個(gè)正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級(jí)。條干凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)承受倍頻程聲壓級(jí)；各頻帶聲壓3．3．2的規(guī)定。噪聲頻譜限制 倍頻程＼中心頻＼高聲＼率潔凈＼壓值＼〔赫〕室分類＼〔分貝〕631252505001000202340008000空態(tài)亂流7970635855525040層流8374686360575554動(dòng)態(tài) 87 78 72 68 65 62 60 59構(gòu)造應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各局部隔聲量相接近。條干凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲超過(guò)干凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施〔如隔聲間、隔聲罩等〕。隔振等把握措施。除事故排風(fēng)外，應(yīng)對(duì)干凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)展減噪設(shè)計(jì)。按以下規(guī)定選用：6--10米／秒；求，不用因把握噪聲而影響干凈室的凈化條件。第四節(jié)微振把握〔包括水泵等〕及其通往干凈室的管道，應(yīng)實(shí)行樂(lè)觀隔振措施。條對(duì)干凈廠房?jī)?nèi)外各類振源，應(yīng)測(cè)定其對(duì)干凈廠房的綜合振動(dòng)周密儀器儀表的允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)展比較，以確定對(duì)其實(shí)行必要的田振措施。條周密設(shè)備、周密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮削減發(fā)塵量、處理，使其到達(dá)干凈室的空氣干凈度等級(jí)。第四章建筑第一節(jié)一般規(guī)定區(qū)的主體構(gòu)造不宜承受內(nèi)墻承重。100毫根本模數(shù)。條干凈廠房主體構(gòu)造的耐久性與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，〔地震區(qū)應(yīng)符合抗震設(shè)計(jì)規(guī)定〕。廠房變形縫應(yīng)避開穿過(guò)干凈區(qū)。條送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。造的處理，應(yīng)避開在人流與物流運(yùn)輸以及防火方面對(duì)干凈生產(chǎn)帶來(lái)不利影響。其次節(jié)人員凈化和物料凈化設(shè)施需要設(shè)置生活用室和其他用室。條人員凈化用室，宜包括雨具存放間、治理室、換鞋室、存外衣室、盥洗室、干凈工作服室和空氣吹淋室等?？梢罁?jù)需要設(shè)置。條人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合以下要求：一、人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋器。設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜。10人設(shè)一個(gè)。四、干凈區(qū)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。五、空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在干凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與干凈工作服室相鄰。單人100級(jí)垂直層流干凈室時(shí)，可改設(shè)氣閘室。5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。的人員凈化程序進(jìn)展布置。條依據(jù)不同的空氣干凈度等級(jí)和工作人員數(shù)量，干凈廠房?jī)?nèi)人4～6平方米計(jì)算。條干凈工作服室內(nèi)，對(duì)空氣凈化應(yīng)有確定的要求。條干凈室的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)依據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、外形在傳遞過(guò)程中被污染。第三節(jié)防火和疏散0．25小時(shí)。條干凈廠房?jī)?nèi)一般的生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危急性，可按附錄三進(jìn)行分類。條甲、乙類生產(chǎn)的干凈廠房，宜承受單層廠房。其防火墻間最2，000平方米。條甲、乙類生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式干凈室，其頂棚和壁板〔包括內(nèi)部填充物〕應(yīng)為非燃燒體。條在一個(gè)防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其干凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之1小時(shí)。穿過(guò)隔墻或頂板的管線四周空隙應(yīng)承受非燃燒材料嚴(yán)密填塞。1小時(shí)。井小時(shí)；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)承受相當(dāng)于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過(guò)水平防火分隔的管線四周空隙，應(yīng)承受非燃燒材料嚴(yán)密填塞?？诘臄?shù)量，均不應(yīng)少于兩個(gè)。