大學(xué)電材微電子物理與器件課程設(shè)計(jì)

課程設(shè)計(jì)課程名稱微電子器件工藝課程設(shè)計(jì)題目名稱PNP雙極型晶體管的設(shè)計(jì)學(xué)生學(xué)院___材料與能源學(xué)院____專業(yè)班級(jí)08電子材料1班學(xué)號(hào)3108007452學(xué)生姓名____123___指導(dǎo)教師____魏愛香、何玉定____2023年6月17日踢廣東好工業(yè)檔大學(xué)犧課程恒設(shè)計(jì)華任務(wù)雜書背一、胞課程畝設(shè)計(jì)糟的內(nèi)便容序設(shè)計(jì)漲一個(gè)萍均勻猛摻雜賺的搶pn范p圓型硅擊雙極坡晶體蚊管，鑒滿足原T=繪30鵝0K潮時(shí)，刑基區(qū)危摻雜究濃度削為慢N站B爪=1壘0觀16攏cm社-3紹,`昆共發(fā)疾射極財(cái)電流蹤增益叉β屠=5緒0辣。強(qiáng)BV族CE橋O孔=6燙0V腰，設(shè)腥計(jì)時(shí)愚應(yīng)盡糕量減率小基趣區(qū)寬晌度調(diào)岸制效謝應(yīng)的綢影響滾，假順設(shè)經(jīng)腎驗(yàn)參迫數(shù)為化年礎(chǔ)n=恢3)鋼二、地課程煩設(shè)計(jì)恨的要茄求與候數(shù)據(jù)越1污．了橫解晶串體管羨設(shè)計(jì)居的一洲般步脆驟和附設(shè)計(jì)鼻原則關(guān)2燈．根標(biāo)據(jù)設(shè)叮計(jì)指濁標(biāo)設(shè)傲計(jì)材奴料參狠數(shù)，繭包括曲發(fā)射流區(qū)、傲基區(qū)順和集齊電區(qū)林摻雜僵濃度利N錦E罵,蹲N閣B寇,死和抽N詠C脹,酬根據(jù)嘗各區(qū)飽的摻舊雜濃立度確懼定少捆子的算擴(kuò)散昆系數(shù)因，遷血移率如，擴(kuò)掃散長(zhǎng)跪度和傾壽命澤等。岔3脫．根歷據(jù)主戶要參淹數(shù)的挺設(shè)計(jì)喝指標(biāo)匪確定飄器件樓的縱應(yīng)向結(jié)擺構(gòu)參勿數(shù)，固包括錫集電航區(qū)厚瞎度用W彈c姓，基沖本寬策度媽W(xué)凳b時(shí)，發(fā)店射區(qū)徒寬度像W尸e月和擴(kuò)膠散結(jié)傻深趙X勇jc擊,束發(fā)射芹結(jié)結(jié)然深族X眉je銜等。守4勤．根本據(jù)擴(kuò)善散結(jié)版深嬌X客jc哄,暮發(fā)射汗結(jié)結(jié)澇深產(chǎn)X四je拼等確句定基塔區(qū)和鈴發(fā)射哥區(qū)預(yù)勝擴(kuò)散野和再旺擴(kuò)散暈的擴(kuò)督散溫競(jìng)度和晴擴(kuò)散證時(shí)間千；由侍擴(kuò)散告時(shí)間死確定快氧化詳層的卸氧化息溫度玻、氧犯化厚扎度和魄氧化訂時(shí)間倦?？o(hù)頭5博．根驅(qū)據(jù)設(shè)洲計(jì)指燥標(biāo)確虧定器兵件的抽圖形鴉結(jié)構(gòu)加，設(shè)統(tǒng)計(jì)器侄件的妹圖形汗尺寸市，繪煩制出盆基區(qū)繞、發(fā)荷射區(qū)缺和金師屬接耗觸孔翁的光輸刻版兵圖。乒6.殘?jiān)鶕?jù)罪現(xiàn)有游工藝句條件澤，制么定詳捏細(xì)的膝工藝弊實(shí)施荒方案就。晝7澆．撰莫寫設(shè)毀計(jì)報(bào)將告群三、赴課程糖設(shè)計(jì)鳥應(yīng)完鑰成的露工作停1.防塘材料筐參數(shù)脈設(shè)計(jì)宿2.童晶體酸管縱樹向結(jié)藍(lán)構(gòu)設(shè)駱計(jì)孝3.欺晶體踢管的匯橫向罰結(jié)構(gòu)饑設(shè)計(jì)搏（設(shè)拴計(jì)光極刻基臉區(qū)、狀發(fā)射尸區(qū)和負(fù)金屬炸化的堆掩膜核版圖禮形）嬸4枯．工弓藝參凡數(shù)設(shè)隔計(jì)和掩工藝?yán)炔僮鳚h步驟祝5.統(tǒng)總結(jié)王工藝卵流程僑和工批藝參喬數(shù)緞6.警敬寫設(shè)綿計(jì)報(bào)抬告財(cái)四、番課程哄設(shè)計(jì)饞進(jìn)程井安排絞序號(hào)招設(shè)計(jì)懲各階肝段內(nèi)衡容體地點(diǎn)訴起止眨日期獲1市教師笨布置陸設(shè)計(jì)朵任務(wù)前，講屢解設(shè)呢計(jì)要饞求和適方法班教社1-邀40塌1吹20飛11壓.6放.6愈2產(chǎn)學(xué)生跪熟悉碗設(shè)計(jì)海任務(wù)片，進(jìn)嚷行資洗料查腸閱和賄整體俘設(shè)計(jì)悅方案?jìng)涞闹瓶《ㄗC圖書僵館，肌教瓶1-脖40伍1芹20增11號(hào).6郊.7烤3刮設(shè)計(jì)北晶體喉管的夾各區(qū)恥材料躁參數(shù)尋和結(jié)里構(gòu)參響數(shù)設(shè)紋計(jì)謹(jǐn)圖書懂館，仙教拋1-鞭40顆1隙2煙01再1炸.6紙.8把4.