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流行飾品材料及工藝教育部職業(yè)教育寶玉石鑒定與加工專業(yè)教學(xué)資源庫GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary氮化鈦裝飾鍍膜建設(shè)者姓名：尚穎麗物理氣相沉積工藝氮化鈦裝飾鍍膜-工藝參數(shù)對氮化鈦薄膜性能的影響(1)沉積溫度對氮化鈦薄膜性能的影響。沉積溫度對TiN涂層的硬度和結(jié)合力有影響，在500℃附近沉積TiN薄膜的硬度和合力最高，溫度過低或過高對TiN薄膜的表面硬度均不利。沉積溫度過低，實際上反映了預(yù)轟擊時間過短或轟擊能量較低，這對薄膜的致密性將會有影響，TiN薄膜形核不充分，組織粗化，從而使其硬度下降。而當(dāng)沉積溫度過高時，則會使試樣表面產(chǎn)生過熱現(xiàn)象，若沉積溫度超過基底材料的回火溫度，將導(dǎo)致基底硬度降低，無法與薄膜形成良好的結(jié)合，導(dǎo)致薄膜硬度的下降。因此，在保證試樣表面不過熱的情況下，升高沉積溫度對提高TiN薄膜的硬度是有好處的。(2)沉積電壓對氮化鈦薄膜性能的影響。隨著沉積電壓的升高，制備的TiN薄膜的斷口組織細(xì)化，薄膜的顯微硬度和沉積速率增加。在同一沉積條件下提高放電電壓，也就意味著增強(qiáng)等離子體強(qiáng)度，使化學(xué)反應(yīng)向有利于生成物的方向發(fā)展，所以提高沉積電壓可以增加TiN薄膜的沉積速率。(3)工件對氮化鈦薄膜性能的影響。工件上薄膜使用性能的好壞不僅與薄膜本身的性能有關(guān)，而且還與工件材料的性能有關(guān)，尤其是工件材料的硬度，只有在比較堅硬的基體材料上，硬質(zhì)薄膜才能發(fā)揮出其優(yōu)越的耐磨性能?；撞牧嫌捕炔煌?，則TiN薄膜與基底的結(jié)合強(qiáng)度亦不同?；子捕仍酱螅琓iN薄膜與基底之間的結(jié)合越好。在實際應(yīng)用中，要盡量使底材料在一定的沉積溫度條件下保持較高的硬度，以提高薄膜的質(zhì)量?；妆砻娲植诙?/p>

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