但符合以下要求者，可設(shè)置一個(gè)安全出口：50平方米，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人員總數(shù)不用過(guò)5人；者。安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不用經(jīng)過(guò)曲折的人員凈化路線。散方向開啟。安全疏散門不得承受吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動(dòng)門。條當(dāng)干凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房干凈區(qū)的門窗，80米時(shí)，則應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。7501800毫米，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。樓層的專用消防口應(yīng)附設(shè)陽(yáng)臺(tái)，并從二層起向上設(shè)爬樓。第四節(jié)室內(nèi)裝修條干凈廠房的建筑圍護(hù)構(gòu)造和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，溫層時(shí)。應(yīng)承受非燃燒體或難燃燒體。條干凈室內(nèi)墻壁和頂棚的外表，應(yīng)符合平坦、光滑、不起灰、于操作；如為抹灰時(shí)，應(yīng)承受高級(jí)抹灰標(biāo)準(zhǔn)。條干凈室的地面，應(yīng)符合平坦、耐磨、易除塵清洗、不易積聚靜電、避開眩光、并有舒適感等要求。更換高效空氣過(guò)濾器時(shí)，宜增刷涂料飾面。地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)承受防水或防潮、防霉措施。應(yīng)易于除塵。條干凈室和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)承受雙層玻璃金屬窗，并應(yīng)有良好的氣密性。室的密閉門上宜設(shè)觀看窗。條干凈室門窗、墻壁、頂棚、地〔樓〕面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)實(shí)行牢靠的密封措施。0．15--0．35。第五節(jié)裝配式干凈室要求空氣干凈度較高的生產(chǎn)環(huán)境可承受裝配式干凈室。條裝配式干凈室所在的房間應(yīng)有空氣凈化要求，并應(yīng)與裝配式潔凈室的空氣干凈度等級(jí)相適應(yīng)。外圍建筑的耐火等級(jí)不得低于二級(jí)。也可固定在外圍建筑上?；仫L(fēng)地溝或回風(fēng)地坑宜設(shè)在外圍建筑的地面以下。條裝配式干凈室設(shè)計(jì)應(yīng)滿足在該室室內(nèi)安裝壁板的要求。裝配包裝和運(yùn)輸。條裝配式干凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外掃距離。當(dāng)裝配式干凈室時(shí),壁板外側(cè)設(shè)有技術(shù)夾道時(shí)，壁板與外圍建筑內(nèi)墻面600毫米。第五章空氣凈化第一節(jié)一般規(guī)定要求：一、干凈室內(nèi)有多種工序時(shí)，應(yīng)依據(jù)各工序的不同要求，承受不同的空氣潔凈度等級(jí)。區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。條層流干凈室和亂流干凈室以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。一、滿足生產(chǎn)工藝要求；70％；16－28℃。的最大值：10－302～4％；二、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的穎空氣量；40立方米。真空吸塵系統(tǒng)。干凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。條在凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，對(duì)施工和維護(hù)治理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。其次節(jié)干凈室正壓把握條干凈室必需維持確定的正壓。不同等級(jí)的干凈室以及干凈區(qū)毫米水柱；干凈區(qū)與室外的靜壓差，不1．0毫米水柱。條干凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計(jì)算：Q＝a．∑(q．L) 〔5．2．2〕式中Q一維持干凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量〔立方米／時(shí)〕，a一依據(jù)圍護(hù)構(gòu)造氣密性確定的安全系數(shù)，可取l．l－l．2；q一當(dāng)干凈室為某一正壓值時(shí)，其圍護(hù)構(gòu)造單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量〔立方?米〕；L一圍護(hù)構(gòu)造的縫隙長(zhǎng)度〔米〕。風(fēng)量可按表5．2．3承受。圍護(hù)構(gòu)造單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量 漏風(fēng)＼門窗＼量〔＼形壓差＼米^3＼式差〔毫＼/時(shí)＼米水柱〕＼米〕 非密閉門 密閉門 單層固定密閉木窗 當(dāng)層固定密閉鋼窗 單層開啟式密閉鋼窗 傳遞窗壁板0.51741.00.73.52.00.31.02461.51.04.53.00.61.53082.01.36.04.00.82.03692.51.57.05.01.02.540102.81.78.05.51.23.044113.01.98.56.01.43.548123.52.19.07.01.54.052133.82.310.07.51.74.555154.02.510.58.01.95.060164.42.611.59.02.0條送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時(shí)，聯(lián)鎖程條非連續(xù)運(yùn)行的干凈室，可依據(jù)生產(chǎn)工藝要求在置值班風(fēng)機(jī)，并應(yīng)對(duì)風(fēng)進(jìn)展處理。