“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”

國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”2023年項目指南為推動我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，提升我國集成電路制造裝備、工藝及材料技術的自主創(chuàng)新能力，充分調動國內力量為重大專項的有效實施發(fā)揮作用，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”根據(jù)實施方案和“十一五”實施計劃，安排一批項目在全國公開發(fā)布，通過競爭擇優(yōu)方式選擇優(yōu)勢單位承擔項目。項目申請范圍根據(jù)附件1列出的項目指南說明，進行項目申請，編制《項目申報書》。項目申報與組織方式由專項實施管理辦公室組織，通過教育部、工業(yè)與信息化部、中國科學院、國資委和各?。ㄊ校┛莆◤d、局）向所轄企業(yè)、直屬高校、科研院所發(fā)布指南，組織所轄單位編制項目申報材料，由各主管部門匯總后統(tǒng)一報送專項實施管理辦公室。專項實施管理辦公室對各部門（地方）申報項目進行匯總后，由專項總體組組織專家進行申請材料初審，篩選符合專項要求的優(yōu)勢單位提交專項辦公室，由專項辦公室組織評審委員會進行正式評審，擇優(yōu)委托主承擔單位，在專項總體組指導下組織產(chǎn)學研用聯(lián)盟承擔項目。項目申報單位基本要求在中國境內注冊的中資控股企業(yè)，注冊資本為申請國撥經(jīng)費的10%以上。具備獨立法人資格的科研院所和高校。同一單位本次主承擔項目原則上不超過2項。同一個人負責項目不能超過1項，參與項目不能超過2項。配套資金要求所有產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目需由地方政府或行業(yè)主管部門提供不少于中央財政經(jīng)費的配套資金。報送要求每個項目報送《項目申報書》紙質材料一式20份（具體要求見附件3）及電子版（光盤）1份，以及其它材料（見附件2）。斥聯(lián)系糟方式鍵聯(lián)系免人：尤張國割銘經(jīng)、高稻華東管、王料泓新聯(lián)系王糾：發(fā)01繡0－酒51波53意00歐51脆，強51刺53番00辣52賀，睛64去36落93狼98歡電子乓郵件云：芳zg濱m@巾se照ve宵ns唯ta妥r.寨co職m.釋cn磁通訊僚地址域：壇北京易市海狡淀區(qū)菜知春那路2某7號而（大儲運村攏）量強子芯串座集蹲成電域路設令計園癥40不3室晌郵認譯編休：民10象00加83淚截止侄時間火20票08蛙年采10海月么6尋日蠶17右：0盯0前族送達洪專項跌實施恭管理拐辦公姿室。件附件吸1股20叉09貧年到項目敞指南忠說明冒集成反電路頭裝備遞項目嬌任務保：喇65封nm暗P飼VD艦設備晶研發(fā)雖與應蔑用獵項目返編號暮：鈔20閱09燦ZX岔02瞞00宰1荷項目呈類別數(shù)：嶼產(chǎn)品匯開發(fā)怖與產(chǎn)貌業(yè)化突項目而目標土：棗研究絞開發(fā)咳面向輕65竄nm鞏極大貢規(guī)模釋集成敏電路危生產(chǎn)塘線償?shù)腜堤VD店設備鐮，取心得核溉心盲自主浙知識峰產(chǎn)權拒，滿舞足6惠5納鑰米主訴流工歌藝的歇相關菊參數(shù)騾要求蘿，壯性能瞎指標凱達到陽同類宴產(chǎn)品舍國際啟先進剛水平象，料并通依過追65祖納米環(huán)的大惰生產(chǎn)盼線的澆考核粗與用末戶認閥證，沫具備順產(chǎn)業(yè)?；鼙Ａ皨D市場才競爭騾力，董在倒65振nm喜集成套電路攔大生位產(chǎn)企骨業(yè)取夢得5軍臺以局上應夸用尺。東項目多承擔噸單位網(wǎng)要求獨：亞主承指擔單濁位要冊求是畜獨立食法人穿的集舌成電炸路裝倍備企虹業(yè)或執(zhí)企業(yè)業(yè)性質必的研削究所扶，組桐織產(chǎn)殼學研大用聯(lián)羨盟聯(lián)占合承驚擔項胃目?？佳邪l(fā)醒團隊下應有冬穩(wěn)定羞的隊姐伍并役有國肥際前醫(yī)沿技武術研取發(fā)能爆力，揪需要憂具備候知識總創(chuàng)新到能力色，具秘備礙產(chǎn)業(yè)供化能恭力和梨經(jīng)驗拍。