宇教師及集中血輔導(dǎo)姨，分銹析材摸料參疏數(shù)和貼結(jié)構(gòu)屑設(shè)計(jì)油中存工在的之主要陵問題于教或1-廳40擴(kuò)7蛛20打11餅.6研.9稀5孤晶體庸管工麗藝參周數(shù)設(shè)警計(jì)，另實(shí)驗(yàn)甲室蛛教壺1-集40險(xiǎn)2配21許00勞.6智.1四0-絡(luò)20扭11影.6涉.1辟1學(xué)6頁(yè)繪制調(diào)光刻總基區(qū)薪、發(fā)示射區(qū)印和金幅屬化墻的版蓋圖承實(shí)驗(yàn)棋室創(chuàng)教積1-豐40獻(xiàn)2告20塔11堪.6以.1熄2武20市11撫.6索.1章3喇8膏教師拌集中燭輔導(dǎo)耽，分聽析工挽藝設(shè)永計(jì)中想存在架的主波要問因題衛(wèi)實(shí)驗(yàn)苦室擋教嶼1-扎32邊2耽20違11播.6容.1刃4衫9驗(yàn)總結(jié)勁設(shè)計(jì)相結(jié)果字，寫破設(shè)計(jì)額報(bào)告襲實(shí)驗(yàn)肉室脾教坐1-辜32輔2登20屑11狂.6奴.1糾5秤10大寫課屬程設(shè)僵計(jì)報(bào)赴告惜圖書貓館，涉宿室持20農(nóng)11吐.6索.1勞6垂11磁教師腸組織樣驗(yàn)收翻，提振問答索辯嫩實(shí)驗(yàn)式室退20杠11航.6順．滔17惠五、斑應(yīng)收用集的佳資料崇及主潤(rùn)要參威考文戒獻(xiàn)幕1伶．《況半導(dǎo)收體器籮件基篇礎(chǔ)》垃Ro銜be煮rt努F(xiàn)錯(cuò).擾Pi蕩er滾re喝t女著，揭黃如花譯，鹽電子匆工業(yè)殿出版團(tuán)社，燈20味04離.吼2健．《居半導(dǎo)捷體物塘理與問器件岸》形趙毅舍強(qiáng)等鋼譯，犧電子絲工業(yè)棍出版公社，蛛20娃05喉年殊.降也3啟．《紡硅集汽成電蜘路工業(yè)藝基趙礎(chǔ)》墓，關(guān)喘旭東喜編著煩，北慢京大軟學(xué)出獲版社耀，蛙20愿05屑年銳.演發(fā)出栗任務(wù)臨書日趣期：附恨20競(jìng)11感年配6縮弱月道6膝日宋指導(dǎo)排教師極簽名假：逝計(jì)劃炮完成盡日期法：朋語(yǔ)20糧11型年再6滴月脆短17斬日夸基層禮教學(xué)草單位顛責(zé)任銷人簽掌章：向主管滑院長(zhǎng)脆簽章糟：目錄犯一、秘課程贈(zèng)設(shè)計(jì)反目的鉤與任跡務(wù)轟……枝……鐵……便……姨……你……芝……椅……肯……爐……疊2唐二、墨課程縱設(shè)計(jì)曬時(shí)間新……宜……記……而……我……拖……營(yíng)……逃……憲……觸……板……響…茅2潤(rùn)三、貴課程暮設(shè)計(jì)投的基詠本內(nèi)漠容支……誦……半……聞……擋……龍……神……墳……虜……屠……分…末2召3.漁1蒜微電貌子器辨件與嫂工藝絨課程見設(shè)計(jì)鹿――銀np目n挑雙極朽型晶睬體管研的設(shè)漲計(jì)煤……圖……角……?！?遙3.務(wù)2嗎課程戚設(shè)計(jì)牧的主咸要內(nèi)自容：凳……房……皇……愈……擱……國(guó)……啟……嚇……炕……馬……薦…你歉2壟四、禽課程豆設(shè)計(jì)運(yùn)原理宮……湊……尺……宋……金……丹……輕……狡……知……智……帖……脂……衫…轉(zhuǎn)3度五、堪工藝攜參數(shù)隨設(shè)計(jì)蔥……辛……品……處……睬……紫……識(shí)……恥……嬌……果……哀……會(huì)……獄…科3銜5.速1浮晶體虜管設(shè)語(yǔ)計(jì)的把一般題步驟券：掏……拴……緊……狗……妙……就……戀……水……撫……四……留3跟5查.2夸鹿材料哭參數(shù)萄計(jì)算欺……跪……尿……獄……務(wù)……趕……乖……疼……逝……貿(mào)……棍……布……刊…道4副5.忌2.綁1胡各區(qū)竭摻雜在濃度企及相掃關(guān)參貌數(shù)的旗計(jì)算愚……遭……魚……乘……頁(yè)……踩……篇……壇……畫4溜5.煙2.矛2饑集電倡區(qū)厚斧度唯Wc陽(yáng)的選赤擇智……健……你……航……銳……當(dāng)……叨……牢……庸……柱……顫…咸8臂5.督2.剝3畏基區(qū)鑼寬度鍵WB躁……型……終……爪……勵(lì)……窩……渠……再……脹……肌……漿……復(fù)……?！瓱?聾5.吉2.包4躺晶體條管的系橫向喇設(shè)計(jì)消……趙……尚……武……懼……柳……僚……圈……耳……吼……潤(rùn)……斑1幅1柿5.柿2.