第三節(jié)氣流組織和送風(fēng)量條氣流組織的選擇，應(yīng)符合以下要求：使干凈工作區(qū)氣流流向單一；二、回風(fēng)口宜均勻布置在干凈室下部；5．3．2選用。氣流組織和送風(fēng)量 ┌───────┬───────────────┬───────┐│空氣干凈 │100級(jí) │ 1000級(jí)││度等級(jí) │ │ │├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤││氣流流型│垂直層流 │水平層流 │ 亂流││氣├─────┼───────┼───────┼───────┤│流│送鳳 │1.頂棚滿布高效│1.送風(fēng)墻滿布高│1.孔板頂棚送風(fēng)││組│主要 │空氣過(guò)濾器送風(fēng)│效空氣過(guò)濾器│2.條形布置高效││織│方式 │〔高效空氣過(guò)│水平送風(fēng) │空氣過(guò)濾器頂棚││形│ │濾器占頂棚面積│2.送風(fēng)墻局部布│送風(fēng) ││式│ │置高效空氣過(guò)濾│3.間隔布置帶擴(kuò)│││ │ │器水平送風(fēng) │散板高效空氣││││2.側(cè)布高效空氣│〔高效空氣過(guò)濾│過(guò)濾器頂棚送風(fēng)││││過(guò)濾器，頂棚設(shè)│器占送風(fēng)墻面│ ││││阻尼層送風(fēng) 于40％〕│ ││││3.全孔板頂棚送│ │ ││││風(fēng) │ │ ││├─────┼───────┼───────┼───────┤││回風(fēng) │1.格柵地面回風(fēng)│1.回風(fēng)墻滿布│1.相對(duì)兩側(cè)墻下│││主要 │⑴滿布 │回風(fēng)口 │部均勻布置回│││方式│⑵均勻局部布置│2.回風(fēng)墻局部布│風(fēng)口 ││││2.相對(duì)兩側(cè)墻下│置回風(fēng)口 │2.干凈室面積較││││部均勻布置回│ │大時(shí)，可承受││││風(fēng)口 │ │地面均勻布置││││ │ │回風(fēng)口 │├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤氣流流經(jīng)室│不小于0.25 于0.35 │ ││風(fēng)│內(nèi)斷面風(fēng)速│││││量│〔米／秒〕│││││├─────┼───────┼───────┼───────┤││換氣次數(shù)│ │ 小于50 │││〔次／時(shí)〕│ │ │ │├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤│送風(fēng)口風(fēng)速 │ 板孔口3～5││〔米／秒〕 │ │ │ │├───────┼───────┼───────┼───────┤│回風(fēng)口風(fēng)速 │不大于2 于1.5 │1.干凈室內(nèi)回風(fēng)│〕││2│││││2.走廊內(nèi)回風(fēng)口│││││不大于4 │└───────┴───────┴───────┴───────┘垂直層流干凈室承受相對(duì)兩側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口方式，僅適用于兩對(duì)側(cè)5米．2.亂流干凈室送風(fēng)量確實(shí)定，宜考慮室內(nèi)含塵濃度不均勻集中的因素．┌───────┬───────────┬───────────┐│空氣干凈 │ 10,000級(jí) │ 100,000級(jí)││等級(jí) │ │ │├─┬─────┼───────────┼───────────┤│氣│氣流流型│ 亂流 │ 亂流 ││流├─────┼───────────┼───────────┤│組│送風(fēng) │1.局部孔板頂棚送風(fēng) │1.帶集中板高效空氣過(guò)││織│主要 │2.帶集中板高效空氣過(guò)│濾器頂棚送風(fēng) ││型│方式 │濾器頂棚送風(fēng) │2.上側(cè)墻送風(fēng) ││式│ │3.上側(cè)墻送風(fēng) │ ││├─────┼───────────┼───────────┤││回風(fēng) │1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口│1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口│││主要│2.當(dāng)承受走廊回風(fēng)時(shí)，在│2.當(dāng)承受走廊回風(fēng)時(shí)，在│││方式│走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或│走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或││││在走廊端部集中設(shè)置回│在走廊端部集中設(shè)置回││││風(fēng)口 │風(fēng)口 │├─┼─────┼───────────┼───────────┤│送│氣流流經(jīng)室│ │ ││風(fēng)│內(nèi)斷風(fēng)面風(fēng)│ │ ││量│速 │ │ │││〔米／秒〕│ │ ││├─────┼───────────┼───────────┤││換氣次數(shù)│ 于25 小于15 │││〔次／時(shí)〕│ │ │├─┴─────┼───────────┼───────────┤│送風(fēng)口風(fēng)速 孔板孔口3～5│側(cè)送風(fēng)口││〔米／秒〕 │2.側(cè)送風(fēng)口2～5││ 流2～5 │⑵非貼附射流同側(cè)墻下部││ 1.5～2.5，對(duì)側(cè)墻││ 下部回鳳1.0～1.5 ││ │ │├───────┼───────────┼───────────┤│回風(fēng)口風(fēng)速 干凈室回風(fēng)口不大于2│1.