津執(zhí)行發(fā)期限意：查20粒09抹－2括01卸2哲年越項目婚任務論：別65催nm尿互連目鍍銅水設備妖研發(fā)態(tài)與應歐用息項目比編號栗：跨20咐09原ZX閃02條00章2澡項目衰類別膽：公產(chǎn)品蛋開發(fā)桑與產(chǎn)班業(yè)化情項目回目標越：也研究裝開發(fā)千面向澆65甲nm損極大逆規(guī)模羞集成蠅電楚路則生產(chǎn)亭線幅的筑鍍銅較設備茅，取合得核離心的腸自主笛知識努產(chǎn)權乳，滿舅足灰65筋納米井主流練工藝福的相浸關參頂數(shù)要仆求，望性能鵝指標選達到殼同類拔產(chǎn)品挑國際煉先進兵水平索，冤通過薪65怎納米榆的大雷生產(chǎn)賴線考蹤核及魂用戶脹認證局，喪具備油產(chǎn)業(yè)鐘化能黎力及何市場連競爭吐力，荒在允65述nm價集成陣電路借大生怪產(chǎn)企彩業(yè)取豐得5命臺以績上應諸用。舊項目鉗承擔匯單位煤要求雜：厚主承每擔單逝位要辨求是箏獨立簽法人誕的集鴉成電碑路裝備備企加業(yè)或著企業(yè)剛性質條的研施究所班，組恨織產(chǎn)制學研辦用聯(lián)朽盟聯(lián)閑合承寨擔項塘目。迫研發(fā)夕團隊盲應有齊穩(wěn)定根的隊窮伍并著有國瀉際前盤沿技司術研呼發(fā)能值力，規(guī)需要醋具備讀知識禮創(chuàng)新贊能力減，具欠備一歉定的詳產(chǎn)業(yè)咱化能閱力和也經(jīng)驗釣。爆執(zhí)行耕期限寧：皺20傾09湯－2份01勤2年也項目特任務建：遠65廁nm晴快速脹熱退揚火粒設備榜研發(fā)啊與應塔用貴項目曬編號喘：屯20桂09災ZX全02猴00釋3鳴項目距類別歪：婚產(chǎn)品踢開發(fā)蘇與產(chǎn)民業(yè)化疊項目際目標鄭：騰研究遼開發(fā)沃面向獻65友nm胖／講30瓜0m乞m赴集成父電路些生產(chǎn)樓線的眼快速胡熱退順火設軍備，圖取得娘核心壽的自企主知磚識產(chǎn)密權，因滿足易65灰納米秩主流冰工藝膽的相勢關參些數(shù)要掃求，飄性能宇指標蚊達到敗同類能產(chǎn)品兵國際駝先進球水平請，澡通過稻65侄納米潤的大庭生產(chǎn)德線的際考核暈與用貝戶認新證，蹲具備切產(chǎn)業(yè)我化能翅力及種市場胃競爭篇力，動在厘65忙nm鼓集成滅電路潮大生箏產(chǎn)企雪業(yè)取督得闊3乞臺以戶上應洞用另。段項目讓承擔寧單位霞要求怪：責主承碧擔單且位要晃求是垃獨立煎法人墻的集亦成電正路裝扔備企下業(yè)或相企業(yè)筐性質修的研俱究所膽，并傷組織童產(chǎn)學基研聯(lián)承盟聯(lián)首合承起擔項部目。俯執(zhí)行銜期限越：譽20超09起－2剖01蒙2年議項目最任務稿：很90癢－這65獅nm番勻津膠顯安影貝設備已研發(fā)友與應慰用封項目奴編號我：麻20善09雀ZX北02瓣00媽4反項目僚類別邀：料產(chǎn)品扇開發(fā)偏與產(chǎn)株業(yè)化肆項目些目標炮：苗研究厲開發(fā)慈90護－時65濤nm愁極大蹄規(guī)模挪集成憂電路肯制造目用勻昆膠顯君影設虎備腎，取些得核洲心的新自主僻知識換產(chǎn)權戴，滿汗足磨90革－粉65泛納米牢主流廚工藝發(fā)的相拐關參滔數(shù)要軟求，筍性能妥指標衣達到兩同類桂產(chǎn)品謙國際腥先進姜水平環(huán)，駛通過夏大生攤產(chǎn)線圖考核贏和用漂戶認媽證菜，撿具備城產(chǎn)業(yè)寇化能輔力及蟲市場曉競爭崗力，存在鋪65四nm室集成泳電路沉大生罩產(chǎn)企錯業(yè)取進得掙3奮臺以麗上應娃用。叮項目芹承擔炕單位座要求淚：筐主承袖擔單巨位要既求是岔獨立作法人額的集童成電矮路裝杠備企雞業(yè)或耀企業(yè)繪性質望的研按究所沫，并蛾組織榴產(chǎn)學礦研用濤聯(lián)盟碧聯(lián)合塞承擔要項目寺。挪執(zhí)行腥期限定：仍20租09今－2涉01召2年義項目翼任務辣：涂6拘5n兩m清于洗及愁化學眨處理伙設備廣開發(fā)烤與產(chǎn)趙業(yè)化侵項目白編號暑：仗20張09號ZX岔02巖00呆5萄項目最類別宏：遇產(chǎn)品基開發(fā)漏與產(chǎn)義業(yè)化比項目欄目標除：鬧研究貍開發(fā)名65掘nm墊極大帥規(guī)?？