胞4縣.1打該晶體處管橫悅向結(jié)呀構(gòu)參參數(shù)的光選擇信……痛……好……敬……貨……挨……扎……棍……示…亡11懼5.陶3膠工藝辯參數(shù)率設(shè)計(jì)邀……肌……屋……貨……歌……鉛…售……資……朝……暈……辭……迷……攀……劇12頓5.鏡3.至1每晶體節(jié)管工刺藝概連述賓……破……您……進(jìn)……搬……副……翻……異……蜘……創(chuàng)……聽……膠…脖1膏2法5.靠3.昆2渠工藝片參數(shù)減計(jì)算類思路蛋……載……貫……挎……咐……捷……滅……罪……趨……桂……孝……螞1成3爪5.炒3.袍3潑基區(qū)男相關(guān)暑參數(shù)竹的計(jì)桶算過拜程：銜……調(diào)……席……裹……像……棍……陽(yáng)……閘……賴……熊1廚3避5.膚3.傍4透發(fā)射迅區(qū)相銳關(guān)參起數(shù)的產(chǎn)計(jì)算滾過程拌……尾……膽……匠……濕……回……摟……寶……杰……紙1扣5橫5.分3.爹5甚氧化罷時(shí)間昨的計(jì)判算模……醉……業(yè)……脂……峽……館……恩……鄙……慧……做……蘿……從…劣1翼7狀5.童3.副6兼外延徹層的衡參數(shù)文計(jì)算誕……序……烈……留……曉……妻……耳……納……循……賣……柜……屈1宿9高5.煎3.轉(zhuǎn)7患設(shè)計(jì)偶參數(shù)勵(lì)總結(jié)瓦……述……軍……似……辱……范……沙……皂……增……吵……懇……無(wú)……炊2蘇0令六、諸工藝鄭流程非圖您……博……跑……慘……蹤……運(yùn)……努……槐……洗……喇……貝……肆……壓…秀2淡1龜七、餐生產(chǎn)潔工藝諷流程喝……即……嬌……估……筒……肢……嫩……單……輕……勺……義……寒…介睡21時(shí)7.障1唇硅片扎清洗針……從……揀……傻……驢……捕……狗……怕……逢……老……辨……鄭……學(xué)……茶…高2創(chuàng)1蓬7.旅2棟競(jìng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)構(gòu)絡(luò)。三超極管杏剖面渣圖如媽圖掛5切，三源極管鴿俯視絮圖如耗圖炸6嚇。喜圖慨5傳：三瞧極管熊剖面即圖坐圖柔6稱：三纏極管刻俯視艷圖干(聚2終)遙基區(qū)忌、魂發(fā)射矛區(qū)與鑒集電勝區(qū)面交積的思計(jì)算累基區(qū)和面積亞無(wú)特衫別要轎求，薦取有瀉效的猴根據(jù)山設(shè)計(jì)罪要求聰，涉啦及到紡集電足極電同流駝受基瘦區(qū)電跟導(dǎo)調(diào)刷制效專應(yīng)的舌限制昏。有沖公式雹：熱由最嫩大飽膚和壓限降辛V沉CE狡S巾≤靠2V帽可得奏到：?jiǎn)柵恃脒w垃跟命渠如匹毒虎呆（啦8）乎其中腔、膛為臨悠界飽冷和時(shí)信的結(jié)過壓降修，通約常食V忘，毯可以最到《守半導(dǎo)芹體物尾理學(xué)罵》第疾七版臉，電必子工鼠業(yè)出典版社虛一書瀉的1抱24懶頁(yè)，堤圖4趙-1爛5進(jìn)勾行查麥得吉，由旁（8喬）式襯得：倡另外奴，為稈滿足昨散熱皂要求分，取遙A慶C妨要大病一些百。芳故最暴終決營(yíng)定的恩三個(gè)哀區(qū)的桌面積堤分別科為膚，順，隔5.雪3惰工藝溫參數(shù)詠設(shè)計(jì)跟5.拾3.圓1雀晶體谷管工紡藝概比述聲在集鉆成電戚路工冰藝中瘡，最耽早得醒到廣胞泛應(yīng)箏用的填一種蓮雙極炊型工緞藝技也術(shù)就伐是所帳謂的蜜三重籮擴(kuò)散屬方法孔，由騰于其繳成本顧低、啟工藝猛簡(jiǎn)單弓以及躍成品灘率高訊等優(yōu)蒸點(diǎn)，騎這種倡技術(shù)眠直到項(xiàng)今天撓在某緒些應(yīng)奔用領(lǐng)丹域中感仍然浸在繼癥續(xù)使彼用。吼這個(gè)正工藝膽流程敢只需浸七塊板光刻劈掩模唯版，附首先犬在長(zhǎng)N愧－燈襯底襪上生乖長(zhǎng)一仍層初芹始氧念化層更，并造光刻傻出扒P磁＋四保護(hù)延環(huán)擴(kuò)須散區(qū)旺窗口過；保僵護(hù)環(huán)足擴(kuò)散瞞推進(jìn)稠完成煤后，占去掉燭初始篇氧化松層，蝴重新育生長(zhǎng)熊第二饒次氧嚼化層貌，并掩光刻啄出集婚電區(qū)縮注入最窗口腥；集勁電區(qū)診注入懲推進(jìn)覺完成染后，柄把二溪次氧友化層屬去掉移，再戶生長(zhǎng)應(yīng)第三炭次氧距化層李，并累光刻淡出基監(jiān)區(qū)注過入窗要口；但完成非基區(qū)美注入級(jí)后，欺去掉曲三次奇氧化潛層，鞋并對(duì)豪基區(qū)歇雜質(zhì)給進(jìn)行餓退火稱激活懇，然品后生案長(zhǎng)第腦四次竿氧化弄層，司并光護(hù)刻出探發(fā)射哈區(qū)注唉入窗償口；寬發(fā)射棗區(qū)注慈入完膠成后疲，再戀把四劍次氧始化層很去掉膨，并葬生長(zhǎng)咳最后雜一次巨氧化案層，夕在這吼層氧澆化層階上光家刻出蠢基極早歐姆欠接觸協(xié)區(qū)窗或口；肢然后材進(jìn)行席基極愈歐姆斑接觸擇區(qū)的忌N掘+撞注入冰，并乞?qū)q極歐媽姆接砍觸區(qū)右和發(fā)抖射區(qū)留注入隱層進(jìn)售行最乘后一寸次退也火激臉活；褲接下三來沉瞧積歐己姆接棕觸區(qū)窮保護(hù)被層、憤開接非觸孔跟、形焰成金匯屬化啄導(dǎo)電象層并雙對(duì)其伴進(jìn)行爽光刻脅和刻鈔蝕。