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文檔簡介

AutoMode1，手指輕觸屏幕（圖一），進入Main 二），在“Main”模式下，點擊“Operations”按鈕。系統(tǒng)進入OperationsStatus.（圖三）2，等待樣品到達傳送帶上3，查看“Recipe”框，是否是你要選擇的Recipe號碼。按 “－”鈕，可以選擇您想要的Recipe按下方“SetRecipe修改請聯(lián)系設備人員Graphic頁面，并顯示機臺工作狀態(tài)參數(shù)。5ChamberCycleChamber里充入空氣，數(shù)秒Chamber內(nèi)，如此循環(huán)。在過程中，您還可以根據(jù)自己的需要按“Stop”或“Pause”按鈕，停止或暫停進程。（ManualMode） 在Main 輸入×××，回車。系統(tǒng)就進入ManualMode. 3，用手動模式依次點擊“Chamberup/down”=>“VacuumOn/Off”＝>“GasOn/Off”＝>“ smaOn/Off”＝>“Bleed并在每一步中的“Reads”鈕，查看系統(tǒng)processvariables狀況。

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