模塊進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)的設(shè)置

02七月2023《數(shù)控原理與應(yīng)用》

模塊七、進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)的設(shè)置數(shù)控技術(shù)教研室林芝蘭02七月2023模塊7進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)的設(shè)置

設(shè)置進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)的目的，是為了使數(shù)控系統(tǒng)與被控制的機(jī)床傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相匹配。合理地設(shè)置數(shù)控系統(tǒng)的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)，可以充分發(fā)揮數(shù)控機(jī)床的性能，提高加工精度和效率。02七月2023

在實(shí)際應(yīng)用中，不同的數(shù)控系統(tǒng)產(chǎn)品，對(duì)進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)的定義及分類各不相同，但其作用都是一樣的。例如在FANUC系統(tǒng)中稱為機(jī)床參數(shù)（PARAMETER），在SIEMENS數(shù)控系統(tǒng)中叫做機(jī)床數(shù)據(jù)（MachinData—MD）。西門(mén)子810數(shù)控系統(tǒng)的機(jī)床數(shù)據(jù)分為通用數(shù)據(jù)、軸數(shù)據(jù)、主軸數(shù)據(jù)、機(jī)床數(shù)據(jù)位等幾類；西門(mén)子802S數(shù)控系統(tǒng)的機(jī)床數(shù)據(jù)分為顯示機(jī)床數(shù)據(jù)、通用機(jī)床數(shù)據(jù)、軸數(shù)據(jù)等幾類。按照其功能作用，分以下幾類進(jìn)行介紹。02七月2023

一、一般參數(shù)的設(shè)定

1.倍頻數(shù)與分辨率倍頻數(shù)與所用的傳感器有關(guān)，如使用方波輸出型光電編碼器，則可選擇1、2或4倍頻；如使用正弦波輸出型光電編碼器或光柵，則可選擇5、10或20倍頻。進(jìn)給軸分辨率由編碼器每轉(zhuǎn)輸出脈沖數(shù)（P/r）、位置檢測(cè)接口倍頻數(shù)（KB）以及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)比（mm/r）共同決定，一般為0.001mm、0.002mm、0.005mm、0.01mm等。02七月2023計(jì)算式為：02七月2023

在硬件方面，通常是在其極限位置設(shè)置行程限位開(kāi)關(guān)，一旦行程限位開(kāi)關(guān)被壓下，就立即切斷進(jìn)給驅(qū)動(dòng)電源，并通知數(shù)控裝置產(chǎn)生超程報(bào)警。在邏輯上與急停（EMG）信號(hào)相“與”，且不允許自動(dòng)恢復(fù)。2.正、負(fù)向限位為保障數(shù)控設(shè)備的安全，需要對(duì)進(jìn)給部件的移動(dòng)范圍進(jìn)行限制，具體措施包括硬件和軟件兩個(gè)方面：02七月2023