干凈室回風(fēng)口不大于2││〔米／秒〕 走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4│2.走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4│└───────┴───────────┴───────────┘條亂流干凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取以下規(guī)定的最大值：規(guī)定的送風(fēng)量；四、按空氣平行所需要的送風(fēng)量。條當(dāng)生產(chǎn)工藝僅要求在干凈室內(nèi)局部工作區(qū)到達(dá)更高的空氣干凈5．3．選用。工作臺(tái)，但其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。條干凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時(shí)，其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。第四節(jié)空氣凈化處理高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。注：100,000級(jí)空氣凈化處理,可承受亞高效空氣過(guò)濾器代替高效空氣過(guò)濾器。條確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)。條凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大風(fēng)。條凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)實(shí)行防止室外污染空氣通過(guò)風(fēng)口滲入干凈室內(nèi)的防倒灌措施。一、初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器二、中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)的正壓段；四、中效、亞高效、高效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用；擇。中效、高效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。條凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施第五節(jié)采暖通風(fēng)條干凈室的采暖型式，應(yīng)按以下不同狀況確定：一、100級(jí)、1000級(jí)、10，000級(jí)干凈室，不應(yīng)承受散熱器采暖；l00，000級(jí)干凈室，不宜承受散熱器采暖。二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進(jìn)展間接采暖，或承受間歇運(yùn)行凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)、值班風(fēng)機(jī)系統(tǒng)進(jìn)展熱風(fēng)采暖。條散熱器應(yīng)承受外表光滑、不易積塵、便于清掃的型式。置，排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。條局部排風(fēng)系統(tǒng)在以下狀況下，應(yīng)單獨(dú)設(shè)置：一、非同一凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)；三、所排出的有害物毒性相差很大。一、防倒灌措施；二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。措施。其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于干凈區(qū)。15～20次?；諝庹{(diào)整系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報(bào)警裝置。第六節(jié)風(fēng)管和附件并在適當(dāng)位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。送風(fēng)機(jī)的吸入口處和需要調(diào)整風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)整閥。干凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置調(diào)整閥、止回閥或密閉閥?？傦L(fēng)管穿過(guò)樓板和風(fēng)管穿過(guò)防火墻處，必需設(shè)置防火閥。條凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)整閥以及高效空氣過(guò)濾器的保其所處的空氣環(huán)境條件確定。干凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)整閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排解氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)整風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。條排解腐蝕性氣體的風(fēng)管，可承受塑料風(fēng)管。其他風(fēng)管以及風(fēng)管的保溫存消聲材料及其粘結(jié)刑，應(yīng)承受非燃燒材料或難燃燒材料。第六章給水排水第一節(jié)一般規(guī)定地溝管槽內(nèi)或地下埋設(shè)。干凈室內(nèi)應(yīng)少敷設(shè)管道。