h集成泰電路批生產(chǎn)衫線清暮洗及很化學隸處理猜系列茫設備省，屯取得話自主彎創(chuàng)新機突破騾，滿卻足鏡65夫納米什主流藍工藝耽的相濤關參仍數(shù)要盛求，僑性能冠指標紀達到逐同類能產(chǎn)品冒國際右先進餓水平慢，暢通過句大生幸產(chǎn)線粗考核爛與用散戶認快證，零具備功產(chǎn)業(yè)兩化能點力及懶市場史競爭挽力，扇在蟲65北nm它集成男電路頂大生肺產(chǎn)企貫業(yè)取畫得5騰臺以霉上應增用。隙項目虎承擔怖單位俘要求淚：虹主承鈔擔單踩位要脆求是雪獨立創(chuàng)法人趟的集井成電哨路裝哨備企親業(yè)或窗企業(yè)糊性質爸的研餃究所娃，并謊組織吩產(chǎn)學久研用卸聯(lián)盟格聯(lián)合陜承擔忘項目躍。反執(zhí)行惜期限崖：咬20冤09忽－2魯01奇2年特項目埋任務另：賺集成麗電路飲生產(chǎn)閉全自戚動概光學任測量告設備潑研發(fā)步與應碗用繁項目慶編號撤：量20驚09炊ZX婚02命00胡6靈項目翼類別黃：遠產(chǎn)品嫌開發(fā)煤與產(chǎn)慮業(yè)化床項目伯目標少：側開發(fā)肺90舌－6寧5n蔥m集玻成電抄路生付產(chǎn)線縮用全榮自動砍光學威測量濫設備騙，滿床足膜服厚、澡線寬押、圖冒形形狼貌等貍工藝議測量鴿要求今，取涉得自山主創(chuàng)悔新突竭破，紐滿足射90滲－枯65之納米材主流皮工藝蛾的相籃關參講數(shù)要川求，潤性能財指標昌達到筒同類別產(chǎn)品勒國際句先進震水平靠，目通過璃生產(chǎn)個線考季核與康用戶飯認證返，具鉤備產(chǎn)身業(yè)化西能力初及市硬場競他爭力背，在掙集成隱電路野生產(chǎn)先線獲怠得5搏臺以剩上應典用。坊項目偷承擔扭單位驗要求啟：覆主承院擔單英位要伴求是眠獨立速法人遠的企基業(yè)決、科倍研院悉所和野高校首，并旁組織拾產(chǎn)學撒研用局聯(lián)盟嚇聯(lián)合柴承擔腫項目健。導執(zhí)行佳期限慮：痕20枕09騰－2誘01芬2年殊項目凱任務還：算CD御-S衛(wèi)EM瞞工藝退檢測百技術紫與設較備研救究汽項目距編號輛：民20惠09素ZX糧02仙00利7塑項目袋類別旦：孤產(chǎn)品版開發(fā)略與產(chǎn)坡業(yè)化肌項目拘目標底：抽突破揭超精辛密快冬速掃肚描、廁高速麗圖像余采集族與處世理技扛術，豆完成覽檢測躍線寬視達到舅90和－6靜5n請m的糧CD躬-S險EM攔樣機澇研制列，熟取得場自主墓創(chuàng)新垮突破物，肌通過洋生產(chǎn)欣線考犁核與殘用戶晶認證稱，具鞭備產(chǎn)藏業(yè)化吩能力亞及市薪場競興爭力慘。射項目旬承擔臟單位立要求定：師主承呆擔單隆位要質求是臉獨立倦法人北的企核業(yè)、杜科研輪院所高和高陜校曠，并獲組織召產(chǎn)學層研聯(lián)饒盟聯(lián)妥合承墨擔項圣目。埋執(zhí)行芽期限杏：怒20和09毛－2檢01棒2年隨項目與任務遭：閃射頻部與暗數(shù)流模昌混合泊信號謹集成傾電路泥測試掌系統(tǒng)適開發(fā)門項目禍編號充：肉20絡09備ZX姥02貴00訪8暗項目憲類別誠：度產(chǎn)品腹開發(fā)甩與產(chǎn)抬業(yè)化餡項目啄目標孔：糕面向蔑大規(guī)秋模集刪成電富路產(chǎn)蜓品，姻開發(fā)扯射頻夢、皂數(shù)模技混合磁信號指集成返電路撇測試請系統(tǒng)態(tài)設備噴，滿聾足大裁規(guī)模露測試奴生產(chǎn)滴線的遙需求門，聞取得電自主落創(chuàng)新商突破兔，龍性能展指標仿達到箏國際給同類鬼產(chǎn)品云先進倚水平我，通逆過大柱測試室線考鈔核與傻用戶非認證眨，訊具備壇產(chǎn)業(yè)閑化能叢力及害市場老競爭炒力督。府項目粗承擔排單位序要求報：閣主承檢擔單鵝位要欄求是縣獨立委法人補的集夏成電呼路裝猶備企柿業(yè)闊、科培研院室所和偵高校聰，并樹組織柱產(chǎn)學樣研用機聯(lián)盟追聯(lián)合昌承擔含項目倉。忍執(zhí)行北期限梁：遵20打09寨－2西01元2年責項目慘任務要：藍先進列封裝泊設備培項目垃編號百：干20金09薄ZX雷02屑00拐9狀項目渣類別捆：勵產(chǎn)品免開發(fā)厚與產(chǎn)掘業(yè)化仆項目怠目標零：鳳面向恭高密菊度封戲裝生偽產(chǎn)線飛需求輪，研遇究開花發(fā)高喝精度磨倒裝哭芯片恰鍵合需機、澡先進收封裝淋光刻絞機、堵涂膠壯顯影逆機、師濺射葉臺、鑄凸點諒刻蝕出機、吵硅片可清洗舊機等昏高端據(jù)封裝剪設備題，技沉術參協(xié)數(shù)和啞工藝俊性能勉滿足梯封裝哨規(guī)模別化生墊產(chǎn)線戚要求住，產(chǎn)著品通局過大紗生產(chǎn)昌線工魂藝驗僑證和重產(chǎn)品略考核椅，性狠能指休標達問到同方類產(chǎn)異品國崇際先蓄進水候平，晌具備吳產(chǎn)業(yè)穩(wěn)化能刊力和悠市場譽競爭嫂力?？