在軟件方面，可通過(guò)合理設(shè)置各坐標(biāo)軸的正、負(fù)向軟限位參數(shù)實(shí)現(xiàn)。軟限位通常設(shè)定在進(jìn)給軸硬件超程限位開(kāi)關(guān)的內(nèi)側(cè)，一旦坐標(biāo)值超越此限制，就立即停止進(jìn)給，并產(chǎn)生報(bào)警信息，但允許自行恢復(fù)。由于軟限位是在機(jī)床坐標(biāo)系中建立的，因此該功能只有在通過(guò)返回參考點(diǎn)操作，建立起機(jī)床坐標(biāo)系后，才能有效。在FANUC系統(tǒng)中，PRM3620為正向軟限位，PRM3621為負(fù)向軟限位。02七月20233.快速移動(dòng)速度、最大切削進(jìn)給速度目前的CNC系統(tǒng)一般都能達(dá)到很高的快速移動(dòng)速度與最大切削速度。在應(yīng)用于具體的機(jī)床時(shí)，由于機(jī)械強(qiáng)度有限，還要考慮慣性的影響，因而必須根據(jù)所配機(jī)床的具體情況而定。在FANUC中，1420為各軸快速速度，1424為各軸手動(dòng)快速速度，1430為各軸最大切削進(jìn)給速度。02七月20234.到位范圍由于運(yùn)動(dòng)過(guò)程中跟隨誤差的存在，使輪廓的轉(zhuǎn)接為圓角過(guò)渡。當(dāng)執(zhí)行尖角過(guò)渡指令時(shí)，數(shù)控系統(tǒng)每執(zhí)行完一個(gè)運(yùn)動(dòng)程序段，就自動(dòng)判別跟隨誤差是否小于到位范圍，如不滿足，即處于等待狀態(tài)，直至跟隨誤差修正至小于到位范圍才執(zhí)行下一程序段。27疾六聯(lián)月博20材23在西斬門(mén)子80突2S中，MD紙36秩00緞0為粗杜定位鞠范圍丸，MD揪36舍01跳0為精努定位情范圍食，MD洽36帥05尤0為夾惰緊容竄差。削一般竭粗定鍛位范勸圍約50律um，精跑定位柔范圍襲約10朗um，夾攪緊容盤(pán)差約20艇um。夾列緊容稈差是岸指定會(huì)位結(jié)雅束后績(jī)，由昌于電淡機(jī)制舉動(dòng)或剛進(jìn)給腎部件泳受外越力作悶用而六造成懼的位陶置偏小差范鮮圍。但必藏需注揭意，蹲由于罩伺服關(guān)系統(tǒng)歡存在盛一定撿的死顛區(qū)，任如果塔到位計(jì)范圍館設(shè)置遇太小榴，則鬼數(shù)控那裝置短無(wú)法逝將跟喬隨誤制差修響正至潛小于內(nèi)到位次范圍壩，系榜統(tǒng)會(huì)雨無(wú)限士等待扔下去及而造愧成死媽機(jī)。27惱六消月今20嘆235.變?cè)鏊砸嫖粩囍每責(zé)o制參校數(shù)現(xiàn)代獸數(shù)控?zé)捪到y(tǒng)含均采澤用變克增益頃的位受置控踏制，艘其厘增益略設(shè)置泄如圖5.踐14所示窯。（1）K1為進(jìn)饅給切兵削時(shí)雹的增筑益，聯(lián)一鐵般要川盡可濟(jì)能高跳一些泉，航以減鉛小跟穗隨誤鞭差。27膊六齊月樂(lè)20捕23圖5.乓14變?cè)龀匾嫖灰每爻又茀R數(shù)設(shè)濫置27郵六傾月里20朽23（2）K2為快茅速定合位（G0詠0）時(shí)自的增虧益。命由于啟快速鐵定位士時(shí)不抓進(jìn)行答切削旺加工碰，為超減小丟起動(dòng)焰制動(dòng)吵時(shí)的犯加速昨度，摧從而赤減小夾對(duì)機(jī)津床進(jìn)王給機(jī)才構(gòu)的代沖擊王，可惠將位像置增鈔益減碌小為K1的50％～80％。27喚六錘月案20猶23（3）Ema衰x為最能大跟卵隨誤中差。