守在基隆本的逃三重夕擴(kuò)散還工藝說技術(shù)避基礎(chǔ)震上所袖做的燃改進(jìn)育之一乞就是雜增加拜一個(gè)演集電凱區(qū)埋櫻層，區(qū)即位太于集菜電區(qū)爭(zhēng)下面列的一旗個(gè)重餃摻雜鞭的擴(kuò)垮散區(qū)丸，它戶可以色使集靈電區(qū)粘的串寺聯(lián)電倡阻大色大減盆小。被引入麥集電橡區(qū)埋尸層后僅意味貴著集皆電區(qū)黑本身裁必須賴通過霧外延狂技術(shù)圣在襯綢底上譽(yù)生長(zhǎng)鳴出來下，這奧項(xiàng)技億術(shù)稱宰為梯“孟標(biāo)準(zhǔn)甜埋層僵集電針區(qū)工夏藝（要SB肅C豎）密”近。很不同脆的制霜造工芳藝會(huì)成產(chǎn)生哭不同建的發(fā)滔射結(jié)普寄生睜電容把、發(fā)裁射結(jié)款擊穿便電壓全及基棟區(qū)接改觸電舍阻等準(zhǔn)。從球歷史什發(fā)展意來看滲，雙殿極型玉晶體躲管的題性能濤在很務(wù)大程陸度上兇受其惹寄生臂參數(shù)囑的限糖制，辮在這賤些參模數(shù)中岸最主洽要的蓮是與貸歐姆首接觸陪區(qū)或焦器件爸非本貝征區(qū)脈有關(guān)垮的結(jié)造電容況。三肢重?cái)U(kuò)隆散工棗藝或勝標(biāo)準(zhǔn)罰埋層值集電是區(qū)工吐藝具儉有較死大的干非本廢征電明容。往較為僅先進(jìn)遷的雙蜓極型上器件鉗工藝扔則利莫用自趁對(duì)準(zhǔn)享多晶王硅結(jié)誦構(gòu)形舍成器圖件發(fā)質(zhì)射區(qū)形和基肥區(qū)的仔歐姆澇接觸修，而宵金屬孟和多懲晶硅曲的接?jì)鹩|可瞧以在斃較厚娃的場(chǎng)便氧化機(jī)層上膀制備鴨形成從，這縫樣就什使器異件的唇結(jié)面屈積大暈大縮儀小。訊此外滴，利稀用多恥晶硅鋼形成坐發(fā)射盼區(qū)歐批姆接五觸，資還可脆以使扒器件晌的本括征電役流增誕益有殲所增淘大。殖5.狡3.器2或工藝燃參數(shù)肯計(jì)算退思路動(dòng)計(jì)算磁思路渴：發(fā)驚射區(qū)些擴(kuò)散蘆時(shí)間防氧化顯層厚棗度孩在發(fā)扮射區(qū)訪擴(kuò)散哪時(shí)基艇區(qū)擴(kuò)尤散結(jié)稱深糖基區(qū)煌擴(kuò)散滔時(shí)間棟基區(qū)狼掩蔽穩(wěn)層厚誓度押氧化同時(shí)間姻。盯由于鎖二次蹦氧化罰，必廟須在歡考慮結(jié)基區(qū)紡擴(kuò)散泉深度籍時(shí)須駕對(duì)發(fā)有射區(qū)味掩蔽豐層消銹耗的踩硅進(jìn)稱行補(bǔ)乒償（睜在前姿面計(jì)括算收已將葡它計(jì)驢算在茫內(nèi)了傾）。蜜下表欣是計(jì)撒算擴(kuò)招散系仆數(shù)過流程中撥要用怎到的兔：殊表兼1蛇：硅禍中磷飲和硼絞的來與替（微逝電子突工藝挺基礎(chǔ)史11泛9漏頁(yè)表助5-捉1熟）快雜質(zhì)惜元素傘磷（見P嫁）篩3.壟85趨3.杯66膝硼（捆B筆）撓0.獻(xiàn)76業(yè)3.鑄46界表踢2薄：二抽氧化糊硅中護(hù)磷和望硼的傍與皺（微猴電子僅工藝卻基礎(chǔ)迅10奪6季頁(yè)表紡4-篇6投）巾雜質(zhì)儀元素性磷（你P膽）告1.捧75干硼（類B圾）豬3.寇50牧5.落3.界3凱基區(qū)暖相關(guān)招參數(shù)抓的計(jì)咸算過撞程：緣（盈1卻）預(yù)貫擴(kuò)散宅時(shí)間詳PN問P遵基北區(qū)的眠磷預(yù)鐵擴(kuò)散內(nèi)的溫蠻度昆取觸80撞0丘℃解，即依10污73續(xù)K畝（規(guī)坦范取夏值到磁11遇20腎℃黑，但艦是這薦樣得歪不到煎合理女的預(yù)質(zhì)擴(kuò)散普時(shí)間鑒，所科以降匹低溫近度來喘處理怒）快由公堂式其中孤圖刮7仗療雜質(zhì)障在硅謠中的肝溶解起度（妹實(shí)用陶集成蓋電路屈工藝酬手冊(cè)拖10括7趕頁(yè)圖烤6-叼7虹）若由瓣圖筑7蛾可喊得，萍在琴80堪0禿℃貌時(shí)磷均在硅進(jìn)中的讀固溶犬度為訂，清但是講這里胳的數(shù)楊據(jù)比奴較大脂，為令了計(jì)敲算的倦方便漲故這版里的禁表面沒濃度燃取費(fèi)（預(yù)啞擴(kuò)時(shí)雕間在神合理賽范圍供）故研（馬2負(fù)）氧討化層裹厚度軟：芝氧化充層厚冷度的綠最小熄值由銳預(yù)擴(kuò)董散換（兆10養(yǎng)73壩K啟）襖的時(shí)嬸間杰t飲=1廁84和8拿s滿來決燭定的弱，且餡服從唐余誤趴差分復(fù)布，鳳并根田據(jù)假丹設(shè)可才求切。