隧椖裤暢袚@單位仰要求毀：綿主承虎擔單悼位要扶求是適獨立妖法人搭的企百業(yè)或顆企業(yè)卡性質榨的研賀究所閉，組辣織貍產(chǎn)學陽研用必聯(lián)盟落聯(lián)合詞承擔寧項目豐。疼執(zhí)行倒期限悔：代20皇09奶－2皆01撞2年猶項目罪任務剝：倘成套反封裝薯設備棗與材稅料戲生產(chǎn)濫示范疾線工突程床項目馳編號刑：窗20嘆09脹ZX奏02車01樂0偽項目聽類別遣：尺產(chǎn)品衛(wèi)開發(fā)嫩與產(chǎn)存業(yè)化什項目纖目標著：借面向博先進紐封裝廣生產(chǎn)捐線開對設擱備與妥材料謹?shù)脑叫枨蟾?，組由大田型封上裝生鹿產(chǎn)企析業(yè)建織立成猴套糊設備燦與材登料生墳產(chǎn)參示范賴線，跪集成局高倍悔顯微季鏡、煤磨片架前貼條膜機氧、減告薄機污、接離觸式托測厚棟儀、遙自動治揭膜燒機、虜CO淚2氣擺泡發(fā)屆生器顛、W游af仰er洲M末ou吧nt夜、劃辨片機遞、自柱動晶跨園清每洗機腹、導喜電膠灘攪拌霞機、懇裝片場機、通無氧嬸化烘安箱、洲等離坐子清圍洗機憲、鍵蛛合機哥、金童絲拉鋪力儀倚、自渠動塑盒封壓界機拖/漿模具蔥、X溝-R取ay段檢測捐、責潔凈砌固烤曲爐施、細自動閉磨膠嗽機介、悠激光扮打印余機匆、壓自動范切筋淹機鉆、笑自動巷成型碑機繞、猾高速嶄自動括電鍍喇線糕、雞鍍層項測厚筑儀答、倦切割纖前貼漆膜機護、鍋切割仔機辣、當投影鋸儀檢、沿UV鳴照射怖機恨、吵裝管憐機欲、互條帶榨測試而編帶薦機鬧、選測試坐分選袋機所、油測試廢主機快、法包裝芝機夏等設忘備查組成估生產(chǎn)殘示范域線番。翅組織些封裝錘材料劍供應奇商死研究概開發(fā)背綠色謀環(huán)保霞型環(huán)盲氧封牙裝料茄及液架體環(huán)印氧封百裝材連料、匆高可盒靠封興料、奸底填顫料、舍導電校漿料激及導采電膠諷、高嬌密度霜及異畫型引懸線框患架、肚低成擱本銅枯鍵合是絲、坊超細朽低弧化高強懶度鍵逐合絲刑、脫管模劑甲、藍伐膜、恩無鉛家焊料眉與焊樓球、脫聚酰脊亞胺桌光敏脂樹脂浙及厚逃膜光從刻膠臘、熱汁管理槳(T肢IM寺)材查料、索基板掩材料扒等產(chǎn)壘品，槳在警生產(chǎn)訓示范鎮(zhèn)線蒸上進跟行認械證和尚應用割示范野。沫示范友所集晨成趴的毛設備憶與研萌發(fā)的度材料校技術償參數(shù)紛和性殲能滿垮足封濾裝規(guī)依?；躺a(chǎn)傻線縮要求體，通爐過用磁戶考豪核和襲合格捐供應俯商認狀證固，具紗備產(chǎn)剪業(yè)化診能力騰及市酸場競舍爭力麻。前項目剝承擔雹單位早要求還：阿主承倒擔單塊位要崇求是危獨立鈴法人師的良大型勒封裝贈生產(chǎn)掌企業(yè)倚，育在專嗓項樹總體墾組番指導汽下，猾組織泳招標戶，陽組織惑產(chǎn)學忽研用翠聯(lián)盟紀聯(lián)合鑄承擔鍋項目殘。笨執(zhí)行火期限璃：鵲20病09色－2克01潮1綢年，織20賤10闊年底乳前雀完成翅設備梯和材撕料率示范榮線考桌核榮。想項目用任務評：笑國產(chǎn)暴30役0m堡m痰硅殺材料會成套杠加工瓦設備孫示范扇線工危程老項目奉編號璃：蹈20膚09匆ZX弱02宴01孤1沙項目鴨類別芝：肥產(chǎn)品我開發(fā)撤與產(chǎn)粘業(yè)化首項目突目標擦：齒面向噴90放-6烏5登nm蜂極大烈規(guī)模肥集成隱電路洪用硅賭單晶稈及拋罵光片暈制備酸技術屋需求瞇，研圍究開花發(fā)單井晶爐真、線幫截斷辦機、藏多線堡切割洽機、檔倒角軟機、僅磨片剖機、借拋光練機治（C羊MP蓮）飛、清只洗機撤(包團括C饑DS息)、質全自王動檢舍測分螞選裝蠅置原等關懼鍵設碼備，亦技術躺參數(shù)盞和工囑藝性瞎能滿合足硅饅片規(guī)篩?；a(chǎn)霸要求瓣，凝性能赤指標堪達到蔥同類誓產(chǎn)品閑國際災先進布水平虎，住在脫30調0毫筑米州硅片籃企業(yè)懼建立垂成套暖示范戰(zhàn)線，傅通過剃用戶絞考核素和合短格供肅應商炸認證梨，具懸備產(chǎn)每業(yè)化敲能力序及市稅場競債爭力靠。睜項目逮承擔浮單位鋸要求叫：爹主承仍擔單虛位要膨求是冬獨立活法人助的企溪業(yè)或暖企業(yè)蚊性質噴的研桃究所拖，并秋組織討產(chǎn)學心研用全聯(lián)盟攀聯(lián)合匠承擔者項目橫。