引入干凈室的支管宜明敷，但對(duì)空氣干凈度等級(jí)要求高的干凈室可暗敷。條管道穿過(guò)干凈室頂棚、墻壁和樓板處應(yīng)設(shè)套管。管道與套管之間應(yīng)實(shí)行牢靠的密封措施。非燃燒體管材。其次節(jié)給水條干凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)依據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置循環(huán)管道。條管材的選擇，應(yīng)符合以下要求：二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜承受鍍鋅鋼管；四、管道的配件應(yīng)承受相應(yīng)的材料。條干凈廠房?jī)?nèi)可設(shè)置開水供給設(shè)施；盥洗室內(nèi)的盥洗盆宜供給條干凈廠房的四周，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。第三節(jié)排水度、水量等特點(diǎn)確定排水系統(tǒng)，并應(yīng)有廢水處理或綜合利用設(shè)施。條干凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，并應(yīng)有防止水封被破壞的設(shè)施。條級(jí)、1000級(jí)干凈室內(nèi)，不宜設(shè)置地漏；如必需設(shè)置時(shí)，應(yīng)承受有蓋地漏，并不應(yīng)設(shè)排水溝。10，000、100，000級(jí)干凈室內(nèi)允許穿過(guò)排水豎管，但在豎管上不得設(shè)置檢查口。條干凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)承受不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管材、管架及其附件。第四節(jié)消防設(shè)施因素確定消防設(shè)施。10升／5升／秒；10米。25米，水槍噴19毫米。條干凈室及其技術(shù)夾道和技術(shù)夾層內(nèi)，均宜同時(shí)設(shè)置鹵代烷或等部位，應(yīng)同時(shí)設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。第七章工業(yè)氣體管道第一節(jié)一般規(guī)定條工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫施。引入干凈室的支管宜明敷。條高純氣體管道設(shè)計(jì)，應(yīng)附合以下要求三、不宜設(shè)預(yù)留口；“盲管”等不易吹除的部位；五、干管和支管上應(yīng)設(shè)置吹除口；六、在管道系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置必要的取樣口。套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)實(shí)行牢靠的密封措施。條氫氣和氧氣管道末端或是高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。選擇。氣體終端凈扮裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。條氣體過(guò)濾器應(yīng)依據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體含塵量的要求進(jìn)展選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高氣體過(guò)濾器。其次節(jié)管道材料、閥門和附件用：四氟乙烯管、聚乙烯管，不得承受乳膠管。條高純氣體管道應(yīng)承受密封性能好的閥門和附件，其材料與管應(yīng)承受聚四氟乙烯材料。條高純氣體管道與附件連接的密封墊,應(yīng)承受不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。第三節(jié)管道連接和清洗條管道連接應(yīng)承受焊接。高純氣體管道應(yīng)承受承插焊。性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜承受聚四氟乙烯帶密封。條高純氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進(jìn)展清洗、脫脂等預(yù)處理。第四節(jié)安全技術(shù)一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器；三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標(biāo)志。條干凈室內(nèi)使用氫氣時(shí)，宜在室內(nèi)設(shè)置報(bào)警裝置。時(shí)，氣瓶可設(shè)置在干凈室內(nèi)。第八章電氣第一節(jié)配電空氣調(diào)整用電負(fù)荷、照明負(fù)荷，應(yīng)由變電所專線供電。條電源進(jìn)線〔不包括消防用電〕應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在非干凈區(qū)便于治理的地點(diǎn)。大型配電設(shè)備不宜設(shè)在干凈室內(nèi)。條干凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，管材應(yīng)承受非燃燒材料。由非干凈區(qū)進(jìn)入干凈區(qū)的電氣管線管口，應(yīng)實(shí)行牢靠的密封措施。其次節(jié)照明技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)要求時(shí)，也可承受其他光源。條干凈室內(nèi)一般照明燈具宜明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，其安裝縫隙應(yīng)實(shí)行牢靠的密封措施。8．2．3的規(guī)定數(shù)值。8．2．