（4）Eb為變忌增益朱轉(zhuǎn)折平點(diǎn)，忽一逐般應(yīng)圾設(shè)定熟為比若機(jī)床閃最高民切削汁速度餓所對(duì)雙應(yīng)的葵跟隨紙誤差棋略大席一些灑。（5）Vm為最轟小模超擬電京壓輸忌出值廣，用箭來(lái)克魚(yú)服伺倦服驅(qū)還動(dòng)的擋死區(qū)拘。由坦于伺趟服單取元存接在一遮定的沙死區(qū)喚，當(dāng)漿模擬助控制枯電壓塘小于平一定排值時(shí)款，伺樣服單嗓元已傍無(wú)輸橫出，維電動(dòng)侍機(jī)停尋止運(yùn)殲動(dòng)，梳這樣欄就無(wú)胖法修雞正剩句余的俯跟隨遲誤差垮。合來(lái)理設(shè)宴置Vm則可栽克服湯這一應(yīng)現(xiàn)象活。但拔如果Vm選擇選過(guò)大淋，則礙會(huì)在就定位毫點(diǎn)處腦產(chǎn)生廉震蕩滿。27腐六厚月杏20繡236.升降文速參趴數(shù)進(jìn)給眾軸運(yùn)宰動(dòng)的護(hù)速度送變化亞可分醫(yī)為無(wú)婦升降笛速、勇直禽線升勒降速蹲與指掏數(shù)升乖降速教三種堆，者其速華度與驅(qū)加速粗度變夏化曲潑線如謎圖5.憶15所示找。27脖六幻玉月?tīng)T20酸23圖5.聽(tīng)15不同廉升降舅速方冠式的上速度夸與加累速度淚曲線圍(a討)無(wú)升美降速奔；(b屋)直線門(mén)升降魄速；(c況)指數(shù)灰升降護(hù)速27駕六便月華20濃23無(wú)升邊降速晝時(shí)，掃在速扇度變翠化瞬艷間，景加速飯度為舉無(wú)窮高大，重這時(shí)賄會(huì)產(chǎn)翁生很棋大的辜機(jī)械涂沖擊香，因勁此通悼常不訴宜采翁用。噸直線士升降匆速的盆加速蜜度恒鄙定，挑并限毫制在屬一定場(chǎng)范圍毅之內(nèi)犯。指姜數(shù)升表降速撕時(shí)，氣加速齡度的府變化彈無(wú)突拒變，圖速度齒變化桃更加拔平滑裂，但扶加減紫速時(shí)福間較系長(zhǎng)。27隨六醒月存20吩23一般城可通來(lái)過(guò)設(shè)奔置升穗降速幫方式脂和升謎降速背時(shí)間跌等參袍數(shù)，才來(lái)調(diào)暴整機(jī)汪床的渠升降冒速性徹能。緒在西龜門(mén)子80齒2S中，誦采用多直線裙升降病速方狐式，點(diǎn)升降講速時(shí)票間由若最大多加速但度MD職32柳30痛0設(shè)定票，單母位為m/單mi餅n2。27津六駱月赤20利237.單向固定位晶參數(shù)設(shè)置把單向搜定位品參數(shù)殼，艦可提胃高快愉速定謠位（G0級(jí)0）的壓定位趣精度漂。貸該項(xiàng)毛參數(shù)酸中，P1為單載向定欺位的瞎方向瘡，P2為接病近點(diǎn)矛到定林位點(diǎn)引的距被離，P3為定原位趨跌近速傳度。遮如果豆指令店運(yùn)動(dòng)弦方向蘆與P1一致糞，扔則當(dāng)翁運(yùn)動(dòng)扶到接閑近點(diǎn)(未達(dá)規(guī)到定蛇位點(diǎn))時(shí)減耕速，明以P3速度艇趨近到定位茂點(diǎn)；進(jìn)如尖果指可定運(yùn)下動(dòng)方圾向與P1相反階，隨則首鵲先運(yùn)戲動(dòng)超叼過(guò)定勢(shì)位點(diǎn)壯至接赤近點(diǎn)化，虎再改樣變運(yùn)支動(dòng)方運(yùn)向，喂并誓以P3速度吳趨近勇定位銜點(diǎn)，偷如雞圖5.舟16所示丘。27細(xì)六網(wǎng)月夠20納23圖5.騙16單向最定位垃過(guò)程仔示意條圖27買六熱月睛20柳238.報(bào)警址保護(hù)怎參數(shù)(1士)超速弦保護(hù)啞參數(shù)協(xié)通過(guò)要對(duì)計(jì)錄數(shù)頻鴿率的凱限制采實(shí)現(xiàn)港超速侄報(bào)警蘇保護(hù)躍。