評執(zhí)行爽期限蝦：桌20兄09皂－2樣01堪1培年弦關鍵經(jīng)部件鍛與怪核心采技術忘項目版任務梯：賴潔凈鋒與直撞驅型與真空翼機械原手及各硅片扶傳輸綱系統(tǒng)伴研制畫項目佳編號磚：勵20雖09掛ZX酬02濫01俗2賊項目名類別鞏：陰產(chǎn)品俗開發(fā)認與產(chǎn)嫌業(yè)化簽項目諸目標折：宣面向詳國內戒大規(guī)址模集哀成電壩路制垮造整貢機裝估備對綱20錘0－介30鏡0m久m劑硅片霧輸送慈自動調化部岡件的偏需求慕，掌搖握真聲空機捏械手骨、大燈氣機蔑械手沖和E貨FE吐M的辭工程確設計卸和批州量制斧造技逢術，綢形成眨面向誠刻蝕猜機、糠CV桂D、售PV丈D、羨CM聞P和漁鍍銅撞等整刺機設糞備配碗套的變EF陷EM先系列單化產(chǎn)蠅品，方研制薪出性探能穩(wěn)辣定可縮靠的參硅片跌輸送雕設備武，嶄性能盞指標偏達到蝶同類望產(chǎn)品聾國際替先進幻水平累，暗并實攏現(xiàn)產(chǎn)蔥品化畝應用客及產(chǎn)各業(yè)動化蓬。襲項目竟承擔件單位舅要求損：障主承拾擔單違位要供求是束獨立廉法人撿的企情業(yè)或營企業(yè)妥性質誰的研概究所朝，并每組織內產(chǎn)學繞研用互聯(lián)盟血聯(lián)合胡承擔銜項目勉。帆執(zhí)行認期限副：青20賠09幟－2猶01調2年趨項目帝任務?。赫T用于飼超炮凈徐環(huán)境川的硅宗片傳衡輸機材械手怪研發(fā)名與應優(yōu)用游項目旗編號磨：墳20山09兆ZX燈02武01疾3贊項目廉類別綠：騰產(chǎn)品范開發(fā)姐與產(chǎn)啟業(yè)化易項目屢目標過：翼針對舌我國楚IC掩裝備賣的用腹戶需梯求，棉掌握扯超潔斯凈環(huán)妄境下渡的辰20亦0－衡30鎮(zhèn)0m壺m謠硅片院傳輸獵機器曠人的差工程瓶設計賠與批寺量制述造技志術，創(chuàng)研制滋性能黃穩(wěn)定曲可靠倒的硅氏片傳餓輸機滔械手亦，珠性能租指標香達到反同類冶產(chǎn)品奏國際掌先進變水平寸，思并實鬧現(xiàn)產(chǎn)翅品化客應用技及產(chǎn)慰業(yè)化既。冒項目鳳承擔趴單位佳要求玻：批主承府擔單得位要婦求獨賊立法中人的煩企業(yè)牲或企除業(yè)性字質的岔研究滲所，如并組典織產(chǎn)書學研制聯(lián)盟版聯(lián)合僑承擔應項目炊。愁執(zhí)行圣期限濁：怎20察09持－2爆01英2年轎項目騾任務廳：澡干泵胃與多系列程真空罷閥門橋產(chǎn)品詞開發(fā)撓與產(chǎn)盡業(yè)化狼項目癢編號含：瞞20秀09益ZX營02刻01早4撲項目中類別滿：抵產(chǎn)品賭開發(fā)互與產(chǎn)弊業(yè)化貿(mào)項目易目標固：更研究碧開發(fā)貼極大汁規(guī)模胃集成疤電路弄裝備博用干船泵及勇系列必真空散閥門野，伶性能秋指標沿達到島同類崗產(chǎn)品斧國際身先進渾水平授，紫通過改整機豪用戶苦的考棟核與澆采購奔認證南，具章備產(chǎn)坑業(yè)化撇能力頓及市開場競商爭力形，獲識得5祥00平臺/竟套以私上的體應用磁。善項目搏承擔熄單位垃要求哲：館主承齊擔單奴位要而求是微獨立績法人助的真遺空設開備制學造企菊業(yè)或哄企業(yè)您性質損的研芝究所款，組閃織產(chǎn)栽學研碑用聯(lián)龜盟聯(lián)據(jù)合承牽擔項糧目。銳執(zhí)行暢期限雹：殿20慶09革－2錦01箏2年就項目痕任務勿：帆磁浮參分子礦泵系娛列產(chǎn)死品開享發(fā)與殼產(chǎn)業(yè)售化符項目刻編號扭：覽20冒09袍ZX控02叮01雙5蕉項目角類別笨：膊產(chǎn)品趟開發(fā)加與產(chǎn)廊業(yè)化網(wǎng)項目毅目標胸：琴研究袋開發(fā)必極大粉規(guī)模鐵集成碌電路下裝備丈用行磁浮食分子木泵系關列產(chǎn)飽品，券性能隸指標耐達到言同類鉆產(chǎn)品布國際唐先進覽水平捷，躍通過贈整機壩用戶機的考梁核與悲采購訊認證夏，叛具備惡產(chǎn)業(yè)慚化揭能力柿及市慘場競圖爭力豐，歸獲得批超過引2釋00盞臺憲的擴應用曠。歌項目糟承擔碎單位振要求姿：罪主承廈擔單漢位要承求是刃獨立賀法人泰的專依業(yè)生引產(chǎn)真其空設滔備的渠企業(yè)省或企劃業(yè)性誠質的腎研究籌所，溫并組嗎織友產(chǎn)學循研用姜聯(lián)盟蜘聯(lián)合懲承擔味項目哥。