豐考慮切到生揚(yáng)產(chǎn)實(shí)落際情駝況，會(huì)基區(qū)揚(yáng)氧化秘層厚扎度無(wú)取這為肌60枯00逐(C布)霞基區(qū)艙再擴(kuò)江散的辨時(shí)間吃：踐本來姐應(yīng)該吸取牲11仙20餃℃出，但破是為拒了能宴夠得坦到較妻快的歐主擴(kuò)臉時(shí)間設(shè)，所語(yǔ)以主既擴(kuò)溫鳴度取銅到了柔12縣50阻℃冒（溫15勝2足3K悉）翁，這妻時(shí)的餃由于少預(yù)擴(kuò)擠散的痛結(jié)深辜很淺速，可巡將它葬忽略紙，故倦，功由再照擴(kuò)散賺結(jié)深循公式邁：講，而且昨故可咬整理斑為：即富經(jīng)過崗化簡(jiǎn)題得，舌利用端MA足TL健AB劍軟件兇求解掠方程衛(wèi)，得偉t=扶24哀96謊7s所=6澤.祥93況h狗5.音3.樸4港發(fā)射紡區(qū)相辛關(guān)參購(gòu)數(shù)的琴計(jì)算稿過程乞（拌1挖）預(yù)兩擴(kuò)散課時(shí)間張PN武P乎發(fā)射很區(qū)的修磷預(yù)跟擴(kuò)散豆的溫紙度五這里形取晴95永0瓦℃辜，即祖12顯23弱K厭由公翁式其中竄由上靠面的捉圖廣7乞可糞得，綿在冷95嘆0繁℃腥時(shí)恢硼掙在硅總中的燕固溶栗度為崇，帝即此特處的故為（旋2窯）氧鳴化層猾厚度批：勁氧化學(xué)層厚咸度的具最小姿值由選預(yù)擴(kuò)缸散分（眨12牙23滴K拋）灘的時(shí)捎間索t崗=哲21稠01稿s貼來決籠定的武，且鉆服從圖余誤業(yè)差分姐布，徒并根茅據(jù)假貫設(shè)可父求邊考慮挪到生屑產(chǎn)實(shí)停際情嘉況，厘發(fā)射慕區(qū)氧遼化層瓜厚度穩(wěn)取洽為醒7提00聽0財(cái)(C途)速基區(qū)膚再擴(kuò)職散的鳳時(shí)間施：山主擴(kuò)諷溫度謹(jǐn)取盤12嫌00壓℃謙（股14埋73無(wú)K跑）活，此相時(shí)有純由于垮預(yù)擴(kuò)漲散的星結(jié)深伐很淺燒，可軟將它螺忽略做，故殘，挎由再毅擴(kuò)散豪結(jié)深扎公式典：扮，而且鄙故可懂整理焰為：即紫經(jīng)過為化簡(jiǎn)雁得，示利用黑MA烤TL城AB螞軟件傲求解忙方程怒，得森t=希75懸15賢s=狠2.名08楊h卻5.也3.致5豈氧化始時(shí)間盜的計(jì)枕算進(jìn)表榮3社11憤00筑℃咳的干陪氧和醉濕氧炕的氧比化速密率常軋數(shù)（菌半導(dǎo)路體制藥造基說礎(chǔ)朗41晉頁(yè)）宣A(諒)孝B(耍)露B/決A(擱)岸干氧晝0.拆09強(qiáng)4.蹄56倍濕氧詢(9霉5街℃比水汽艙)蟻0.泡11環(huán)0吩表鏈4絮逐1川2揉00查℃病的干拴氧和杏濕氧香的氧貨化速仿率常灶數(shù)（桐半導(dǎo)嗓體制券造基寺礎(chǔ)稠41盟頁(yè)）智A(酬)絲B(矩)世B/奪A(潮)內(nèi)干氧獅0.椒04殊1.企62農(nóng)濕氧旺(9帆5芽℃袖水汽兄)政0.描05擋0東（棵1紹）基品區(qū)氧儀化時(shí)昏間培由前炕面算森出基焦區(qū)氧紅化層看厚度糟是投60映00源，如竿果氧堪化溫速度是姿11真0責(zé)0梨℃創(chuàng)，要僻得到棚60交00穴的氧有化層得，嫩可以器采用挎干氧鬼－濕嗚氧－拖干氧餐工藝鐘,敞因?yàn)橐硭缘乜梢栽８鶕?jù)縱所需樂厚度帽來算值時(shí)間鑒可以蓄先后碗干氧澡各絡(luò)5話00猜，然漏后濕掃氧搜5蕉0狠00牙，根強(qiáng)據(jù)平11覆00駁℃異的相摔關(guān)系煌數(shù)代欺入上能述式旦子，窩則可幻以得怕到：慎11站00庸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盈射下海會(huì)呈巴現(xiàn)出餃不同棋顏色垂的干豪涉條績(jī)紋，膛從而角大致?lián)婆袛嗌蒲趸鎸拥耐群穸劝?。夠顏色蠻氧化輝膜厚末度（幕埃）棒灰褲10棟0忌黃褐賀30燈0饒藍(lán)任80鼓0狂紫溝10揮00煎27霸50奸46敢50菊65扇00蜘深藍(lán)谷15榴00擋30嘆00凝49飄00桿68寸00跳綠急18框50孫33拳00貼56伶00連72忍00姑黃抹21切00做37攜00碧56晴00智75易00立橙忍22懷50弟40求00舟60玉00畢紅絨25跨00之43梢50擁62腥50曲7.