(2辜)最大刻跟隨素誤差身報(bào)警熱參數(shù)堵。跟悅隨誤驢差作舒為位驢置控聯(lián)制過(guò)利程中參的一歡個(gè)重憂要數(shù)德?lián)瑪嚳捎妙櫽谳^網(wǎng)全面黨地判舉斷位業(yè)置控叔制是寸否處森于正母常狀凈態(tài)。27軋六里月瞎20么23二、居返回紅參考屯點(diǎn)參心數(shù)設(shè)摧置參考翅點(diǎn)是瞧為了落確定瞧機(jī)床泛原點(diǎn)仙而設(shè)辭置的雨可測(cè)聞量位岔置點(diǎn)看。數(shù)頸控機(jī)栽床每鉗次開(kāi)羞機(jī)上涉電后片，必鍬須通暴過(guò)返左回參扮考點(diǎn)江操作標(biāo)（或諒回零骨操作翠）才版能建四立機(jī)濤床坐使標(biāo)系爺。因乓此，座正確舉設(shè)置失返回漢參考資點(diǎn)參折數(shù)，淋對(duì)保顏?zhàn)C機(jī)歷床的規(guī)位置承控制揚(yáng)精度跨時(shí)十嚇?lè)种厥滓馁Y。不淹同的CN紅C系統(tǒng)站，其羽返回押參考任點(diǎn)的鍬動(dòng)作藏細(xì)節(jié)柏會(huì)有識(shí)所不劈燕同；值但一畢般來(lái)促說(shuō)，艦都是游先通額過(guò)減響速行司程開(kāi)蔥關(guān)粗旋定位篩，然畝后再看由精勁定位嗚開(kāi)關(guān)擁或編遭碼器犧零位畢脈沖網(wǎng)精定稅位兩邀個(gè)步護(hù)驟。悟通常朵需要幣設(shè)定侍如下拒參數(shù)怒。27針六霞月敘20抄231.返回績(jī)參考尼點(diǎn)方久式根據(jù)旱返回殿參考地點(diǎn)的機(jī)動(dòng)作滋步驟濕不同桃，唇可大騎致分反為以厭下3種返姻回參轉(zhuǎn)考點(diǎn)決方式真。（1）件方式1：洞按下擦返回噸參考欠點(diǎn)操照作按踢鈕后土，秘按設(shè)計(jì)定的逮運(yùn)動(dòng)多方向胳快速濱返回鹽，確在擋腔塊壓疏下參泊考點(diǎn)嚇開(kāi)關(guān)曬（粗酬定位乒開(kāi)關(guān)啄）后低立即駝減速薯，摔以低詳速繼對(duì)續(xù)返辦回，肉直像至擋霉塊釋的放才撥開(kāi)始塔尋找紙零脈悟沖；未零葉脈沖糕到來(lái)巨時(shí)立舌即停炊止，年如發(fā)圖5.伏17（a）所蓮示。27宅六吸月污20友23（2）左方式2：襯按下侄返回禿參考蓄點(diǎn)操洪作按絞鈕后風(fēng)，非按設(shè)老定的胸運(yùn)動(dòng)第方向尸快速竟返回炒，賄壓下錫參考梯點(diǎn)開(kāi)叫關(guān)后桐立即炸減速東并改奧變方死向，潑低搖速退賀出擋嶄塊，遮再貞反向毒尋找宰零脈氏沖；憶零焦脈沖取到來(lái)形時(shí)立腹即停宴止，萌如聾圖5.鞭17（b）所同示。（3）賣方式3：待按下轉(zhuǎn)返回跟參考胃點(diǎn)操報(bào)作按梨鈕后仆，棋按設(shè)蝴定的衛(wèi)運(yùn)動(dòng)駕方向訊快速敗返回稀，選壓下沾參考折點(diǎn)開(kāi)鑼關(guān)后信立即龜減速奇，璃不需賭等待刻擋塊府釋放累；鴨當(dāng)速歷度降院為設(shè)悔定低儀速后拘即開(kāi)睡始尋款找零券脈沖丸，灑零脈酷沖到帆來(lái)時(shí)傭立即首停止隊(duì)，票如圖5.文17（c）所為示。在西荷門(mén)子80柏2S數(shù)控追系統(tǒng)僵中，況由機(jī)忘床數(shù)肅據(jù)MD等34塔20霜0設(shè)定球。27冬六記月乳20懂23圖5.刮17返回蒸參考詳點(diǎn)方忽式27猾六恒月徒20予232.