跳執(zhí)行促期限羞：弊20鄉(xiāng)09裳－2陶01富2年振項目致任務卷：財集成啦電路脅裝備麥20滾0－列30象0m樣m酒SM序IF弱系統(tǒng)跳研發(fā)舌與應埋用糊項目謙編號棄：樹20尿09瓶ZX奪02籠01疑6糞項目利類別禽：帶產(chǎn)品搶開發(fā)渠與產(chǎn)貿(mào)業(yè)化眨項目舞目標逮：里研究臭開發(fā)輝極大榜規(guī)模科集成竭電路位裝備逼20塊0－模30鞭0m甚m美SM綁IF橡系統(tǒng)且產(chǎn)品接，狹取得遍核心劃自主奉知識童產(chǎn)權轎，夢通過猶整機桿用戶帖的考膊核與燥采購巷認證拉，龜具備根產(chǎn)業(yè)技化晃能力悅及市祥場競受爭力剛，媽獲得荒超過光5態(tài)00捧套泥的應賠用充。濱項目味承擔章單位姐要求袖：買主承芽擔單泡位要應求是成獨立接法人化的集距成電逗路裝桶備企涼業(yè)或固企業(yè)驢性質普的研亭究所叫，并籠組織灑產(chǎn)學橫研用鴉聯(lián)盟拌聯(lián)合湖承擔三項目醬。噸執(zhí)行培期限債：稈20址09勇－2橋01薄2年紅項目拋任務摸：撿集成蔬電路踩生產(chǎn)晚線糞自動飲化調榨度控都制軟儀件技航術害項目脂編號摟：哪20諷09廈ZX古02羽01慕7豪項目召類別策：沖關鍵扯技術升研究管項目訂目標余：樓面向駱極大漁規(guī)模禁集成憲電路思制造慘大生漠產(chǎn)線圣的自悉動化冬及高腿產(ch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業(yè)，嗽并組表織賣產(chǎn)學佳研用馬聯(lián)盟準聯(lián)合摸承擔柳項目得。耐執(zhí)行設期限熱：發(fā)20拿09思－2用01腎1年嬌。瞎項目揀任務始：殖極大季規(guī)模城集成倍電路暑生產(chǎn)籮測試稈技術捧項目節(jié)編號身：猶20幕09柄ZX伙02畢02厚7射項目需類別且：憲成套勝工藝砍開發(fā)癥項目吸目標翁：珠研究怨開發(fā)匙極大忠規(guī)模魔集成暖電路隙大生蠻產(chǎn)測踏試（夠包括煎中測介與成帖測）弄技術束，取數(shù)得自忽主知仗識產(chǎn)平權，據(jù)并通爭過大牌規(guī)模及測試享線考耐核驗藝證，抓為5后－1腐0種終自主呢設計猴的鍋相關勒產(chǎn)品槐提供言測試袍服務叮。揀項目寫承擔畏單位逢要求貌：維主承坡?lián)鷨谓灰笫遣濯毩ⅫS法人洞的企強業(yè)或忽企業(yè)知性質蘿研究茫所，弟并組罷織產(chǎn)還學研斗用聯(lián)菠盟聯(lián)閥合承猛擔項敬目。珍執(zhí)行惱期限祝：吧20修09蘿－2它01廳1碼年家關鍵縱材料耍項目區(qū)任務枯：欄20徹0m飲m乘外延垮片產(chǎn)圾品開肉發(fā)與宮產(chǎn)業(yè)例化告項目同編號累：肺20局09靜ZX盼02遮0冤28暴項目顧類別侮：擾產(chǎn)品崖開發(fā)憑與產(chǎn)宜業(yè)化梯項目估目標口：念研究內開發(fā)尾滿足命0.究13幻-0范.2撓5息μ巴m掩生產(chǎn)票需求哲的冊20膊0m滋m書外延浙片產(chǎn)夜品，貿(mào)通過喜大生爪產(chǎn)線雄考核忽與玉用戶犯認證沫，融具備染產(chǎn)業(yè)效化助能力倘及市啊場競效爭力然，拖在衛(wèi)主流賽集成嘉電路政制造舟企業(yè)踢獲得法1偽.5臉萬片朱/月圍、穩(wěn)雨定供五貨1蛋2個珍月以繪上的責應用楚，簽料訂長撫期合昌同攏。拆鼓勵買使用待國產(chǎn)侮襯底郊拋光友片，護比例泡不少肆于5懲0％垮。唐項目叢承擔已單位關要求漆：群主承未擔單夠位要忽求是產(chǎn)獨立蜂法人作的集從成電涂路材污料企岸業(yè)，侄并組柜織代產(chǎn)學吃研用漆聯(lián)盟文聯(lián)合護承擔遇項目拔。爽執(zhí)行釘期限綢：害20謀09儀－2掩01鏈0棗年我項目低任務教：態(tài)20鈴0m限m延拋光跪片秩產(chǎn)業(yè)徹化技直術腎項目譜編號浪：閱20扛09俊ZX比02衛(wèi)0驗29雨項目頓類別澤：樸產(chǎn)品辜研發(fā)百與產(chǎn)隱業(yè)化珠項目摟目標粥：哀研究榴開發(fā)辯8英房寸沈硅單誰晶浮晶體推生長口、拋那光片駝制備牲、冊分析院檢測丈等丹量產(chǎn)申技術朽，臉生產(chǎn)沾線保具有暈連續(xù)票穩(wěn)定脈運行卵的能勞力捕，通肚過國巷內主懷流廳8英戀寸舟集成訂電路阻生產(chǎn)四企業(yè)過的合娃格供遙應商寧評估談認證床，產(chǎn)港品通結過用打戶考饑核評婦估，兄各項耗技術砍指標罰達到峽0.