槽5殘第一拌次光等刻工綱藝（喊基區(qū)特光刻濟(jì)）繩（烤1孝）、膠光刻飛原理趟光刻唐工藝斤是加拍工制芳造集艘成電雕路微玩圖形蝶結(jié)構(gòu)等的關(guān)偷鍵工鈔藝技蠻術(shù)，膜起源舒于印隙刷技紋術(shù)中落的照躺相制略版。榜是在制一個(gè)鐘平面洞（硅醬片）敗上，表加工臘形成拿微圖悔形。何光刻拍工藝柱包括扣涂膠丙、曝?cái)⒐狻⑾语@影嚇、腐冊(cè)蝕等嫂工序蘋。集咳成電酒路對(duì)銜光刻艘的基廉本要旗求有綿如下廉幾個(gè)芽方面慌：區(qū)（零1玩）高罰分辨牛率：家一個(gè)豪由筐10襲萬(wàn)元什件組男成的娛集成件電路酬，其服圖形嫩最小姓條寬紹約為甩3u卻m汽，而界由認(rèn)50悉0確萬(wàn)元貢件組賭成的踩集成繳電路鋼，其撇圖形葉最小昆條寬淡為弱1.壺5-溝-2貼um秀，百咱萬(wàn)以驚上元男件組百成的凍集成座電路撤，其沾圖形該最小隔條寬缸≤埋1u灰m些，因?qū)俅?，紐集成雪度提擠高則暈要求薪條寬證越細(xì)尖，也推就要辦求光渣刻技攏術(shù)的稠圖形射分辨頑率越弟高。束條寬細(xì)是光于刻水起平的拼標(biāo)志術(shù)，代曉表集劉成電俊路發(fā)招展的頸水平勉。亦（劣2扎）高肌靈敏硬度：輸靈敏湖度是域指光樣刻機(jī)銹的感宇光速奮度，引集成番電路脹要求姜產(chǎn)量黎要大浪，因投此，截曝光延時(shí)間軍應(yīng)短債，這愈就要須求光央刻膠報(bào)的靈龜敏度缸要高素。黃低缺疊陷：銀如果秩一個(gè)絞集成雁電路步芯片壽上出比現(xiàn)一俘個(gè)缺搞陷，廣則整哄個(gè)芯酬片將茅失效社，集果成電封路制鋒造過凝程包抗含幾捧十道潛工序姑，其抄中光條刻工沾序就肆有斤10御多次杯，因餃此，潮要求串光刻促工藝玻缺陷奔盡量戒少，脾否則章，就售無(wú)法甚制造忙集成波電路陸。站精密岸的套窄刻對(duì)糟準(zhǔn)：以集成梨電路晌的圖唯形結(jié)傾構(gòu)需敵要多憤此光確刻完滑成，悄每次踢曝光期都需皺要相半互套倉(cāng)準(zhǔn)，搏因此膚集成魄電路粒對(duì)光芳刻套勝準(zhǔn)要擋求非跨常高僵，其雹誤差值允許押為最渠小條欠寬的貸10行%倚左右壘。鵲集成搶電路臉?biāo)没业墓馄蹇棠z魂有正待膠和自負(fù)膠網(wǎng)兩種球：正探性光格刻膠芒通常加由堿姿溶性拿酚醛呈樹脂頓、光倉(cāng)敏阻耀溶劑愁及溶糞劑等禍組成乘，光展敏劑符可使企光刻擾膠在痕顯影都液中動(dòng)溶解澤度減萬(wàn)小，通但曝儲(chǔ)光將掘使光拾敏阻串溶劑努分解閱，使爪光刻療膠溶存解度盛大大嗓增加遮而被亂顯掉月，未竄曝光濁部分隨由于奶溶解藍(lán)度小佛而留惹下。絹負(fù)性辟光刻雜膠和膚正性丘光刻便膠相說反，拴負(fù)性沙光刻爬膠在素曝光跡前能爸溶于份顯影岸液，伐曝光霸后，躍由于嫌光化伶反應(yīng)窄交鏈勝成難賓溶大椅分子認(rèn)而留鋪下，扇未曝績(jī)光部慶分溶蒙于顯侮影液膨而去差掉。引由此糖完成欠圖形喚復(fù)制困。本之次采孩用正妙光刻蜜膠。闖（鐮2拼）工何藝步立驟恰1)置脆準(zhǔn)備踐：躍A)載錄開前城烘，鴿堅(jiān)膜該烘箱誦，前懸烘溫全度設(shè)堡定巾95嶄℃致，堅(jiān)公膜溫京度為陸12慧0坐℃?zhèn)?。誕B)勢(shì)速涂膠李前騰15闊分鐘巴開啟哨圖膠暈凈化商臺(tái)，椅調(diào)整薄轉(zhuǎn)速渾，以矮滿足染生產(chǎn)辣要求攏。娃C)網(wǎng)勻光刻墻前權(quán)30術(shù)分鐘亂，開枯啟光揭刻機(jī)緞汞燈廊。貪D)領(lǐng)罷開啟駱腐蝕需恒溫芳槽，續(xù)溫度除設(shè)定假40愉℃是E)飲繁清洗撤膠瓶議和吸顫管，縱并倒乘好光蘋刻膠泊。勞F)奧賤清洗融掩膜法版（榆基區(qū)書光刻別掩膜蛙版）捉，并野在凈妙化臺(tái)句下吹稻干詞2)風(fēng)罪涂膠煌：彼光刻肝工藝促采用籃旋轉(zhuǎn)蛛涂膠阻法，肥涂膠濤前設(shè)丑定好孕予勻澤轉(zhuǎn)速命和時(shí)獄間，嗽甩干沸速度拐和時(shí)粒間。儉將氧調(diào)化完姓成或興擴(kuò)散粥完成定的硅清片放逐在涂描膠頭期上，嗽滴上決光刻箭膠進(jìn)作行涂蟲膠，伏要求度膠面拌均勻貝、無(wú)慮缺陷避、無(wú)展未涂燕區(qū)域鴨。寫3)資憶前烘狀將涂時(shí)好光雜刻膠忌的硅朵片放訊入前纖烘烘厚箱，喬并計(jì)準(zhǔn)時(shí)，軌前烘患完成勻后將把硅片溪取出喘，上4)炎徐對(duì)準(zhǔn)縣將掩筍膜版罩上在削光刻活機(jī)上爛，并譽(yù)進(jìn)行嚇圖形麻套準(zhǔn)惹。百5)殘團(tuán)曝光坊康翁士攻室鼓澇禿混版擾呼印寒副絡(luò)廈氏6)默瓶顯影褲此采仆用浸宇泡顯蠅影，央分別矩在皇1#夫顯影鑼液，吼2#點(diǎn)顯影攏液顯繁3-欠5種分鐘胃，然比后在逢定論皂充卷啞粗貪默族規(guī)截鄉(xiāng)體殲亭夢(mèng)躁浸版樓融7)褲鬧堅(jiān)膜焰在顯定影檢棵查合舍格后仁將硅范片放舌入堅(jiān)傭膜烘焰箱進(jìn)班行堅(jiān)矛膜，枝設(shè)定奔堅(jiān)膜鴿時(shí)間發(fā)。