返回佳參考衛(wèi)點(diǎn)方燙向參考能點(diǎn)粗債定位品開(kāi)關(guān)葡一般梢安裝愿在絲庸杠的哭末端才，返軌回參士考點(diǎn)筋方向隨一般物為遠(yuǎn)釣離工鏡件的嶺方向每，返凱回參兆考點(diǎn)鉆操作炕為單抓方向削操作囑，此什時(shí)另使一個(gè)短方向幕的按撇鈕無(wú)箏效。聲在西漲門(mén)子80童2S中，充返回澇方向召由MD梅34需01恩0設(shè)定嶼。3.返回固參考?jí)K點(diǎn)速蜘度即常返回圾參考嬸點(diǎn)粗矛定位舞速度童，為禽了提閣高效并率，由一般調(diào)設(shè)定律比較鼻高的綱返回劣速度繪。在暴西門(mén)噸子80份2S中，舞由MD捏34留02淘0設(shè)定茫，默肆認(rèn)值胞為50繼00哪mm殿/m帽in。27釀六爬月張20訊234.尋找貨零脈壓沖速貍度為顆了定遣位準(zhǔn)尼確，妹必須娛以較收低速顏度趨輝近。痕在西耕門(mén)子80墨2S中，逮由MD墳34聾04澇0設(shè)定葵，默揮認(rèn)值澆為30嚴(yán)0m送m/范mi敞n。5.參考帽點(diǎn)坐打標(biāo)即墻參考眨點(diǎn)相亞對(duì)機(jī)管床零婆點(diǎn)的蹄坐標(biāo)惰值，的可在瓜機(jī)床尊出廠拉調(diào)試惰時(shí)測(cè)華量并呼輸入宏到CN僵C中。播當(dāng)返費(fèi)回參碗考點(diǎn)謙操作猛完成廢后，推顯示行器即確顯示愁出機(jī)姐床參新考點(diǎn)股在機(jī)睛床坐藏標(biāo)系繳中的替坐標(biāo)習(xí)值。震在西幼門(mén)子80制2S中，礙由MD怖34嶼09佛0設(shè)定丘。27喂六挺月沸20靈23三、括進(jìn)汗給運(yùn)汽動(dòng)的顛補(bǔ)償嗓設(shè)定在機(jī)輪械傳燃動(dòng)鏈鎖中，六影響托進(jìn)給棵位置吼控制火特性喊的各搬種因縱素是丈客觀鎮(zhèn)存在揮的，績(jī)由此顆會(huì)造丑成進(jìn)參給位貪置控肯制的義誤差畏。對(duì)休于不響可測(cè)夾量的并動(dòng)態(tài)哭誤差蠢，只洪有通弄過(guò)提濃高傳田動(dòng)機(jī)蛾構(gòu)的叛精度熔和剛翼性等龍加以茄解決蓄；而壓對(duì)于兼一些鋸有規(guī)樹(shù)律的倒、可遵以測(cè)券量的脾誤差匪，可榜以利弦用數(shù)琴控系粥統(tǒng)提重供各抄種補(bǔ)料償功睛能進(jìn)脾行自幸動(dòng)補(bǔ)蔽償，熄以提闖高加帳工零閥件的套精度拐。一勞般的耳數(shù)控春系統(tǒng)勉，都博具有登間隙鴿補(bǔ)償撈和螺釘距誤虛差補(bǔ)再償功子能。27弄六惜月啄20倉(cāng)231.間隙御補(bǔ)償在進(jìn)泳給傳播動(dòng)鏈敵中，侵齒輪港傳動(dòng)煎、滾疫珠絲猛杠螺腦母副穗等均打存在熟反轉(zhuǎn)荒間隙賭，這獨(dú)種反疼轉(zhuǎn)間斧隙會(huì)御造成勁在工宴作臺(tái)茅改變經(jīng)方向場(chǎng)時(shí)，僚電動(dòng)迎機(jī)空蟻?zhàn)叨湽ぷ骺ㄅ_(tái)不思運(yùn)動(dòng)鋒，從絮而造懲成加旦工誤拴差。愁為此忠，可橋用激湊光干微涉儀岔等測(cè)陡量工起具測(cè)睛出間令隙值敢，作皆為參刑數(shù)輸雹入CN司C系統(tǒng)煌中，理由CN腸C裝置倚自動(dòng)竹補(bǔ)償蟲(chóng)。其劑補(bǔ)償陸過(guò)程與為，拼每當(dāng)獄坐標(biāo)歸軸改悟變方蘆向時(shí)吼，CN匆C裝置宇會(huì)控盯制電寶動(dòng)機(jī)痰多走更一段灘距離移（一填個(gè)間尋隙值渠），順從而語(yǔ)補(bǔ)償腳了間保隙誤走差。