奸25慢-0溜.1循3寸微米永集成燕電路劉要求摟，垃在主箱流集愉成電謀路制儉造企原業(yè)獲診得4癥萬片栽/月餃、穩(wěn)蠶定供積貨1管2個妻月以育上的居應用虛，簽倘訂長園期合沿同。笑項目塔承擔忘單位焰要求好：娘主承蝶擔單慘位要田求是且獨立盼法人騎的半迫導體位硅材落料制蘇備企蒸業(yè)，賀并組裝織產(chǎn)慰學研將聯(lián)盟良聯(lián)合義承擔異項目柏。華執(zhí)行皺期限酒：叼20棋09煉－2塘01賽1滔年慧項目前任務完：狗90慎－6聯(lián)5n直m集路成電讀路關芒鍵拋牛光材崖料研見究與籌產(chǎn)業(yè)談化郵項目摘編號途：敗20處09傻ZX款02濕03溪0嚇項目旦類別太：慰產(chǎn)品友開發(fā)透與產(chǎn)繡業(yè)化帳項目筆目標倉：誠研究用開發(fā)嶺90然-6協(xié)5納育米集丑成電筆路化與學機故械拋貪光用沾拋光亞液制化備技失術，尺開發(fā)烏年產(chǎn)研萬噸藍級規(guī)易模奏生東產(chǎn)技騎術，期產(chǎn)品膠通過針用戶緩考核夢且犯通過隸2家瓦以上殖集成薪電路斤大喊生產(chǎn)洽企業(yè)琴的合押格供撤應商愛認證截，怕實現(xiàn)氧批量塊穩(wěn)定槐供貨逃，在促國內抵化學久機械尊拋光梨用拋侍光液幣的市索場占白有率抄超過胳30芝%。咱項目房承擔耽單位淺要求泰：模主承逮擔單拼位要啦求是妥獨立貼法人堤的拋姥光液雕材料活企業(yè)研，并生組織照產(chǎn)學園研用顯聯(lián)盟責聯(lián)合毫承擔宏項目述。清執(zhí)行脹期限悟：被20波09鋪－2執(zhí)01革0準年削項目覆任務識：洪濺射錦靶材匪與電裁鍍液抱產(chǎn)業(yè)嬸化技鞏術開圓發(fā)壓項目賓編號烘：涌20勇09閱ZX膠02待03座1云項目繼類別嗚：盟產(chǎn)品嬸開發(fā)絮與產(chǎn)風業(yè)化誰項目踩目標軍：習研究娘開發(fā)乒超高閥純大反尺寸蝦靶材防與電異鍍液肯制備挎成套蛙關鍵叔技術魚，完鉤成鋁埋及刪鋁畜合金莫、純鈦躬、蠢鉭淺、動銅等析靶材嗓與電聯(lián)鍍液嗽產(chǎn)品釋開發(fā)旅，靶紀材滿祖足9淺0n魄m－危65率集成衛(wèi)電路外前道顯工藝嘴與封飯裝要氏求，冶電鍍皆液滿萄足6從5頓－4陣5候nm咸集成績電路客銅互叢連布工藝簽要求嶺，蛋產(chǎn)品萄通過亂生產(chǎn)耀線考刃核，密且男通過虹集成傍電路在大屢生產(chǎn)撒企業(yè)根合格議供應止商少認證興，陷具備斧量產(chǎn)胞能力帖和市仿場競稀爭力礎，可跨實現(xiàn)最批量難穩(wěn)定本生產(chǎn)托。鼓項目它承擔圓單位挨要求植：吹主承拾擔單魯位要善求是變獨立顏法人孤的生閑產(chǎn)企幻業(yè)，捉并組唱織笛產(chǎn)學該研用副聯(lián)盟疾聯(lián)合臺承擔述項目說。銹執(zhí)行肢期限拾：齊20國09湊－2拴01息0按年仙項目戀任務慰：雅超凈瘦高純傳試劑妖產(chǎn)品互開發(fā)離和產(chǎn)襪業(yè)化桿項目英編號營：遞20狡09擱ZX境02沒03碗2冤項目哪類別趙：幻產(chǎn)品爬開發(fā)泡與產(chǎn)超業(yè)化慌項目匆目標瞞：修研究暴開發(fā)諒20潔0－蠟30夏0m衣m輛集成煮電路慚生產(chǎn)顯線占用引超凈慕高純掀試劑副（有錢機/者無機偽）頁產(chǎn)品遭成套纖技術說與春系列致產(chǎn)品純，售完成朗原材創(chuàng)料、沈包裝米容器亡品質毒提升秤與供蓋應體結系建卵設棄，通渾過酸生產(chǎn)鋼線舒考核辱與用恐戶汽認證盲，傾具備批產(chǎn)業(yè)疏化窄能力叮及市豪場競緣爭力派，素能勵對2餅－3凳家大筐生產(chǎn)欄企業(yè)狹長期誰穩(wěn)定閥供貨岸，招支撐頸國內昨市場難綜合朽占有剃率超呼過掘2針0％尸。過項目哪承擔點單位亭要求奏：惱主承鳴擔單姥位要猾求是跨獨立挽法人娛的企抄業(yè)或禍企業(yè)賢性質慎的研肺究所友，并緣組織喉產(chǎn)學綱研用秒聯(lián)盟閉聯(lián)合牲承擔敞項目婆。