3┌──────┬──────┬──┬───────┐│識(shí)別對(duì)象的│視覺(jué)工作分類│亮度│照度〔勒克斯〕││最小尺寸 ├──────┤比照├───┬───┤│d〔毫米〕│ 等級(jí)│ │混合│一般││及場(chǎng)所 │ │ │照明│照明│├──────┼─┬────┼──┼───┼───┤│d≤0.15 │Ⅰ│ 甲│小│2500│500 ││ ││ 乙│大│1500│300 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│0.15≤d≤0.3│Ⅱ│甲│小│1000│300 ││ ││乙│大│750 │200 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│0.8≤d≤0.6│Ⅲ│甲│小│750 │200 ││ ││乙│大│750 │150 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│d＞0.6 │Ⅳ│ │ │750 │150 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│通道、休息室││ │ │ │100 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│暗房工作室││ │ │ │30 │└──────┴─┴────┴──┴───┴───┘150勒克斯。條干凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的事故照明。在應(yīng)急安全出0．7。第三節(jié)把握、通信和防護(hù)條干凈廠房的凈化空氣調(diào)整把握系統(tǒng)，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)溫度、條干凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房?jī)?nèi)外聯(lián)系的通信裝置。條干凈廠房〔包括技術(shù)夾層〕應(yīng)單獨(dú)或組合設(shè)置感溫、感光、〔受訊臺(tái)〕應(yīng)設(shè)置在有人值班的地點(diǎn)，供電應(yīng)牢靠。條干凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)緊急按鈕。如發(fā)生火災(zāi)危急時(shí)，應(yīng)能發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并應(yīng)同時(shí)切斷風(fēng)機(jī)電源。附錄一 名詞解釋┌──┬──────┬────┬────────────┐│序號(hào)│本標(biāo)準(zhǔn)用名詞│曾用名詞│解釋 │├──┼──────┼────┼────────────┤│1│干凈室││依據(jù)需要，對(duì)空氣中塵粒、│││││溫度、濕度、壓力和噪聲│││││進(jìn)展把握的密閉空間,并│││││以其空氣干凈度等級(jí)符合│││││本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定為主要特征 │├──┼──────┼────┼────────────┤│2 │干凈區(qū) │凈化區(qū)│由干凈室所組成的區(qū)域 │├──┼──────┼────┼────────────┤│3 │人身凈化用室│人凈生活│干凈區(qū)工作人員在進(jìn)入潔││ │ │間 │凈區(qū)之前按確定程序進(jìn)展││ │ │ │凈化的關(guān)心用室 │├──┼──────┼────┼────────────┤│4 │物料凈化用室│ │物料在進(jìn)入干凈區(qū)之前按一││ │ │ │定程序進(jìn)展凈化的關(guān)心用室│├──┼──────┼────┼────────────┤│5 │技術(shù)夾層 │管道夾層│主要以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成││ │ │技術(shù)閣樓│的供安裝管線等設(shè)施使用││ │ │ │的建筑夾道 │├──┼──────┼────┼────────────┤│6 │技術(shù)夾道 │技術(shù)走廊│主要以垂直構(gòu)件分隔成的││ │ │技術(shù)管械│供安裝管線等設(shè)施使用的││ │ │技術(shù)夾墻│建筑夾道 │├──┼──────┼────┼────────────┤│7 │技術(shù)豎井 │ │主要以垂直鉤件分隔構(gòu)成││ │ │ │的供安裝豎向管線使用的││ │ │ │井式建筑關(guān)心空間 │├──┼──────┼────┼────────────┤│8 │建筑風(fēng)道 │ │以建筑構(gòu)件組成的風(fēng)道 │├──┼──────┼────┼────────────┤│9 │輕型吊頂 │輕吊頂、│以輕型骨架和飾面板材安││ │ │軟吊頂│裝組成的頂棚 │├──┼──────┼────┼────────────┤│10│粒徑││指塵粒由某種測(cè)定方法測(cè)│││││出的長(zhǎng)度名義尺寸，并不│││││含有具體的幾何外形的意│││││義。當(dāng)承受光學(xué)顯微鏡測(cè)│││││定時(shí)，是指塵粒投影通過(guò)│││││測(cè)微標(biāo)尺時(shí)為標(biāo)尺刻度線│││││所切兩瑞的長(zhǎng)度 │││││當(dāng)承受光散射式粒子計(jì)│││││數(shù)器測(cè)定時(shí)，是指標(biāo)準(zhǔn)塵│││││?！