播8)仰數(shù)腐蝕訓(xùn)將堅(jiān)買膜好旁的硅夢(mèng)片準(zhǔn)意備腐蛾蝕，究首先白確認(rèn)誰(shuí)氧化啦層厚寺度，澡計(jì)算墾腐蝕冊(cè)時(shí)間形。然罰后進(jìn)居行腐遮蝕，伏腐蝕在后沖勁水度10孝分鐘肅，甩辜干后絨在顯織微鏡孩下檢要查是腹否腐郵蝕干筋凈，遙若未軌腐蝕口干凈揭繼續(xù)奸腐蝕野。疫9)故校去膠梨硅片間腐蝕之完成大后，綠在美3#滿液中珠將光鎮(zhèn)刻膠但去掉擱，并假?zèng)_洗累干凈侍，工娛藝結(jié)霧束。夢(mèng)7.縫6翅硼擴(kuò)碧散工絡(luò)藝但7.刮6.殼1覺原理叼擴(kuò)散帽是微鉤觀粒屋子的妄一種旨極為訊普遍會(huì)的熱薦運(yùn)動(dòng)工形式繭，各抬種分猾離器祖件和壤集成階電路涼制造膊中的波固態(tài)錫擴(kuò)散盟工藝煉簡(jiǎn)稱頑擴(kuò)散博，硼此擴(kuò)散傷工藝銜是將欺一定僑數(shù)量保的硼皮雜質(zhì)梁摻入刊到硅疼片晶繼體中偏，以瀉改變弓硅片葛原來另的電請(qǐng)學(xué)性姥質(zhì)。捧硼擴(kuò)猛散是喘屬于蕩替位放式擴(kuò)洗散，州采用篩預(yù)擴(kuò)派散和刊再擴(kuò)曉散兩濟(jì)個(gè)擴(kuò)橫散完購(gòu)成。社（康1策）預(yù)在擴(kuò)散欲硼雜壞質(zhì)濃偵度分嫂布方娛程為森：姨表示席恒定吊表面招濃度尸（雜鉤質(zhì)在來預(yù)擴(kuò)貢散溫眉度的飄固溶舊度）凍，色D茄1保為預(yù)幸擴(kuò)散鋼溫度償?shù)臄U(kuò)婦散系籍?dāng)?shù)，膊x宋表示呼由表妄面算請(qǐng)起的挨垂直取距離照（鮮cm胞）拴,綠他為序擴(kuò)散礎(chǔ)時(shí)間凝。此退分布袍為余麥誤差月分布出。跑（摸2?。┰傥?jǐn)U散毛（主危擴(kuò)散鋒）畫硼再偷擴(kuò)散取為有嘉限表詞面源鋪擴(kuò)散聞，雜援質(zhì)濃竊度分說布方晶程為庭：梨其中踩Q牲為擴(kuò)培散入大硅片寶雜質(zhì)拳總量丹：彼D答2聾為主顯擴(kuò)散表（再細(xì)分布份）溫然度的扣擴(kuò)散竟系數(shù)斜。雜日質(zhì)分板布為絞高斯窩分布席。泥7.尤6.次2派工藝夠步驟錢1)掏恐工藝蜜準(zhǔn)備炕A)煤惜開擴(kuò)是散爐掀，并棕將溫倉(cāng)度設(shè)胖定到壇75杏0-絹-8仰50夾℃址，開量氮?dú)馓斄髁繗?飾升縫/校分鐘鍋。毯B)涌象清洗闊源瓶夾，并芹倒好獵硼源跟（固身態(tài)源夢(mèng)，由阿氧化鼻硼與紙其他剛穩(wěn)定飲的氧貝化物道壓制齒而成碑）。助C)壓木開涂亮源凈同化臺(tái)死，并洲調(diào)整杯好涂立源轉(zhuǎn)準(zhǔn)速。性2)背滑硅片沙清洗哪：清她洗硅觸片（明見清業(yè)洗工楊藝）寨，將買清洗廈好的痛硅片覽甩干腳。改3)傭漏將清篩洗干瞎凈、踩甩干碧的硅棄片涂罵上硼昆源。背4)乳誕從石注英管滾中取類出石像英舟潤(rùn)，將揪硅片汪裝在抖石英淋舟上內(nèi)，并輩將石斜英舟扔推到俘恒溫箏區(qū)。肉調(diào)節(jié)鉛溫控款器，佳使溫驚度達(dá)塞到預(yù)汽擴(kuò)散類溫度仗，并春開始聲計(jì)時(shí)熱，時(shí)教間是次14耳99蛋秒（躲約菠25筒分鐘洪）。誘5)捕銷預(yù)擴(kuò)盲散完蹤成后爸，拉假出石犯英舟額，取淡出硅巨片，貼漂去訊硼硅若玻璃氏，沖株洗干馳凈后萬(wàn)，檢瓣測(cè)暴R役□邀值，里采用兵四探暈針法阻進(jìn)行平測(cè)量而：伶四探喇針法襯中探域針等愧間距親配置幼，有苦恒流堂源供艱給外娘側(cè)兩茶根探歡針一妻個(gè)小萄電流治I委，在憐內(nèi)部陵兩個(gè)征探針寶之間誠(chéng)可以怠測(cè)到錢電壓池V目，對(duì)攻于厚滲度遠(yuǎn)申小于姜直徑淡d腔的薄吳型半扯導(dǎo)體絮樣品活來說膠，電灘阻率垂可以炭由下跟式給艦出統(tǒng):釋式中規(guī)CF嶼為修暫正因及子，皇它與窗壁紙搶d/澆s震有關(guān)程，促s遠(yuǎn)為探蟲針間糟距，箱當(dāng)倘d/擔(dān)s>斷20戀時(shí)，資修正埋因子殼為蜻4.硬54狂。跌（軍6惕）將辱預(yù)擴(kuò)劣散硅偉片用續(xù)2#守液清敘洗，盯沖洗梅干凈臟甩干驚。技（慢7偷）取鋤出再絨擴(kuò)散斗石英錘舟，氏將甩灶干的邀硅片套裝入錦石英府舟，鎖并將糟石英昌舟推國(guó)到恒藏溫區(qū)夕。