蠻在西燒門(mén)子80礎(chǔ)2S中，者間隙絨由MD朽32貧45鋒0設(shè)定增。27勸六沾月廁20目232.螺距陳誤差尼補(bǔ)償在數(shù)炕控機(jī)剛床上敢，定姥位精漿度主做要取知決于攤滾珠悉絲杠裕的精盜度。巾盡管確可以塔采用夏高精虎度的辜滾珠嬌絲杠報(bào)，但與制造幕誤差頭總是楊存在克的。送此外廳，在奸數(shù)控倦機(jī)床舞使用襪中，耍由于撓磨損芹，絲梯杠精盤(pán)度也留會(huì)下復(fù)降。逗因此悔，需沃要利跑用數(shù)廁控系挨統(tǒng)的希螺距皮誤差販補(bǔ)償?shù)芄δ芟都右猿匝a(bǔ)償咸，以盒得到生超過(guò)可滾珠槽絲杠砍制造尾精度模的運(yùn)總動(dòng)精友度，氧并可姿通過(guò)漸定期疑測(cè)量允與補(bǔ)彼償，診在保蔥持精瓜度不反變的踩前提搞下，尋延長(zhǎng)韻機(jī)床熄使用紀(jì)壽命度。27奮六黎月監(jiān)20慨23螺距襪誤差挽補(bǔ)償圖的基傷本原鐵理是那，將瀉數(shù)控俘機(jī)床貢某軸鳴的指或令位則置與獄高精褲度位狀置測(cè)魄量工某具所錘測(cè)得韻的實(shí)擋際位爐置相蓄比較額，計(jì)蛙算出奮在全蘿行程平上的羽誤差包分布綿曲線攻，將是誤差質(zhì)以表囑格的驗(yàn)形式肢輸入楊數(shù)控捧系統(tǒng)任中。預(yù)以后匙數(shù)控殖系統(tǒng)寫(xiě)在控希制該瓶軸運(yùn)荒動(dòng)時(shí)陰，會(huì)潮自動(dòng)怕計(jì)算丹加以掃補(bǔ)償丘。如獲圖5.溪18所示毯，為飛某系邀統(tǒng)測(cè)究得的X軸7個(gè)點(diǎn)伸的誤演差曲街線，宮圖5.幸19為輸拐入至CN送C的螺堤距誤躺差補(bǔ)害償表托。27沸六賭月暗20絨23圖5.狹18X軸螺架距誤番差曲破線舉娛例27筒六頃月海20吹23圖5.密19X軸螺省距誤歐差補(bǔ)銜償表27伍六貸月冠20往23在西情門(mén)子80使2S中，餡補(bǔ)償鼻點(diǎn)數(shù)詳由MD雕38巷00卻0設(shè)定哲，螺慨距補(bǔ)盯償生胸效由MD撤32廈70短0設(shè)定犯，螺鄉(xiāng)豐距誤酬差補(bǔ)形償值陰輸入免（在MD擇32嘗70枕0=翻0時(shí)）燈到CN杠C內(nèi)部轎自動(dòng)扶生成豈的螺淋補(bǔ)程緞序%_抽N_抄BU雁CH模AN禮G_波MP及F中，箭然后觀運(yùn)行夠該程環(huán)序，條設(shè)置MD耕32棵70數(shù)0=浩1，螺妄距補(bǔ)沒(méi)償生租效。27牧六狗月編20唐23注意羅：（1）間攤隙補(bǔ)錯(cuò)償和隸螺距岡誤差毅補(bǔ)償你只有閥在返風(fēng)回參差考點(diǎn)湊操作由后才昨有效過(guò)。（2）由哈于機(jī)車床坐便標(biāo)系拌是靠忘返回獄參考禿點(diǎn)而鑰建立狐的，最因此咳在誤叔差表部中參鉆考點(diǎn)淘的誤始差要彩為零鋤。27壩六柳月齡20霜23（3）對(duì)疏重復(fù)垃定位嚼精度乘較差啦的軸總，因品無(wú)法企準(zhǔn)確喜確定欺其誤梨差曲址線，餡螺距蜜誤差童補(bǔ)償何功能掃無(wú)法蒜使用烈。即奔該功炮能無(wú)群法補(bǔ)燃償重污復(fù)定碎位誤禍差。（4）必距須采蟻用比施滾珠痛絲扛謀精度息高至新少一態(tài)個(gè)數(shù)瞎量級(jí)姥的檢迅測(cè)裝愿置來(lái)然測(cè)量逐誤差沫分布是曲線環(huán)．否漸則沒(méi)殲有意扎義。囑一般展常用艱激光俯干涉斥儀來(lái)促測(cè)量胃。27陰六秧月滅20吹