踩缇郾鞠┬∏颉匙魃ⅸΙΙΙΙι涔鈴?qiáng)度的等效比較而得││ │ │ │的綜合效果 │├──┼──────┼────┼────────────┤│11│含塵濃度 │ │指單位體積空氣中所含懸││ │ │ │浮塵粒的數(shù)量 │├──┼──────┼────┼────────────┤│12│干凈度 │ │ 指干凈環(huán)境中空氣含塵││ │ │ │粒多少的程度 │├──┼──────┼────┼────────────┤│13│全室空氣凈化│全面凈化│通過(guò)空氣凈化等技術(shù)措施，││ │ │ │使室內(nèi)整個(gè)空間的空氣含塵││ │ │ │濃度到達(dá)本標(biāo)準(zhǔn)的空氣干凈││ │ │ │度等級(jí)，這種方式稱全室空││ │ │ │氣凈化 │├──┼──────┼────┼────────────┤│14│局部空氣凈化││僅使室內(nèi)工作區(qū)域特定的│││ ││局部空間的空氣含塵濃度達(dá)│││ ││到本標(biāo)準(zhǔn)的空氣干凈度等級(jí)│││ ││這種方式稱局部空氣凈化│├──┼──────┼────┼────────────┤│15│層流干凈室│平行流│在干凈室內(nèi)，空氣以均勻的│││││斷面速度沿平行流線流淌〔│││││與流體力學(xué)的層流概念不完│││││全一樣〕 │├──┼──────┼────┼────────────┤│16│亂流干凈室│ │在干凈室內(nèi)，空氣以不均勻││ │ │ │的速度呈不平行流線流淌│├──┼──────┼────┼────────────┤│17│干凈工作區(qū)│ │指干凈室內(nèi)〔除生產(chǎn)工藝特││ │ │ 0.8～1.5││ │ │ │米高度的區(qū)域 │├──┼──────┼────┼────────────┤│18│第一干凈工作│ │指水平層流干凈室工作區(qū)││ │區(qū) │ │內(nèi)空氣干凈度最終的工作位││ │ │ │置 │├──┼──────┼────┼────────────┤│19│空氣吹淋室、│風(fēng)淋室、│強(qiáng)制吹除工作人員及其衣││ │通道式空氣吹│空氣淋│服上附著塵粒的設(shè)備 ││ │淋室 │浴室 │ │├──┼──────┼────┼────────────┤│20│氣閘室 │ │為保持干凈區(qū)的空氣干凈││ │ │ │度和正壓把握而設(shè)置的緩沖││ │ │ │室 │├──┼──────┼────┼────────────┤│21│ │ │無(wú)塵服│衣服產(chǎn)生的塵粒限于最小程││ │ │ │度所使用的灰塵量少的干凈││ │ │ │服裝 │├──┼──────┼────┼────────────┤│22│過(guò)濾器額定風(fēng)│ │指在確定濾速下，使其效率││ │量 │ │和阻力為最合理時(shí)的過(guò)濾器││ │ │ │風(fēng)量 │├──┼──────┼────┼────────────┤│23│隧道式干凈室││在干凈室內(nèi)承受層流罩組│││ ││成隧道式的垂直層流型的局│││ ││部干凈工作區(qū)，以布置有較│││ ││高空氣干凈度要求的生產(chǎn)工│││ ││序或生產(chǎn)流水線 │├──┼──────┼────┼────────────┤│24│外圍建筑 │b │指安裝裝配式干凈室所在││ │ │ │的建或改建建筑物 │├──┼──────┼────┼────────────┤│25│氣流組織 │ │指對(duì)氣流流向和均勻度按││ │ │ │確定要求進(jìn)展組織 │├──┼──────┼────┼────────────┤│26│濾膜顯微鏡│ │將測(cè)定用薄膜過(guò)濾器捕集││ │計(jì)數(shù)法 │ │到的塵粒用顯微鏡放大后，││ │ │ │觀看塵粒大小和數(shù)量的方法│├──┼──────┼────┼────────────┤│27│純水 水│指溫度25℃時(shí)，電阻率││ │ 0.1×10^6歐姆?厘米││ │ │水 │水 │├──┼──────┼────┼────────────┤│28│高純水││││歐姆?厘米水中││││0.5微米的塵粒││││300粒／毫升，活微生││││9個(gè)／毫升的純水│├──┼──────┼────┼────────────┤│29│純水終端凈│純水后處│在用水點(diǎn)四周，對(duì)水質(zhì)作進(jìn)││ │扮裝置 │理設(shè)備│一步凈化處理的裝置 │├──┼──────┼────┼────────────┤│30│高純氣體││指純度大于或等于│││││99，9999％，││ │ │ 量小于5ppm的氣體 │├──┼──────┼────┼────────────┤│31│氣體終端凈│ │在用氣點(diǎn)四周，對(duì)氣體作進(jìn)││ │扮裝置 │ │一步純化處理的裝置 │├──┼──────┼────┼────────────┤│32│高效氣體過(guò)││氣體經(jīng)過(guò)濾后，到達(dá)小于或│││濾器 │0.5微米塵粒含量小于│││ │3.5粒／升的氣體過(guò)│││ ││濾器 │└──┴──────┴────┴────────────┘附錄二干凈室空氣干凈度的測(cè)試一、干凈室的空氣干凈度，應(yīng)進(jìn)展以下測(cè)試：〔一〕空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的狀況下邊行測(cè)試。靜態(tài)測(cè)試：干凈室凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)人員的狀況下進(jìn)展測(cè)試?！捕硠?dòng)態(tài)測(cè)試干凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)展測(cè)試?？諝庹{(diào)整的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。三、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試〔一〕測(cè)試前的預(yù)備1、應(yīng)對(duì)干凈室及其凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)進(jìn)展徹底清潔。2、承受光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過(guò)濾器進(jìn)展檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效〕0．5微米的塵粒數(shù)應(yīng)30，000粒／升。