調(diào)胳節(jié)溫役控器跳，使幫溫度蹤達(dá)到芒再擴(kuò)糧散溫椒度拼12癢00繩℃允，調(diào)縫整氧巧氣流糟量芳3裁升加/占分鐘今，并寸開始愈計(jì)時(shí)慚，前辟面已擱算出嚼再擴(kuò)伶散時(shí)頸間題86奸05嗎秒（籌14唱3倘分鐘吉），盈同時(shí)挎根據(jù)鏟工藝渣條件辭先進(jìn)峰行干引氧氧煮化。勵(lì)（抽8板）調(diào)猜節(jié)氧泰氣調(diào)教整氧界氣流由量為現(xiàn)3羊升烈/錄分鐘椅，并屠開始停計(jì)時(shí)以，干覆氧時(shí)伸間是咳65車分鐘松。在仁開始存干氧樓同時(shí)創(chuàng)，將寄濕氧寶水壺執(zhí)加熱燒到唯95憶℃頑。猛（羞9班）干享氧完鑒成后餐，開殖氮?dú)馄沽髁拷┯?jì)，另按工促藝條書件調(diào)健節(jié)氮珠氣氧告氣比唐例，險(xiǎn)然后滲，開澆通源高閥，醫(yī)使通察源流極量達(dá)板到工遲藝要逝求，戚并開讀始計(jì)便時(shí)。悉（照10枕）干島氧完李成后惰，開袍濕氧翠流量刑計(jì)，志立即擋進(jìn)入綿濕氧貫化。予同時(shí)惑關(guān)閉祖干氧筋流量鐘計(jì)。斜根據(jù)蘿工藝教條件棉進(jìn)行販濕氧竄，濕喘氧時(shí)策間是前13政分鐘湯。著（揉11園）濕乘氧完錄成后鞏，開狼干氧珍流量誓計(jì)，才調(diào)整造氧氣吃流量黨3揉升侍/熔分鐘辜，并微根據(jù)蛙工藝驚條件辣確定丈干氧尋時(shí)間勿，干扶氧時(shí)速間是插65辟分鐘匙。衰（玉12補(bǔ)）干萬(wàn)氧完述成后茅，開競(jìng)氮?dú)馔枇髁啃庞?jì)，戶流量原3便升峰/源分鐘醉，根棉據(jù)工燃藝條隊(duì)件，拜確定泉氮?dú)馇皶r(shí)間莫。艇（樣13影）氮停氣完放成后君，再扭擴(kuò)散具結(jié)束青，調(diào)話整溫鑄控器曬降溫后，氮兼氣流卵量不希變，筐時(shí)間睡30象分鐘芒。值（竭14奔）降硬溫完曲成后粒，拉旬出石菜英舟小，取麻出硅妖片，獅檢測(cè)犁氧化足層厚倚度、摟均勻閘性，縮漂去途氧化螞層，殲沖洗角干凈失后，品檢測(cè)候R旗□搞值，沸結(jié)深邊，突β聾值。臘（泳15基）將漏擴(kuò)散班后的拌硅片帥交光舟刻工涂藝，蘋光刻踢完成威后，秩檢測(cè)橋擊穿精電壓盯、略β欠值。朱（奧16艘）根鹿據(jù)實(shí)勾測(cè)極β耳值，捧與工浮藝要軌求進(jìn)搞行比受較，快如果偉不滿伐足工箏藝條乞件，貧重新揪計(jì)算宅再擴(kuò)流散時(shí)朱間，灰并制焰定再裂擴(kuò)散孕工藝勵(lì)條件居，至洲到達(dá)熟到設(shè)將計(jì)要卡求。盯硼擴(kuò)冒散工棒藝結(jié)姜束。窩7.志7講第二倉(cāng)次光慰刻工彩藝（逢發(fā)射鋒區(qū)光劣刻）火此次幻除了丈光刻訴掩膜搞版外紛（這的次用拋發(fā)射鵲區(qū)光并刻掩艙膜版購(gòu)），山步驟卷與第阿一次兆光刻貨一樣懇，這鍛里就巨不再番列出室。毛7.悅8夾磷擴(kuò)金散工狠藝（露發(fā)射規(guī)區(qū)擴(kuò)碎散）窗7.甚8.膏1潛工藝趨原理是（想1靜）擴(kuò)偷散是環(huán)微觀慢粒子誤的一隙種極晉為普含遍的州熱運(yùn)子動(dòng)形廊式，萄各種底分離來器件幟和集閱成電車路制顫造中優(yōu)的固鍛態(tài)擴(kuò)甜散工瞎藝簡(jiǎn)鋼稱擴(kuò)董散，孝磷擴(kuò)廉散工許藝是悔將一輪定數(shù)治量的蕉磷雜鎮(zhèn)質(zhì)摻逆入到榮硅片蹤晶體莖中，滲以改未變硅悼片原川來的獵電學(xué)訓(xùn)性質(zhì)日。編磷擴(kuò)鋪散是京屬于歸替位旺式擴(kuò)剝散，梨采用平預(yù)擴(kuò)挽散和彼再擴(kuò)駁散兩欲步擴(kuò)細(xì)散法除，芹（遮2把）預(yù)游擴(kuò)散心磷雜袋質(zhì)濃劈度分匯布方日程為禍：弄表示貫恒定脖表面材濃度張（雜克質(zhì)在保預(yù)擴(kuò)保散溫披度的席固溶銷度）軍，慚D撫1群為預(yù)悲擴(kuò)散嚷溫度聯(lián)的擴(kuò)歇散系寫數(shù)，容x刊表示膨由表拆面算案起的繳垂直茅距離阻（絞cm賄）蕩,緣他為今擴(kuò)散趨時(shí)間砌。此庫(kù)分布轟為余廁誤差業(yè)分布目。獵（論3縣）再些擴(kuò)散竊（主切擴(kuò)散樣）嬌磷再壟擴(kuò)散遲為有紀(jì)限表寺面源肚擴(kuò)散價(jià)，雜蒜質(zhì)濃康度分憶布方霞程為博：末其中庫(kù)Q堡為擴(kuò)介散入攜硅片飛雜質(zhì)帳總量侄：綢D政2色為主曉擴(kuò)散密（再弦分布蘋）溫龍度的卡擴(kuò)散塘系數(shù)竊。雜較質(zhì)分練布為掩高斯匯分別鎖。促7.莊8.撈2霉工藝予步驟雜(簡(jiǎn)擴(kuò)散干的過藝程同質(zhì)時(shí)要芬進(jìn)行行發(fā)射董區(qū)的可氧化奪)偶（我1稀