損執(zhí)行幸期限牛：躺20啦09套－2搭01打0膚年游項目蠻任務景：肺高純您電子射氣體島與液滲態(tài)源錄產(chǎn)品泉開發(fā)壽與產(chǎn)策業(yè)化紡項目譯編號章：閘20陵09旦ZX瓜02搖03距3兄項目竟類別賺：羅產(chǎn)品票開發(fā)夫與產(chǎn)飲業(yè)化州項目擁目標彼：育研究尸開發(fā)依20粉0－蜘30波0m前m呀集成世電路仆生產(chǎn)肯線吐用慮高純舍電子遞工藝較氣體岔與眼低k船介質顫等巧有機淚液狡態(tài)源勤產(chǎn)品啦，通間過生恒產(chǎn)線濃考核腔與用巴戶賭認證關，恒具備傭產(chǎn)業(yè)歷化遲能力統(tǒng)及市止場競怨爭力陵，違能繡對2良－3漲家大懇生產(chǎn)協(xié)企業(yè)移長期榜穩(wěn)定叨供貨鏈，炊支持偵國內稈市場蒙綜合涼占有姓率超現(xiàn)過漏2理0％玻。恥項目贏承擔繩單位渣要求飽：朗主承兼擔單濤位要潛求是綠獨立銹法人鞋的企走業(yè)或敵研究毀所，蟲并組筑織弦產(chǎn)學細研用往聯(lián)盟墾聯(lián)合糕承擔奔項目趕。接執(zhí)行山期限便：嘩20以09忠－2共01勺2年您項目似任務工：市高可秩靠陶舞瓷管匠殼產(chǎn)恒品開劇發(fā)油項目錦編號對：歪20驢09戀ZX闖02糧03津4味項目鋒類別虎：膀產(chǎn)品籠開發(fā)寇與產(chǎn)凱業(yè)化丹項目揭目標蛇：陳研究噸開發(fā)壽高可國靠瓜集成悼電路絕封裝壇用載陶瓷招管殼污系列獸產(chǎn)品劈，亂達到厭同類龍產(chǎn)品慶國際縣先進諸水平救，騾通過鎖生產(chǎn)碑線考初核及陵用戶促認證瓶，具退備果產(chǎn)業(yè)愧化弱能力波及市穿場競舞爭力蜂，支燒持市蘋場占凱有率厲超過別20恢％炒。意項目霞承擔光單位妥要求歐：報主承蜓擔單題位要息求是亭獨立每法人污的企闊業(yè)或索企業(yè)竄性質柱的研墾究所蜜，并戶組織私產(chǎn)學赤研用寫聯(lián)盟答聯(lián)合六承擔爪項目挺。稱執(zhí)行鼻期限更：侵20候09丘－2抹01法2年王前瞻百性研蛛究聰項目眾任務皂：華32偏nm寇井新型貧存儲過器關峽鍵工密藝解吸決方攏案童項目靜編號欺：匆20猴09潮ZX密02堵03豬5兇項目拍類別毅：慢前瞻程性研壇究誼項目虹目標統(tǒng)：度開展煉32灰nm獵新型浩存儲院器工紀藝研爛究，鏟新結矛構閃豆存存守儲器銳形成煉IP蹄和關示鍵工華藝解扁決方嫩案，熔開發(fā)卸出原遼型產(chǎn)易品；匙PC雁RA墨M、咽RR舒AM腰等新邁型存吊儲器此取得麻關鍵近技術忽突破足。取黎得自甩主知現(xiàn)識產(chǎn)她權，星開發(fā)奸出可兩向生文產(chǎn)線區(qū)轉移醒的關摘鍵工扭藝。闊項目盞承擔巴單位妨要求鼻：債主承鳴擔單限位要車求是福獨立客法人柄的科想研院猶所和塑高校遮，在插專項體總體津組指唯導下掃，依梢托企垃業(yè)組米織產(chǎn)霉學研清用聯(lián)把盟聯(lián)練合承就擔項輝目。悼執(zhí)行留期限林：寄20狂09柱－2穩(wěn)01顧2年遇項目錦任務啟：祥45街－3速2n錄m以撇下大裝備鼓關鍵惠技術節(jié)項目鬧編號繩：替20辣09寫ZX浮02秀03殲7礙項目隨類別場：烤前瞻筒性鐵研究殃項目低目標斜：之面向懶45雄－3響2n止m供以下溉集成竟電路臣裝備玩的需詠求慌，賢開展玉裝備綁關鍵拉技術呼與敘創(chuàng)新葵技術文研究竄，宵包括店圖形寧形成所轉移輔、薄諸膜、太刻蝕蟻、摻姥雜、膛平坦礎化、證退火駕、清樓洗、塊互連充等悅關鍵炸技術絡與創(chuàng)先新插技術京，很探索挨可能廊的實器現(xiàn)3陰2n概m以驅下集逗成電岡路芯引片制怒造的朱關鍵蜂工藝壽模塊薯、裝貞備、絞材料瘦的成燥套解盆決方美案，儲取得演自主捏知識撥產(chǎn)權低和核刷心技皺術突聰破，宣為愉“鈴十二攀五恨”蚊研發(fā)北集成施電路身整機緊裝備女提供霞關鍵且技術棉支撐剃。究項目講承擔獸單位刷要求澇：克主承柄擔單卡位要喝求是讀獨立搖法人靈的研元究院辜所、主高校膊或企癢業(yè)，記并組?？椛挟a(chǎn)學卵研用活聯(lián)盟憤聯(lián)合善承擔中項目世。珍執(zhí)行環(huán)期限雅：糾20料09治－2青01煌2課年夏項目鹿任務鍋：底三維級及系傻統(tǒng)級咳封裝旦（S煉iP假）技段術研攔究誠項目兩編號鋪：兼20批09拔ZX瘦02羊03勺8標項目賊類別盯：粉前瞻嘆性研造究符項目漏目標乘：縮面向差國際擦前沿碗及我槽國下體一代匪封裝肥技術垃發(fā)展賣需求浩，開哨展惹系統(tǒng)粒級封增裝(舉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