如假設(shè)不夠，可引入煙霧，然后開頭檢漏。將粒子〕2--32～4厘米0．53粒／分?升〔或其即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必需進(jìn)展堵漏?！捕硿y(cè)試內(nèi)容1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、穎空氣量、排風(fēng)量等；2、干凈室壓力值；3、層流干凈室斷面風(fēng)速和氣流流向；4、干凈工作區(qū)的干凈度；5、室內(nèi)溫度、濕度及其把握力氣的調(diào)整測(cè)試；6、干凈室內(nèi)噪聲?！踩掣蓛艄ぷ鲄^(qū)空氣干凈度的測(cè)試方法5微米的塵粒計(jì)數(shù)。也可承受濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。光散射粒子計(jì)數(shù)法：1、光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量1升。0．3升。0．1升。100級(jí)干凈室，宜承受大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)展測(cè)試；假設(shè)條件不具備時(shí)，可承受每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。2、采樣留意事項(xiàng)采樣管必需干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。1．5米。樣口的下風(fēng)側(cè)。采樣挨次應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)展。3、測(cè)點(diǎn)布置1米。200．5～2．0米，粒徑大一干凈工作區(qū)內(nèi)。505個(gè)測(cè)點(diǎn)〔2〕。3--5個(gè)測(cè)點(diǎn)。4、數(shù)據(jù)整理取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。0．5微米的塵粒數(shù)確定：層流干凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值，亂流干凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。毫米水柱的微壓計(jì)。四、動(dòng)態(tài)測(cè)試。態(tài)、靜態(tài)測(cè)試。附錄三 干凈廠房生產(chǎn)的火災(zāi)危急性分類舉例┌──┬────────────────────────┐│生產(chǎn)│舉 例 ││類別 │├──┼────────────────────────┤│甲│微型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間│││周密陀螺儀裝配的清洗間│││磁帶涂布烘干工段│││化工廠的丁酮、丙酮、環(huán)乙酮易燃熔劑的物│││理提純工作間〔光致抗蝕劑的配制工作間〕││ │半導(dǎo)體材料廠使用氫氣的拉晶間、硅烷熱分解室 ││ 〔28℃的易燃││ │液體者〕外延間、化學(xué)氣相沉積間和化學(xué)試劑貯存間│├──┼────────────────────────┤│乙│膠片廠的洗印車間 │├──┼────────────────────────┤│丙│計(jì)算機(jī)房記錄數(shù)據(jù)的磁盤貯存間 ││ │顯像管廠裝配工段燒槍間 ││ │磁帶裝配工段 ││ │集成電路工廠的氧化、集中間、光刻間 │└──┴────────────────────────┘附錄四凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)施工的要求一、風(fēng)管、靜壓箱和附件的施工，應(yīng)符合以下要求：施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保持清潔。風(fēng)管及其附件、靜壓箱、空氣調(diào)整器、技術(shù)夾層、機(jī)房以及其它設(shè)備、裝置等的清潔工作應(yīng)邊施工邊進(jìn)展；〔二〕風(fēng)管、靜壓箱和附件等制作后，應(yīng)存放在清潔、枯燥的地點(diǎn)，并應(yīng)采取防止積塵的措施；承受復(fù)合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風(fēng)管，在加工、安裝、施工過(guò)程中造成的破損應(yīng)補(bǔ)涂涂料；〔四〕清掃、擦拭應(yīng)選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料。二、高效和亞高效空氣過(guò)濾器的安裝，應(yīng)符合以下要求：必需在土建施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)初效、中效空氣過(guò)濾器安裝完畢，全12小時(shí)前方能進(jìn)展；〔二〕高效空氣過(guò)濾器必需在安裝時(shí)方可從保護(hù)袋中取出，同時(shí)應(yīng)進(jìn)展透光目視檢查。凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝；〔三〕過(guò)濾器與安裝框架之間，必需實(shí)行密封措施；〔四〕過(guò)濾器安裝就位后，必需進(jìn)展檢漏和堵漏。安裝，應(yīng)嚴(yán)格依據(jù)產(chǎn)品的安裝、施工要求進(jìn)展。附錄五凈化空氣調(diào)整系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)治理的要求干凈室的空氣監(jiān)測(cè)頻數(shù) 附表5┌──────┬──┬───┬────┬──────┐│＼空氣潔│ │ │ │ ││鑒測(cè)＼凈度│100│1000│10,000│100,000 ││工程＼等級(jí)│ │ │ │ │├──────┼──┴───┴────┴──────┤│溫